JP2002042705A - 透過放射型ｘ線管およびその製造方法 - Google Patents
透過放射型ｘ線管およびその製造方法Info
- Publication number
- JP2002042705A JP2002042705A JP2000229774A JP2000229774A JP2002042705A JP 2002042705 A JP2002042705 A JP 2002042705A JP 2000229774 A JP2000229774 A JP 2000229774A JP 2000229774 A JP2000229774 A JP 2000229774A JP 2002042705 A JP2002042705 A JP 2002042705A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- thin film
- window plate
- transmission window
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 陽極ターゲットの蒸発を抑え、寿命の長い透
過放射型Ｘ線管およびその製造方法を提供すること。 【解決手段】 真空容器３３の一部に気密接合されたＸ
線透過窓板３７と、このＸ線透過窓板３７の真空側の面
に接して設けられたＸ線を発生するターゲット薄膜３９
と、このターゲット薄膜３９に照射する電子ビームを発
生する陰極構体３５とを具備した透過放射型Ｘ線管にお
いて、Ｘ線透過窓板３７をダイヤモンドで形成してい
る。
過放射型Ｘ線管およびその製造方法を提供すること。 【解決手段】 真空容器３３の一部に気密接合されたＸ
線透過窓板３７と、このＸ線透過窓板３７の真空側の面
に接して設けられたＸ線を発生するターゲット薄膜３９
と、このターゲット薄膜３９に照射する電子ビームを発
生する陰極構体３５とを具備した透過放射型Ｘ線管にお
いて、Ｘ線透過窓板３７をダイヤモンドで形成してい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、Ｘ線を放出する
陽極ターゲットがＸ線透過窓の真空側の面に接する構造
の透過放射型Ｘ線管およびその製造方法に関する。
陽極ターゲットがＸ線透過窓の真空側の面に接する構造
の透過放射型Ｘ線管およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線管は、陽極ターゲットに電子ビーム
を衝突させてＸ線を発生する構成になっている。このよ
うなＸ線管は、医療用の診断装置あるいは工業用の非破
壊検査装置や材料分析装置など、多くの用途に利用され
ている。そして、用途に応じていろいろな種類のＸ線管
が実用化されている。その１つに、微小焦点すなわちマ
イクロフォーカスＸ線発生源を得る透過放射型Ｘ線管が
ある。
を衝突させてＸ線を発生する構成になっている。このよ
うなＸ線管は、医療用の診断装置あるいは工業用の非破
壊検査装置や材料分析装置など、多くの用途に利用され
ている。そして、用途に応じていろいろな種類のＸ線管
が実用化されている。その１つに、微小焦点すなわちマ
イクロフォーカスＸ線発生源を得る透過放射型Ｘ線管が
ある。
【０００３】マイクロフォーカス透過放射型Ｘ線管の用
途の一つは、半導体集積回路基板やその他の物体のＸ線
透視拡大撮影装置である。その概略構成は、図５に示す
ように、Ｘ線遮蔽された装置ケース１１の内部にＸ線管
１２が配置されている。そして、Ｘ線管１２のＸ線発生
焦点位置Ｓから距離Ｌａだけ離れた位置に、半導体集積
回路基板のような被撮影物体１３が置かれる。この被撮
影物体１３の位置からさらに距離Ｌｂだけ離れた位置
に、そのセンサ面が位置するように、Ｘ線イメージ管や
固体Ｘ線センサなどのＸ線エリアセンサ１４が配置され
ている。
途の一つは、半導体集積回路基板やその他の物体のＸ線
透視拡大撮影装置である。その概略構成は、図５に示す
ように、Ｘ線遮蔽された装置ケース１１の内部にＸ線管
１２が配置されている。そして、Ｘ線管１２のＸ線発生
焦点位置Ｓから距離Ｌａだけ離れた位置に、半導体集積
回路基板のような被撮影物体１３が置かれる。この被撮
影物体１３の位置からさらに距離Ｌｂだけ離れた位置
に、そのセンサ面が位置するように、Ｘ線イメージ管や
固体Ｘ線センサなどのＸ線エリアセンサ１４が配置され
