WO2005098893A1

WO2005098893A1 - 透過型ｘ線管及びその製造方法

Info

Publication number: WO2005098893A1
Application number: PCT/JP2005/006279
Authority: WO
Inventors: Yuichi Ito; Toru Moriike; Seiji Hosoya; Yoshihiko Dan; Makoto Otsuka
Original assignee: Hitachi Medical Corporation
Priority date: 2004-04-07
Filing date: 2005-03-31
Publication date: 2005-10-20
Also published as: JP2005302368A; US20070211862A1; KR20070031883A; JP5128752B2; CN1938811A; US20100074410A1; CN1938811B; US20090161831A1; US7623629B2; KR101100553B1; US7783011B2

Description

透過型 X線管及びその製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、 X線管に係り、特に、透過型 X線管及びその製造方法に関するものである。

背景技術

[0002] X線管は医療用レントゲン装置、工業用計測装置等の X線源として用いられており、これら X線管は回転陽極 X線管、固定陽極 X線管に大別され、前記透過型 X線管は前記固定陽極 X線管の範疇若しくは独自の分類となる。

近時、 X線管は特許文献 1に開示されている様に静電気除電装置の X線源にもその用途が拡大されつつある。

特許文献 1は、帯電したフィルムや紙などを除電する静電気除電装置および静電気除電方法に関するもので、 X線を被除電物に照射して被除電物の両面を同時に除電するものである。

このようにフィルム、紙等の製造や加工、粉体や液体の充填、更には半導体や表示装置等の製造、検査工程等において静電気の除電は重要な課題となっている。特許文献 2には除電装置に用いる透過型 X線管が記載されて、る。

特許文献 2に記載の透過型 X線管は、力ソードピンが立設されたセラミック製ステム部と、下面にターゲット金属が蒸着された出射窓とをセラミック製バルブで支えて相互にロウ付けし、更に集束電極を前記セラミック製バルブの内周面に沿って配置すると共にこの集束電極の下端部をステム部とバルブで挟む構成である。

[0003] 特許文献 1：特開平 7-6859号公報

特許文献 2：特許平 9-180660号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] 特許文献 2に開示された透過型 X線管は、集束電極の配置構造に特徴を有し耐電圧の確保も可能な優れたものである。し力しながら、特許文献 2に記載の X線管は、セラミック製ステム部と下面にターゲット金属が蒸着された出射窓との間にセラミック製バルブを設けている。即ちセラミック部品を 2箇所に使用しているため、取り扱いに注意が必要である。また、従来の X線管は製造コストを安くすることが困難である。ステム側と出射窓側共にロウ付け作業を行う必要があるため、製造に時間がかかる。また特許文献 2の透過型 X線管はステム側と出射窓側の両側で使用するロウ材を異なる特性のものとする必要があり、作業工程が複雑である。そのため量産性が難しい。更に、出射窓側とセラミック製バルブとのロウ付け工程力タングステンコイル (陰極フィラメント)を力ソードピンに取り付ける工程よりも後になる。そのため、タングステンコイル及びタングステンコイルを固定した力ソードピンを高温に曝すことになり、タングステンコィルと力ソードピンの固定部が加熱される。結果としてタングステンコイルと力ソードピンの固定が緩むことがある。またフィラメントの特性及び寿命劣化の問題があって信頼性に欠ける恐れがある。

課題を解決するための手段

[0005] 上記課題は、絶縁材力なり陰極フィラメントを保持するステム基部と、閉止端に X 線放射窓を有するカップ状の放射窓枠体とを、一端側を前記ステム基部とロウ付けされた略筒状のシール部材の他端側を前記放射窓枠体の開放端側と溶接接合することで解決できる。

発明の効果

[0006] 請求項 1に係る発明によると、ステム基部に電極リードとシール部材及び排気管等を同時にロウ付けすることが可能である。各部材をロウ付け後に、シール部材と窓枠体とを溶接により気密接合することで管球製造中に陰極フィラメントを高温に曝すェ程が不要になる。また、陰極フィラメントと陰極リードとの固定部が高温にならないので、固定部が緩むことを防止できる。さらに陰極フィラメントの所望の特性及び長寿命化を確保出来、高品位で長寿命、かつ廉価な透過型 X線管を実現可能とした。

