KR101430655B1

KR101430655B1 - 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치

Info

Publication number: KR101430655B1
Application number: KR1020120060518A
Authority: KR
Inventors: 박미성; 권상교; 이은녕
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2012-06-05
Filing date: 2012-06-05
Publication date: 2014-08-18
Also published as: KR20130136821A

Abstract

평면 디스플레이용 화학기상 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치는, 챔버 내에 승강 가능하게 설치되며, 상면으로 평면디스플레이가 로딩되는 서셉터; 상단은 서셉터의 저면에 연결되고 하단은 챔버를 통해 하방으로 노출되어 서셉터를 승강 가능하게 지지하는 복수의 컬럼; 및 서셉터의 처짐을 방지하기 위하여 챔버 내에서 컬럼에 결합되고 상면의 적어도 어느 일 영역이 서셉터의 저면에 접촉지지되어 서셉터를 하부에서 지지하며, 상호 이격배치되는 복수의 개별서셉터지지조립체를 포함한다.

Description

평면 디스플레이용 화학기상 증착장치{Chemical Vapor Deposition Apparatus for Flat Display}

본 발명은, 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 실리콘계 화합물 이온(ion)을 유리기판 상에 증착시키는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치에 관한 것이다.

평면디스플레이는 개인 휴대단말기를 비롯하여 TV나 컴퓨터의 모니터 등으로 널리 채용된다. 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.

이 중에서 유기 발광 다이오드라 불리는 OLED는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 '자체발광형 유기물질'을 말한다. OLED는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있으며, 넓은 시야 각과 빠른 응답 속도를 갖고 있어 현재의 LCD를 대체할 수 있는 차세대 디스플레이 장치로 각광받고 있다.

OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히 AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다. 또한 AMOLED는 유리기판이 아닌 필름(Film) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있게 된다.

이러한 OLED의 제조 공정은 크게, 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정 등을 포함한다.

화학 기상 증착 공정(Chemical Vapor Deposition Process)은, 외부의 고주파 전원에 의해 플라즈마(Plasma)화 되어 높은 에너지를 갖는 실리콘계 화합물 이온(ion)이 전극을 통해 가스 분배판으로부터 분출되어 유리기판 상에 증착되는 공정이다. 이러한 공정은 화학 기상 증착 공정을 수행하는 챔버 내에서 이루어진다.

자세히 후술하겠지만, 화학 기상 증착 공정을 수행하는 챔버는 상부 챔버와 하부 챔버를 포함한다. 상부 챔버에는 전극이 구비되고, 하부 챔버에는 증착 대상의 유리기판이 로딩(loading, 배치)되는 서셉터가 마련된다.

이에, 서셉터의 상면으로 유리기판이 로딩되면 서셉터가 대략 섭씨 250 ~ 400도 정도로 가열된다. 이후, 서셉터가 상승하여 유리기판은 하부 전극인 가스 분배판으로 인접하게 배치된다.

그런 다음, 절연체인 테프론에 의해 챔버로부터 절연된 전극을 통해 전원이 인가된다. 이어 수많은 오리피스가 형성된 가스 분배판을 통해 실리콘계 화합물 이온이 분출되면서 유리기판의 증착 공정이 수행된다.

한편, 유리기판을 지지하는 서셉터는 화학 기상 증착장치의 특성상 화학적 반응에 안정된 알루미늄(Al) 재질로 제작되고, 증착 공정 시 섭씨 250~400도 정도로 가열(heating)되는데, 이러한 서셉터, 특히 대면적 서셉터는 자중과 온도에 의해 처짐이 발생될 수 있다.

시간에 따른 서셉터의 처짐은 공정을 진행하는 챔버의 안정화에 불리할 뿐만 아니라 증착(deposition) 값에 변화를 줄 수 있다.

특히, 서셉터는 전기적인 신호를 제공하는 봉(rod) 형태의 컬럼이 중앙 영역에 연결되어 있는 사각 평판 형상으로 제작되는데, 이러한 구조에서 서셉터의 처짐은 주로 사각 평판 형상의 에지(edge) 위주로 진행된다.

따라서 종래에는 서셉터의 하부에 열 처짐에 강한 세라믹 플레이트를 여러 포인트(point)에 받쳐주어 특히, 서셉터의 에지에 받쳐주어 서셉터의 처짐을 방지하려는 시도를 기울여 왔다.

한편, 대면적 유리기판의 증착을 진행하는 화학 기상 증착장치의 경우, 상부의 전극과 하부의 전극인 서셉터의 간극이 중요한데, 종래기술에 따라 서셉터의 에지 부분만을 받쳐 지지하게 되면 서셉터의 불균일한 처짐, 특히 서셉터의 중앙 영역에서 처짐이 발생됨으로써 결과적으로 서셉터의 상면에 지지되는 유리기판에 대한 증착 품질을 저해할 수 있는 문제점이 있다. 더욱이, 서셉터에 대한 기존의 지지구조로는 섭씨 350도 이상의 공정을 수행하기 어렵다.

