JPH09262734A - ウェハ保持装置 - Google Patents
ウェハ保持装置Info
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- JPH09262734A JPH09262734A JP7290496A JP7290496A JPH09262734A JP H09262734 A JPH09262734 A JP H09262734A JP 7290496 A JP7290496 A JP 7290496A JP 7290496 A JP7290496 A JP 7290496A JP H09262734 A JPH09262734 A JP H09262734A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ウェハ保持装置に熱サイクルが加わってもセラ
ミック製保持部材１１と導入パイプ１２との接合部が剥
がれることを防止し、長期間にわたって良好に使用す
る。 【解決手段】ウェハの載置面１１ａに開口する導入孔１
１ｂを備えたセラミック製保持部材１１の裏面１１ｃ側
に、上記導入孔１１ｂに連結する金属製の導入パイプ１
２を、環状金属板１３を介して接合する。
ミック製保持部材１１と導入パイプ１２との接合部が剥
がれることを防止し、長期間にわたって良好に使用す
る。 【解決手段】ウェハの載置面１１ａに開口する導入孔１
１ｂを備えたセラミック製保持部材１１の裏面１１ｃ側
に、上記導入孔１１ｂに連結する金属製の導入パイプ１
２を、環状金属板１３を介して接合する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶の製
造装置において、半導体ウェハや液晶用ガラス等のウェ
ハを保持・搬送するために使用する静電チャックやサセ
プター等のウェハ保持装置に関する。
造装置において、半導体ウェハや液晶用ガラス等のウェ
ハを保持・搬送するために使用する静電チャックやサセ
プター等のウェハ保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程で、半導体ウェハに成膜
を施すＣＶＤ装置やそのウェハに微細加工処理を施すド
ライエッチング装置において、半導体ウェハの保持部材
としてサセプターが用いられていた。
を施すＣＶＤ装置やそのウェハに微細加工処理を施すド
ライエッチング装置において、半導体ウェハの保持部材
としてサセプターが用いられていた。
【０００３】例えば図４に示すように、円板状の保持部
材１１（サセプター）の表面に、ウェハ２０を載置し、
その周囲をクランプリング２１で押さえつけて保持する
ようになっていた。また、この保持部材１１には裏面側
より導入パイプ１２を接合して、ウェハ２０との接合面
にＨｅガスなどを供給し、熱伝導性を向上させることが
行われていた。また、この導入パイプ１２より光ファイ
バを用いた測温素子を挿入し、温度を測定することも行
われていた。なお、この保持部材１１はステンレス等の
金属からなり、金属製の導入パイプ１２との間は溶接等
で接合されていた。
材１１（サセプター）の表面に、ウェハ２０を載置し、
その周囲をクランプリング２１で押さえつけて保持する
ようになっていた。また、この保持部材１１には裏面側
より導入パイプ１２を接合して、ウェハ２０との接合面
にＨｅガスなどを供給し、熱伝導性を向上させることが
行われていた。また、この導入パイプ１２より光ファイ
バを用いた測温素子を挿入し、温度を測定することも行
われていた。なお、この保持部材１１はステンレス等の
金属からなり、金属製の導入パイプ１２との間は溶接等
で接合されていた。
【０００４】しかし、保持部材１１が金属製であると金
属元素がウェハ２０を汚染することから、近年では保持
部材１１としてアルミナや窒化アルミニウム等を主成分
とするセラミックス製のサセプターが用いられている
（特開平６−１５１３３２号公報等参照）。また、クラ
ンプリング２１で保持すると、ウェハ２０の周辺部が無
駄になったり、保持力が不均一になるために、セラミッ
ク製の静電チャックを用いて、ウェエハ２０を吸着固定
することも行われている（特開昭６２−２６４６３８号
公報等参照）。
属元素がウェハ２０を汚染することから、近年では保持