[0007] 請求項 2に係る発明によると、ステム基部がカップ状を呈することからシール部材とのロウ付けが容易となると共にシール部材の高さを低く出来るので完成球の機械的強度の向上が図れる。

[0008] 請求項 3に係る発明によると、シールドによりステム基部とシール部材との接合部を電極リードから遮蔽できる。例えば、ステム基部のメタライズ層が管球動作中に蒸発しても、電極リード等の電極部分への付着を阻止でき、耐電圧特性の低下を抑制できる。

[0009] 請求項 4に係る発明によると、ステム基部の表面の絶縁性が優れる。耐電圧が向上する。銀ロウをつけるときの耐熱性が優れる。又整形も容易で、量産性にも優れている。

[0010] 請求項 5に係る発明によると、電極リードの固定が強固になり陰極フィラメントと放射窓間の間隔を高精度に保持でき、管球の特性変動を防止して焦点サイズの変動や X 線出力の変動の少ない高品位で長寿命の透過型 X線管を実現可能とした。

[0011] 請求項 6に係る発明によると、電極リードの陰極フィラメントとの固定側の材料は、ステム基部との固定を考慮することなく自由に選択でき、材料選択の自由度が大きくなると共に固定の信頼性の確保がより一層確実となって陰極フィラメントと放射窓間の間隔が所望の値に確保でき特性向上が図れる。

又、電極リードのステム基部側の材料は、陰極フィラメント固定への影響を考慮することなぐステム基部側との固定に最適な材質を選定することが可能となり、作業性の向上が図れる

[0012] 請求項 7に係る発明によると、陰極フィラメントと電極リードとの接合するときの、陰極フィラメントの脚部の変形、電子放出部の変形、電子放出部の変位の発生を防止できる。また、陰極フィラメントと放射窓間の間隔を高精度に保持でき、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型 X線管を実現できる。

[0013] 請求項 8に係る発明によると、ロウ付けと溶接接合とを有効に組み合わせることで陰極フィラメントと電極リードとの接合部を高温に曝す工程も無く、従って陰極フィラメントの所望の特性及び長寿命を確保でき、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型 X線管を実現可能とした。

[0014] 請求項 9に係る発明によると、溶接作業が容易であると共に、溶接部分の変形や破断の発生が無ぐ気密接合の信頼性を確保できる。

[0015] 請求項 10に係る発明によると、筐体内の加熱と排気との組み合わせで陰極フィラメント電流を小電流とすることが出来、陰極フィラメントの所望の特性及び長寿命を確保でき、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型 X線管を実現可能とした。

[0016] 請求項 11に係る発明によると、ステム基部に電極リードとシール部材及び排気管等を同時にロウ付けすることが可能である。各部材をロウ付け後に、シール部材と窓枠体とを溶接により気密接合することで管球製造中に陰極フィラメントを高温に曝すェ程が不要になる。また、陰極フィラメントと陰極リードとの固定部が高温にならないので、固定部が緩むことを防止できる。さらに陰極フィラメントの所望の特性及び長寿命化を確保出来、高品位で長寿命、かつ廉価な透過型 X線管を実現可能とした。

発明を実施するための最良の形態

[0017] 本発明の透過型 X線管は排気された外囲容器の中に電子を放出する陰極フィラメントを備えている。 X線管の外囲容器は、絶縁性のステム基部と、前面に X線を出射するための窓を持つ枠体と、ステム基部と枠体とを繋ぐシール部材と、排気管とを備える。

ステム基部は、電極リードを貫通させるための複数の貫通孔と、排気管につながる排気孔とを持つ。

ステム基部を貫通した電極リードは、 X線管内で X線出射窓に対向させて陰極フイラメントを保持する。また電極リードは、 X線管外で前記陰極フィラメントに電流を供給するための端子に接続している。

枠体と X線出射窓とはロウ材で固着し、ステム基部とシール部材とはロウ材で固着し、シール部材と枠体とは溶接により被溶接部材を溶かして固着して!/ヽる。

以下、本発明の実施の形態につき実施例を用いて詳細に説明する。

実施例 1

[0018] 図 1乃至図 3は本発明の透過型 X線管の実施例 1を説明する図である。なお、図 1(a) は上面図、図 1(b)は正面図、図 1(c)は下面図、図 2は図 1(a)の I-I線断面図、図 3は図 2 の一部拡大図である。

