JP2006098171A - 磁気検出用半導体集積回路およびそれを搭載した電子部品 - Google Patents

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Abstract

【課題】 ホール素子と電流検出用の差動アンプを内蔵したホールICにおいて、構成素子数を減らして回路の占有面積ひいてはチップサイズを低減する。
【解決手段】 ホール素子11と、該ホール素子の電圧変化を増幅するGmアンプ13と、所定のバイアス電圧を前記ホール素子の端子対に交互に印加させる切替え回路とを備えた磁気検出用半導体集積回路において、前記Gmアンプとして差動入力−シングルエンド出力のアンプを用い、該アンプの出力端子と所定の定電位点との間に接続された抵抗素子RLと、該抵抗素子と並列に設けられた容量素子C1と、該容量素子と直列に接続されたスイッチ素子SW11とを設け、該スイッチ素子を第1の位相期間にオン状態して前記容量素子に前記抵抗素子の端子間電圧をサンプリングし、第2の位相期間にオフ状態して前記容量素子に保持されている端子間電圧と前記抵抗素子の端子間電圧を比較して電位差に応じた信号を出力させる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ホール素子を用いた磁気センサに適用して有効な技術に関し、例えばホール素子とホール素子に流れる電流を検出する電流検出回路が1つの半導体チップに形成された磁気検出用半導体集積回路(ホールIC)に利用して有効な技術に関する。
従来、各種測定器や制御系におけるセンサとして磁気−電気変換特性を有するホール素子が利用されている。ホール素子は無接点スイッチであり耐久性に優れているため、その特性を利用して各種分野でセンサとして使用されている。ホール素子をセンサとして用いた制御系の一例としては、クランク軸の角度やミッションの回転数を検出してエンジンを制御する自動車のエンジン制御システムが良く知られている。
ところで、ホール素子を用いたセンサにおいては、センサの検出精度を低下させる要因として、ホール素子自身の持つオフセット電圧とホール素子の発生電圧を検出する差動アンプの持つオフセット電圧がある。これらのオフセット電圧をキャンセルして検出精度を向上させる発明としては例えば特許文献1〜3に記載のものがある。
直交する2組の端子対を持つホール素子は電流の向きを90度変えると、磁場によるホール電圧は同一であるが、ホール素子のオフセット電圧(磁場0での非平衡電圧)は大きさが同じで極性が逆になる性質がある。特許文献1〜3に記載の発明は、ホール素子のこの性質を利用し、第1の位相で検出したホール電圧と電流の向きを90度変えた第2の位相で検出したホール電圧を加算してホール素子のオフセット電圧をキャンセルするとともに、ホール電圧を増幅する差動アンプの差動入力を第1の位相と第2の位相で入れ替えることにより、アンプのオフセット電圧を同時にキャンセルするようにしたものである。
特開平08−201491号公報 特開平09−196699号公報 特開2001−337147号公報
特許文献1および2に記載の発明は、構成素子数が多く回路の占有面積ひいてはホールICのチップサイズが大きくなるという不具合がある。一方、特許文献3の発明は、素子数が少なく回路がシンプルで占有面積が小さくて済むという利点を有するが、第2の位相での出力のみ有効であり、第1の位相では出力が得られないため、連続した出力が得られないと共に、差動出力のアンプを用いているため回路の低電源電圧化に対応することが困難であるという不具合がある。
この発明の目的は、ホール素子と電流検出用の差動アンプを内蔵したホールICにおいて、構成素子数を減らして回路の占有面積ひいてはチップサイズを低減できるようにすることにある。
この発明の他の目的は、ホール素子とホール素子の発生電圧を検出する差動アンプを内蔵したホールICの低電源電圧化を容易に達成できるようにすることにある。
この発明のさらに他の目的は、比較的簡単な構成で連続した出力を得ることができるホール素子およびホール電圧検出用差動アンプを内蔵したホールICを提供することにある。
この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴については、本明細書の記述および添附図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、対向する端子対を2組有するホール素子と、該ホール素子の電圧変化を増幅する電圧入力-電流出力型の差動増幅回路(Gmアンプ)と、所定のバイアス電圧を切り替えて前記ホール素子の一方の端子対または他方の端子対に交互に印加させる切替え回路とを備えた磁気検出用半導体集積回路において、前記Gmアンプとして1対の差動入力端子と1つの出力端子を有する差動入力−シングルエンド出力のアンプを用い、該アンプの出力端子と所定の定電位点との間に接続された電流−電圧変換用の抵抗素子と、該抵抗素子と並列に設けられた容量素子と、該容量素子と直列に接続されたスイッチ素子とを設け、該スイッチ素子を第1の位相期間にオン状態して前記容量素子に前記抵抗素子の端子間電圧をサンプリングし、第2の位相期間にオフ状態して前記容量素子に保持されている端子間電圧と前記抵抗素子の端子間電圧を比較して電位差に応じた信号を出力させるように構成したものである。
上記した手段によれば、前記切替え回路によりホール素子に印加されるバイアス電圧を切り替えるとともに第1の位相期間のアンプの出力電流を前記抵抗素子で電圧に変換して前記容量素子にサンプリングし、第2の位相期間のアンプの出力電流を前記抵抗素子で変換した電圧と前記容量素子に保持されている第1の位相期間の電圧とを比較して電位差に応じた信号を出力することによってホール素子の有するオフセットをキャンセルした信号を出力させることができる。また、差動入力−シングルエンド出力のGmアンプを用いているため、回路規模小さくすることができるとともに、回路の低電源電圧化に容易に対応することができる。
