KR102201117B1 - 엑스레이 튜브 및 이의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 엑스레이 튜브는 전자방출부를 구비하는 음극부; 상기 음극부의 전자방출부와 대향되도록 타겟을 구비하는 양극부; 및 상기 음극부의 전자방출부 및 양극부의 타겟을 포함하며 내부공동을 형성하는 하우징; 을 포함하는 엑스레이 튜브이고, 상기 음극부는 상기 내부공동과 상기 엑스레이 튜브 외부를 연통하는 통기부가 형성된 캐소드를 포함한다.

Description

엑스레이 튜브 및 이의 제조방법{X-RAY TUBE AND METHOD FOR PREPARING THE SAME}

본 발명은 엑스레이 튜브 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

엑스레이는 전자의 충돌에 의해 방출되는 강한 복사선으로 투과성이 우수하기 때문에 신체나 물체의 내부를 관찰하기 위한 영상기기로 널리 사용되고 있다.

엑스레이 발생 장치는 엑스선 소스를 제공하는 음극, 음극에서 제공된 전자를 여기시키는 게이트 및 게이트에 의해 여기된 전자를 양극으로 집중하여 가속하는 포커스와, 가속된 전자가 부딪혀 엑스선을 발생시키는 양극을 포함한다.

일반적으로 엑스레이 발생 장치를 제조하는 공정은 600℃ 이상의 온도에서 브레이징 공정을 통해 음극, 하우징 및 양극을 결합하는데, 이 과정에서 전자방출부가 고온에 의해 손상을 받아 엑스레이 발생 장치의 효율, 수명 및 내구성이 저하되는 문제가 있다.

그리고, 엑스레이 발생 장치는 정밀한 장치로써 구성 간의 결합이 잘 못되는 경우 분리 및 재결합을 위해서는 고온에 또다시 노출되기 때문에, 리워크성도 현저히 떨어지는 단점이 있다.

또한, 엑스레이 발생 장치가 소형화 되어감에 따라, 전극간의 간격이 짧아져 아크(arc) 현상이 발생하는 단점도 있으며, 엑스레이 발생 장치 제조 공정이 다소 복잡한 점에서 생산성이 낮다.

이에 전자방출부의 손상을 최소화하여 엑스레이 발생 장치의 효율, 수명 및 내구성이 우수하고, 리워크성, 생산성 및 경제성이 우수하며, 아크 현상을 방지할 수 있는 엑스레이 발생 장치가 필요한 실정이다.

본 발명의 목적은 전자방출부의 손상을 최소화하여 엑스레이 발생 장치의 효율, 수명 및 내구성이 우수한 엑스레이 튜브 및 이의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른 목적은 리워크성, 생산성 및 경제성이 우수하며, 아크 현상을 방지할 수 있는 엑스레이 튜브 및 이의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

본 발명의 하나의 관점은 엑스레이 튜브에 관한 것이다.

일 구체예에 따르면, 본 발명에 따른 엑스레이 튜브는 전자방출부를 구비하는 음극부; 상기 음극부의 전자방출부와 대향되도록 타겟을 구비하는 양극부; 및 상기 음극부의 전자방출부 및 양극부의 타겟을 포함하며 내부공동을 형성하는 하우징;을 포함하는 엑스레이 튜브이고, 상기 음극부는 상기 내부공동과 상기 엑스레이 튜브 외부를 연통하는 통기부가 형성된 캐소드를 포함한다.

상기 음극부와 하우징, 및 상기 양극부와 하우징은 300℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 방법으로 결합될 수 있다.

상기 통기부는 상기 내부공동 방향으로 돌출 형성되고, 돌출되는 방향과 수직 방향으로 개구된 통기부기공을 하나 이상 포함할 수 있다.

상기 엑스레이 튜브는 상기 통기부를 통해 내부공동의 공기를 배기한 후 절단 밀봉되는 배기관을 더 포함할 수 있다.