[0019] 図 1乃至図 3において、 1はセラミックスのような絶縁体力なるカップ状のステム基部、 2は排気管、 3は端子、 4は電極リード、 5は略筒状のシール部材、 6は略筒状のシールド、 7は電子放出源となる陰極を備えたフィラメント (以下、陰極フィラメントという)、 8 はカップ状の窓枠体、 9は放射窓、 12はステム基部の開放端、 13はメタライズ層、 41はリード線の一端部、 42はリード線の他の一端部、 51はシール部材の一端部、 52はシ一ル部材の他の一端部、 71は陰極フィラメントの脚部、 72は陰極フィラメントの電子放出部、 81は窓枠体の閉止端、 82は窓枠体の閉止端に設けた貫通部、 83は窓枠体の開放端、 111はステム基部に設けた排気孔、 112はステム基部に設けた一方のリード孔、 113はステム基部に設けた他の一方のリード孔、 131はロウ材である。

ステム基部 1はその閉止端面 11に排気孔 111とリード孔 112及び 113からなる複数の貫通孔を備えている。

排気管 2は例えば銅管力構成され、ステム基部 1の閉止端面 11の底面 114のメタラィズ層 13にその一端側 21を前記排気孔 111と略同軸で気密にロウ付けし、他端側を気密封止している。

端子 3は前記ステム基部 1の閉止端面 11の底面 114のメタライズ層 13に前記リード孔 112, 113とそれぞれ略同軸でロウ付けしている。

電極リード 4はその一端側 41を前記ステム基部 1の閉止端面 11の前記リード孔 112, 113にそれぞれ挿通して前記端子 3とロウ付けされている。

シール部材 5は導電材 (例えば、コバール材， Fe, Fe-Ni合金等)力も構成され、その一端側 51を図 3に拡大して示すように前記ステム基部 1の開放端 12のメタライズ層 13 に気密にロウ材 131でロウ付けしている。セラミック製のステム基部 1の端部にメタライズ層 13を形成したことで、ステム基部 1とシール部材 5とのロウ付けの信頼性が向上する。

シールド 6はシール部材 5の内側に略同軸で固定され、前記シール部材 5の一端側 51と前記ステム基部 1の開放端 12のメタライズ層 13とのロウ付け部分付近と前記電極リード 4とを遮蔽している。

陰極フィラメント 7はその両脚部 71を前記電極リード 4の他端側 42とそれぞれ固定している。例えば、この固定は前記他端側 42の先端部に凹部を設け、この凹部に脚部 71を配置して、力しめにより固定してある。あるいは電極リード 7と陰極フィラメントの足部を溶接で固定しても良い。

窓枠体 8は導電材で形成されており、例えば銅で形成されている。この放射窓枠体 8はその閉止端 81に貫通部 82を窓枠体 8と略同軸で備えており、この貫通部 82を塞ぐように X線透過の放射窓 9を気密ロウ付けして備えている。この放射窓 9は例えばベリリウム板或はベリリウム板にタングステン等を蒸着した構成等が用いられ、この放射窓 9に前記陰極フィラメント 7から放出された電子が高電圧、例えば 9キロボルト程度の高電圧により加速されて衝突し X線を発生させる。一方、放射窓枠体 8の開放端 83は前記シール部材 5の他端側 52と気密に溶接接合して!/、る。この溶接接合は窓枠体 8が熔けてシール部材 5に全周にわたって固着している。この溶接接合はアーク溶接が好ましいが、それに限定されるものではない。

この溶接接合に際し、前記放射窓 9と前記フィラメント 7の電子放出部 72の間隔は所定の寸法に正確に設定されており、又両者はそれぞれの中心を管軸と略一致させている。

この構成で、ステム基部 1、排気管 2、シールド部材 5、窓枠体 8、放射窓 9、リード孔 112, 113を塞ぐ電極リード 4及び端子 3等で気密外囲器を構成している。