部材１１としてアルミナや窒化アルミニウム等を主成分
とするセラミックス製のサセプターが用いられている
（特開平６−１５１３３２号公報等参照）。また、クラ
ンプリング２１で保持すると、ウェハ２０の周辺部が無
駄になったり、保持力が不均一になるために、セラミッ
ク製の静電チャックを用いて、ウェエハ２０を吸着固定
することも行われている（特開昭６２−２６４６３８号
公報等参照）。
【０００５】ところで、上記のように保持部材１１をセ
ラミックスで形成する場合の金属製導入パイプ１２との
接合方法は、図５に示すようにセラミック製保持部材１
１の導入孔１１ｂの内面にメタライズ層を形成しておい
て、幅０．５ｍｍ程度のフランジ１２ａを備えた導入パ
イプ１２を挿入し、両者の間にロウ材１４を充填してロ
ウ付けすることにより接合している。
ラミックスで形成する場合の金属製導入パイプ１２との
接合方法は、図５に示すようにセラミック製保持部材１
１の導入孔１１ｂの内面にメタライズ層を形成しておい
て、幅０．５ｍｍ程度のフランジ１２ａを備えた導入パ
イプ１２を挿入し、両者の間にロウ材１４を充填してロ
ウ付けすることにより接合している。
【０００６】このとき、セラミック製の保持部材１１と
金属製の導入パイプ１２との間に熱膨張差があるため、
導入パイプ１２をモリブデンやコバール等のセラミック
スに近い熱膨張率を有する金属で形成し、その厚みを
０．５ｍｍ程度と薄くしておくことによって、上記熱膨
張差に基づく応力の発生を小さくすることが行われてい
る。
金属製の導入パイプ１２との間に熱膨張差があるため、
導入パイプ１２をモリブデンやコバール等のセラミック
スに近い熱膨張率を有する金属で形成し、その厚みを
０．５ｍｍ程度と薄くしておくことによって、上記熱膨
張差に基づく応力の発生を小さくすることが行われてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図５のよう
な接合構造としても、使用時に熱サイクルが加わると、
セラミック製保持部材１１と金属製導入パイプ１２との
熱膨張差により、両者の接合部が剥がれてしまうという
問題があった。これは、導入パイプ１２が、主にその外
周面によって保持部材１１と接合しているために、冷却
時に導入パイプ１２側が大きく収縮してロウ材１４が剥
がれやすくなるためである。
な接合構造としても、使用時に熱サイクルが加わると、
セラミック製保持部材１１と金属製導入パイプ１２との
熱膨張差により、両者の接合部が剥がれてしまうという
問題があった。これは、導入パイプ１２が、主にその外
周面によって保持部材１１と接合しているために、冷却
時に導入パイプ１２側が大きく収縮してロウ材１４が剥
がれやすくなるためである。
【０００８】そのため、数サイクルの使用で上記接合部
が剥がれ、導入するガスがリークしてしまい、使用不能
となってしまうという不都合があった。
が剥がれ、導入するガスがリークしてしまい、使用不能
となってしまうという不都合があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、表側の
ウェハ載置面に開口する導入孔を備えたセラミック製保
持部材の裏面側に、上記導入孔に連通する金属製の導入
パイプを、環状金属板を介して接合し、ウェハ保持装置
を構成した。
ウェハ載置面に開口する導入孔を備えたセラミック製保
持部材の裏面側に、上記導入孔に連通する金属製の導入
パイプを、環状金属板を介して接合し、ウェハ保持装置
を構成した。
【００１０】即ち、環状金属板を介在することによっ
て、導入パイプと環状金属板の間はいずれも金属である
から強固に接合することができ、また環状金属板とセラ
ミック製保持部材との間は平面同士の接合となるため剥
がれにくくなり、また環状金属板が変形することによっ
て熱膨張差による応力を緩和するとともに、この接合部
の面積を充分に広くしておけばガスリークを防止するこ
とができる。
て、導入パイプと環状金属板の間はいずれも金属である
から強固に接合することができ、また環状金属板とセラ
ミック製保持部材との間は平面同士の接合となるため剥
がれにくくなり、また環状金属板が変形することによっ
て熱膨張差による応力を緩和するとともに、この接合部
の面積を充分に広くしておけばガスリークを防止するこ