[특허문헌 1] 대한민국 특허출원 제10-2006-0011598호

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판을 지지하는 서셉터의 처짐을 방지함으로써, 특히 섭씨 350도 ~ 400도의 초고온 공정에서도 서셉터의 처짐을 종래에 비하여 감소시킴으로써 증착품질을 균일하게 제공할 수 있는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 챔버 내에 승강 가능하게 설치되며, 상면으로 평면디스플레이가 로딩되는 서셉터; 상단은 상기 서셉터의 저면에 연결되고 하단은 상기 챔버를 통해 하방으로 노출되어 상기 서셉터를 승강 가능하게 지지하는 복수의 컬럼; 및 상기 서셉터의 처짐을 방지하기 위하여 상기 챔버 내에서 상기 컬럼에 결합되고 상면의 적어도 어느 일 영역이 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되어 상기 서셉터를 하부에서 지지하며, 상호 이격배치되는 복수의 개별서셉터지지조립체를 포함하고, 상기 개별서셉터지지조립체는, 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되는 상부 지지부; 및 상기 상부 지지부를 연결하도록 상기 상부 지지부에 결합되는 하부 지지부를 포함하며, 상기 복수의 개별서셉터지지조립체를 상호 연결하는 지지조립체 연결유닛을 더 포함하고, 상기 지지조립체 연결유닛은, 상기 복수의 개별서셉터지지조립체의 상호 인접한 상기 하부 지지부를 연결하는 지지조립체 하부연결유닛을 포함하며, 상기 지지조립체 하부연결유닛은, 상호 인접한 상기 하부 지지부 사이에 배치되는 연결부재; 상기 연결부재에 마련되며, 관통 형성된 관통공이 마련되는 링크부; 및 상기 링크부의 관통공을 관통하여 삽입되어 상기 하부 지지부에 결합되는 결합축을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치가 제공될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 챔버 내에 승강 가능하게 설치되며, 상면으로 평면디스플레이가 로딩되는 서셉터; 상단은 상기 서셉터의 저면에 연결되고 하단은 상기 챔버를 통해 하방으로 노출되어 상기 서셉터를 승강 가능하게 지지하는 복수의 컬럼; 및 상기 서셉터의 처짐을 방지하기 위하여 상기 챔버 내에서 상기 컬럼에 결합되고 상면의 적어도 어느 일 영역이 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되어 상기 서셉터를 하부에서 지지하며, 상호 이격배치되는 복수의 개별서셉터지지조립체를 포함하고, 상기 개별서셉터지지조립체는, 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되는 상부 지지부; 및 상기 상부 지지부를 연결하도록 상기 상부 지지부에 결합되는 하부 지지부를 포함하며, 상기 복수의 개별서셉터지지조립체를 상호 연결하는 지지조립체 연결유닛을 더 포함하고, 상기 지지조립체 연결유닛은, 상기 복수의 개별서셉터지지조립체의 상호 인접한 상기 하부 지지부를 연결하는 지지조립체 하부연결유닛을 포함하며, 상기 지지조립체 하부연결유닛은, 상호 인접한 상기 하부 지지부 사이에 배치되며, 나사부가 마련되는 연결부재; 상기 연결부재의 나사부에 결합되며, 관통 형성된 관통공이 마련되는 링크부; 상기 링크부의 관통공을 관통하여 삽입되어 상기 하부 지지부에 결합되는 결합축; 및 상기 나사부에 결합되는 풀림방지 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치가 제공될 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 챔버 내에 승강 가능하게 설치되며, 상면으로 평면디스플레이가 로딩되는 서셉터; 상단은 상기 서셉터의 저면에 연결되고 하단은 상기 챔버를 통해 하방으로 노출되어 상기 서셉터를 승강 가능하게 지지하는 복수의 컬럼; 및 상기 서셉터의 처짐을 방지하기 위하여 상기 챔버 내에서 상기 컬럼에 결합되고 상면의 적어도 어느 일 영역이 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되어 상기 서셉터를 하부에서 지지하며, 상호 이격배치되는 복수의 개별서셉터지지조립체를 포함하고, 상기 개별서셉터지지조립체는, 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되는 상부 지지부; 및 상기 상부 지지부를 연결하도록 상기 상부 지지부에 결합되는 하부 지지부를 포함하며, 상기 복수의 개별서셉터지지조립체를 상호 연결하는 지지조립체 연결유닛을 더 포함하고, 상기 지지조립체 연결유닛은, 상기 복수의 개별서셉터지지조립체의 상호 인접한 상기 하부 지지부를 연결하는 지지조립체 하부연결유닛을 포함하며, 상기 지지조립체 하부연결유닛은, 상호 인접한 상기 하부 지지부 사이에 배치되는 연결부재; 및 상기 연결부재에 돌출되게 마련되어 상기 하부 지지부에 삽입되는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치가 제공될 수 있다.
상기 상부 지지부는, 상호 이격 배치되는 한 쌍의 상부 지지대; 및 상기 상부 지지대의 상면에 결합되어 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되는 복수의 보조지지패드를 포함할 수 있다.
상기 하부 지지부는 판 형상의 하부 지지대이며, 상기 하부 지지대에는 상기 복수의 컬럼 중 어느 하나의 컬럼이 결합될 수 있다.
상기 복수의 개별서셉터지지조립체는 3개 마련되며, 상기 복수의 컬럼은, 중앙에 배치되는 제1 컬럼; 상기 제1 컬럼의 중심으로 상호 대칭되게 이격 배치되는 제2 컬럼과 제3 컬럼을 포함할 수 있다.
상기 상부 지지대 및 상기 하부 지지대는 세라믹(Ceramic) 재질로 제작되며, 상기 보조지지패드는 알루미늄 재질로 제작될 수 있다.
상기 복수의 보조지지패드는, 상기 서셉터의 테두리부 영역의 상기 상부 지지대의 양측에 배치되는 제1 보조지지패드; 및 상기 서셉터의 테두리부 영역의 상기 상부 지지대의 중앙 영역에 배치되는 제2 보조지지패드를 포함할 수 있다.
상기 하부 지지부는 상기 링크부가 삽입되어 배치되는 안치 홈부를 포함할 수 있다.
상기 하부 지지부는 상기 관통공에 결합되어 상기 결합축의 이탈을 차단하는 커버 나사를 포함할 수 있다.
상기 하부 지지부에는, 상기 연결부재와 상기 고정부가 삽입되어 위치가 고정되는 고정 홈이 형성되며, 상기 고정 홈이 형성된 부위에는 상기 고정부의 이탈을 방지하는 고정 턱이 마련될 수 있다.
상기 지지조립체 연결유닛은, 상기 복수의 개별서셉터지지조립체의 상호 인접한 상기 상부 지지부를 연결하는 지지조립체 상부연결유닛을 포함할 수 있다.