この実施例 1の構成であれば、シールド部材からステム基部に至る複数の構成部品を同時にロウ付け出来る。又放射窓と窓枠体は前記ステム基部側とは別にロウ付け形成できる。本発明の透過型 X線管はロウ付け後に陰極フィラメントを電極リードに固定できる。陰極フィラメントを電極リードに固定した後、窓枠体 8とシール部材 5を気密に溶接できる。従って本発明は、陰極フィラメントを固定した後にロウ付け工程が無いので、陰極フィラメントを高温に曝すことも無ぐ陰極フィラメントの所望の特性の確保と長寿命化が可能となり、管球の特性変動を防止して焦点サイズの変動や X線出力の変動の少ない高品位で長寿命の透過型 X線管を提供できる。

又、セラミックス力もなるカップ状のステム基部と、導電材カもなるシールド部材及び窓枠体を組み合わせて用いることで機械的強度に優れ、量産性が高ぐしかも廉価な透過型 X線管を提供できる。

更に、ステム基部とシールド部材との接合部をシールドによって電極リード等力も遮蔽した。例え接合部のメタライズ層が管球動作中に蒸発しても、電極リードを含めて高電位差の電極部分への付着を阻止でき、結果として、透過型 X線管の耐電圧特性が向上する。実施例 2

[0021] 図 4は本発明の透過型 X線管の実施例 2を説明するための断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。

図 4において、ステム基部 10は平板力も構成されている。ステム基部 10は、その上面 101と底面 102にそれぞれメタライズ層 13を備えており、上面 101にシール部材 15の導電材カもなる第 1の筒体 151を気密ロウ付けしている。このシール部材 15は前述した図 3のシール部材 5にセラミック筒体 152と前記第 1の筒体 151を付加した構成で、セラミック筒体 152とシール部材 5及び第 1の筒体 151とはそれぞれ気密にロウ付けされている。又、前記シール部材 15の窓枠体 8側の端部 52は窓枠体 8の開放端 83と気密に溶接接合している。

[0022] 実施例 2の構成であれば、ステム基部の構成が単純で量産性が高ぐしかも廉価に入手出来、更にステム基部 10、第 1の筒体 151、セラミック筒体 152及びシール部材 5 のロウ付けは、他の電極リード 4、排気管 2等のロウ付けと同時に可能であり、従って陰極フィラメントを高温に曝すことも無ぐ陰極フィラメントの所望の特性の確保と長寿命化が可能となり、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型 X線管を提供できる。

実施例 3

[0023] 図 5は本発明の透過型 X線管の更に実施例 3を説明するための断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。

図 5において、ステム基部 20は平板力も構成されている。ステム基部 20は、その上面 201側の外側面 202及び底面 203にメタライズ層 13を形成しており、外側面 202にシ一ル部材組立 25のカップ 251を気密にロウ付けして!/、る。このシール部材組立 25は第 2のセラミック筒体 252を挟んで両側に対称的に前記カップ 251を配置し、それぞれ気密にロウ付けした。前記窓枠体 8側に配置されたカップ 251はその端部 253を窓枠体 8 の開放端 83と気密に溶接接合して!/、る。

[0024] 実施例 3の構成であれば、ステム基部の構成が単純で量産性が高ぐしかも廉価に入手出来る。ステム基部 20の外側面 202とシール部材 25とを面接合したことで気密接合の信頼性を高めることが出来る。更にステム基部 20、 2個のカップ 251及び第 2のセラミック筒体 252のロウ付けは、他の電極リード 4、排気管 2等のロウ付けと同時に可能である。本発明の透過型 X線管はロウ付け後に陰極フィラメントを電極リードに固定できる。陰極フィラメントを電極リードに固定した後、窓枠体 8とカップ 251を気密に溶接できる。従って、陰極フィラメントを固定した後にロウ付け工程が無いので、陰極フイラメントを高温に曝すことも無ぐ陰極フィラメントの所望の特性の確保と長寿命化が可能となり、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型 X線管を提供できる実施例 4

[0025] 図 6は本発明の透過型 X線管の更に実施例 4を説明するための断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。

図 6において、この実施例のシール部材 35は、前述した図 5のシール部材 25に 2個のシールド 354を付カ卩した構成である。

すなわち、シール部材 35は 2個のカップ 251と第 2のセラミック筒体 252とのそれぞれのロウ付け部分と電極リード 4とを遮蔽する位置に、それぞれシールド 354を配置した構成である。