상기 캐소드는 상기 캐소드 하부로 개구된 게이트 전극 비아홀; 상기 전자방출부 상부에 상기 양극부 방향으로 하나 이상의 홀이 형성된 게이트; 및 상기 게이트 전극 비아홀을 통해 상기 게이트와 전기적으로 연결되는 게이트 전극부;를 포함할 수 있다.

상기 음극부는 상기 캐소드의 통기부와 상기 전자방출부 사이에 형성되는 판 형상의 플레이트를 더 포함하고, 상기 플레이트는 상기 내부공동의 공기가 상기 통기부와 연통되도록 하나 이상의 플레이트 기공을 포함할 수 있다.

상기 음극부는 상기 전자방출부로부터 방출되는 전자의 경로를 안내하는 포커스부를 더 포함하고, 상기 포커스부는 상기 게이트의 상부에 결합 고정될 수 있다.

상기 플레이트는 상기 전자방출부, 게이트 및 포커스부를 고정하도록 볼트체결하는 볼트체결구를 하나 이상 포함할 수 있다.

상기 캐소드는 하부로 개구된 케터전극 비아홀을 더 포함하고, 상기 음극부는 상기 게터전극 비아홀을 통해 전기적으로 연결되는 게터를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 관점은 엑스레이 튜브 제조방법에 관한 것이다.

일 구체예에 따르면 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 제조방법은 내부공동과 연통되는 통기부가 형성된 캐소드 상에 플레이트 기공을 포함하는 플레이트, 전자방출부, 게이트 전극 및 포커스부를 결합하여 음극부를 제조하는 단계; 미리 준비된 타겟을 구비하는 양극부와 하우징을 300℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 하는 단계; 상기 음극부와 상기 하우징을 300℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 하는 단계; 및 상기 음극부의 통기부와 연통되는 배기관을 250℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 하는 단계;를 포함할 수 있다.

본 발명은 전자방출부의 손상을 최소화하여 엑스레이 발생 장치의 효율, 수명 및 내구성이 우수할 뿐만 아니라 리워크성, 생산성 및 경제성이 우수하며, 아크 현상을 방지할 수 있는 엑스레이 튜브 및 이의 제조방법을 제공하는 효과를 갖는다.

도 1은 본 발명의 일 구체예에 따른 엑스레이 튜브의 단면도를 간단히 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 구체예에 따른 엑스레이 튜브의 구성을 간단히 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 구체예에 따른 엑스레이 튜브 구성의 결합 관계를 간단히 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 일 구체예에 따른 음극부의 구성을 간단히 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 일 구체예에 따른 음극부 구성의 결합관계를 간단히 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 일 구체예에 따른 엑스레이 튜브에서 진공을 형성하는 공기의 흐름을 간단히 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 일 구체예에 따른 양극부를 간단히 도시한 것이다.
도 8은 본 발명의 일 구쳉예에 따른 엑스레이 튜브 제조방법을 간단히 도시한 것이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 출원의 구체예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 본 출원에 개시된 기술은 여기서 설명되는 구체예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.

단지, 여기서 소개되는 구체예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 출원의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면에서 각 장치의 구성요소를 명확하게 표현하기 위하여 상기 구성요소의 폭이나 두께 등의 크기를 다소 확대하여 나타내었다. 또한 설명의 편의를 위하여 구성요소의 일부만을 도시하기도 하였으나, 당업자라면 구성요소의 나머지 부분에 대하여도 용이하게 파악할 수 있을 것이다.

전체적으로 도면 설명 시 관찰자 시점에서 설명하였고, 일 요소가 다른 요소 상부에 또는 하부에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 이는 상기 일 요소가 다른 요소 상부에 또는 하부에 바로 위치하거나 또는 그들 요소들 사이에 추가적인 요소가 개재될 수 있다는 의미를 모두 포함한다. 그리고, 상부, 하부, 위 및 아래 등의 표현은 도면을 기준으로 한 것일 수 있으며, 이는 경우에 따라 당업자가 용이하게 판단할 수 있는 용어로 사용될 수 있다. 또한 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 출원의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원의 사상을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다. 그리고, 복수의 도면들 상에서 동일 부호는 실질적으로 서로 동일한 요소를 지칭한다.