삭제

본 발명에 따르면, 기판을 지지하는 서셉터의 처짐을 상호 이격배치되는 복수의 개별서셉터지지조립체에 의해 방지함으로써, 특히 섭씨 350도 ~ 400도의 초고온 공정에서도 서셉터의 처짐을 종래에 비하여 감소시킴으로써 증착품질을 균일하게 제공할 수 있는 기판에 대한 증착 품질을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치의 단면도이다.
도 2는 도 1의 개별서셉터지지조립체에 의해 지지된 서셉터의 하방 사시도이다.
도 3은 도 2의 개별서셉터지지조립체의 상방 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치의 개별서셉터지지조립체에 대한 하방 사시도이다.
도 5는 도 4의 지지조립체 하부연결유닛에 대한 확대도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치의 한 쌍의 상부 지지대가 지지조립체 상부연결유닛에 의해 연결된 개별서셉터지지조립체의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치의 개별서셉터지지조립체의 분해도이다.
도 8은 도 7의 지지조립체 하부연결유닛에 대한 확대도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

이하에서 설명될 실시 예는 평면 디스플레이로서 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중 어떠한 것에도 적용될 수 있으나, 주로 OLED에 적용되는 경우를 상정한 것이다. 또한, 기판은 유리 기판 및 플렉시블 기판이 사용되는 것을 상정한 것이다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치의 단면도이며, 도 2는 도 1의 개별서셉터지지조립체에 의해 지지된 서셉터의 하방 사시도이며, 도 3은 도 2의 개별서셉터지지조립체의 상방 사시도이다.

도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치는, 기판(G)에 대한 증착 공정을 진행하며 상호간 분해 조립이 가능한 상부 및 하부 챔버(101, 102)와, 상부 챔버(101) 내에 마련되어 증착 대상의 기판(G)을 향해 소정의 실리콘계 화합물의 증착을 위한 이온(ion)을 방출하는 상부 전극(107)과, 하부 챔버(102) 내에 마련되어 기판(G)을 떠받치면서 지지하는 서셉터(105)와, 서셉터(105)를 지지하여 승강시키도록 하부 챔버(102)에 결합되는 복수의 컬럼(130)과, 복수의 컬럼(130)에 결합되어 서셉터(105)의 처짐을 방지하도록 상호 이격배치되는 개별서셉터지지조립체(140)를 포함한다.

도 1을 참조하면, 기판(G)에 대한 증착 공정이 진행되기 전에, 상부 및 하부 챔버(101, 102)는 상호 결합된다. 즉, 상부 및 하부 챔버(101, 102)가 한 몸체를 이루어 그 내부의 증착 공간에서 증착 공정이 진행된다. 증착 공정은 증착 공간이 진공 펌프(미도시)에 의해 진공 배기되는 진공 분위기에서 행해진다.

상부 챔버(101)의 내부에는 하부의 전극에 해당하는 서셉터(105)에 대응하여 횡 방향을 따라 상부 전극(107)이 구비된다. 양 전극은 이온화된 증착 물질을 +/- 상호 작용에 의해 기판(G)의 표면으로 증착시킬 수 있다. 즉, 증착 물질은 증착 공간에서 양 전극에 의해 이온화되며, +/- 극성에 의해 상부 전극(107)과 상호 반대되는 극성을 가진 전극 즉 서셉터(105) 측으로 이동된다. 이때, 이온 상태의 증착 물질이 서셉터(105)에 지지된 기판(G) 측에 달라붙도록 각 전극의 특성이 정해진다.

상부 전극(107)은 하부 챔버(102)를 향한 전면에 배치되는 가스 분배판(109)과, 가스 분배판(109)과 버퍼공간(111)을 사이에 두고 이격되어 배치되는 상부 플레이트(113)를 구비한다. 가스 분배판(109)에는 가스를 미세하게 하방으로 분출하기 위한 오리피스(미도시)가 형성되어 배열될 수 있다. 이에, 증착 공정 시 서셉터(105)가 상승하여 가스 분배판(109)과 대략 수십 밀리미터(mm) 정도로 근접 배치된 상태에서, 증착 물질이 수많은 오리피스(미도시)를 통해 균일하게 기판(G) 측으로 방출되면서 기판(G)의 상부 표면으로 증착될 수 있다.

상부 챔버(101)와 상부 전극(107) 사이에는 상부 챔버(101)에 대한 절연을 위한 절연체(115)가 배치될 수 있다. 상부 플레이트(113)와 가스 분배판(109)은 절연체(115)에 의해 상부 챔버(101)에 지지된다.

가스 분배판(109)과 상부 플레이트(113) 사이에는 완충부(117)가 마련된다. 완충부(117)는 버퍼공간(111) 내의 증착 물질이 외부로 누출되지 않도록 할 뿐만 아니라 무거운 중량물인 가스 분배판(109)을 상부 플레이트(113)에 대해 현가 지지할 수 있다. 또한 완충부(117)는 증착 공정 시 대략 섭씨 350 ~ 400도 정도로 가열되는 가스 분배판(109)의 어느 한 방향에 대한 열 팽창을 보상할 수 있다.