その他の構成は実施例 3と同一である。

[0026] 実施例 4の構成であれば、第 2のセラミック筒体とカップとの接合部をシールド 354によって電極リード等力遮蔽できる。例え接合部のメタライズ層が管球動作中に蒸発しても、電極リードへの付着を阻止でき、結果として、透過型 X線管の耐電圧特性が向上する。

実施例 5

[0027] 図 7は本発明の透過型 X線管の実施例 5を説明するための断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。

この実施例では電極リード 14を異なる材料カゝらなる導線を繋ぎ合わせた。すなわち、陰極フィラメント 7と接続する支持リード 141は溶接に適した例えばモリブデン線を用い、一方ステム基部 1及び端子 3とロウ付けする外部リード 142はロウ付けに適した例えば Fe-29質量％Ni-17質量％Co合金 (商品名：コバール (Kovar))製の線をそれぞれ用いた構成として、る。 [0028] 実施例 5の構成であれば、電極リードと陰極フィラメントとが確実に固定でき、陰極フイラメントと放射窓間の間隔が所望の値に確保できる。

又、ステム基部と電極リードのロウ付けも陰極フィラメント固定に何等影響を与えることなく材質選定が可能であるため作業性が向上する。

実施例 6

[0029] 次に、本発明による透過型 X線管の製造方法を実施例 6として説明する。図 13は透過型 X線管の製造工程の流れ図である。

[0030] 図 8は本発明の透過型 X線管の製造方法の実施例を説明するためのステム基部側の組立体の構造を示す断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある本発明の製造方法において、マウント組立工程ではステム基部 1、排気管 2、端子 3 、電極リード 4及びシールド 6を有するシール部材 5等の部品を図 8のように組み合わせて治具にセットする。この時、各ロウ付け部にはロウ材が揷入される力このロウ材は例えば溶融温度 750〜900°C程度のものを用いことが出来る。例えば、ロウ材として、銀ロウ、銀銅ロウ等がある。又、ステム基部は底面 114と開放端 12にそれぞれメタラィズ層 13を備えており、更に電極リード 4は他端側 42の先端に陰極フィラメント 7の脚部 71を固定する例えば凹部 421を形成している。

このように治具にセットされた組立体を炉内に搬入し、銀銅ロウを用いた構成では 850°C迄加熱昇温して各部のロウ付けを一度に実行して組み立てる。

[0031] 一方、窓枠体 8側は、図 9に示すように窓枠体 8の閉止端 81側の貫通部 82に放射窓 9を前述したと同一材料力もなるロウ材を挿んで配置し、これらを治具にセットし前述と同様に加熱してロウ付けし組み立てる。

このロウ付け作業は必要であれば前述した図 8のロウ付けと同一炉で同時に行うことも可能である。

又、ロウ材は原価、作業性等を考慮して前述の図 8とは異なるものを用いることも可能であるが、統一することで作業管理は容易となる。

[0032] 次に、陰極フィラメント 7の取り付け固定を行う。

図 10はこの取り付け固定を説明する図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。

図 10に示すように、ロウ付け組み立てられた電極リード 4の他端側 42の先端の凹部 421に、陰極フィラメント 7の脚部 71をその先端が前記凹部 421の底面に当接する迄挿入して位置決めし、凹部 421を外側力も強圧して力しめた後、溶接固定する方法等により取り付け固定し、マウント組立 16を形成する。前記取り付け固定には色々な手法が可能である。

[0033] 次に、陰極フィラメント 7の取り付け固定の完了したマウント組立 16と、放射窓 9を備えた窓枠組立とを、図 11に示すように同軸に組み立てる。線 Π-Πは透過型 X線管の管軸である。陰極フィラメント 7と放射窓 9との間隔が所定の値に確保された状態で、放射窓枠体 8の開放端 83とシールド部材 5の他端側 52とがアーク溶接のような溶接手段で気密に溶接される。未封止の透過型 X線管 (以下、未封止管という) 17を形成する。なお、図 11はマウント組立 16と窓枠組立との組立てにより形成された未封止管 17を説明する図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。