ている。
【０００４】Ｘ線管１２には、装置ケース１１に内蔵さ
れた電源１５から動作電圧が供給されるようになってお
り、これは外部から制御される。また、Ｘ線エリアセン
サ１４のＸ線画像信号出力部１６から出力されるＸ線画
像信号は、画像処理装置を内蔵するモニタ１７に送ら
れ、その画像表示部１８に被撮影物体１３のＸ線透視拡
大撮影映像が表示される。
れた電源１５から動作電圧が供給されるようになってお
り、これは外部から制御される。また、Ｘ線エリアセン
サ１４のＸ線画像信号出力部１６から出力されるＸ線画
像信号は、画像処理装置を内蔵するモニタ１７に送ら
れ、その画像表示部１８に被撮影物体１３のＸ線透視拡
大撮影映像が表示される。
【０００５】被撮影物体のＸ線撮影の拡大率Ｍは、概
ね、Ｍ＝（Ｌａ＋Ｌｂ）／Ｌａで表される。この場合、
( Ｌａ《Ｌｂ) となるように設定される。そのため、距
離Ｌａを小さくするほど拡大率Ｍは大きくなる。また、
Ｘ線管のＸ線発生源である焦点Ｓのサイズが小さければ
小さいほど、解像度の高い鮮明なＸ線透視拡大撮影画像
が得られることも自明である。
ね、Ｍ＝（Ｌａ＋Ｌｂ）／Ｌａで表される。この場合、
( Ｌａ《Ｌｂ) となるように設定される。そのため、距
離Ｌａを小さくするほど拡大率Ｍは大きくなる。また、
Ｘ線管のＸ線発生源である焦点Ｓのサイズが小さければ
小さいほど、解像度の高い鮮明なＸ線透視拡大撮影画像
が得られることも自明である。
【０００６】したがって、Ｘ線透視拡大撮影装置の場
合、Ｘ線管の焦点Ｓ、すなわちＸ線発生ターゲット部分
をできるだけ被撮影物体１３の近くに配置し、距離Ｌａ
を可能な限り小さくする構成が望まれる。この目的に
は、Ｘ線発生ターゲット部がＸ線管の最先端に存在する
マイクロフォーカス透過放射型Ｘ線管の使用が適する。
合、Ｘ線管の焦点Ｓ、すなわちＸ線発生ターゲット部分
をできるだけ被撮影物体１３の近くに配置し、距離Ｌａ
を可能な限り小さくする構成が望まれる。この目的に
は、Ｘ線発生ターゲット部がＸ線管の最先端に存在する
マイクロフォーカス透過放射型Ｘ線管の使用が適する。
【０００７】この型のＸ線管１２は、図６に示すよう
に、真空容器２１の一方の側の金属円筒部の先端部に、
Ｘ線を透過するＸ線透過窓板２２が真空気密に設けられ
ている。この透過窓板２２は、通常、ベリリウム（Ｂ
ｅ）などＸ線の透過率が高い材料で構成されている。ま
た、Ｘ線透過窓板２２の真空側の面には、要部を拡大し
て示すように、タングステン（Ｗ）などからなる陽極タ
ーゲット薄膜２３が直接付着されている。そして、真空
容器２１内の他方側のガラス部分内に電子ビームを発生
する陰極構体２４が配置され、それと電子レンズ用の複
数個のグリッド電極からなる電子銃２５が配置されてい
る。
に、真空容器２１の一方の側の金属円筒部の先端部に、
Ｘ線を透過するＸ線透過窓板２２が真空気密に設けられ
ている。この透過窓板２２は、通常、ベリリウム（Ｂ
ｅ）などＸ線の透過率が高い材料で構成されている。ま
た、Ｘ線透過窓板２２の真空側の面には、要部を拡大し
て示すように、タングステン（Ｗ）などからなる陽極タ
ーゲット薄膜２３が直接付着されている。そして、真空
容器２１内の他方側のガラス部分内に電子ビームを発生
する陰極構体２４が配置され、それと電子レンズ用の複
数個のグリッド電極からなる電子銃２５が配置されてい
る。
【０００８】上記した構成において、陰極構体２４から
発生し電子銃２５を経た電子ビームｅは、陽極ターゲッ
ト薄膜２３の位置で点焦点Ｓを結ぶようになっている。
そして、この陽極ターゲット薄膜２３で発生したＸ線は
そのまま透過窓板２２を通して外部に放射される。この
放射Ｘ線を符号Ｘで表し、Ｘ線撮影に利用される。
発生し電子銃２５を経た電子ビームｅは、陽極ターゲッ
ト薄膜２３の位置で点焦点Ｓを結ぶようになっている。
そして、この陽極ターゲット薄膜２３で発生したＸ線は
そのまま透過窓板２２を通して外部に放射される。この
放射Ｘ線を符号Ｘで表し、Ｘ線撮影に利用される。
【０００９】このような装置あるいはＸ線管は、例えば
米国特許第５０７７７７１号明細書、日本特許第２７１
３８６０号、同特許第２６３４３６９号、特公平７−５
０５９４号、特開平９−１７１７８８号、実公昭５２−
５６７７８号、或いは実開昭５４−１６３８８５号の各
公報等に開示されている。
米国特許第５０７７７７１号明細書、日本特許第２７１