상부 챔버(101)의 상단에는 상판부(119)가 마련되며, 상판부(119)의 상부에는 증착 공간 내로 공정 가스, 반응 가스, 클리닝(Cleaning) 가스 혹은 기타 가스를 공급하는 가스 공급부(120)가 마련된다.

상부 챔버(101)와 대응하는 하부 챔버(102)는 실질적으로 기판(G)에 대한 증착 공정이 진행되는 실질적인 증착 공간을 제공한다. 하부 챔버(102)의 외벽에는 이송 로봇(미도시)에 의해 기판(G)을 증착 공간에 대해 출입시키기 위한 통로인 기판 출입부(122)가 형성되며, 기판 출입부(122)에는 개폐용 게이트 밸브(123)가 결합된다.

서셉터(105)는 하부 챔버(102) 내의 증착 공간에 배치되어 증착 대상의 기판(G)을 지지한다. 서셉터(105)는 증착 대상의 기판(G)을 안정적으로 지지할 수 있도록 기판(G)의 면적보다는 큰 면적을 갖는다.

서셉터(105)의 상면은 판이 정밀한 수평상태로 지지될 수 있도록 거의 정반으로 제조되며, 그 내부에는 도시되지는 않았으나 기판(G)을 가열할 수 있는 히터가 내장될 수 있다. 히터는 서셉터(105)를 기판(G)의 증착 온도인 섭씨 350 ~ 400도 정도로 가열할 수 있다.

서셉터(105)에는 기판(G)의 로딩이나 언로딩을 위해 기판(G)의 저면을 안정적으로 지지하여 기판(G)을 서셉터(105)로부터 이격시킬 수 있는 기판 지지핀(125)이 마련된다.

기판 지지핀(125)은 서셉터(105)와 개별서셉터지지조립체(140)의 기판 지지홀(126)을 관통하도록 설치되며, 서셉터(105)가 하부 챔버(102)을 향해 하강할 때 하부 챔버(102)의 바닥면에 접촉되어 서셉터(105)의 상부로 돌출됨으로써 기판(G)을 서셉터(105)로부터 이격시킬 수 있다. 기판 지지핀(125)이 기판(G)을 서셉터(105)로부터 이격시킬 때, 이송 로봇의 핸들(미도시)이 기판(G)과 서셉터(105) 사이로 위치하여 기판(G)을 지지한 후 다음 공정으로 이송할 수 있다.

복수의 컬럼(130)은 서셉터(105)를 지지하도록 하부 챔버(102)에 승강 가능하게 설치된다. 즉, 복수의 컬럼(130)의 상단은 서셉터(105)의 저면에 연결되고 하단은 하부 챔버(102)를 통해 노출된다. 이러한 복수의 컬럼(130)은 서셉터(105)의 중앙부를 지지하는 제1 컬럼(131)과, 제1 컬럼(131)의 양측에 이격되게 배치되어 서셉터(105)를 지지하는 제2, 3 컬럼(132, 133)을 포함한다. 서셉터(105)는 제1 컬럼(131)을 중심으로 양측의 제2, 3 컬럼(132, 133)에 의해 지지되어 하부 챔버(102)로부터 승강될 수 있다.

즉, 서셉터(105)는 기판(G)이 로딩될 때는 하부 챔버(102) 내의 바닥면 영역에 배치되어 있다가 기판(G)이 로딩되고 증착 공정이 진행될 때는, 기판(G)이 가스 분배판(109)에 인접할 수 있도록 상승한다. 이를 위해, 서셉터(105)에 결합된 제1 컬럼(131)에는 승하강 구동을 위한 승하강 모듈(미도시)이 연결된다.

이와 같은 본 실시 예는 주로 OLED용 대형 기판(G)의 증착 공정을 진행하는 화학 기상 증착장치에 적용될 수 있다. 증착 공정에서는 상부 전극(107)과 하부 전극인 서셉터(105)의 간극이 중요하므로, 생산 효율의 향상을 위해 상당히 대형화된 기판(G)은 양 전극의 간극을 고려하여 전체적인 기판(G)의 처짐을 방지해야 균일한 두께로 증착 물질이 증착될 수 있다. 이는 기판이 대면적이 될수록 그리고 공정 온도가 높아질수록 더욱 중요해진다. 본 실시 예에서는 대면적의 기판에 대해서도 또한 섭씨 350도 이상의 공정에서도 처짐을 방지하여 지지할 수 있도록 상호 이격되는 복수의 개별서셉터지지조립체(140)를 제공한다.

도 2와 도 3을 참조하면, 제1 실시 예에 따른 개별서셉터지지조립체(140)는 세 개가 상호 이격되게 배치되어 서셉터(105)를 지지한다. 개별서셉터지지조립체(140)는, 상부 지지부(142)와, 상부 지지부(142)를 연결하며 지지하는 하부 지지부(145)를 포함한다. 세 개의 개별서셉터지지조립체(140)는 지지조립체 연결유닛(150)에 의해 상호 연결된다.

즉, 서셉터(105)의 저면에는 한 쌍의 상부 지지대(142)를 포함하되 상호 이격되게 배치되는 세 개의 상부 지지부(141)와, 한 쌍의 상부 지지대(142)을 상호 연결하여 결합시키며 복수의 컬럼(130)의 제1 컬럼(131)과 제2, 3 컬럼(132, 133)에 각각 결합되는 세 개의 하부 지지부(145)가 배치된다.