また、前記抵抗素子と並列に設けられた第2容量素子と、該第2容量素子と直列に接続された第2スイッチ素子とを備え、前記スイッチ素子を第1の位相期間にオン状態して前記容量素子に前記抵抗素子の端子間電圧をサンプリングし、前記第2スイッチ素子を第2の位相期間にオン状態して前記第2容量素子に前記抵抗素子の端子間電圧をサンプリングし、第1の位相期間と第2の位相期間に、前記容量素子に保持されている端子間電圧と前記第2容量素子に保持されている端子間電圧を比較して電位差に応じた信号を出力させるように構成する。これにより、第1の位相期間と第2の位相期間のそれぞれにおいてホール素子の発生電圧の検出出力を得ることができる。
さらに望ましくは、第1の位相期間と第2の位相期間で前記ホール素子の一方の端子対の電圧または他方の端子対の電圧を切り替えて交互に前記Gmアンプへ入力させる第2切替え回路を設ける。これにより、Gmアンプの有するオフセットをキャンセルした信号を出力させることができる。
また、上記磁気検出用半導体集積回路と、該磁気検出用半導体集積回路に駆動電圧を与える電源回路と磁気検出信号を受けて外部の制御回路(コントローラ)へ出力するインタフェース回路を有するインタフェース用半導体集積回路とを1つの絶縁基板上に実装してモジュールとして構成する。これにより、複数のホール素子を有するシステムを構成する場合に、部品点数を減らしシステム全体を小型化することが可能になる。
さらに、上記インタフェース回路には、複数の磁気検出回路の検出結果をシリアルデータとして出力するパラレル−シリアル変換回路もしくは汎用通信プロトコルに対応したバスインタフェースを設ける。これにより、使用するホール素子の仕様やコントローラの仕様がどのようなものであってホール素子の状態に応じた検出信号をコントローラに入力させることが可能になる。
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記のとおりである。
すなわち、本発明に従うと、ホール素子と電流検出用の差動アンプを内蔵したホールICにおいて、構成素子数を減らして回路の占有面積ひいてはチップサイズを低減できるようになる。
以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明に係るホールICの第1の実施例を示す。図1に示されている素子および各回路ブロックを構成する素子は、単結晶シリコンのような1個の半導体基板上に、半導体集積回路として形成される。
図1において、符号11で示されているのはホール素子で、P型シリコン基板上に気相成長されたN型エピタキシャル層に、周囲がP型領域で囲まれたほぼ矩形状をなす領域によってホールプレート部が構成されている。この矩形領域の対向する辺の近傍に接触するように形成された2組の電極によって、各組の電極にバイアス電圧を印加したときに流れる電流の向きを90度変えることができる直交バイアス型のホール素子として機能するようにされている。このホール素子11は、ホールプレート部に印加される磁界の強度に比例した電圧VHを発生し、しかもその電圧VHはバイアス電圧を印加して電流を流しているときの方が顕著である。ホールプレート部がエピタキシャル層で構成されているため、拡散層で構成する場合よりも不純物濃度の均一性が高く、特性のばらつきの小さなホール素子が得られる。
本実施例のホールICには、上記ホール素子11の周囲温度に応じて変化する磁気−電気変換特性を補償させるような温度依存性のあるバイアス電圧Vbを発生する温度補償回路12と、この温度補償回路12により発生されたバイアス電圧Vbと基準電位としての接地電位GNDを上記ホール素子11の対向する電極間に印加可能なスイッチ素子SW1〜SW4が設けられている。
これらのスイッチ素子SW1〜SW4のうちSW1とSW3は同一のクロック信号φ1によってオン、オフ制御され、SW2とSW4はφ1と位相が180°ずれたクロック信号φ2によってオン、オフ制御され、SW2とSW4がオンされたときにはSW1とSW3がオンされたときにホール素子11に流れる電流と90度方向が異なる電流が流れるようにされる。温度補償回路12は、本発明者が先に出願した特願2004−82165号に記載されているものや特開平10−071927号公報に記載されているものなど任意の回路を用いることができる。かかる温度補償回路12は、本発明に直接関係しないので、具体的な回路の例示と説明は省略する。
符号13は、ホール素子11に電流を流したときに該電流と直交する方向に発生する電位差を検出するための電圧入力−電流出力型のアンプ(Gmアンプ)で、このGmアンプ13とホール素子11との間には、ホール素子11に電流を流したときに発生する電位を切り替えてGmアンプ13に入力させるスイッチ素子SW5〜SW8が設けられている。スイッチ素子SW5〜SW8のうちSW6とSW8は上記クロックφ1によってオン、オフ制御され、SW5とSW7は上記クロックφ2によってSW6,SW8と相補的にオン、オフ制御される。
しかも、この実施例では、スイッチ素子SW6とSW8がクロック信号φ1によってオン、オフ制御されるときと、SW5とSW7がクロック信号φ2によってオン、オフ制御されるときとでは、Gmアンプ13に入力されるホール素子出力の極性が逆になるようにスイッチ素子SW5〜SW8が配置されている。具体的には、ホール素子11に図1の上から下に向かう電流I1を流したときに左側の端子に発生する電位をGmアンプ13の反転入力端子(−)に入力させ、ホール素子11に図1の左から右に向かう電流I2を流したときに右側の端子に発生する電位をGmアンプ13の反転入力端子(−)に入力させるようにスイッチ素子SW5〜SW8が配置されている。これによって、ホール素子11のオフセット電圧とGmアンプ13のオフセット電圧を同時にキャンセルすることができる。
さらに、本実施例のホールICにおいては、Gmアンプ13として差動入力−シングルエンド出力のアンプが用いられているとともに、基準となる定電圧VDCを発生する定電圧回路14およびその出力電圧をインピーダンス変換するボルテージフォロワ15が設けられている。そして、このボルテージフォロワ15の出力電圧が印加された定電位点NcとGmアンプ13の出力端子との間には、Gmアンプ13の出力電流を電圧に変換するための抵抗RLが接続されているとともに、この抵抗RLと並列に容量C1が設けられこの容量C1と直列にスイッチ素子SW11が接続されている。このスイッチ素子SW11は、上記ホール素子の入力切替えスイッチSW1〜SW4のうちSW1とSW3をオン、オフさせるクロック信号φ1と同一のクロックによってオン、オフ制御される。定電圧VDCは任意の電位とすることができるが、他の回路との整合性の良い電圧として、この実施例では1.2Vが選択されている。
