JP2006125881A - X線発生器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子を発生する電子発生手段(カーボンナノチューブ20、引き出し電極24)及び支持部材14に支持されたX線ターゲット12を真空管18内に備え、前記電子発生手段から前記X線ターゲット12へ電子を照射することにより生じるX線を所定位置へ導く管状のX線ガイド手段(X線ガイドチューブ)30を真空管18外に備えるX線発生器において、真空管18に設けた凹部28にX線ガイド手段30を挿入した構成とする。
【選択図】 図1
Description
12 X線ターゲット
14 支持部材
16 油浴
18 真空管
20 カーボンナノチューブ
21 フィラメント
22 ベリリウム窓
24、25 引き出し電極
26 電子
30 X線ガイドチューブ
36 試料ステージ
38 試料
40 ダイヤモンド
42、44 緩衝層
50 水冷パイプ
Claims (7)
- 電子を発生する電子発生手段及び支持部材に支持されたX線ターゲットが真空管内に配置され、前記電子発生手段から前記X線ターゲットへ電子を照射することにより生じるX線を所定位置へ導くX線ガイド手段が真空管外に配置されているX線発生器において、
前記真空管は、内側へ凹んだ凹部を備え、
該凹部に前記X線ガイド手段が挿入されていることを特徴とするX線発生器。 - 前記支持部材は突起部を有し、該突起部に前記X線ターゲットが取付けられていることを特徴とする請求項1記載のX線発生器。
- 前記突起部の表面は球面状であることを特徴とする請求項2記載のX線発生器。
- 前記X線ターゲットは、ダイヤモンドを挟んで前記突起部に取付けられていることを特徴とする請求項2又は3記載のX線発生器。
- 前記X線ガイド手段及び前記電子発生手段は、前記X線ターゲットと向き合うように配置されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のX線発生器。
- 前記電子発生手段は、コールドエミッタと、該コールドエミッタから電子を発生させる電極とを備えることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のX線発生器。
- 電子を発生する電子発生手段及び支持部材に支持されたX線ターゲットが真空管内に配置され、前記電子発生手段から前記X線ターゲットへ電子を照射することにより生じるX線を所定位置へ導くX線ガイド手段が真空管外に配置されているX線発生器において、
前記X線ガイド手段及び前記電子発生手段は、前記X線ターゲットと向き合うように配置され、
前記電子発生手段は、前記X線ガイド手段のX線ターゲット側の端部周辺に配置されたコールドエミッタと、該コールドエミッタから電子を発生させる電極とを備えていることを特徴とするX線発生器。
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