이와 같은 세 개의 개별서셉터지지조립체(140)는 직사각형인 서셉터(105)의 저면에 일렬로 배치되어 서셉터(105)의 전면적을 분할하여 지지함으로써 최외곽 에지 영역까지 고르게 지지할 수 있다. 즉, 상부 지지부(141)는 서셉터(105)의 길이 방향을 따라 상호 이격되어 서셉터(105)의 너비 방향을 따라 배치되는 한 쌍의 상부 지지대(142)에 의해 서셉터(105) 면적의 1/3을 지지할 수 있고, 세 개의 상부 지지부(141)는 서셉터(105)를 전체적으로 지지할 수 있다. 이때 세 개의 상부 지지부(141)의 세 쌍의 상부 지지대(142)는 그 중앙부가 세 개의 하부 지지부(145)에 각각 지지되므로, 서셉터(105)는 길이 방향을 따라 전체적으로 지지된다. 이와 같이 상부 지지대(142)가 서셉터(105)의 사방 단부까지 배치되어 서셉터(105)를 지지하게 되므로, 서셉터(105)의 사방 에지 영역에서도 처짐이 방지된다.

본 실시 예에 따르면, 개별서셉터지지조립체(140)는 세 개가 배치되어 있으나, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 두 개 또는 세 개의 이상의 개별서셉터지지조립체(140)가 배치될 수 있다. 또한 상부 지지부(142), 하부 지지부(145), 지지조립체 연결유닛(150, 170)은 모두 세라믹으로 제작될 수 있으나, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지는 않으며, 내열성을 가진 다른 비금속 재질을 선택할 수도 있다.

또한 본 실시 예에 따르면, 상부 지지부(141)가 한 쌍의 상부 지지대(142)를 포함하고 있으나, 상부 지지대(142)의 개수 또는 모든 상부 지지대(142)가 동일한 형상으로 형성되는 것이 서셉터(105)의 처짐을 방지하기 위한 필요 충분적인 사항은 아니므로, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며, 각각의 상부 지지부(141)는 너비와 길이가 서로 다른 하나의 상부 지지대(142) 또는 한 쌍 이상의 상부 지지대(142)을 포함할 수 있다.

상부 지지부(141)는 상부 지지대(142)의 상면부에 결합되어 서셉터(105)의 저면에 접촉지지되는 보조지지패드(181, 182)를 더 포함한다. 즉 도 3을 참조하면, 상부 지지부(141)는 서셉터(105)의 테두리 영역에 배치되되, 상부 지지대(142)의 양측에서 서셉터(105)를 이격시켜 지지하기 위한 제1 보조지지패드(181)와, 상부 지지대(142)의 중앙에서 서셉터(105)를 이격시켜 지지하기 위한 제2 보조지지패드(182)를 포함한다. 제1 보조지지패드(181)는 모든 상부 지지대(142)의 너비 방향을 따른 양측에 배치되며, 제2 보조지지패드(182)는 가장 외곽의 양측 상부 지지대(142)의 중앙에 배치된다. 이에 의하여 제1 보조지지패드(181) 및 제2 보조지지패드(182)는 모두 서셉터(105)의 테두리 영역에 배치된다. 이런 제1, 2 보조지지패드(181, 182)는 알루미늄 재질로 제작될 수 있다.

이와 같은 제1, 2 보조지지패드(181, 182)는 서셉터(105)를 이격시켜 지지하며, 상부 지지대(142)는 증착 공정 시 섭씨 350 ~ 400로 가열되는 서셉터(105)로부터 직접적인 열 전달이 차단된다.

도 3을 참조하면, 상부 지지부(141)의 상부 지지대(142)에는 다수의 위치 고정 홀(185)이 마련되며, 하부 지지부(145)에는 위치 고정 홀(185)에 삽입되어 상부 지지부(141)의 위치를 고정시키는 다수의 위치 고정 돌기(187)가 마련된다. 상부 지지대(142)는 위치 고정 홀(185)에 위치 고정 돌기(187)가 삽입됨으로써 하부 지지부(145) 상에 얹혀진 상태에서 그 위치가 고정된다.

한편, 하부 지지부(145)에는 인접한 하부 지지부(145)를 상호 연결하기 위한 지지조립체 하부연결유닛(150)이 결합된다. 이에 대하여 보다 상세히 설명하면, 복수의 개별서셉터지지조립체(140)가 분할되어 있는 경우, 서셉터(105)의 열 변형에 의한 열 응력과 자중에 의한 처짐으로 발생하는 응력이 복합적으로 작용할 때, 분할된 복수의 개별서셉터지지조립체(140)는 총합적인 응력에 취약할 수도 있기 때문에 이를 보완하기 위해 복수의 개별서셉터지지조립체(140)를 일체화시키는 지지조립체 하부연결유닛(150)이 본 실시 예에서 마련된다.

즉 지지조립체 하부연결유닛(150)은 하나의 하부 지지부(145)와 인접한 다른 하부 지지부(145)의 너비 방향에 따른 양측에 배치되어 그 하부 지지부(145)들을 서로 연결한다. 세 개의 하부 지지부(145)가 지지조립체 하부연결유닛(150)에 의해 서로 연결되고, 또한 제1 컬럼(131)과 그 양측 제2, 3 컬럼(132, 132)에 지지되므로, 제1 컬럼(131)를 중심으로 한 하부 지지부(145)와 그 양측의 하부 지지부(145)에 의해 지지되는 서셉터(105)의 길이 방향에 따른 처짐이 방지될 수 있다.

본 실시 예에 따르면, 지지조립체 하부연결유닛(150)은 하부 지지부(145)의 양측에 하나씩 배치되어 있으나, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며, 하부 지지부(145)의 너비에 따른 지지 하중에 적합하게 하나 이상 양측에 배치될 수도 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 제1 실시 예에 따른 지지조립체 하부연결유닛(150)은 다음과 같다. 즉, 지지조립체 하부연결유닛(150)은 세 개의 하부 지지부(145) 사이에 배치되는 연결부재(151)와, 연결부재(151)를 하부 지지부(145)에 연결시키도록 연결부재(151)의 양측 단부에 마련되며 관통공(155)이 형성되어 있는 링크부(153)를 포함한다.