上記抵抗RLは、半導体チップ上に形成された拡散層あるいはポリシリコン層などにより構成することができるし、外付けの抵抗素子を用いるようにしてもよい。また、一般的な抵抗素子の代わりに、シリコン基板上にホール素子11と同一の工程でほぼ同一の大きさを有するエピタキシャル層からなるダミーのホール素子としてのホールプレート部を形成して、このダミーのホール素子を抵抗RLとして使用するようにしても良い。ダミーのホール素子を抵抗RLとして使用することにより、ホール素子の温度依存性を補償する回路を設ける必要がなくなるという利点がある。
さらに、本実施例のホールICには、上記Gmアンプ13の出力端子と抵抗RLとの接続ノードN0の電位と、上記容量C1とスイッチ素子SW11との接続ノードN1の電位とを比較するヒステリシス・コンパレータ16と、該コンパレータ16の出力を保持するラッチ回路17と、ラッチ回路17の出力をチップ外部へ出力する外部端子18とが設けられている。ヒステリシス・コンパレータ16の代わりにリニアアンプを設け、Gmアンプ13の出力電流に比例した電圧を出力するように構成しても良い。その場合、ラッチ回路17の代わりにサンプルホールド回路を設けるのが望ましい。また、ラッチ回路17やサンプルホールド回路を省略して、コンパレータ16もしくはリニアアンプの出力電圧を直接外部端子18よりチップ外部へ出力させるように構成しても良い。
次に、本実施例のホールICの動作を図2および図3を用いて説明する。このうち、図2(A)はクロック信号φ1がハイレベルの期間(第1位相)の状態を、また(B)はクロック信号φ2がハイレベルの期間(第2位相)の状態を示す。
クロック信号φ1がハイレベルにされると、図2(A)に示すように、スイッチ素子SW11がオン状態にされ、ホール素子11の発生電圧VHに応じたGmアンプ13の出力電流により抵抗RLに発生した電圧VO2が容量C1にチャージされる。このとき、Gmアンプ13のゲインをGmとすると、出力電流はGm・VHであるが、ノードN1の電位VO1にはGmアンプ13のオフセット電圧が含まれているため、Gmアンプ13の入力換算オフセットをVoffとおくと、VO1=VDC+RL・Gm・(VH1+Voff)となる。また、ノードN0の電位VO0はノードN1の電位VO1に等しく、N1とN0の電位差VOは0Vである。
次に、クロック信号φ1がロウレベルにされると、図2(B)に示すように、ホール素子11の電流の向きが変わるとともにGmアンプ13の入力が切り替わり、スイッチ素子SW11がオフ状態にされる。これによって、ノードN0の電位VO2は、Gmアンプ13のオフセット電圧Voffを含めて、VO2=VDC−RL・Gm・(VH2−Voff)となる。また、ノードN1の電位VO1は容量C1によりφ1がハイレベルの期間の電位(VDC+RL・Gm・VH1+RL・Gm・Voff)が保持されているため、N1とN0の電位差VOは、
VO={VDC+RL・Gm(VH1+Voff)}−{VDC−RL・Gm(VH2−Voff)}
=RL・Gm(VH1+VH2)
となる。よってGmアンプのオフセットが相殺される事が分かる。
ここで、ホール素子11の発生電圧VHに含まれるオフセット電圧をVHOとすると、図2(A)の向きに電流が流れるときのオフセット電圧と図2(B)の向きに電流が流れるときのオフセット電圧は逆向きであり、VH1=VH+VHO,VH2=VH−VHOであるため、
VO=2・RL・Gm・VH
となり、φ1がハイレベルの期間のオフセットとφ1がロウレベルの期間のオフセットとが相殺し合い、ノードN1とN0の電位差VOにはホール素子11のオフセットが含まれないようになる。
図4〜図6は、本発明に係るホールICの第2の実施例を示す。
この実施例は、第1の実施例におけるGmアンプ13の出力端子と定電位点Ncとの間に、抵抗RLと並列の容量C1およびスイッチSW11の他にもう1組の容量C2およびスイッチ素子SW12を設け、スイッチ素子SW12をクロックφ1と逆相のクロックφ2によりスイッチ素子SW11と相補的にオン、オフさせるように構成したものである。なお、図4には示されていないが、図1の実施例と同様に定電圧回路14およびボルテージフォロワ15やヒステリシス・コンパレータ16、ラッチ回路17が設けられる。第1の実施例と同様に、ヒステリシス・コンパレータ16の代わりにリニアアンプ、ラッチ回路17の代わりにサンプルホールド回路を設けても良い。
第1の実施例においては、クロックφ1がロウレベルの期間しか正しい検出出力が得られないのに対して、この第2の実施例においては、第1の実施例と同様にホール素子11のオフセットとGmアンプ13のオフセットをキャンセルした出力が得られる上、クロックφ1がロウレベルの期間もハイレベルの期間も正しい検出出力を得ることができるようになり、第1位相と第2位相で連続した検出出力が得られるので、クロックφ1の周波数を高めることなく2倍の速度で動作したのと同等の結果を得ることができるという利点がある。
図7は、第2の実施例のホールICのうちGmアンプ13とボルテージフォロワ15とヒステリシス・コンパレータ16の具体的な回路例を示す。なお、図1には示されていないが、実施例のホールICには、Gmアンプ13やボルテージフォロワ15、ヒステリシス・コンパレータ16内の定電流用トランジスタQ5,Q6,Q7,Q15,Q16,Q18,Q25,Q27,のゲートバイアス電圧Vcsを生成するバイアス電圧生成回路19が設けられている。
Gmアンプ13は、スイッチ素子SW5〜SW8を介してホール素子の出力VHが入力されるバイポーラ・トランジスタからなる差動入力トランジスタQ1,Q2と、Q1,Q2のコレクタと電源電圧端子との間に接続されたアクティブ負荷MOSトランジスタQ3,Q4と、Q1,Q2のエミッタ端子間に接続されたエミッタ抵抗Reと、Q1,Q2のエミッタ端子と接地点との間に接続された定電流用MOSトランジスタQ5,Q6とから構成されている。差動入力トランジスタQ1,Q2にバイポーラ・トランジスタを用いることによりアンプの増幅率を高くすることができる。また、ホール素子の出力VHを増幅するアンプ13はシングルエンド出力のアンプでよいため、Gmアンプを用いることができ、しかもこれにより、図7のような簡単な回路で出力ダイナミックレンジを広くすることができるとともに、アンプのGm(伝達コンダクタンス)を容易に制御することができる。