とができる。
【００１１】また、本発明によれば、上記環状金属板の
厚みを１ｍｍ以下とし、かつ環状金属板とセラミック製
保持部材との接合部の幅を１ｍｍ以上とすることによっ
て、両者の熱膨張差による応力を緩和し、リークを防止
できる。
厚みを１ｍｍ以下とし、かつ環状金属板とセラミック製
保持部材との接合部の幅を１ｍｍ以上とすることによっ
て、両者の熱膨張差による応力を緩和し、リークを防止
できる。
【００１２】さらに、本発明によれば、上記環状金属板
のセラミック製保持部材と反対側の面に、セラミック製
の変形防止リングを接合したことによって、環状金属板
の変形や剥がれを防止することができる。
のセラミック製保持部材と反対側の面に、セラミック製
の変形防止リングを接合したことによって、環状金属板
の変形や剥がれを防止することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下本発明のウェハ保持装置の実
施形態をサセプターを例にとって図によって説明する。
施形態をサセプターを例にとって図によって説明する。
【００１４】図１に示すように、ウェハ保持部材１１は
セラミックスからなる円板状体であり、表側に備えたウ
ェハ（不図示）を載置する平坦な載置面１１ａと、該載
置面１１ａと裏面１１ｃとを連通する導入孔１１ｂを有
している。この導入孔１１ｂには裏面１１ｃ側より導入
パイプ１２を挿入し、環状金属板１３を介して接合して
ある。
セラミックスからなる円板状体であり、表側に備えたウ
ェハ（不図示）を載置する平坦な載置面１１ａと、該載
置面１１ａと裏面１１ｃとを連通する導入孔１１ｂを有
している。この導入孔１１ｂには裏面１１ｃ側より導入
パイプ１２を挿入し、環状金属板１３を介して接合して
ある。
【００１５】上記保持部材１１の載置面１１ａにウェハ
を載置し、導入パイプ１２よりＨｅ等のガスを導入すれ
ば、ウェハと載置面１１ａ間にガスを介在させ、熱伝達
性を向上させることができる。なお、図示していない
が、載置面１１ａに溝を形成して、ガスの供給効率を高
めることもできる。
を載置し、導入パイプ１２よりＨｅ等のガスを導入すれ
ば、ウェハと載置面１１ａ間にガスを介在させ、熱伝達
性を向上させることができる。なお、図示していない
が、載置面１１ａに溝を形成して、ガスの供給効率を高
めることもできる。
【００１６】さらに、上記環状金属板１３には、熱電対
取付端子１６をロウ付けや溶接で容易に接合することが
でき、この部分に熱電対を取り付ければ温度を測定する
ことができる。
取付端子１６をロウ付けや溶接で容易に接合することが
でき、この部分に熱電対を取り付ければ温度を測定する
ことができる。
【００１７】また、保持部材１１と導入パイプ１２との
具体的な接合構造は、セラミック製保持部材１１の裏面
１１ｃにメタライズ層を形成しておいて、ロウ材１４に
より環状金属板１３をロウ付けし、この環状金属板１３
と導入パイプ１２のフランジ１２ａとの間をロウ材１５
でロウ付けするか又は溶接によって接合してある。
具体的な接合構造は、セラミック製保持部材１１の裏面
１１ｃにメタライズ層を形成しておいて、ロウ材１４に
より環状金属板１３をロウ付けし、この環状金属板１３
と導入パイプ１２のフランジ１２ａとの間をロウ材１５
でロウ付けするか又は溶接によって接合してある。
【００１８】このとき、導入パイプ１２と環状金属板１
３は、共に金属材であるから、ロウ付けや溶接によって
強固に接合することができ、使用時に熱サイクルが加わ
っても剥がれることはない。あるいは、導入パイプ１２
と環状金属板１３を一体的に形成しておくこともでき
る。
３は、共に金属材であるから、ロウ付けや溶接によって
強固に接合することができ、使用時に熱サイクルが加わ
っても剥がれることはない。あるいは、導入パイプ１２
と環状金属板１３を一体的に形成しておくこともでき
る。
【００１９】また、環状金属板１３と保持部材１１は平
面同士の接続であるから、熱膨張差が生じても接合面と
平行方向に応力が加わるため剥がれにくくなる。しかも
環状金属板１３が変形することによって上記熱膨張差に
よる応力を緩和することができ、さらに広い範囲でロウ
材１４を充填できるため、使用時に熱サイクルが加わっ
てもガスのリークを防止することができる。