[0034] 次に、未封止管 17の管内の排気を行う。この排気は、図 12に示す排気装置 18を使用して行う。図 12は本発明の透過型 X線管の製造方法に用いる排気装置の一例の概略を示す模式正面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。この排気装置 18は、載置台 181、カバー 182、排気系 183、加熱用ヒータ 184及び排気筒 185等からなり、未封止管 17の排気管 2を排気系 183にセットする。未封止管 17は複数本を同時にセットすることが作業効率上望ましい。

排気作業は、未封止管 17のそれぞれにフィラメント電流を流し、かつ加熱用ヒータ 184で加熱しながら図示しない排気ポンプを駆動させて排気系 183から排気筒 185を介して矢印 19方向に排気を行う。

又、前記加熱温度は未封止管 17の構成部材等を考慮して決定すれば良ぐ例えば 400°C程度以上が望ましい。この加熱手段は前述の他に種々の手法が可能である

[0035] 排気により管内真空度が所定の例えば 133 X 10— ⁶Paに達した後、排気管 2を図示しな!、ローラで挟み、ローラを加圧回転させて排気管 2を潰して気密封止する。

この気密封止後、前記気密封止部より排気系 183側寄りの排気管 2を切断し排気系 183より管球を取り外し、図 1に示すような透過型 X線管を製造する。

ここで、封止管内に蒸発性ゲッタを備えた構造では、前記気密封止後ゲッタフラッシュを行うことで更に高真空とすることが出来る。

封止管内に非蒸発性ゲッタを配置した場合は、排気工程中にゲッタの活性化が可能である。よって、非蒸発性ゲッタを使用した場合は、ゲッタフラッシュ工程を省略できる。また、非蒸発ゲッタは、ゲッタ材が陰極フィラメント等への付着がないので、電子放出の低下を抑制できる。

[0036] この実施例 6によれば、マウント組立と窓枠組立との組み立てを溶接接合により行うため、陰極フィラメントを高温に曝すこと無く組み込むことが出来、陰極フィラメントの所望の特性の確保と長寿命化が可能となり、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命、かつ廉価な透過型 X線管を提供できる。また、陰極フィラメントとリード線との固定部が高温にさらされないので、固定部の加熱による緩みを抑制できる。

又、排気工程では封止球を外部から加熱し、フィラメント電流を流しながら排気を行うため、排気効率の向上が図れると共に高真空度が得られ、高品位で長寿命、かつ廉価な透過型 X線管を提供できる。

図面の簡単な説明

[0037] [図 1]本発明の透過型 X線管の一実施例を示し、図 1(a)は上面図、図 1(b)は正面図、図 1(c)は下面図である。

[図 2]図 1(a)の I-I線に沿った断面正面図である。

[図 3]図 2の一部拡大図である。

[図 4]本発明の透過型 X線管の他の実施例を示す図 2に対応する断面図である。

[図 5]本発明の透過型 X線管の更に他の実施例を示す図 2に対応する断面図である

[図 6]本発明の透過型 X線管の更に他の実施例を示す図 2に対応する断面図である

[図 7]本発明の透過型 X線管の更に他の実施例を示す図 2に対応する断面図である

[図 8]本発明の透過型 X線管の製造方法を説明するためのステム基部側組立体の断面図である。

[図 9]本発明の透過型 X線管の製造方法を説明するための放射窓枠体側組立体の断面図である。

[図 10]本発明の透過型 X線管の製造方法を説明するためのマウント組立体の断面図である。

[図 11]本発明の透過型 X線管の製造方法を説明するための封止球の断面図である。

[図 12]本発明の透過型 X線管の製造方法に用いる排気装置の一例を示す模式正面図である。

[図 13]本発明の透過型 X線管の製造方法のプロセスフロー図である。

符号の説明

1, 10, 20 ステム基部、

2 排気管、

3 端子、

4, 14 電極リード、

5, 15, 25, 35 シール部材、

6 シールド、

7 陰極フィラメント、

71 脚部、

8 放射窓枠体、

9 放射窓、

111, 112, 113 貫通孔、

16 マウント糸且立、

17 未封止管、

18 排気装置

Claims

請求の範囲

[1] 複数の貫通孔を有し絶縁材カなるステム基部と、一端側をこのステム基部に固定し他端側をステム基部上面から離隔するように延在する複数の電極リードと、この電極リードの前記他端側に固定された陰極フィラメントと、この陰極フィラメントに対向し、かつ閉止端に貫通部を備えたカップ状の放射窓枠体と、このカップ状の放射窓枠体の前記貫通部を気密封止した X線透過の放射窓と、前記カップ状の放射窓枠体の開放端に一端側を気密に溶接接合し他端側を前記ステム基部と気密接合した略筒状のシール部材と、一端側を前記ステム基部の底面に気密接合し他端側を前記底面力離隔する方向に延在し管内を真空排気した後気密封止してなる排気管を備えたことを特徴とする透過型 X線管。

