JP2006138960A - 液晶表示装置及びその製造方法並びに投射表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガラス基板5上にTFT10を形成し、コンタクトホール12a及び12bの内壁及び底面に延出するように、SD配線層13a及び13bを形成する。このとき、SD配線層13a及び13bの上面にはコンタクトホール12a及び12bの形状を反映した凹部が形成される。次に、常圧CVD法により、O2中のO3濃度を5乃至20g/m3とし、低濃度O3−TEOS系SiO2膜を成膜し、引き続き、O2中のO3濃度を100乃至200g/m3とし、高濃度O3−TEOS系SiO2膜を成膜する。これにより、凹部内に埋設され平坦面14aを備えたシリコン酸化膜14が形成される。その後、蓄積容量18を形成する。
【選択図】 図1
Description
2;TFTアレイ基板
3;対向基板
4;液晶層
5;ガラス基板
6;シリコン酸化膜(下地層)
7、7a;多結晶シリコン層
8;シリコン酸化膜(ゲート絶縁膜)
9;ゲート電極
10;TFT
11;シリコン酸化膜(第1層間絶縁膜)
12a、12b;コンタクトホール
13a、13b;SD配線層
14;シリコン酸化膜(第2層間絶縁膜)
14a;平坦面
15;容量下部電極
16;シリコン窒化膜(容量絶縁膜)
17;容量上部電極
18;蓄積容量
19;コンタクトホール
20;シリコン窒化膜(第3層間絶縁膜)
21;有機平坦化膜
22;画素電極
23;配向膜
24;コンタクトホール
25;アモルファスシリコン層
27;シリコン酸化膜(第2層間絶縁膜)
31;ガラス基板
32;対向電極
33;配向膜
41;表示領域
42;画素
43;データドライバ
44;データ線
45;データ入力線
46;ゲートドライバ
47;ゲート線
51;常圧CVD装置
52;チャンバー
53;基板ホルダー
54;ヒーター
55;真空吸着装置
56;ディスパージョンヘッド
57;ノズル
58、59;供給管
60;シリコンソース
61;カバー
62;排気孔
80;液晶プロジェクタ装置
81;ハロゲンランプ
82a、82b;ハーフミラー
83a、83b、83c;ミラー
84R;赤色用ライトバルブ
84G;緑色用ライトバルブ
84B;青色用ライトバルブ
85;プリズム
86;投射レンズ群
87;スクリーン
88W、89;白色光
88R;赤色光
88G;緑色光
88B;青色光
Claims (16)
- 画素回路基板と、対向基板と、前記画素回路基板と前記対向基板との間に配置された液晶層と、を有し、前記画素回路基板が、基板と、この基板上に形成された薄膜トランジスタと、少なくともこの薄膜トランジスタのソース・ドレイン領域上に配置され無機材料からなる第1層間絶縁膜と、この第1層間絶縁膜における前記ソース・ドレイン領域の直上域に形成されたコンタクトホールと、前記第1層間絶縁膜上に形成され前記コンタクトホールの内壁及び底面に延出して前記ソース・ドレイン領域に接続されると共にその上面に前記コンタクトホールの形状を反映した凹部が形成された配線層と、この配線層上に形成されると共に前記凹部内に埋設され前記薄膜トランジスタの直上域における上面が平坦な無機材料からなる第2層間絶縁膜と、この第2層間絶縁膜上における前記薄膜トランジスタの直上域に配置された蓄積容量と、を有することを特徴とする液晶表示装置。
- 前記第2層間絶縁膜が、O2中のO3濃度を100乃至200g/m3とした常圧CVD法によってO3−アルコキシシラン反応により形成されたシリコン酸化膜を有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記第2層間絶縁膜が、O2中のO3濃度を100乃至200g/m3とした常圧CVD法によってO3−ヘキサメチルジシロキサン反応により形成されたシリコン酸化膜を有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記第2層間絶縁膜が、前記シリコン酸化膜の下地膜として、O2中のO3濃度を5乃至20g/m3とした常圧CVD法によってO3−アルコキシシラン反応により形成された他のシリコン酸化膜を有することを特徴とする請求項2又は3に記載の液晶表示装置。
- 前記第2層間絶縁膜における前記薄膜トランジスタの直上域に相当する部分の上面が、前記直上域以外の領域に相当する部分の上面よりも高い位置にあることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液晶表示装置。
- 各画素の単位面積をXとし、各画素におけるコンタクトホールの有効面積の合計値をYとするとき、比(Y/X)の値が0.01以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液晶表示措置。