한편, 본 출원에서 서술되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, '포함하다' 또는 '가지다'등의 용어는 기술되는 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들의 조합한 것에 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들의 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 본 명세서에 있어서, 범위를 나타내는 'X 내지 Y'는 'X 이상 Y 이하'를 의미한다.

엑스레이 튜브

도 1 내지 도 3을 참고하여 본 발명의 일 구체예에 따른 엑스레이 튜브를 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 구체예에 따른 엑스레이 튜브의 단면도를 간단히 도시한 것이고, 도 2는 본 발명의 일 구체예에 따른 엑스레이 튜브의 구성을 간단히 도시한 것이며, 도 3은 본 발명의 일 구체예에 따른 엑스레이 튜브 구성의 결합 관계를 간단히 도시한 것이다.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 구체예에 따른 엑스레이 튜브는 전자방출부를 구비하는 음극부(100); 상기 음극부(100)의 전자방출부와 대향되도록 타겟을 구비하는 양극부(300); 및 상기 음극부(100)의 전자방출부 및 양극부의 타겟을 포함하며 내부공동을 형성하는 하우징(500);을 포함한다.

이하 각 구성들에 대해 자세히 설명한다.

도 4 내지 도 5를 참고하여 상기 음극부(100)를 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 구체예에 따른 음극부의 구성을 간단히 도시한 것이고, 도 5는 본 발명의 일 구체예에 따른 음극부 구성의 결합관계를 간단히 도시한 것이다.

도 4 내지 도 5를 참고하면, 상기 음극부(100)는 내부공동과 상기 엑스레이 튜브 외부를 연통하는 통기부(111)가 형성된 캐소드(110)를 포함한다.

본 발명의 엑스레이 튜브는 상기 통기부(111)를 구비함으로써, 진공 분위기에서 엑스레이 튜브를 제조하는 불편함을 해소하였으며, 이로써 엑스레이 튜브의 구성들을 보다 정밀하게 결합 및 제조 가능하여 공정성이 우수한 장점이 있다.

특히, 본 발명의 엑스레이 튜브는 캐소드(110)에 통기부(111)가 구비됨으로써 진공 형성을 공정 마지막에 수행할 수 있고, 이는 제조 공정이 간단하여 생산성이 우수할 뿐만 아니라 정밀한 제조가 가능하다. 구체적으로, 각 구성을 대기압에서 결합한 음극부, 양극부를 준비하고, 이들을 하우징과 결합하는 공정 역시 대기압에서 가능하여 보다 정밀하고 빠른 결합이 가능하다. 이들의 결합 후 통기부(111)를 통해 (펌프 사용) 진공을 형성하고 밀봉함으로써 최종적으로 엑스레이 튜브가 제조될 수 있다. 도 6은 본 발명 엑스레이 튜브의 진공 형성 시 공기 흐름을 간단히 도시한 것이다.

구체예에서, 통기부(111)는 상기 내부공동 방향으로 돌출 형성되고, 돌출되는 방향과 수직 방향으로 개구된 통기부기공(113)을 하나 이상 포함할 수 있다. 이 경우 통기부(111)로의 공기 흐름이 원활할 수 있다. 상기 통기부(111)는 다른 구성과의 결합을 안정적으로 하기 위해 상부가 평면으로 형성될 수 있다.

상기 음극부(100)는 캐소드(110) 상부(내부공동 안쪽으로)에 전자방출부(130)을 구비할 수 있다. 상기 전자방출부(130)는 표면에 엑스레이 소스를 포함한다. 구체적으로 상기 엑스레이 소스는 탄소나노튜브(CNT)일 수 있고, 이 경우 저전력으로도 전자를 방출할 수 있고, 짧은 동작주기로 입력전력의 90%까지 방출할 수 있어서 전계제어 및 전계 집중효과가 매우 우수하다. 상기 캐소드(110)에는 그라운드 접압이 인가될 수 있다.