３８６０号、同特許第２６３４３６９号、特公平７−５
０５９４号、特開平９−１７１７８８号、実公昭５２−
５６７７８号、或いは実開昭５４−１６３８８５号の各
公報等に開示されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来の透過放射型Ｘ線
管は、Ｘ線透過窓板を構成する材料としてベリリウムが
使用され、Ｘ線透過窓板の真空側の面に、タングステン
薄膜で構成された陽極ターゲットが直接形成されてい
る。この構造の場合、電子ビームの衝突でタングステン
薄膜の温度が上昇した際、その外側にＸ線透過窓板が位
置するため、必ずしも十分な放熱が行われず、温度上昇
によってタングステン薄膜が蒸発する。そして、タング
ステン薄膜の蒸発が進むと、放出するＸ線量が低下し寿
命となる。
管は、Ｘ線透過窓板を構成する材料としてベリリウムが
使用され、Ｘ線透過窓板の真空側の面に、タングステン
薄膜で構成された陽極ターゲットが直接形成されてい
る。この構造の場合、電子ビームの衝突でタングステン
薄膜の温度が上昇した際、その外側にＸ線透過窓板が位
置するため、必ずしも十分な放熱が行われず、温度上昇
によってタングステン薄膜が蒸発する。そして、タング
ステン薄膜の蒸発が進むと、放出するＸ線量が低下し寿
命となる。
【００１１】この発明は、上記した欠点を解決し、陽極
ターゲットの蒸発を抑え、寿命の長い透過放射型Ｘ線管
およびその製造方法を提供することを目的とする。
ターゲットの蒸発を抑え、寿命の長い透過放射型Ｘ線管
およびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明は、真空容器の
一部に気密接合されたＸ線透過窓板と、このＸ線透過窓
板の真空側の面に接して設けられたＸ線を発生するター
ゲット薄膜と、このターゲット薄膜に照射する電子ビー
ムを発生する陰極構体とを具備した透過放射型Ｘ線管に
おいて、前記Ｘ線透過窓板をダイヤモンドで形成したこ
とを特徴としている。
一部に気密接合されたＸ線透過窓板と、このＸ線透過窓
板の真空側の面に接して設けられたＸ線を発生するター
ゲット薄膜と、このターゲット薄膜に照射する電子ビー
ムを発生する陰極構体とを具備した透過放射型Ｘ線管に
おいて、前記Ｘ線透過窓板をダイヤモンドで形成したこ
とを特徴としている。
【００１３】また、この発明は、真空容器の一部に気密
接合されたＸ線透過窓板と、このＸ線透過窓板の真空側
の面に接して設けられたＸ線を発生するターゲット薄膜
と、このターゲット薄膜に照射する電子ビームを発生す
る陰極構体とを具備し、前記ターゲット薄膜が発生する
Ｘ線を前記Ｘ線透過窓板を通して外部に放射する構造の
透過放射型Ｘ線管の製造方法において、前記Ｘ線透過窓
板を形成するダイヤモンドの面上に、前記ターゲット薄
膜を成膜することを特徴としている。
接合されたＸ線透過窓板と、このＸ線透過窓板の真空側
の面に接して設けられたＸ線を発生するターゲット薄膜
と、このターゲット薄膜に照射する電子ビームを発生す
る陰極構体とを具備し、前記ターゲット薄膜が発生する
Ｘ線を前記Ｘ線透過窓板を通して外部に放射する構造の
透過放射型Ｘ線管の製造方法において、前記Ｘ線透過窓
板を形成するダイヤモンドの面上に、前記ターゲット薄
膜を成膜することを特徴としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１〜
図３を参照して説明する。マイクロフォーカス透過放射
型Ｘ線管３０は、ガラス容器部分３１および先端が閉じ
られた金属円筒容器部分３２が真空気密に接合された真
空容器３３を備えている。この真空容器３３の内部に電
子銃３４が配置されている。電子銃３４は、電子ビーム
を発生する陰極構体３５および電子レンズ用の複数個の
グリッド電極を備えている。
図３を参照して説明する。マイクロフォーカス透過放射
型Ｘ線管３０は、ガラス容器部分３１および先端が閉じ
られた金属円筒容器部分３２が真空気密に接合された真
空容器３３を備えている。この真空容器３３の内部に電
子銃３４が配置されている。電子銃３４は、電子ビーム
を発生する陰極構体３５および電子レンズ用の複数個の
グリッド電極を備えている。
【００１５】真空容器３３の金属円筒容器部分３２の先
端部にＸ線放射窓保持用リング３６が設けられ、Ｘ線放
射窓保持用リング３６には、Ｘ線透過率の高いダイヤモ
