JP2006121054A - Pecvdサセプタ支持構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の支持プレート29は、少なくとも1つのアクチュエータ218に結合された複数の支持シャフト233、234により支持される。サセプタ214の水平断面プロフィールを選択的に調整して均等且つ均一な処理を促進するように設計される。水平プロフィールは、平坦、凹状又は凸状の1つでよく、処理の前、処理中又は処理の後に調整を行う。
【選択図】図2A
Description
[0001]本発明の実施形態は、一般に、電子産業における基板処理システムに関する。より詳細には、本発明は、フラットパネルディスプレイの製造において大面積基板を支持するためのシステム及び方法に関する。
[0002]フラットパネルディスプレイは、通常、絶縁体、導体及び薄膜トランジスタ(TFT)のような電子デバイスの活性マトリクスを使用して、テレビジョンモニタ及びコンピュータスクリーンのような種々の装置に使用されるフラットパネルスクリーンを形成する。一般に、これらのフラットパネルディスプレイは、大面積の基板上に製造され、これら基板は、電子デバイスをその上に形成できるガラス、ポリマー材料、又は他の適当な材料で作られた2枚の薄いプレートで構成できる。液晶材料の層又は金属性コンタクトのマトリクス、半導体活性層、及び誘電体層が、順次ステップを通して堆積されて、2枚の薄いプレート間にサンドイッチされる。これらプレートの少なくとも一方は導電性の膜を含み、この膜は電源に結合され、この電源が結晶材料の配向を変化させると共に、スクリーン面にパターン化された表示を作成する。
Claims (43)
- 堆積チャンバー内にサセプタを支持するように適応された複数の支持プレートを備え、上記複数の支持プレートの少なくとも4つが、上記堆積チャンバーの外部に延びる少なくとも2つの支持シャフトに結合するように適応されるサセプタ支持装置。
- 上記複数の支持プレートの各々はセラミック材料で構成される、請求項1に記載の装置。
- 上記サセプタは長方形であって、大面積基板を支持するように適応される、請求項1に記載の装置。
- 上記複数の支持プレートの少なくとも1つは円形の形状を有する、請求項2に記載の装置。
- 上記複数の支持プレートの少なくとも1つは長方形の形状を有する、請求項2に記載の装置。
- 上記複数の支持プレートの少なくとも4つのうちの少なくとも2つは、上記少なくとも2つの支持シャフトに結合され、それらの間に分岐プレートを伴うように適応される、請求項1に記載の装置。
- 堆積チャンバー内に大面積基板を支持するための装置において、
上記大面積基板を支持するように適応されたサセプタと、
上記サセプタの下に位置された複数のサセプタ支持プレートと、
上記複数の支持プレートの下に位置された1つ以上のアクチュエータに結合される複数の支持シャフトと、
を備え、上記複数の支持プレートの下に位置された上記複数の支持シャフトの少なくとも2つが上記堆積チャンバーの外部に延びるようにされた装置。 - 上記複数の支持シャフトが1つのアクチュエータに結合され、上記装置は、更に、上記複数の支持プレートと上記アクチュエータとの間で上記複数の支持シャフトに結合された支持トラスを備えた、請求項7に記載の装置。
- 上記複数の支持シャフトが少なくとも2つのアクチュエータに結合される、請求項7に記載の装置。
- 上記複数の支持シャフトが少なくとも2つのアクチュエータに結合され、上記装置は、更に、上記複数の支持プレートと上記複数の支持シャフトの少なくとも1つとの間に位置された少なくとも1つの分岐プレートを備えた、請求項7に記載の装置。
- 上記複数の支持プレートは、長方形の形状、円形の形状又はその組合せを含む、請求項7に記載の装置。
- 上記サセプタの中央領域を支持するように適応されたアクチュエータに結合された中央プレートを更に備えた、請求項7に記載の装置。
- 上記サセプタはアルミニウム材料で作られ、上記複数のサセプタ支持プレートによって支持されたときに平坦な水平プロフィールで配向される、請求項7に記載の装置。
- 大面積基板の平面性を調整するための装置において、
頂部、底部及び側壁を有するチャンバーと、
上記チャンバー内に配置されて、上記大面積基板を支持するように適応されたサセプタと、
上記チャンバーの外部に延びる少なくとも2つの支持シャフトであって、上記サセプタを支持するように適応された少なくとも2つの支持シャフトと、
を備えた装置。 - 上記少なくとも2つの支持シャフトは1つ以上の垂直アクチュエータと連通する、請求項14に記載の装置。
- 上記少なくとも2つの支持シャフトに結合された複数の支持プレートを更に備えた、請求項14に記載の装置。