상기 캐소드(110)는 상기 캐소드(110) 하부로 개구된 게이트 전극 비아홀(115); 상기 전자방출부(130) 상부에 상기 양극부(300) 방향으로 하나 이상의 홀(145)이 형성된 게이트(140); 및 상기 게이트 전극 비아홀(115)을 통해 상기 게이트(140)와 전기적으로 연결되는 게이트 전극부(170);를 포함할 수 있다.

상기 게이트(140)는 전자방출부(130)의 엑스레이 소스(135)의 전자가 여기시키는 역할을 하며, 게이트 전압을 인가하는 게이트 전극부(170)는 캐소드(110)의 하부로 개구된 게이트 전극 비아홀(115)을 통해 피드쓰루(feedthrough) 방식으로 게이트(140)와 전기적으로 연결될 수 있다.

상기 게이트 전극부(170)는 캐소드(110)와 절연하는 캐소드 절연부(171) 및 플레이트(120)와 볼트(195) 체결 가능한 플레이트 체결구(173)을 포함할 수 있다. 상기 게이트 전극부(170)에 인가되는 게이트 전압은 상기 플레이트 체결구(173) 및 볼트(195)를 통해 게이트(140)에 전기적으로 연결될 수 있다.

본 발명의 엑스레이 튜브는 게이트 전극부(170)가 캐소드(110) 하부에서 피드쓰루 방식으로 게이트(140)와 전기적으로 연결되어, 하우징(500)은 다른 구성 또는 구조 없이 단재료로 이루어질 수 있다. 이는 엑스레이 튜브의 내구성을 개선시킬 수 있으며, 저온솔더링으로 충분한 강도 및 내구성일 가질 수 있고, 공정이 단순하여 공정성 및 생산성 개선의 효과가 있다.

또한, 본 발명 엑스레이 튜브의 이러한 구조는 각 구성 간의 결합을 저온솔더링으로 수행할 수 있는 장점이 있고, 예를 들어 상기 음극부(100)와 하우징(500), 및 상기 양극부(300)와 하우징(500)은 300℃ 이하, 구체적으로 280℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 결합될 수 있다. 저온솔더링으로 엑스레이 튜브의 구성들을 결합하는 경우 엑스레이 소스(135)의 손상을 최소화할 수 있으며, 필요한 경우 다시 녹이고 재결합하더라도 엑스레이 소스(135)의 손상이 적으므로, 리워크성이 우수한 장점이 있다. 상기 저온솔더링 시 용가재는 특별히 제한되지 않으며, 상기 솔더링 온도를 만족하는 것이면 사용할 수 있다. 구체적으로 상기 용가재는 무연 용가재를 적용할 수 있다.

상기 음극부(100)는 상기 전자방출부(130)로부터 방출되는 전자의 경로를 안내하는 포커스부(150)를 더 포함하고, 상기 포커스부(150)는 상기 게이트(140)의 상부에 결합 고정될 수 있다. 상기 게이트(140)와 포커스부(150)는 고정을 위해 끼움 결합으로 형성 될 수 있다. 상기 포커스부(150)는 게이트 전극부(170)의 플레이트 체결구(173) 및 볼트(195)에 의해 게이트 전압이 인가될 수 있다.

상기 음극부(100)는 상기 캐소드(110)의 통기부(111)와 상기 전자방출부(130) 사이에 형성되는 판 형상의 플레이트(120)를 더 포함하고, 상기 플레이트(120)는 상기 내부공동의 공기가 상기 통기부(111)와 연통되도록 하나 이상의 플레이트 기공(121)을 포함할 수 있다.

상기 플레이트(120)는 통기부(111)로의 공기흐름을 원활하게 하면서도, 전자방출부(130), 게이트(140) 및 포커스부(150)를 고정하도록 볼트(195) 체결하는 볼트체결구(123a, 123b)를 하나 이상 포함할 수 있다. 상기 볼트체결구(123a)는 볼트(195)에 의해 플레이트(120), 게이트(140) 및 포커스부(150)를 단단히 고정시킬 수 있고, 상기 볼트체결구(123b)는 볼트(195)에 의해 플레이트 체결구(173), 플레이트(120), 게이트(140) 및 포커스부(150)를 단단히 고정시킬 수 있다.