ンド製のＸ線透過窓３７が真空気密に接合されている。
この場合、Ｘ線透過窓３７を構成するダイヤモンドは、
たとえば周辺３８がメタライズされ、そのメタライズ部
分を利用して溶接などによりＸ線放射窓保持用リング３
６に接合される。
端部にＸ線放射窓保持用リング３６が設けられ、Ｘ線放
射窓保持用リング３６には、Ｘ線透過率の高いダイヤモ
ンド製のＸ線透過窓３７が真空気密に接合されている。
この場合、Ｘ線透過窓３７を構成するダイヤモンドは、
たとえば周辺３８がメタライズされ、そのメタライズ部
分を利用して溶接などによりＸ線放射窓保持用リング３
６に接合される。
【００１６】Ｘ線放射窓保持用リング３６は、鉄（Ｆ
ｅ）、またはコバール（商品名）やステンレス鋼のよう
な鉄合金、あるいは銅（Ｃｕ）または銅合金のような機
械的に高強度の材料で形成されている。そして、そのテ
ーパ状に外方に延長された外周薄肉部３６ａが、ヘリア
ーク溶接などによって金属円筒容器部分３２の先端開口
部３２ａと真空気密接合されている。
ｅ）、またはコバール（商品名）やステンレス鋼のよう
な鉄合金、あるいは銅（Ｃｕ）または銅合金のような機
械的に高強度の材料で形成されている。そして、そのテ
ーパ状に外方に延長された外周薄肉部３６ａが、ヘリア
ーク溶接などによって金属円筒容器部分３２の先端開口
部３２ａと真空気密接合されている。
【００１７】Ｘ線透過窓板３７の内面すなわち真空領域
側の面には、図２の拡大図で示すように、タングステン
（Ｗ）からなる陽極ターゲット薄膜３９が成膜され、積
層して付着されている。このＸ線管の動作に際しては、
従来技術で述べたと同様、陰極３５から発生し電子銃３
４を経た電子ビームｅは、陽極ターゲット薄膜３９の位
置で焦点Ｓを結ぶ。そして、この焦点Ｓ位置で発生した
Ｘ線は、そのままＸ線透過窓３７を通して符号Ｘで示す
ように外部に放射され、Ｘ線撮影等に利用される。
側の面には、図２の拡大図で示すように、タングステン
（Ｗ）からなる陽極ターゲット薄膜３９が成膜され、積
層して付着されている。このＸ線管の動作に際しては、
従来技術で述べたと同様、陰極３５から発生し電子銃３
４を経た電子ビームｅは、陽極ターゲット薄膜３９の位
置で焦点Ｓを結ぶ。そして、この焦点Ｓ位置で発生した
Ｘ線は、そのままＸ線透過窓３７を通して符号Ｘで示す
ように外部に放射され、Ｘ線撮影等に利用される。
【００１８】また、Ｘ線透過窓板３７上に陽極ターゲッ
ト薄膜３９を形成する成膜プロセスは、まず、図３の
（ａ）に示すように、予め所定形状に加工した窓保持用
リング３６の開口部の段差３６ｂに、円板状のダイヤモ
ンドからなるＸ線透過窓板３７周辺３８のメタライズ部
分を接合する。次に、Ｘ線透過窓板３７を接合した窓保
持用リング３６を成膜装置内に配置し、ＣＶＤ法などに
よって、図３（ｂ）に示すように、ダイヤモンド製のＸ
線透過窓３７の内面にタングステン薄膜３９を成膜し付
着させる。
ト薄膜３９を形成する成膜プロセスは、まず、図３の
（ａ）に示すように、予め所定形状に加工した窓保持用
リング３６の開口部の段差３６ｂに、円板状のダイヤモ
ンドからなるＸ線透過窓板３７周辺３８のメタライズ部
分を接合する。次に、Ｘ線透過窓板３７を接合した窓保
持用リング３６を成膜装置内に配置し、ＣＶＤ法などに
よって、図３（ｂ）に示すように、ダイヤモンド製のＸ
線透過窓３７の内面にタングステン薄膜３９を成膜し付
着させる。
【００１９】その後、タングステン薄膜３９を成膜した
Ｘ線透過窓板３７を有する窓保持用リング３６を、図１
に示したように、金属円筒容器部分の先端開口部３２ａ
に嵌め、両者が合致した薄肉円筒端部をヘリアーク溶接
により真空気密に接合して真空容器とし、この真空容器
内に電子銃等を組み入れ、排気工程等を経てＸ線管を完
成させる。
Ｘ線透過窓板３７を有する窓保持用リング３６を、図１
に示したように、金属円筒容器部分の先端開口部３２ａ
に嵌め、両者が合致した薄肉円筒端部をヘリアーク溶接
により真空気密に接合して真空容器とし、この真空容器
内に電子銃等を組み入れ、排気工程等を経てＸ線管を完
成させる。
【００２０】次に、本発明の他の実施形態について図４
を参照して説明する。この実施形態では、タングステン
からなるターゲット薄膜３９を、ダイヤモンド製Ｘ線透
過窓３７の内面からさらに透過窓保持用リング３６の内