前述の特許文献3の発明のように差動出力のアンプが必要な場合、低電源電圧化に対応するためアクティブ負荷MOSトランジスタを有するアンプ(Gmアンプではない電圧出力型のアンプ)を使用すると、正相側の信号を増幅するアンプと負相側の信号を増幅するアンプが必要となるため、回路規模が大きくなってしまうが、本発明のようにシングルエンド出力のアンプでよい場合には、本実施例のようにアンプを簡略化しても低電源電圧化に対応することができる。つまり、差動入力トランジスタの負荷としてトランジスタでなく抵抗を用いるタイプのアンプでよければ、1つのアンプから差動出力を取り出すことができるが、負荷として抵抗を用いるアンプは出力ダイナミックレンジが狭くなってしまうため、ICを低電源電圧化したときに十分な出力ダイナミックレンジが得られなくなってしまうが、本実施例のようなGmアンプであれば、簡単なアンプ1つで済みかつ低電源電圧でも比較的広い出力ダイナミックレンジが得られる。
ヒステリシス・コンパレータ16は、ボルテージフォロワからなるインピーダンス変換部VFと比較部CMPとからなる。インピーダンス変換部VFのボルテージフォロワを構成する差動入力トランジスタQ11,Q12にはMOSトランジスタが用いられている。バイポーラ・トランジスタを用いると入力インピーダンスが低くなり容量C1,C2の電荷が引き抜かれてノードN1,N2の電圧が下がってしまうためである。
また、ヒステリシス・コンパレータ16に、ボルテージフォロワからなるインピーダンス変換部VFを設けているのは、ノードN1の電位を比較部CMPに直接入力すると、比較部CMPの差動入力トランジスタQ21のゲート端子と接地点と間に設けられたしきい値を変化させるためのMOSトランジスタQ16〜Q18によって、容量C1の電荷が引き抜かれてしまうためである。一方、差動入力トランジスタQ22のゲート端子側にはしきい値を変化させるためのMOSトランジスタがないため、ノードN3の電位は比較部CMPの差動入力トランジスタQ22のゲート端子に直接入力されている。
比較部CMPは、MOSトランジスタQ21〜Q25からなる差動増幅段と、MOSトランジスタQ26,Q27からなるソース接地型出力段と、MOSトランジスタQ28,Q29からなるCMOSインバータ型最終出力段とから構成されている。そして、インピーダンス変換部VFの出力ノードと差動入力トランジスタQ21のゲート端子との間に入力抵抗R1が、また差動入力トランジスタQ21のゲート端子と接地点との間に定電流用MOSトランジスタQ16が、さらにQ16と並列に直列形態のMOSトランジスタQ17,Q18が接続されており、Q17のゲート端子にソース接地型出力段の出力電位がフィードバックされ、Q18のゲート端子にはバイアス生成回路19からの電圧Vcsが印加されて定電流源として動作することにより、出力電位のレベルに応じてしきい値電圧が変化するヒステリシス特性を有するようにされている。
すなわち、コンパレータ16の出力電位がハイレベル(ソース接地型出力段の出力電位はロウレベル)のときはMOSトランジスタQ17がオフ状態にされて入力抵抗R1における電圧降下が小さくされ、コンパレータ16の出力電位がロウレベル(ソース接地型出力段の出力電位はハイレベル)のときはMOSトランジスタQ17がオン状態にされて入力抵抗R1における電圧降下が大きくされる。これによって、入力がロウレベルからハイレベルに変化するときは見かけ上のしきい値電圧が高くなり、入力がハイレベルからロウレベルに変化するときは見かけ上のしきい値電圧が低くなるヒステリシス特性を示す。
図8は、第2の実施例のホールICの第1の変形例を示す。図7の実施例においては、ホール素子11に与えるバイアス電圧Vbを生成する回路にホール素子の温度特性を補償するような電圧を生成する温度補償回路12を用いているが、この変形例においては、Gmアンプ13にその出力電流をホール素子の温度特性を補償するように制御する差動増幅段と電流制御回路からなる温度補償部13aを設けたものである。ボルテージフォロワ15とヒステリシス・コンパレータ16は、図7の実施例のものと同じで良いので具体的な回路の例示と説明は省略する。
この変形例においては、Gmアンプ13の差動入力トランジスタQ1,Q2の負荷にベースとコレクタが結合されたいわゆるダイオード接続のバイポーラ・トランジスタQ3,Q4を用いるとともに、温度補償部13aの差動増幅段の差動入力トランジスタQ31,Q32は、Gmアンプ13の負荷トランジスタQ3,Q4と各々カレントミラーを構成するようにベース共通接続され、Q3,Q4に流れる電流と同一もしくは比例した電流がQ31,Q32に流れるようにされている。そして、このトランジスタQ31,Q32の共通エミッタと電源電圧端子との間に接続された定電流用MOSトランジスタQ35とゲート共通接続されカレントミラーを構成するダイオード接続のMOSトランジスタQ36が設けられ、このトランジスタQ36と直列に、ホール素子11の温度依存性を補償するような温度特性を有する電流を流す温度補償用電流源CS1が接続され、差動アンプの差動入力トランジスタQ32のコレクタから出力電流が取り出されるように構成されている。
この変形例のホールICにおいては、温度補償部13aによってホール素子11の温度依存性を補償した電流を後段の抵抗RLへ出力することができる。これとともに、温度補償用電流源CS1の電流がQ35,Q36のカレントミラーによって折り返されて温度補償部13aの差動増幅段に流され、該差動増幅段の差動入力トランジスタQ31,Q32とGmアンプ13の負荷トランジスタQ3,Q4とがカレントミラーを構成している。そのため、入力を固定して温度補償用電流源CS1の電流を増加させると出力電流が増加し、CS1の電流を減少させると出力電流が減少する、つまり温度補償用電流源CS1の電流に大きさに応じてアンプのゲインが決まる。従って、温度補償用電流源CS1を外部からの制御信号CNTによってその電流を制御できるように構成しておくことによって、容易にアンプのゲインを調整することができる回路を実現することができるという利点がある。