面同士の接続であるから、熱膨張差が生じても接合面と
平行方向に応力が加わるため剥がれにくくなる。しかも
環状金属板１３が変形することによって上記熱膨張差に
よる応力を緩和することができ、さらに広い範囲でロウ
材１４を充填できるため、使用時に熱サイクルが加わっ
てもガスのリークを防止することができる。
【００２０】ここで、環状金属板１３は、中央貫通孔を
有する円板状体であるが、ガスのリークを防止するため
には、その厚みｔを１ｍｍ以下とし、かつ接合部の幅ｄ
を１ｍｍ以上とすることが重要である。
有する円板状体であるが、ガスのリークを防止するため
には、その厚みｔを１ｍｍ以下とし、かつ接合部の幅ｄ
を１ｍｍ以上とすることが重要である。
【００２１】これは、環状金属板１３の厚みｔが１ｍｍ
を超えると、変形しにくくなって熱サイクルが加わった
時の応力を緩和する効果が乏しくなるためであり、また
接合部の幅ｄが１ｍｍ未満であるとガスリークしやすく
なるためである。
を超えると、変形しにくくなって熱サイクルが加わった
時の応力を緩和する効果が乏しくなるためであり、また
接合部の幅ｄが１ｍｍ未満であるとガスリークしやすく
なるためである。
【００２２】また、環状金属板１３を成す金属材は、保
持部材１１を成すセラミックスに熱膨張率が近いものを
用いる。具体的には、保持部材１１を成すセラミックス
との熱膨張率の差が２×１０-6／℃以下のものを用いる
ことが好ましく、例えば窒化アルミニウム製の保持部材
１１に対してはコバールやモリブデン等を用いる。
持部材１１を成すセラミックスに熱膨張率が近いものを
用いる。具体的には、保持部材１１を成すセラミックス
との熱膨張率の差が２×１０-6／℃以下のものを用いる
ことが好ましく、例えば窒化アルミニウム製の保持部材
１１に対してはコバールやモリブデン等を用いる。
【００２３】なお、上記のように環状金属板１３を介在
させることによって、導入パイプ１２を成す金属材はさ
まざまなものを用いることができ、例えばステンレス、
モリブデン、コバール等を用いる。
させることによって、導入パイプ１２を成す金属材はさ
まざまなものを用いることができ、例えばステンレス、
モリブデン、コバール等を用いる。
【００２４】また、保持部材１１を成すセラミックスと
しては、Ａｌ2 Ｏ3 、ＡｌＮ、ＺｒＯ2 、ＳｉＣ、Ｓｉ
3 Ｎ4 等の一種以上を主成分とするセラミックスを用い
る。中でも特に耐プラズマ性の点から、９９重量％以上
のＡｌ2 Ｏ3 を主成分とし、ＳｉＯ2 、ＭｇＯ、ＣａＯ
等の焼結助剤を含有するアルミナセラミックス、単結晶
サファイア、ＡｌＮを主成分とし周期律表第２ａ族元素
酸化物や第３ａ族元素酸化物を０．５〜２０重量％の範
囲で含有する窒化アルミニウム質セラミックス、あるい
は９９重量％以上のＡｌＮを主成分とする高純度窒化ア
ルミニウム質セラミックスのいずれかが好適である。
しては、Ａｌ2 Ｏ3 、ＡｌＮ、ＺｒＯ2 、ＳｉＣ、Ｓｉ
3 Ｎ4 等の一種以上を主成分とするセラミックスを用い
る。中でも特に耐プラズマ性の点から、９９重量％以上
のＡｌ2 Ｏ3 を主成分とし、ＳｉＯ2 、ＭｇＯ、ＣａＯ
等の焼結助剤を含有するアルミナセラミックス、単結晶
サファイア、ＡｌＮを主成分とし周期律表第２ａ族元素
酸化物や第３ａ族元素酸化物を０．５〜２０重量％の範
囲で含有する窒化アルミニウム質セラミックス、あるい
は９９重量％以上のＡｌＮを主成分とする高純度窒化ア
ルミニウム質セラミックスのいずれかが好適である。
【００２５】さらに、ロウ材１４、１５の材質として
は、高温中で溶融、液化を生じないものを用い、具体的
にはＡｇ−Ｃｕ系、Ａｇ系等のロウを用いる。
は、高温中で溶融、液化を生じないものを用い、具体的
にはＡｇ−Ｃｕ系、Ａｇ系等のロウを用いる。
【００２６】次に本発明の他の実施形態を説明する。
【００２７】図２に示すウェハ保持装置は、導入パイプ
１２と環状金属板１３を予め一体的に形成し、かつ環状
金属板１３の裏側にセラミック製の変形防止リング１７
をロウ材１８によって接合したものであり、その他は図
１に示す実施形態と同様である。
１２と環状金属板１３を予め一体的に形成し、かつ環状
金属板１３の裏側にセラミック製の変形防止リング１７
をロウ材１８によって接合したものであり、その他は図
１に示す実施形態と同様である。