側テーパ面の途中まで延長して成膜している。この構造
の場合、ターゲット薄膜３９の延長部分を符号３９ａで
あらわしている。
を参照して説明する。この実施形態では、タングステン
からなるターゲット薄膜３９を、ダイヤモンド製Ｘ線透
過窓３７の内面からさらに透過窓保持用リング３６の内
側テーパ面の途中まで延長して成膜している。この構造
の場合、ターゲット薄膜３９の延長部分を符号３９ａで
あらわしている。
【００２１】この実施形態によれば、ターゲット薄膜３
９の成膜に際して、その成膜領域を規定するマスキング
を比較的ラフにしても差支えないという利点がある。
９の成膜に際して、その成膜領域を規定するマスキング
を比較的ラフにしても差支えないという利点がある。
【００２２】なお、上記の実施形態の場合、陽極ターゲ
ット薄膜の素材として、純タングステンを使用してい
る。しかし、これに限らず、たとえばレニウム（Ｒｅ）
を微量含むレニウム−タングステン合金や、モリブデン
（Ｍｏ）を微量含むモリブデン−タングステン合金、あ
るいはその他の元素を微量含むタングステン主体の合金
を使用することもできる。
ット薄膜の素材として、純タングステンを使用してい
る。しかし、これに限らず、たとえばレニウム（Ｒｅ）
を微量含むレニウム−タングステン合金や、モリブデン
（Ｍｏ）を微量含むモリブデン−タングステン合金、あ
るいはその他の元素を微量含むタングステン主体の合金
を使用することもできる。
【００２３】上記したように、本発明の構成によれば、
透過放射型Ｘ線管のＸ線透過窓板がダイヤモンドで形成
されている。ダイヤモンドは熱伝導率がベリリウムの１
０倍以上と高いため、ターゲット薄膜の熱がこれと接す
るＸ線透過窓板を通して効率的に外部に放出される。そ
のため、ターゲット薄膜の温度上昇が抑えられ、ターゲ
ット薄膜の蒸発が低減し、寿命の長い透過放射型Ｘ線管
が実現される。
透過放射型Ｘ線管のＸ線透過窓板がダイヤモンドで形成
されている。ダイヤモンドは熱伝導率がベリリウムの１
０倍以上と高いため、ターゲット薄膜の熱がこれと接す
るＸ線透過窓板を通して効率的に外部に放出される。そ
のため、ターゲット薄膜の温度上昇が抑えられ、ターゲ
ット薄膜の蒸発が低減し、寿命の長い透過放射型Ｘ線管
が実現される。
【００２４】
【発明の効果】この発明によれば、ターゲット薄膜の温
度上昇を抑え、ターゲット薄膜の蒸発が低減し、寿命の
長い透過放射型Ｘ線管およびその製造方法を実現でき
る。
度上昇を抑え、ターゲット薄膜の蒸発が低減し、寿命の
長い透過放射型Ｘ線管およびその製造方法を実現でき
る。
【図１】この発明の実施形態を示すＸ線管の縦断面図で
ある。
ある。
【図２】図１の要部を拡大して示す断面図である。
【図３】図１のＸ線放射窓板およびターゲット薄膜の組
立ておよび成膜プロセスを示す要部縦断面図である。
立ておよび成膜プロセスを示す要部縦断面図である。
【図４】この発明の他の実施形態を示すＸ線管の要部縦
断面図である。
断面図である。
【図５】Ｘ線拡大撮影装置を示す概略図である。
【図６】従来のＸ線管を示す縦断面図である。
３３…真空容器 ３４…電子銃 ３５…陰極構体 ３６…Ｘ線透過窓保持用リング ３７…Ｘ線透過窓板 ３９…陽極ターゲット薄膜
Claims (4)
- 【請求項１】 真空容器の一部に気密接合されたＸ線透
過窓板と、このＸ線透過窓板の真空側の面に接して設け
られたＸ線を発生するターゲット薄膜と、このターゲッ
ト薄膜に照射する電子ビームを発生する陰極構体とを具
備した透過放射型Ｘ線管において、前記Ｘ線透過窓板を
ダイヤモンドで形成したことを特徴とする透過放射型Ｘ
線管。 - 【請求項２】 真空容器の一部に気密接合されたＸ線透
過窓板と、このＸ線透過窓板の真空側の面に接して設け
られたＸ線を発生するターゲット薄膜と、このターゲッ
ト薄膜に照射する電子ビームを発生する陰極構体とを具
備し、前記ターゲット薄膜が発生するＸ線を前記Ｘ線透
過窓板を通して外部に放射する構造の透過放射型Ｘ線管
の製造方法において、前記Ｘ線透過窓板を形成するダイ
ヤモンドの面上に、前記ターゲット薄膜を成膜すること
を特徴とする透過放射型Ｘ線管の製造方法。 - 【請求項３】 真空容器の一部に気密接合されたＸ線透
過窓板と、このＸ線透過窓板の真空側の面に接して設け
られたＸ線を発生するターゲット薄膜と、このターゲッ
ト薄膜に照射する電子ビームを発生する陰極構体とを具