図9は、第2の実施例のホールICの第2の変形例を示す。この変形例は、ホール素子11の温度特性を補償するようなバイアス電圧Vbを生成する温度補償回路12を設ける代わりに、ヒステリシス・コンパレータ16のしきい値電圧を温度に応じて変化させることでホール素子11の温度依存性を補償するようにしたものである。
具体的には、所定の温度特性を有する温度補償用電流源CS2と、該電流源CS2と直列に設けられたMOSトランジスタQ19とを設け、該トランジスタQ19と2段階のしきい値を生成するためのMOSトランジスタQ16およびQ18とをゲート共通接続してカレントミラーを構成するようにしたものである。トランジスタQ19は、ゲートとドレインが結合されたダイオード接続とされ、電流源CS2から流される電流を電圧に変換してQ16およびQ18のゲートに供給することで、Q19とQ16およびQ18とのサイズ比(ゲート幅の比)に応じた電流をQ16,Q18に流す。従って、電流源CS2の電流が温度に応じて変化するとQ16,Q18に流れる電流が変化し、抵抗R1における電圧降下量が温度に応じて変化することで、ヒステリシス・コンパレータ16のしきい値電圧を温度に応じて変化させることができる。
以上、本発明を、電源電圧端子VCCとグランド端子GNDと検出信号の出力端子18を有する3端子のホールICとして構成した場合について説明したが、本発明は、例えば前記実施例におけるラッチ回路17および出力端子18を省略して、図10(A)に示すように、電源電圧端子VCCとコンパレータ16もしくはリニアアンプの出力端子との間に抵抗Roを接続したり、図10(B)のように、電源電圧端子VCCとグランド端子GNDとの間に接続された直列の抵抗Roと出力トランジスタQo(もしくはQoのみでも可)を設け、コンパレータ16もしくはリニアアンプの出力で出力トランジスタQoをオン、オフさせるように構成したりして、2端子のホールICとして構成することも可能である。2端子のホールICとして構成することで、ホールICを多数使用するシステムでは、以下に説明するようなインタフェース回路と組み合わせることでホールICとコントローラを接続するワイヤハーネスを減らすことができるという利点がある。
従来の2端子のホールICを使用した磁気検出システムでは、図10(C)に示すように、ホールIC10の電源ラインL1上に負荷抵抗40が設けられ、磁気の変化に応じて出力トランジスタQoがオン、オフされて負荷抵抗40に流れる電流が変化するようにされる。そして、コントロールユニット20側には、コンパレータ70が設けられ、このコンパレータ70が負荷抵抗40の一方の端子の電圧と参照電圧Vrefとを比較して抵抗の端子間電圧の変化を検出してコントロールユニット20に入力するように構成される。
3端子のホールICを使用した検出システムでは2本の電源ラインの他に検出信号を伝達する信号線が必要であるのに対し、2端子のホールICを使用した検出システムでは2本の電源ラインL1,L2のみで済む。例えば、自動車の制御システムのように、コントロールユニットから離れた位置にホール素子が設けられ、しかもその数が多くなる傾向のあるシステムに3端子のホールICを使用すると、コントロールユニットとホールICとを接続するワイヤハーネスが増加して、コストが上昇するとともに保守点検や故障したときの故障箇所の発見が面倒になるなどの不具合がある。
これに対し、2端子のホールICを使用したシステムでは、ワイヤハーネスを減らせるという利点があるものの、負荷抵抗40の挿入位置や挿入する負荷抵抗40の抵抗値に応じてコンパレータ70の参照電圧Vrefを設定しなければならないためその設定が面倒であるとともに、使用するホールICの仕様やシステム構成が異なると参照電圧Vrefの最適な設定値が異なるため設定がさらに複雑になる。このように、コンパレータ70の参照電圧Vrefの設定値がまちまちであることから、従来、複数のホールICとコントロールユニットとの間の入出力を行なうインタフェースICは提供されていなかった。
図11は、複数のホールICを使用するシステムに好適なインタフェース回路の第1の実施例と、該インタフェース回路を用いた制御システムの構成例を示す。
図11において、符号10で示されているのはホールIC、20はマイクロコンピュータなどからなるコントロールユニット、30は本発明に係るインタフェース回路である。コントロールユニット20は、例えばエンジンの制御システムでは、クランク軸に設けられたクランク角度を検出するホールIC(センサ)からの検出信号に基づいて点火プラグの着火タイミングなどを制御したりする。ホールIC10は磁気−電気変換特性を有するホール素子11や、該ホール素子11の状態に応じてオン、オフ動作される出力トランジスタQoを有する。
特に制限されるものでないが、この実施例ではホールIC10は駆動電圧Vccが印加される電源端子と接地電位GNDが印加されるグランド端子のみ有する2端子素子が使用されている。また、図示しないが、ホールIC10にはチップの温度変動にかかわらず安定した出力を保証するための温度補償回路が設けられていても良い。かかる温度補償回路は、前記特許文献1等で公知であるとともに、本発明とは直接関係しないので説明は省略する。
この実施例のインタフェース回路30は、バッテリー50からの直流電源Vccを受けてホールIC10に印加する駆動電圧Vbiasを生成する電源回路としてのシリーズレギュレータ31と、インタフェース回路30とホールIC10とを接続する電源ラインL1を介してホールIC10へ流される電流を検出する電流検出回路32とを備える。特に制限されるものでないが、インタフェース回路30を構成するシリーズレギュレータ31と電流検出回路32は、公知のCMOS製造プロセスによって単結晶シリコンのような1個の半導体チップに半導体集積回路として形成される。
シリーズレギュレータ31は、バッテリー50の正極端子に接続される電圧入力端子P1とホールIC10に電源を供給する電源ラインL1が接続される電圧出力端子P2との間に設けられた電圧制御用MOSトランジスタQ10と、該トランジスタQ10のドレイン側の電圧すなわち出力駆動電圧Vbiasが反転入力端子に印加され非反転入力端子には基準電圧Vbが印加されたオペアンプ(演算増幅回路)OP1とからなり、該オペアンプOP1の出力電圧が前記電圧制御用MOSトランジスタQ10のゲート端子に印加されている。