【００２８】この場合は、導入パイプ１２と環状金属板
１３を一体的に形成してあることから、両者を接合する
必要がなく、より強固な接合構造とすることができる。
また、変形防止リング１７と保持部材１１で環状金属板
１３を挟み込む構造とすることによって、熱サイクルが
加わっても環状金属板１３とセラミック製保持部材１１
の剥がれを防止し、寿命をより長くすることができる。
１３を一体的に形成してあることから、両者を接合する
必要がなく、より強固な接合構造とすることができる。
また、変形防止リング１７と保持部材１１で環状金属板
１３を挟み込む構造とすることによって、熱サイクルが
加わっても環状金属板１３とセラミック製保持部材１１
の剥がれを防止し、寿命をより長くすることができる。
【００２９】上記変形防止リング１７は、環状金属板１
３と同様の円板状体で、保持部材１１を成すセラミック
スと熱膨張率が近似したものを用いる必要があり、具体
的には保持部材１１との熱膨張率差が２×１０-6／℃以
下のセラミックスを用いる。特に、保持部材１１と同じ
主成分のセラミックスを用いれば最適である。
３と同様の円板状体で、保持部材１１を成すセラミック
スと熱膨張率が近似したものを用いる必要があり、具体
的には保持部材１１との熱膨張率差が２×１０-6／℃以
下のセラミックスを用いる。特に、保持部材１１と同じ
主成分のセラミックスを用いれば最適である。
【００３０】なお、この変形防止リング１７を図１に示
す構造のウェハ保持装置に適用することもできる。
す構造のウェハ保持装置に適用することもできる。
【００３１】さらに、本発明の他の実施形態を図３に示
す。このウェハ保持装置は、導入パイプ１２に環状金属
板１３をロウ材１５で接合するか又は一体的に形成し、
この環状金属板１３は曲面状の応力緩和部１３ａを備
え、周辺部をロウ材１４によって保持部材１１にロウ付
けしたものである。そのため、セラミックス製の保持部
材１１と環状金属板１３との熱膨張差が生じた場合に
は、この応力緩和部１３ａが変形することによって、熱
膨張差による応力を緩和することができる。
す。このウェハ保持装置は、導入パイプ１２に環状金属
板１３をロウ材１５で接合するか又は一体的に形成し、
この環状金属板１３は曲面状の応力緩和部１３ａを備
え、周辺部をロウ材１４によって保持部材１１にロウ付
けしたものである。そのため、セラミックス製の保持部
材１１と環状金属板１３との熱膨張差が生じた場合に
は、この応力緩和部１３ａが変形することによって、熱
膨張差による応力を緩和することができる。
【００３２】また、以上の図１〜３に示す例では、サセ
プター型のウェハ保持装置について説明したが、上記保
持部材１１に静電電極を埋設して静電チャック型のウェ
ハ保持装置とすることもできる。
プター型のウェハ保持装置について説明したが、上記保
持部材１１に静電電極を埋設して静電チャック型のウェ
ハ保持装置とすることもできる。
【００３３】さらに、これらのウェハ保持装置におい
て、保持部材１１内に発熱抵抗体やプラズマ発生用電極
等を埋設しておくこともできる。
て、保持部材１１内に発熱抵抗体やプラズマ発生用電極
等を埋設しておくこともできる。
【００３４】また、上記導入パイプ１２はガスを導入す
るだけでなく、光ファイバを用いた測温素子を下方から
挿入してウェハ載置面１１ａの温度を測定するために用
いることもできる。
るだけでなく、光ファイバを用いた測温素子を下方から
挿入してウェハ載置面１１ａの温度を測定するために用
いることもできる。
【００３５】なお、本発明のウェハ保持部材は、半導体
の製造工程において半導体ウェハを保持する際に好適に
使用することができるが、この他に液晶の製造工程にお
ける液晶用ガラスの保持など、さまざまな用途に使用す
ることができる。
の製造工程において半導体ウェハを保持する際に好適に
使用することができるが、この他に液晶の製造工程にお
ける液晶用ガラスの保持など、さまざまな用途に使用す
ることができる。
【００３６】
【実施例】本発明実施例として、図１に示すウェハ保持
装置を試作し、環状金属板１３の厚みｔ、接合部の幅ｄ
を種々に変化させた時のガスリーク量を測定する実験を
行った。
装置を試作し、環状金属板１３の厚みｔ、接合部の幅ｄ
を種々に変化させた時のガスリーク量を測定する実験を