備し、前記ターゲット薄膜が発生するＸ線を前記Ｘ線透
過窓板を通して外部に放射する構造の透過放射型Ｘ線管
の製造方法において、前記Ｘ線透過窓板を形成するダイ
ヤモンドの周辺をメタライズする第１工程と、前記ダイ
ヤモンドのメタライズされた周辺部分を前記真空容器の
一部を構成するＸ線透過窓保持用リングに気密接合する
第２工程と、この第２工程の後、前記Ｘ線透過窓保持用
リングを真空容器の残りの部分に気密接合する第３工程
とからなる透過放射型Ｘ線管の製造方法。 - 【請求項４】 第２工程と第３工程との間に、Ｘ線透過
窓板を形成するダイヤモンドの面上にターゲット薄膜を
成膜する工程を有する請求項３記載の透過放射型Ｘ線管
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000229774A JP2002042705A (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | 透過放射型ｘ線管およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000229774A JP2002042705A (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | 透過放射型ｘ線管およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002042705A true JP2002042705A (ja) | 2002-02-08 |
Family
ID=18722834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000229774A Pending JP2002042705A (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | 透過放射型ｘ線管およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002042705A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005098893A1 (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-20 | Hitachi Medical Corporation | 透過型ｘ線管及びその製造方法 |
| JP2012256444A (ja) * | 2011-06-07 | 2012-12-27 | Canon Inc | Ｘ線放出ターゲットおよびｘ線放出装置 |
| JP2012256443A (ja) * | 2011-06-07 | 2012-12-27 | Canon Inc | Ｘ線放出ターゲットおよびｘ線放出装置 |
| GB2501357A (en) * | 2012-03-27 | 2013-10-23 | Rigaku Denki Co Ltd | X-Ray generator target |
| CN105702544A (zh) * | 2016-01-21 | 2016-06-22 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种金刚石射线靶、制备方法及应用 |
| WO2019049208A1 (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-14 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線発生装置用ターゲット、このｘ線発生装置用ターゲットを備えたｘ線発生装置、および、ｘ線発生装置用ターゲットの製造方法 |
| US10910191B2 (en) | 2017-04-28 | 2021-02-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube and X-ray generation device |
| US20220346212A1 (en) * | 2021-04-23 | 2022-10-27 | Carl Zeiss X-ray Microscopy, Inc. | Method and system for liquid cooling isolated X-ray transmission target |