これにより、出力駆動電圧Vbiasが基準電圧Vbと一致するようにオペアンプOP1によって電圧制御用MOSトランジスタQ10がフィードバック制御される。この実施例では、基準電圧Vbが2.5Vのような値に設定されることにより、シリーズレギュレータ31はバッテリー50からの12Vの直流電源を2.5Vの駆動電圧Vbiasに変換して出力するように構成されている。基準電圧Vbを調整可能あるいは基準電圧Vbを外部から設定するための外部端子を設けておくことにより、使用するホールICの仕様に応じて出力駆動電圧Vbiasを設定可能にすることができる。
電流検出回路32は、前記電圧制御用MOSトランジスタQ10と並列形態に設けられQ10と同様にゲート端子にオペアンプOP1の出力電圧が印加されたMOSトランジスタQ20と、前記電圧入力端子P1と接地電位が印加されるグランド端子P3との間に該MOSトランジスタQ20と直列に接続された電流−電圧変換用の抵抗Rsと、該抵抗Rsにより変換された電圧と所定の比較電位Vcとを比較するコンパレータCMPとから構成されている。MOSトランジスタQ10,Q20の代わりにバイポーラ・トランジスタを用いても良い。
電圧制御用MOSトランジスタQ10はホールIC10に充分に電流を流せるようにオン抵抗が小さいつまりサイズの大きな素子とするのが望ましい一方、MOSトランジスタQ20は該インタフェース回路30の消費電流をできるだけ少なくするために小さなサイズとするのが望ましい。具体的には、トランジスタQ10とQ20のサイズ比(ゲート幅比)は100:1〜1000:1のような値に設定される。このようなサイズ比に設定してQ20に流れる電流を小さくしても抵抗Rsの抵抗値を大きくすることで、検出に必要な電圧を発生させることができる。
さらに、前記コンパレータCMPにはヒステリシス特性を有するものを使用するのが望ましい。ヒステリシス特性を有するコンパレータCMPを用いることで、電源ラインにノイズが乗ったり、温度揺らぎ等によって検出電流が変化したりしてもそれを無視した正確な検出出力が得られるようになる。
また、本実施例では、抵抗素子Rsはオンチップの素子が用いられているが、外付け素子として接続できるようにインタフェース回路30に外部端子を設けておくようにしても良い。抵抗素子Rsの抵抗値は、電圧降下によって0.1〜1V程度の電圧が発生するような値が選択される。また、本実施例では、コントロールユニット20に対して2値化した検出結果を出力するためコンパレータを用いているが、コンパレータの代わりにリニアアンプを設けてホールIC10に流される電流すなわちホールIC10の磁気検出量に応じたアナログ電圧として出力するように構成しても良い。
本実施例のインタフェース回路30を用いたシステムにおいては、ホールIC10に供給される駆動電圧Vbiasが2.5Vであるため、ホールIC10のオフ時の消費電流が5mA、オン時の消費電流が15mA、熱抵抗が200℃/W〜300℃/Wであるとすると、ホールICのオフ時の消費電力は12.5mWで、発熱による温度上昇は2.5℃〜3.8℃、また、オン時の消費電力は37.5mWで、発熱による温度上昇は7.5℃〜11.3℃にすぎない。
従って、周囲温度が150℃でもホールIC10の温度は165℃に達することがなく、動作補償温度以下に抑えることが容易となる。また、本実施例のインタフェース回路30を用いたシステムにおいては、電源ラインの低インピーダンス化が達成されるため、電源ラインにノイズがのりにくくなるという利点もある。
次に、本発明に係るホールICのインタフェース回路の第2の実施例とそれを用いた制御システムの構成例を、図12を用いて説明する。
この実施例のインタフェース回路30は、図11に示されているようなシリーズレギュレータからなる電源回路31と電流検出回路32との組を複数個設けて、複数のホールIC10とコントロールユニット20との間を1つのインタフェース回路30で接続できるようにしたものである。自動車などの制御システムにおいては、複数のホールICをセンサとして使用することが多いので、本実施例のインタフェース回路30を用いることで、制御装置の小型化が可能になるとともに、システム全体のコストを下げることができる。なお、この実施例のインタフェース回路30では、複数の電流検出回路32のうち1つあるいは数個にリニアアンプを設け、残りの電流検出回路32にはコンパレータを設けることで、センサの使用箇所に応じて2値化出力とアナログ値を出力させるように構成することができる。
図13および図14には、第2の実施例のインタフェース回路30の変形例を示す。このうち、図13は複数の電流検出回路32の検出出力をシリアルデータに変換するパラレル−シリアル変換回路33を設けて、検出結果をシリアルデータとしてコントロールユニットへ出力できるように構成したものである。汎用マイクロコンピュータの多くはシリアル通信ポートを有するので、本変形例のインタフェース回路を用いることで、汎用マイクロコンピュータをコントロールユニットとする制御システムを構成しやすくなるという利点がある。
また、使用するホールICが数10個にもなる大規模なシステムで、図12のような構成を有するインタフェース回路1つでは対応できず、複数のインタフェース回路を使用するシステムにあっては、本変形例のインタフェース回路を使用することでコントロールユニットとの接続が容易になる。インタフェース回路内のコンパレータの代わりにリニアアンプを設けたチャネルに関しては、リニアアンプのアナログ出力をディジタル信号に変換するAD変換回路を設け、該AD変換回路の出力をパラレル−シリアル変換することで、本変形例を適用することができる。
図14の変形例は、車載用の制御システムを構成するのに好適なインタフェース回路の構成を示す。近年、車載用の制御システムに関しては、LINやCANと呼ばれるLAN(ローカルエリアネットワーク)の規格が提唱されている。本変形例は、LINまたはCANに対応したインタフェース34を内蔵したものである。これにより、車載LANを採用した制御システムに適用することが容易となる。