도 2에 도시된 지지조립체 하부연결유닛(150)의 연결부재(151)와 링크부(153)는 일체로 형성되어 있으며, 링크부(153)는 결합축(157)에 의해 하부 지지부(145)에 결합된다. 결합축(157)은 하부 지지부(145)의 외측에서 결합공(154)을 통해 링크부(153) 측으로 연결되는 관통공(155)으로 삽입된 후, 링크부(153)의 관통공(155)을 관통하여 대향하는 하부 지지부(145)의 결합공(154)에 삽입됨으로써 링크부(153)를 하부 지지부(145)에 회전가능하게 결합시킨다. 이때 하부 지지부(145)의 결합공(154)은 결합축(157)의 삽입 방향을 따라 관통공(155)의 양측에 배치된다.

도 2를 참조하면, 지지조립체 하부연결유닛(150)의 링크부(153)는 하부 지지부(145)의 안치 홈부(165)에 고정된다. 즉, 하부 지지부(145)에는 링크부(153)의 형상에 맞는 안치 홈부(165)가 형성된다. 링크부(153)와 안치 홈부(165)는 접촉되는 반원면(167)을 포함한다. 반원면(167)이 형성된 링크부(153)는 안치 홈부(165)에 원활하게 삽입될 수 있다.

링크부(153)가 하부 지지부(145)의 안치 홈부(165)에 삽입된 상태에서, 결합축(157)이 결합공(154)을 통해 링크부(153)에 결합된다. 이때 하부 지지부(145)의 결합공(154)에는 결합축(157)의 이탈을 방지하는 커버 나사(169)가 결합된다. 커버 나사(169)는 결합공(154)으로 이물질이 침투하는 것도 차단할 수 있다.

이와 같은 제1 실시 예에 따르면, 연결부재(151)와 링크부(153)는 일체로 형성되며, 결합축(157)에 의해 상호 인접한 하부 지지부(145)에 결합되어 상호 간을 연결할 수 있으나, 이에 본 발명의 권리 범위가 한정되는 것은 아니며, 다양하게 변형되어 하부 지지부(145)을 연결할 수 있다. 일 예로서, 도시하진 않았으나 링크부(153)는 결합축(157)에 의해 결합되지 않고, 하부 지지부(145)에 삽입되거나 볼트에 의해 체결될 수 있다.

이와 같은 제1 실시 예에 따른 지지조립체 하부연결유닛(150)은 도 4와 도 5에 도시된 제2 실시 예와 같이 좀더 세분화된 구조를 가질 수 있다.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치의 개별서셉터지지조립체에 대한 하방 사시도이며, 도 5는 도 4의 지지조립체 하부연결유닛에 대한 확대도이다.

도 4와 도 5를 참조하면, 지지조립체 하부연결유닛(150)은 연결부재(151)와 링크부(153)가 분리된 구조를 가질 수 있다. 즉, 연결부재(151)의 양측 단부에는 나사산(159)이 형성되고, 링크부(153)는 결합축(157)이 결합되는 관통공(155)을 포함하면서 나사산(159)에 대응하는 암나사(미도시)가 형성된다.

이러한 지지조립체 하부연결유닛(150)은 연결부재(151)에 나사결합되어 링크부(153)에 지지되는 풀림방지 너트(161)를 더 포함한다. 또한 연결부재(151)에는 풀림방지 너트(161)가 링크부(153)의 반대 측으로 진행하는 것을 방지하는 지지턱(163)이 형성된다.

연결부재(151)는 풀림방지 너트(161)가 나사결합된 상태에서 링크부(153)에 나사결합된다. 즉, 연결부재(151)는 풀림방지 너트(161)가 링크부(153)에 지지될 때, 더 이상 나사결합 방향으로 링크부(153) 측에 대해 진행하기 어려우며, 이때 풀림방지 너트(161)를 링크부(153) 측으로 조일 때, 연결부재(151)의 나사산(159)에 대한 인장력이 작용하여 나사산(159)은 링크부(153)로부터 풀림이 방지된다.

이와 같은 풀림방지 너트(161)는 세라믹으로 구성되는 연결부재(151)와 링크부(153)가 충격이나 진동에 의해 쉽게 풀리는 것을 방지한다.

도 6은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치의 한 쌍의 상부 지지대가 지지조립체 상부연결유닛에 의해 연결된 개별서셉터지지조립체의 사시도이다.

도 6을 참조하면, 상부 지지부(141)의 한 쌍의 상부 지지대(142)는 지지조립체 상부연결유닛(170)에 의해 연결된다. 즉 본 실시 예는 지지조립체 상부연결유닛(170)을 더 포함한다.

이때 지지조립체 상부연결유닛(170)은 연결부재(171)와 결합되는 링크부(172), 링크부(172)를 상부 지지대(142)에 연결시키는 결합축(174)을 포함하여 제1 또는 2 실시 예에 따른 지지조립체 하부연결유닛(150)과 실질적으로 동일한 구조를 가질 수 있다. 다만, 지지조립체 상부연결유닛(170)은 지지조립체 하부연결유닛(150)과 달리 한 쌍의 상부 지지대(142)의 간격이 더 넓으므로 연결부재(171)가 더 길게 제공된다.