구체예에서, 상기 전자방출부(130), 플레이트(120) 및 캐소드(110)는 볼트(196) 체결되어 단단히 고정될 수 있다.

상기 엑스레이 튜브는 상기 통기부(111)를 통해 하우징 내 내부공동의 공기를 배기한 후 절단 밀봉되는 배기관(190)을 더 포함할 수 있다. 상기 배기관(190)은 통기부(111)와 진공 펌프를 연결하여 통기부(111)를 통해 엑스레이 튜브 내부공동의 공기를 배기하여 진공을 형성할 수 있다. 펌프에 의해 진공이 형성되면 상기 배기관(190)은 절단 밀봉되어 엑스레이 튜브의 고진공을 유지할 수 있다.

상기 배기관(190)은 음극부, 하우징 및 양극부의 저온솔더링 후 마지막으로 통기부(111)에 저온솔더링으로 결합될 수 있다. 이 때, 배기관(190)은 음극부와 하우징의 솔더링 온도보다 낮은 250℃ 이하, 구체적으로 230℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 결합될 수 있다. 이 경우, 미리 수행한 저온솔더링에 영향 없이 결합이 가능하다. 상기 저온솔더링 시 용가재는 특별히 제한되지 않으며, 상기 솔더링 온도를 만족하는 것이면 사용할 수 있다. 구체적으로 상기 용가재는 무연 용가재를 적용할 수 있다.

상기 캐소드(110)는 하부로 개구된 게터전극 비아홀(117)을 더 포함하고, 상기 음극부(100)는 상기 게터전극 비아홀(117)을 통해 게터 전극부(180)와 전기적으로 연결되는 게터(160)를 더 포함할 수 있다. 상기 게터(160)는 진공 후 내부공동의 불순물을 제거하는 역할을 할 수 있으며, 본 발명의 엑스레이 튜브 구조는 진공 형성을 마지막에 수행하므로, 상기 게터(160)의 에이징 공정을 수행한 후 진공 형성 및 밀봉하거나, 진공 형성 중에 에이징을 수행할 수 있어, 게터(160)의 효율을 개선시킬 수 있다. 상기 게터(160)는 세라믹을 적용할 수 있다. 상기 게터 전극부(180)는 상기 캐소드(110)와 절연되도록 게터전극 절연부(181)을 포함할 수 있다.

도 7을 참고하면, 본 발명의 양극부(300)는 음극부(100)의 전자방출부(130)와 대향되도록 타겟(135)을 구비하는 애노드(310)를 포함할 수 있으며, 상기 타겟(135)는 엑스레이 방출 방향을 고려하여 특정 각도로 경사질 수 있다. 상기 타겟(135)은 엑스레이를 방출 시킬 수 있는 것이면 제한 없이 사용될 수 있고, 예를 들어 텅스텐(W)을 적용할 수 있다.

상기 하우징(500)은 엑스레이 튜브의 내부공동을 형성하면서, 외부와 차단하는 역할을 하며, 본 발명의 엑스레이 튜브는 게이트 전극부(170)가 캐소드(110) 하부로부터 형성되므로, 별도의 구조가 필요하지 않고 단일의 구조로 형성이 가능하여 엑스레이 튜브의 내구성을 개선시키며, 이로써 저온솔더링이 가능한 장점이 있다. 상기 하우징(500)은 세라믹을 적용할 수 있다.

엑스레이 튜브 제조방법

이하, 본 발명의 다른 관점인 엑스레이 튜브 제조방법을 설명한다.