| US11864300B2 (en) | 2021-04-23 | 2024-01-02 | Carl Zeiss X-ray Microscopy, Inc. | X-ray source with liquid cooled source coils |
| US11961694B2 (en) | 2021-04-23 | 2024-04-16 | Carl Zeiss X-ray Microscopy, Inc. | Fiber-optic communication for embedded electronics in x-ray generator |
-
2000
- 2000-07-28 JP JP2000229774A patent/JP2002042705A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005098893A1 (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-20 | Hitachi Medical Corporation | 透過型ｘ線管及びその製造方法 |
| JP2005302368A (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-27 | Hitachi Display Devices Ltd | 透過型ｘ線管及びその製造方法 |
| US7623629B2 (en) | 2004-04-07 | 2009-11-24 | Hitachi Medical Corporation | Transmission type X-ray tube and manufacturing method thereof |
| US7783011B2 (en) | 2004-04-07 | 2010-08-24 | Hitachi Medical Corporation | Transmission type X-ray tube and manufacturing method thereof |
| JP2012256444A (ja) * | 2011-06-07 | 2012-12-27 | Canon Inc | Ｘ線放出ターゲットおよびｘ線放出装置 |
| JP2012256443A (ja) * | 2011-06-07 | 2012-12-27 | Canon Inc | Ｘ線放出ターゲットおよびｘ線放出装置 |
| GB2501357A (en) * | 2012-03-27 | 2013-10-23 | Rigaku Denki Co Ltd | X-Ray generator target |
| US9020101B2 (en) | 2012-03-27 | 2015-04-28 | Rigaku Corporation | Target for X-ray generator, method of manufacturing the same and X-ray generator |
| GB2501357B (en) * | 2012-03-27 | 2018-07-25 | Rigaku Denki Co Ltd | Target for X-ray generator, method of manufacturing the same and X-ray generator |
| CN105702544A (zh) * | 2016-01-21 | 2016-06-22 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种金刚石射线靶、制备方法及应用 |
| US10910191B2 (en) | 2017-04-28 | 2021-02-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube and X-ray generation device |
| WO2019049208A1 (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-14 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線発生装置用ターゲット、このｘ線発生装置用ターゲットを備えたｘ線発生装置、および、ｘ線発生装置用ターゲットの製造方法 |