[2] 前記ステム基部は閉止端を持つカップ状で、前記閉止端に前記複数の貫通孔を備えたことを特徴とする請求項 1に記載の透過型 X線管。

[3] 前記シール部材は前記ステム基部との気密接合部と前記電極リード間にシールドを備えたことを特徴とする請求項 1又は 2に記載の透過型 X線管。

[4] 前記ステム基部はセラミックス力もなることを特徴とする請求項 1乃至 3の何れかに記載の透過型 X線管。

[5] 前記電極リードは前記一端側を前記ステム基部の貫通孔を貫通してステム基部と固定していることを特徴とする請求項 1乃至 4の何れかに記載の透過型 X線管。

[6] 前記電極リードは材質の異なる複数の金属線の結合体からなることを特徴とする請求項 1乃至 5の何れかに記載の透過型 X線管。

[7] 前記陰極フィラメントはその脚部を前記電極リードで挟持して、ることを特徴とする請求項 1乃至 6の何れかに記載の透過型 X線管。

[8] 複数の貫通孔を有し絶縁材カなるステム基部と、一端側をこのステム基部に固定し他端側をステム基部上面から離隔するように延在する複数の電極リードと、この電極リードの前記他端側に固定された陰極フィラメントと、この陰極フィラメントに対向し、かつ閉止端に貫通部を備えたカップ状の放射窓枠体と、このカップ状の放射窓枠体の前記貫通部を気密封止した X線透過の放射窓と、前記カップ状の放射窓枠体の開放端に一端側を気密に溶接接合し他端側を前記ステム基部と気密接合した略筒状のシール部材と、一端側を前記ステム基部の底面に気密接合し他端側を前記底面力離隔する方向に延在し管内を真空排気した後気密封止してなる排気管を備えた透過型 X線管の製造において、前記ステム基部と前記電極リード、前記排気管及び前記シールド部材をそれぞれ気密ロウ付けする工程と、前記電極リードの前記他端側に前記陰極フィラメントを固着する工程と、この陰極フィラメントに前記放射窓を対向させて前記放射窓枠体の前記開放端を前記シール部材の前記一端側と気密に溶接接合して封止球を形成する工程と、前記排気管を介して前記封止球内を排気した後前記排気管を封止する工程を含むことを特徴とする透過型 X線管の製造方法。

[9] 前記放射窓枠体と前記シール部材の溶接接合はアーク溶接によることを特徴とする前記請求項 8に記載の透過型 X線管の製造方法。

[10] 前記封止球内の排気は、筐体内に配置された排気系に前記排気管を係合させ、前記封止球を加熱すると共に、前記陰極フィラメントを通電して前記排気系から排気することを特徴とする前記請求項 8又は 9に記載の透過型 X線管の製造方法。

[11] 排気された外囲容器の中に電子を放出する陰極フィラメントを備えた透過型 X線管であって、

前記外囲容器は、絶縁性のステム基部と、前面に X線放射窓を備える枠体と、前記ステム基部と前記枠体とを繋ぐシール部材と、排気管とを含み、

前記ステム基部は、電極リードを貫通させるための貫通孔と、前記排気管につながる排気孔とを有し、

前記ステム基部を貫通した電極リードは、 X線管内で前記 X線放射窓に対向させて前記陰極フィラメントを保持し、 X線管外で前記陰極フィラメントに電流を供給するための端子に接続し、

前記枠体と前記 X線放射窓とはロウ材で固定され、前記ステム基部と前記シール部材とはロウ材で固定され、前記シール部材と前記枠体とは溶接により固定されて、ることを特徴とする透過型 X線管。