行った。
【００３７】保持部材１１は窒化アルミニウム質セラミ
ックスで形成し、環状金属板１３はコバールで形成して
その厚みｔを変化させたものを用意し、いずれも接合部
の幅ｄを１ｍｍとして接合した。このウェハ保持装置を
用いて実際のＰＶＤ装置中で常温から６００℃の熱サイ
クルを加えた後、ガス導入パイプ１２内にＨｅガスを導
入し、外部のリーク量をＨｅリークディテクターにて測
定して、リーク量が１×１０-9Ｔｏｒｒ・リットル／秒
以下のものを○、そうでないものを×として評価した。
ックスで形成し、環状金属板１３はコバールで形成して
その厚みｔを変化させたものを用意し、いずれも接合部
の幅ｄを１ｍｍとして接合した。このウェハ保持装置を
用いて実際のＰＶＤ装置中で常温から６００℃の熱サイ
クルを加えた後、ガス導入パイプ１２内にＨｅガスを導
入し、外部のリーク量をＨｅリークディテクターにて測
定して、リーク量が１×１０-9Ｔｏｒｒ・リットル／秒
以下のものを○、そうでないものを×として評価した。
【００３８】結果は表１に示すように、環状金属板１３
の厚みｔが１ｍｍを超えるものではガスリークが生じた
のに対し、厚みｔを１ｍｍ以下としたものではほとんど
ガスリークがなかった。
の厚みｔが１ｍｍを超えるものではガスリークが生じた
のに対し、厚みｔを１ｍｍ以下としたものではほとんど
ガスリークがなかった。
【００３９】
【表１】
【００４０】次に、環状金属板１３の厚みｔを１ｍｍに
し、接合部の幅ｄを変化させて同様の実験を行った。
し、接合部の幅ｄを変化させて同様の実験を行った。
【００４１】結果は表２に示すように、接合部の幅ｄが
１ｍｍ未満ではガスリークが生じたのに対し、接合部の
幅ｄを１ｍｍ以上としたものではほとんどガスリークが
なかった。
１ｍｍ未満ではガスリークが生じたのに対し、接合部の
幅ｄを１ｍｍ以上としたものではほとんどガスリークが
なかった。
【００４２】
【表２】
【００４３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、表側のウ
ェハ載置面に開口する導入孔を備えたセラミック製保持
部材の裏面側に、上記ガス導入孔に連通する金属製の導
入パイプを、環状金属板を介して接合したことによっ
て、使用時に熱サイクルが加わってもセラミック製保持
部材と導入パイプとの接合部の剥がれを防止してリーク
の発生を抑えることができるため、長期間にわたって良
好に使用することができる。
ェハ載置面に開口する導入孔を備えたセラミック製保持
部材の裏面側に、上記ガス導入孔に連通する金属製の導
入パイプを、環状金属板を介して接合したことによっ
て、使用時に熱サイクルが加わってもセラミック製保持
部材と導入パイプとの接合部の剥がれを防止してリーク
の発生を抑えることができるため、長期間にわたって良
好に使用することができる。
【図１】本発明のウェハ保持装置を示す部分断面図であ
る。
る。
【図２】本発明のウェハ保持装置の他の実施形態を示す
部分断面図である。
部分断面図である。
【図３】本発明のウェハ保持装置の他の実施形態を示す
部分断面図である。
部分断面図である。
【図４】従来のウェハ保持装置を示す概略断面図であ
る。
る。
【図５】従来のウェハ保持装置を示す部分断面図であ
る。
る。
１１：保持部材 １１ａ：載置面 １１ｂ：導入孔 １１ｃ：裏面 １２：導入パイプ １２ａ：フランジ １３：環状金属板 １３ａ：応力緩和部 １４：ロウ材 １５：ロウ材 １６：熱電対取付端子 １７：変形防止リング １８：ロウ材 ２０：ウェハ
Claims (2)
- 【請求項１】表側のウェハ載置面に開口する導入孔を備
えたセラミック製保持部材の裏面側に、上記導入孔に連
通する金属製の導入パイプを、環状金属板を介して接合
したことを特徴とするウェハ保持装置。 - 【請求項２】上記環状金属板のセラミック製保持部材と
反対側の面に、セラミック製の変形防止リングを接合し
たことを特徴とする請求項１記載のウェハ保持装置。
Priority Applications (1)
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-
1996
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