지지조립체 상부연결유닛(170)은, 한 쌍의 상부 지지대(142)가 지지조립체 상부연결유닛(170)에 의해 연결되므로, 서셉터(105)에 대해 기판(G)의 하중이 가해질 때, 한 쌍의 상부 지지대(142) 사이에 작용하는 인장력을 견디어 서셉터(105)의 휨을 방지할 수 있다. 특히, 지지조립체 상부연결유닛(170)은 서셉터(105)의 중앙보다는 서셉터(105)의 양측부에 배치되는 한 쌍의 상부 지지대(142)의 너비 방향에 따른 양측 부위를 연결하여 최외곽 테두리 측에서 발생하는 처짐을 방지한다.

제3 실시 예에서, 지지조립체 상부연결유닛(170)은 제1 컬럼(131)의 양측에 배치되는 한 쌍의 상부 지지대(142)을 연결하고 한 쌍의 상부 지지대(142)의 너비 방향에 따른 양측에 적용되었지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며, 지지조립체 상부연결유닛(170)은 상호 인접하게 배치된 상부 지지대들(142)을 연결할 수 있으며, 그 너비 방향에 따라 배치되는 개수가 더해질 수 있다.

도 7은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치의 개별서셉터지지조립체의 분해도이며, 도 8은 도 7의 지지조립체 하부연결유닛에 대한 확대도이다.

제4 실시 예에 따른 도 7과 도 8을 참조하면, 하부 지지부(145)를 연결하기 위한 지지조립체 하부연결유닛(150)에 대한 또 다른 실시 예가 도시되어 있다.

이러한 지지조립체 하부연결유닛(150)은, 다수의 하부 지지부(145) 중 인접한 하부 지지부(145) 사이에 배치되는 연결부재(176)와, 연결부재(176)에 돌출되게 마련되어 하부 지지부(145)에 삽입되며 상부 지지대(142)에 접촉되어 위치가 고정되는 고정부(177)를 포함한다. 이때 하부 지지부(145)는 연결부재(176)와 고정부(177)가 삽입되어 위치가 고정되며, 고정부(177)의 이탈을 방지하는 고정 턱(178)이 마련되는 고정 홈(179)을 포함한다.

연결부재(151)의 고정부(177)가 하부 지지부(145)의 고정 홈(179)에 삽입됨으로써 하부 지지부(145)는 서로 연결된다. 고정부(177)는 고정 홈(179)에 삽입된 상태에서 고정 턱(178)에 걸리게 되며, 상부 지지대(142)가 하부 지지부(145)에 결합될 때, 상부 지지대(142)에 의해 가압되어 고정 홈(179)에 위치가 고정된다. 연결부재(151)가 고정 홈(179)에 삽입될 때, 연결부재(151)는 상부 지지대(142)이 하부 지지부(145)에서 이격되지 않도록 고정 홈(179)에 충분히 함몰된다.

제4 실시 예에 따른 지지조립체 하부연결유닛(150)은 상부 지지대(142)와 하부 지지부(145) 사이에 매몰되며, 세 개의 하부 지지부(145) 사이의 너비 방향을 따라 간격을 두고 배치되어 인접한 하부 지지부(145)을 연결함으로써 기판(G)이 서셉터(105)에 지지될 때, 서셉터(105)의 길이 방향을 따라 발생되는 처짐을 방지할 수 있다.

이와 같이 본 실시 예들에 따른 지지조립체 하부연결유닛(150)은 세 개의 하부 지지부(145)을 연결하여 분할된 복수의 개별서셉터지지조립체(140)를 일체화시킴으로써 서셉터의 하중과 열 변형으로 인해 제1 컬럼(131)에 의해 지지되는 하부 지지부(145)와 제2, 3 컬럼(132)에 의해 지지되는 하부 지지부(145) 사이에서 발생할 수 있는 처짐을 방지하고, 이들에 모두 적용이 가능한 지지조립체 상부연결유닛(170)은 제1 컬럼(131)의 양측에 배치되는 한 쌍의 상부 지지대(142)을 연결하여 그 한 쌍의 상부 지지대(142)에서 발생할 수 있는 외곽 테두리의 처짐을 방지할 수 있다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

101: 상부 챔버 102: 하부 챔버
105: 서셉터 107: 상부 전극
109: 가스 분배판 111: 버퍼공간
113: 상부 플레이트 115: 절연체
117: 완충부 119: 상판부
120: 가스 공급부 122: 기판 출입부
123: 게이트 밸브 125: 기판 지지핀
130: 컬럼 131: 메인 샤프트
132: 서브 샤프트 140: 개별서셉터지지조립체
141: 상부 지지부 142: 상부 지지대
145: 하부 지지부 150: 지지조립체 하부연결유닛
151: 연결부재 153: 링크부
155: 회전공 157: 결합축
159: 나사산 161: 풀림방지 너트
163: 지지턱 165: 안치 홈부
167: 반원면 169: 커버 나사
170: 지지조립체 상부연결유닛
177: 고정부
178: 고정 턱 179: 고정 홈
181: 제1 보조지지패드 182: 제2 보조지지패드
185: 위치 고정 홀 187: 위치 고정 돌기