일 구체예에 따르면 본 발명에 따른 엑스레이 튜브 제조방법은 내부공동과 연통되는 통기부가 형성된 캐소드 상에 플레이트 기공을 포함하는 플레이트, 전자방출부, 게이트 전극 및 포커스부를 결합하여 음극부를 제조하는 단계; 미리 준비된 타겟을 구비하는 양극부와 하우징을 300℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 하는 단계; 상기 음극부와 상기 하우징을 300℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 하는 단계; 및 상기 음극부의 통기부와 연통되는 배기관을 250℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 하는 단계;를 포함할 수 있다.

상기 음극부 제조 단계는 양극부와 하우징의 솔더링 단계 뒤에 수행될 수도 있다.

상기 음극부를 제조하는 단계는 본 발명의 엑스레이 튜브의 구조를 형성하는 것이면, 각 구성 간의 결합 순서 및 공정은 변경될 수 있다.

이상 본 발명의 구체예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 구체예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 구체예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.

100: 음극부 110: 캐소드
111: 통기부 113: 통기부 기공
115: 게이트 전극 비아홀 117: 게터전극 비아홀
120: 플레이트 121: 플레이트 기공
123a, 123b: 볼트체결구 130: 전자방출부
135: 엑스레이 소스 140: 게이트
145: 개구부 150: 포커스부
160: 게터 170: 게이트 전극부
171: 캐소드 절연부 173: 플레이트 체결구
180: 게터 전극부 181: 게터전극 절연부
190: 배기관 300: 양극부
310: 애노드 330: 타겟
500: 하우징

Claims (6)

1. 전자방출부를 구비하는 음극부;
   상기 음극부의 전자방출부와 대향되도록 타겟을 구비하는 양극부; 및
   상기 음극부의 전자방출부 및 양극부의 타겟을 포함하며 내부공동을 형성하는 하우징;
   을 포함하는 엑스레이 튜브이고,
   상기 음극부는,
   상기 내부공동과 상기 엑스레이 튜브 외부를 연통하는 통기부가 상부에 형성된 캐소드;
   상기 통기부 상에 형성되고 볼트체결구를 구비하는 판 형상의 플레이트;
   상기 플레이트 상에 구비되는 상기 전자방출부;
   상기 전자방출부의 위치 고정을 위해 상기 전자방출부를 감싸는 형태로 상기 플레이트 상에 구비되는 게이트;
   상기 게이트 상에 상기 게이트와 끼움 고정되도록 형성되는 포커스부;
   를 포함하고,
   상기 통기부는 상기 내부공동 방향으로 돌출 형성되고, 돌출되는 방향과 수직 방향으로 개구된 통기부기공을 하나 이상 포함하며,
   상기 플레이트는 상기 포커스부와 볼트 체결되고, 상기 캐소드는 상기 플레이트를 관통하여 상기 전자방출부와 볼트 체결되는 엑스레이 튜브.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 음극부와 하우징, 및 상기 양극부와 하우징은 300℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 결합되는 엑스레이 튜브.
   
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 엑스레이 튜브는 상기 통기부를 통해 내부공동의 공기를 배기한 후 절단 밀봉되는 배기관을 더 포함하는 엑스레이 튜브.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 캐소드는,
   상기 캐소드 하부로 개구된 게이트 전극 비아홀;
   상기 전자방출부 상부에 상기 양극부 방향으로 하나 이상의 홀이 형성된 게이트; 및
   상기 게이트 전극 비아홀을 통해 상기 게이트와 전기적으로 연결되는 게이트 전극부;
   를 포함하는 엑스레이 튜브.
   
6. 내부공동과 연통되는 통기부가 형성된 캐소드 상에 플레이트 기공을 포함하는 플레이트, 전자방출부, 게이트 전극 및 포커스부를 결합하여 음극부를 제조하는 단계;
   미리 준비된 타겟을 구비하는 양극부와 하우징을 300℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 하는 단계;
   상기 음극부와 상기 하우징을 300℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 하는 단계; 및
   상기 음극부의 통기부와 연통되는 배기관을 250℃ 이하의 온도에서 저온솔더링 하는 단계;
   를 포함하는 제1항의 엑스레이 튜브 제조방법.
   
   

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