次に、本発明に係るホールICのインタフェース回路の第3の実施例を、図15を用いて説明する。
本実施例は、インタフェース回路の電流検出回路32をロジック回路で構成するようにしたものである。具体的には、抵抗Rsにより変換された電圧信号を所定のしきい値Vthで弁別しクロックCLKに同期してラッチする第1のラッチ回路LT1と、該第1のラッチ回路LT1の出力をラッチする第2のラッチ回路LT2と、2つのラッチ回路LT1,LT2の出力Vt(n-1),Vt(n)を比較して信号が変化したか否かを判定する判定回路JDGとから構成されている。判定回路JDGは、イクスクルーシブORゲートなどの論理ゲート回路により構成することができる。
図16に、本実施例のインタフェース回路における電流検出回路32の各部の信号のタイミングを示す。図16において、(a)はホールICに流れる電流、(b)は抵抗Rs等により検出される電流検出出力、(c),(d)はラッチ回路LT1,LT2の出力Vt(n-1),Vt(n)、(e)はVt(n-1)とVt(n)の排他的論理輪をとった結果、(f)は判定回路JDGの判定出力DTCである。判定回路JDGは(e)の出力結果がロウレベルからハイレベルに切り替わった時に出力が切り替わるよう構成されている。本実施例のインタフェース回路においては、図16(a),(b)のように、ホールICに流れる電流や電流検出出力にノイズがのっていても、出力にノイズが現れないという利点がある。
なお、図15に示されている第1のラッチ回路LT1と第2のラッチ回路LT2としてアナログ電圧を保持可能なラッチ手段(サンプルホールド手段)を用いるとともに、その後段にそれぞれのラッチ手段に保持されている電圧の差分Vt(n-1)−Vt(n)をとる減算手段と、該減算手段の差分出力(図16(g)参照)と所定のしきい値Vth1,Vth2とを比較するヒステリシス付コンパレータ等を設けて検出電流を判定するように構成しても良い。
図17には、インタフェース回路30の第4の実施例を示す。
本実施例のインタフェース回路は、外部に設けられた電源ラインL1の電流を検出する電流検出手段60からの検出出力を比較電圧Vcと比較して判定するコンパレータCMPにより電流検出回路32を構成するようにしたものである。本実施例によれば、図11の実施例に比べてトランジスタQ20と抵抗Rsが不要になるため、インタフェース回路を簡略化し小型化することができるという利点がある。
本実施例においても、コンパレータCMPの代わりにリニアアンプを用いアナログ電圧で出力する変形例が考えられる。電源ラインL1の電流を検出する電流検出手段60としては、電源ラインL1の周りに配置され部分的に切断箇所を有するリング状の磁性体61と、該磁性体61の切断箇所に配置され磁性体に生じる磁場を検出するホール素子62とからなるセンサなどが考えられる。ホール素子62を有するセンサを使用する場合に備えて、インタフェース回路30内に負荷抵抗を設けておくようにしても良い。
本実施例に従うと、使用するホール素子の仕様如何にかかわらず正確に磁気を検出しかつホール素子での発熱量を減らし信頼性を向上させることができるホール素子のインタフェース回路およびそれを用いたシステムを実現することができる。
さらに、シリアル通信機能あるいはLANを構成するバスに接続可能なインタフェースを有するコントローラに対して検出結果を出力することができる汎用性の高いホール素子のインタフェース回路およびそれを用いたシステムを実現することができるという効果がある。
次に、前記実施例のホールIC10とインタフェース回路30とを1つのプリント配線基板に実装したモジュールの実施例を、図18〜図20を用いて説明する。
図18に示される実施例のモジュール80は、複数個のホールIC10を1列に並べてプリント配線基板81上に実装するとともに、各ホールIC10に対向するように磁性体からなるヨーク82に保持された磁石83を並べた対向基板84が所定の間隔をおいて対向するようにホルダ85a,85bで基板81上に固定したものである。このモジュール80は、上記プリント配線基板81と対向基板84との間隔内に、図19に示すような三角形状の磁性体プレート86をスライド可能に挿通させて、プレート86の位置ないしは移動量を検出する位置検出装置として機能する。
図19に示す磁性体プレート86を用いる代わりに、図20に示すように、矩形状の非磁性体からなるプレート87に、対向基板84上の複数の磁石83のそれぞれに対向可能な位置に複数の磁性体片88を所定のパターンで設けたものを用いるようにしても良い。図20のプレートを用いるとプリント配線基板81上のホールIC10からは位置情報をエンコードした検出信号が得られるため、図19に示す磁性体プレート86を用いる場合よりもホールIC10の数を減らすことができるという利点がある。例えば図19の場合に8個のホールIC10が必要であれば図20の場合には3個のホールIC10で済み、図19の場合に256個のホールIC10が必要であれば図20の場合には8個のホールIC10で済む。つまり、2のn乗個のホールICをn個のホールICで代用することができる。
図21は、ホールICと図13のインタフェース回路30と図18のモジュール80とを用いた検出システムの構成例を示す。センサを設ける位置が、それぞればらばらではあるがマイクロコンピュータからなるコントロールユニット20の比較的近くにある場合には、符号A〜Xで示すようにコントロールユニット20に対してホールIC10をそれぞれ単独で接続してパラレル方式で信号を検出する。センサを設ける位置がコントロールユニット20から離れているが複数のセンサがまとまって配置される場合には、まとまっているホールIC10a〜10hに対して共通のインタフェース回路18を割り当てて各ICから検出信号を吸い上げてコントロールユニット20にはシリアル通信で検出データを転送すると良い。
位置検出装置が必要な部位には図18のモジュール80を適用することで、モジュール内のインタフェース回路18がモジュール内の各ホールIC10から検出信号を吸い上げてコントロールユニット20にはシリアル通信で検出データを転送することができる。また、モジュール80には、位置検出用のホールIC10以外の単独のホールIC10からの検出信号を入力することができる1個または数個のポートもしくは端子89を設けておくようにしても良い。これによって、コントロールユニット20からは離れているが位置検出用のモジュール80の近くに配置されているホールIC10の検出信号を余分なワイヤを配設することなく収集することができるようになる。