Claims

챔버 내에 승강 가능하게 설치되며, 상면으로 평면디스플레이가 로딩되는 서셉터;
상단은 상기 서셉터의 저면에 연결되고 하단은 상기 챔버를 통해 하방으로 노출되어 상기 서셉터를 승강 가능하게 지지하는 복수의 컬럼; 및
상기 서셉터의 처짐을 방지하기 위하여 상기 챔버 내에서 상기 컬럼에 결합되고 상면의 적어도 어느 일 영역이 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되어 상기 서셉터를 하부에서 지지하며, 상호 이격배치되는 복수의 개별서셉터지지조립체를 포함하고,
상기 개별서셉터지지조립체는,
상기 서셉터의 저면에 접촉지지되는 상부 지지부; 및
상기 상부 지지부를 연결하도록 상기 상부 지지부에 결합되는 하부 지지부를 포함하며,
상기 복수의 개별서셉터지지조립체를 상호 연결하는 지지조립체 연결유닛을 더 포함하고,
상기 지지조립체 연결유닛은,
상기 복수의 개별서셉터지지조립체의 상호 인접한 상기 하부 지지부를 연결하는 지지조립체 하부연결유닛을 포함하며,
상기 지지조립체 하부연결유닛은,
상호 인접한 상기 하부 지지부 사이에 배치되는 연결부재;
상기 연결부재에 마련되며, 관통 형성된 관통공이 마련되는 링크부; 및
상기 링크부의 관통공을 관통하여 삽입되어 상기 하부 지지부에 결합되는 결합축을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
챔버 내에 승강 가능하게 설치되며, 상면으로 평면디스플레이가 로딩되는 서셉터;
상단은 상기 서셉터의 저면에 연결되고 하단은 상기 챔버를 통해 하방으로 노출되어 상기 서셉터를 승강 가능하게 지지하는 복수의 컬럼; 및
상기 서셉터의 처짐을 방지하기 위하여 상기 챔버 내에서 상기 컬럼에 결합되고 상면의 적어도 어느 일 영역이 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되어 상기 서셉터를 하부에서 지지하며, 상호 이격배치되는 복수의 개별서셉터지지조립체를 포함하고,
상기 개별서셉터지지조립체는,
상기 서셉터의 저면에 접촉지지되는 상부 지지부; 및
상기 상부 지지부를 연결하도록 상기 상부 지지부에 결합되는 하부 지지부를 포함하며,
상기 복수의 개별서셉터지지조립체를 상호 연결하는 지지조립체 연결유닛을 더 포함하고,
상기 지지조립체 연결유닛은,
상기 복수의 개별서셉터지지조립체의 상호 인접한 상기 하부 지지부를 연결하는 지지조립체 하부연결유닛을 포함하며,
상기 지지조립체 하부연결유닛은,
상호 인접한 상기 하부 지지부 사이에 배치되며, 나사부가 마련되는 연결부재;
상기 연결부재의 나사부에 결합되며, 관통 형성된 관통공이 마련되는 링크부;
상기 링크부의 관통공을 관통하여 삽입되어 상기 하부 지지부에 결합되는 결합축; 및
상기 나사부에 결합되는 풀림방지 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
챔버 내에 승강 가능하게 설치되며, 상면으로 평면디스플레이가 로딩되는 서셉터;
상단은 상기 서셉터의 저면에 연결되고 하단은 상기 챔버를 통해 하방으로 노출되어 상기 서셉터를 승강 가능하게 지지하는 복수의 컬럼; 및
상기 서셉터의 처짐을 방지하기 위하여 상기 챔버 내에서 상기 컬럼에 결합되고 상면의 적어도 어느 일 영역이 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되어 상기 서셉터를 하부에서 지지하며, 상호 이격배치되는 복수의 개별서셉터지지조립체를 포함하고,
상기 개별서셉터지지조립체는,
상기 서셉터의 저면에 접촉지지되는 상부 지지부; 및
상기 상부 지지부를 연결하도록 상기 상부 지지부에 결합되는 하부 지지부를 포함하며,
상기 복수의 개별서셉터지지조립체를 상호 연결하는 지지조립체 연결유닛을 더 포함하고,
상기 지지조립체 연결유닛은,
상기 복수의 개별서셉터지지조립체의 상호 인접한 상기 하부 지지부를 연결하는 지지조립체 하부연결유닛을 포함하며,
상기 지지조립체 하부연결유닛은,
상호 인접한 상기 하부 지지부 사이에 배치되는 연결부재; 및
상기 연결부재에 돌출되게 마련되어 상기 하부 지지부에 삽입되는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 상부 지지부는,
상호 이격 배치되는 한 쌍의 상부 지지대; 및
상기 상부 지지대의 상면에 결합되어 상기 서셉터의 저면에 접촉지지되는 복수의 보조지지패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
제4항에 있어서,
상기 하부 지지부는 판 형상의 하부 지지대이며,
상기 하부 지지대에는 상기 복수의 컬럼 중 어느 하나의 컬럼이 결합되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
제5항에 있어서,
상기 복수의 개별서셉터지지조립체는 3개 마련되며,
상기 복수의 컬럼은,
중앙에 배치되는 제1 컬럼;
상기 제1 컬럼의 중심으로 상호 대칭되게 이격 배치되는 제2 컬럼과 제3 컬럼을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
제6항에 있어서,
상기 상부 지지대 및 상기 하부 지지대는 세라믹(Ceramic) 재질로 제작되며,
상기 보조지지패드는 알루미늄 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
제4항에 있어서,
상기 복수의 보조지지패드는,
상기 서셉터의 테두리부 영역의 상기 상부 지지대의 양측에 배치되는 제1 보조지지패드; 및
상기 서셉터의 테두리부 영역의 상기 상부 지지대의 중앙 영역에 배치되는 제2 보조지지패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
삭제
삭제
삭제
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 하부 지지부는 상기 링크부가 삽입되어 배치되는 안치 홈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 하부 지지부는 상기 관통공에 결합되어 상기 결합축의 이탈을 차단하는 커버 나사를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
삭제
제3항에 있어서,
상기 하부 지지부에는, 상기 연결부재와 상기 고정부가 삽입되어 위치가 고정되는 고정 홈이 형성되며, 상기 고정 홈이 형성된 부위에는 상기 고정부의 이탈을 방지하는 고정 턱이 마련되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지조립체 연결유닛은,
상기 복수의 개별서셉터지지조립체의 상호 인접한 상기 상부 지지부를 연결하는 지지조립체 상부연결유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이용 화학기상 증착장치.