- 前記基板が透明材料からなり、透過型液晶表示装置であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液晶表示措置。
- 光源と、この光源から出射された光の経路に介在するように配置された請求項7に記載の液晶表示装置と、を有することを特徴とする投射表示装置。
- 画素回路基板を作製する工程と、対向基板を作製する工程と、前記画素回路基板と前記対向基板と相互に対向させて連結し前記画素回路基板と前記対向基板との間に液晶層を配置する工程と、を有し、前記画素回路基板を作製する工程は、基板上に薄膜トランジスタを形成する工程と、少なくともこの薄膜トランジスタのソース・ドレイン上に無機材料からなる第1層間絶縁膜を形成する工程と、この第1層間絶縁膜における前記ソース・ドレイン領域の直上域にコンタクトホールを形成する工程と、前記第1層間絶縁膜上に前記コンタクトホールの内壁及び底面に延出して前記ソース・ドレイン領域に接続されるように配線層を形成する工程と、CVD法によってO3−アルコキシシラン反応によりシリコン酸化膜を形成することにより、前記配線層の上面に形成され前記コンタクトホールの形状を反映した凹部内を埋設すると共に前記第1層間絶縁膜上に配置されるように第2層間絶縁膜を形成する工程と、この第2層間絶縁膜上における前記薄膜トランジスタの直上域に蓄積容量を形成する工程と、を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
- 画素回路基板を作製する工程と、対向基板を作製する工程と、前記画素回路基板と前記対向基板と相互に対向させて連結し前記画素回路基板と前記対向基板との間に液晶層を配置する工程と、を有し、前記画素回路基板を作製する工程は、基板上に薄膜トランジスタを形成する工程と、少なくともこの薄膜トランジスタのソース・ドレイン上に無機材料からなる第1層間絶縁膜を形成する工程と、この第1層間絶縁膜における前記ソース・ドレイン領域の直上域にコンタクトホールを形成する工程と、前記第1層間絶縁膜上に前記コンタクトホールの内壁及び底面に延出して前記ソース・ドレイン領域に接続されるように配線層を形成する工程と、CVD法によってO3−ヘキサメチルジシロキサン反応によりシリコン酸化膜を形成することにより、前記配線層の上面に形成され前記コンタクトホールの形状を反映した凹部内を埋設すると共に前記第1層間絶縁膜上に配置されるように第2層間絶縁膜を形成する工程と、この第2層間絶縁膜上における前記薄膜トランジスタの直上域に蓄積容量を形成する工程と、を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
- 前記第2層間絶縁膜を形成する工程において、前記CVD法として常圧CVD法を使用し、O2中のO3濃度を100乃至200g/m3とすることを特徴とする請求項10又は11に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第2層間絶縁膜を形成する工程が、前記シリコン酸化膜を形成する前に、O2中のO3濃度を5乃至20g/m3とした常圧CVD法によってO3−アルコキシシラン反応により形成された他のシリコン酸化膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1項に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第2層間絶縁膜を形成する工程と前記蓄積容量を形成する工程との間に、前記第2層間絶縁膜における前記薄膜トランジスタの直上域に相当する部分の上面を研磨する工程を有することを特徴とする請求項9乃至12のいずれか1項に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第2層間絶縁膜を形成する工程において、前記第2層間絶縁膜における前記薄膜トランジスタの直上域に相当する部分の上面を、前記直上域以外の領域に相当する部分の上面よりも高い位置とすることを特徴とする請求項9乃至13のいずれか1項に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 各画素の単位面積をXとし、各画素におけるコンタクトホールの有効面積の合計値をYとするとき、比(Y/X)の値を0.01以上とすることを特徴とする請求項9乃至14のいずれか1項に記載の液晶表示措置の製造方法。
- 前記基板を透明材料により形成し、透過型液晶表示装置を製造することを特徴とする請求項9乃至15のいずれか1項に記載の液晶表示措置の製造方法。
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