JP2006128174A - ウエハ処理方法及びウエハ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 高温のエッチング液にウエハWは基盤11とともに長時間にわたって浸漬されるが、ワックスHMで基盤11に接着されたウエハWの外周縁は、その全周にわたって端面保護材Cで補強的に覆われている。したがって、ワックスHMがエッチング液に浸食されて溶け出すことがなく、ウエハWが基盤11から剥がれたりする等の処理不良を防止できる。
【選択図】 図6
Description
すなわち、従来のウエハ処理方法は、ワックスに水酸化カリウムへの耐性をもたせることが困難であるので、エッチング液中にワックスが溶け出し、処理途中にてウエハが基盤から剥離したり、固定面側にあたるウエハの表面周縁部の一部がエッチングされたりする場合がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、ウエハに処理を行うウエハ処理装置において、板状の基盤を載置する載置部と、前記載置部に載置された基盤を加熱する加熱機構と、前記載置部に載置された基盤の表面に固定化用組成物を塗布する第1塗布機構と、固定化用組成物が塗布された基盤上にウエハを搬入する搬入機構と、前記基盤に接着されたウエハの外周縁の全周にわたって端面保護材を塗布する第2塗布機構と、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係るウエハ接着装置の概略構成を示すブロック図である。
SiC=4.3×10-6/K
アモルファスカーボン=3.0×10-6/K
SUS304=17.3×10-6/K
Ti=8.9×10-6/K
SiC: 100mm×47℃×4.3×10-6=0.02021mm
アモルファスカーボン: 100mm×47℃×3.0×10-6=0.0141mm
SUS304: 100mm×47℃×17.3×10-6=0.08131mm
Ti: 100mm×47℃×8.9×10-6=0.04183mm
SiC: 1.102
アモルファスカーボン: 0.769
SUS304: 4.435
Ti: 2.282
1 … ウエハ接着装置
3 … 載置台
9 … 加熱ヒータ
11 … 基盤
13 … 搬送機構
HM … ワックス
19 … ワックス搬送機構
23 … ノズル
29 … エッチング装置
31 … 内槽
33 … 外槽
C … 端面保護材
Claims (7)
- ウエハに処理を行うウエハ処理装置において、
板状の基盤を載置する載置部と、
前記載置部に載置された基盤を加熱する加熱機構と、
前記載置部に載置された基盤の表面に固定化用組成物を塗布する第1塗布機構と、
固定化用組成物が塗布された基盤上にウエハを搬入する搬入機構と、
前記基盤に接着されたウエハの外周縁の全周にわたって端面保護材を塗布する第2塗布機構と、
を備えていることを特徴とするウエハ処理装置。 - 請求項1に記載のウエハ処理装置において、
前記第2塗布機構は、ウエハの外周縁から所定幅だけ内側に入り込んだ位置まで端面保護材を塗布することを特徴とするウエハ処理方法。 - ウエハに処理を行うウエハ処理方法において、
ウエハを基盤に載置して固定化用組成物により接着する接着過程と、
ウエハの外周縁の全周にわたって端面保護材を塗布する端面保護過程と、
処理槽に貯留されたエッチング液にウエハが接着された基盤を浸漬させ、ウエハの厚さを薄くするシンニング過程と、
を備えていることを特徴とするウエハ処理方法。 - 請求項3に記載のウエハ処理方法において、
前記端面保護過程における端面保護材は、ウエハの外周縁から所定幅だけ内側に入り込んだ位置まで塗布されることを特徴とするウエハ処理方法。 - 請求項4に記載のウエハ処理方法において、
前記シンニング過程の後、ウエハの外周縁から所定幅より内側でウエハを切断する切断過程を備えていることを特徴とするウエハ処理方法。 - 請求項3または4に記載のウエハ処理方法において、
前記シンニング過程の後、溶解液により端面保護材を溶解除去する溶解過程を備えていることを特徴とするウエハ処理方法。 - 請求項3から5のいずれかに記載のウエハ処理方法において、
前記端面保護材は、カーボンを含むことを特徴とするウエハ処理方法。
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