| US20220346212A1 (en) * | 2021-04-23 | 2022-10-27 | Carl Zeiss X-ray Microscopy, Inc. | Method and system for liquid cooling isolated X-ray transmission target |
| US11864300B2 (en) | 2021-04-23 | 2024-01-02 | Carl Zeiss X-ray Microscopy, Inc. | X-ray source with liquid cooled source coils |
| US11961694B2 (en) | 2021-04-23 | 2024-04-16 | Carl Zeiss X-ray Microscopy, Inc. | Fiber-optic communication for embedded electronics in x-ray generator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6487272B1 (en) | Penetrating type X-ray tube and manufacturing method thereof | |
| US9831060B2 (en) | X-ray generating apparatus and radiography system using the same | |
| JP5871528B2 (ja) | 透過型ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影装置 | |
| JP2013122906A (ja) | 放射線発生装置及び放射線撮影装置 | |
| US9401259B2 (en) | Radiation generating tube, and radiation generating apparatus and radiation imaging system using the same | |
| JP6619916B1 (ja) | Ｘ線発生管、ｘ線発生装置およびｘ線撮像装置 | |
| JP6316019B2 (ja) | Ｘ線発生管、該ｘ線発生管を備えたｘ線発生装置及びｘ線撮影システム | |
| JP2016103451A (ja) | Ｘ線発生管、ｘ線発生装置およびｘ線撮影システム | |
| JP2002042705A (ja) | 透過放射型ｘ線管およびその製造方法 | |
| JP4261691B2 (ja) | Ｘ線管 | |
| JP2013051165A (ja) | 透過型ｘ線発生装置 | |
| WO2006009053A1 (ja) | 固定陽極x線管とそれを用いたx線検査装置及びx線照射装置 | |
| JPWO2008062519A1 (ja) | Ｘ線発生装置 | |
| JP2002298772A (ja) | 透過放射型ｘ線管およびその製造方法 | |
| JP4150237B2 (ja) | Ｘ線管 | |
| JP6153314B2 (ja) | Ｘ線透過型ターゲット及びその製造方法 | |
| JP2005038825A (ja) | マイクロフォーカスｘ線管及びそれを用いたｘ線装置 | |
| JP2000082430A (ja) | Ｘ線発生用ターゲット及びこれを用いたｘ線管 | |
| RU2303828C2 (ru) | Рентгеновская трубка | |
| JP2005228696A (ja) | 固定陽極ｘ線管 | |
| JP2015076213A (ja) | 放射線管、放射線発生装置及び放射線撮影システム | |
| JP2015005337A (ja) | 放射線発生ターゲット及びこれを用いた放射線発生管、放射線発生装置、放射線撮影システム | |
| JP2015060731A (ja) | 放射線発生管及びこれを用いた放射線発生装置、放射線撮影システム | |
| JP2003151795A (ja) | 面焦点ｘ線管とポリキャピラリ−を用いた単色ｘ線撮影装置 | |
| JP2006125881A (ja) | Ｘ線発生器 |