- 上記チャンバーは、真空ソース、ガス源及び高周波電源に結合される、請求項14に記載の装置。
- 上記少なくとも2つの支持シャフトは垂直方向に移動するように適応され、その垂直移動は共通に制御される、請求項14に記載の装置。
- 上記少なくとも2つの支持シャフトは垂直方向に移動するように適応され、その垂直移動は個々に制御される、請求項14に記載の装置。
- 上記サセプタはアルミニウム材料で作られ、上記複数のサセプタ支持プレートにより支持されたときに平坦な水平プロフィールで配向される、請求項14に記載の装置。
- 堆積チャンバー内に大面積サセプタを支持するための装置において、
上記堆積チャンバーの外部に置かれた少なくとも1つの支持トラスと、
上記少なくとも1つの支持トラスに結合されて、上記サセプタを支持するように適応された複数の支持シャフトと、
を備えた装置。 - 上記少なくとも1つの支持トラスに結合された少なくとも1つのアクチュエータを更に備えた、請求項21に記載の装置。
- 上記複数の支持シャフトに結合された複数の支持プレートを更に備えた、請求項21に記載の装置。
- 上記チャンバーの外部に位置され、上記サセプタの周囲を支持するように適応される複数のシャフトに結合された第1の支持トラスと、
上記チャンバーの外部に位置され、上記サセプタの中央領域を支持するように適応される少なくとも1つの支持シャフトに結合された第2の支持トラスと、
を備えた請求項21に記載の装置。 - プラズマエンハンスト化学気相堆積(PECVD)システム内で基板の平面性を調整するための装置において、
チャンバーと、
上記チャンバー内に配置されるサセプタと、
上記チャンバーの外部に延びる少なくとも2つの支持シャフトと、
1つ以上の垂直アクチュエータと、
を備え、各支持シャフトは、上記1つ以上の垂直アクチュエータ及び上記サセプタと連通するようにされた装置。 - 上記サセプタは、各支持シャフトと連通する1つ以上の支持プレートを備えた、請求項25に記載の装置。
- 上記1つ以上の支持プレートの各々はセラミック材料で構成される、請求項26に記載の装置。
- 上記少なくとも2つの支持シャフトは支持トラスに配置される、請求項25に記載の装置。
- 上記垂直アクチュエータは移動ブロックを備え、上記少なくとも2つの支持シャフトは上記移動ブロックに配置される、請求項25に記載の装置。
- 各支持シャフトは、それに対応する垂直アクチュエータと直接連通する、請求項25に記載の装置。
- 上記1つ以上の垂直アクチュエータは、電気、液圧、空気圧、又はその組合せのグループから選択されたモーターで構成される、請求項25に記載の装置。
- 上記少なくとも2つの支持シャフトは冷却ブロックにより冷却される、請求項25に記載の装置。
- 上記少なくとも2つの支持シャフトは上記チャンバー外部のシールにより取り巻かれる、請求項25に記載の装置。
- 上記シールは冷却ブロックを含む、請求項33に記載の装置。
- 上記複数の支持シャフトは共通に制御される、請求項25に記載の装置。
- 上記複数の支持シャフトは個々に制御される、請求項25に記載の装置。
- 上記支持シャフトは上記サセプタに接触する少なくとも1つのスペーサを含む、請求項25に記載の装置。
- 堆積チャンバー内にサセプタを支持するための方法において、
上記サセプタの中央領域を少なくとも1つの支持シャフトで支持するステップと、
上記サセプタの周囲を複数の支持シャフトで支持するステップと、
を備え、上記少なくとも1つの支持シャフト及び上記複数の支持シャフトが上記チャンバーの外部に延びて、少なくとも1つの垂直アクチュエータに結合されるようにする方法。 - 上記少なくとも1つの支持シャフト及び上記複数の支持シャフトの少なくとも幾つかに支持部材を結合する、請求項38に記載の方法。
- 上記少なくとも1つの支持シャフトに結合された第1の垂直アクチュエータ、及び上記複数の支持シャフトに結合された少なくとも第2の垂直アクチュエータを設けるステップと、
上記第1及び少なくとも第2の垂直アクチュエータの選択的作動により上記サセプタの水平プロフィールを調整するステップと、
を更に備えた請求項38に記載の方法。 - 上記第1の垂直アクチュエータ及び上記少なくとも第2の垂直アクチュエータは独立して制御される、請求項40に記載の方法。
- 上記少なくとも1つの支持シャフト及び上記複数の支持シャフトの少なくとも幾つかに支持部材を結合する、請求項40に記載の方法。
- 上記所望の水平プロフィールは平坦である、請求項40に記載の方法。
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