本発明の実施例によると、ホール素子とホール素子の発生電圧を検出する差動アンプを内蔵したホールICの低電源電圧化を容易に達成できる。さらに、比較的簡単な構成で連続した出力を得ることができるホール素子およびホール電圧検出用差動アンプを内蔵したホールICを実現することができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば上記実施例では、ホールICとして2端子のものを使用したシステムを示したが、本実施例のインタフェース回路は、使用するホールICが3端子である場合にも適用することができる。その場合、3端子のホールICの出力端子と電源電圧端子との間に外付けの抵抗を接続しておけば良い。
また、前記実施例では、電源回路31と電流検出回路32を構成する素子が1つの半導体チップ上に形成されたモノリシックICとして構成されたインタフェース回路の例を説明したが、この発明はそれに限定されるものでなく、複数のICとディスクリートの抵抗素子などの電子部品が1つの絶縁基板上に実装されて成るハイブリッドのモジュールとして構成されている場合に適用することができる。また、前記実施例では、インタフェース回路に設ける電源回路としてシリーズレギュレータを用いたものを示したが、スイッチングレギュレータまたはシャントレギュレータを用いるようにしても良い。
本発明は、車速センサ、車輪速度センサ、クランク角センサ等の温度の変化が大きい環境で使用されるホールICをセンサとして有する制御システムに適用すると最も有効であるが、車高調整やシフトレバーなどに代表されるポジションセンサなどとしてホールICを用いた制御システム、さらには自動車以外の用途、例えば洗濯機、エアコンなどのブラシレスモータの回転子の位置検出、ドアの開閉状態を検出するセンサとしてホールICを用いた家庭用電気製品における制御システムにも利用することができる。
本発明に係るホールICの第1の実施例を示す回路構成図である。 (A)は実施例のホールICの第1位相の状態を示す動作説明図、また(B)は実施例のホールICの第2位相の状態を示す動作説明図である。 実施例のホールICの各部の電圧の変化を示すタイミングチャートである。 本発明に係るホールICの第2の実施例を示す回路構成図である。 (A)は第2の実施例のホールICの第1位相の状態を示す動作説明図、また(B)は第2の実施例のホールICの第2位相の状態を示す動作説明図である。 第2の実施例のホールICの各部の電圧の変化を示すタイミングチャートである。 第2の実施例のホールICの具体的な回路例を示す回路図である。 第2の実施例のホールICの第1の変形例を示す回路図である。 第2の実施例のホールICの第2の変形例を示す回路図である。 (A),(B)は本発明のホールICの変形例を示す概略説明図、(C)は2端子のホールICを使用した磁気検出システムの構成例を示すブロック図である。 本発明に係るホール素子のインタフェース回路の第1の実施例と、該インタフェース回路を用いた制御システムの構成例を示すブロック図である。 本発明に係るホール素子のインタフェース回路の第2の実施例と、該インタフェース回路を用いた制御システムの構成例を示すブロック図である。 第2の実施例のインタフェース回路の変形例を示すブロック図である。 第2の実施例のインタフェース回路の他の変形例を示すブロック図である。 本発明に係るホール素子のインタフェース回路の第3の実施例を示すブロック図である。 第3の実施例のインタフェース回路における電流検出回路の各部の信号のタイミングを示すタイミングチャートである。 本発明に係るホール素子のインタフェース回路の第4の実施例を示すブロック図である。 実施例のホールICとインタフェース回路とを1つのプリント配線基板に実装した位置検出用モジュールの実施例を示す側面図である。 ホールICとインタフェース回路とを1つのプリント配線基板に実装した実施例の位置検出用モジュールの対向基板を省略した使用状態を示す正面説明図である。 実施例の位置検出用モジュールに用いられる磁性体プレートの他の構成例を示す正面説明図である。 ホールICとインタフェース回路と位置検出用モジュールとを用いた検出システムの構成例を示すブロック図である。
符号の説明
10 ホールIC
11 ホール素子
12 温度補償回路
13 Gmアンプ
14 定電圧回路
15 ボルテージフォロワ
16 ヒステリシス・コンパレータ
17 ラッチ回路(サンプルホールド回路)
18 出力端子
19 バイアス電圧生成回路
20 コントロールユニット
30 インタフェース回路
31 電源回路(シリーズレギュレータ)
32 電流検出回路
50 バッテリー
80 位置検出用モジュール
81 プリント配線基板
82 ヨーク
83 磁石
84 対向基板
86 磁性体プレート
RL 電流−電圧変換用抵抗
CMP コンパレータ
VF ボルテージフォロワ
Qo 出力トランジスタ

Claims (10)

  1. 交差する線上に位置し対向する端子対を2組有するホール素子と、該ホール素子の一方の端子対間に所定のバイアス電圧を印加して電流を流したとき他方の端子対間に生じる電圧変化を増幅する電圧入力−電流出力型の差動増幅回路と、第1の位相期間と第2の位相期間で前記ホール素子に印加する前記所定のバイアス電圧を切り替えて前記ホール素子の一方の端子対または他方の端子対に交互に印加させる第1切替え回路と、前記第1の位相期間に前記ホール素子の一方の端子対間に生じる電圧と第2の位相期間に前記ホール素子の他方の端子対間に生じる電圧を前記差動増幅回路の差動入力端子に交互に印加させる第2切替え回路と、を備えた磁気検出用半導体集積回路であって、
    前記差動増幅回路は一対の差動入力端子と一つの出力端子を有する差動入力−単相出力の差動増幅回路により構成され、該差動増幅回路の出力端子と所定の電位が印加された定電位点との間に接続され前記差動増幅回路から出力された電流を電圧に変換する抵抗素子と、一方の端子が前記定電位点と接続されており該抵抗素子と並列に設けられた容量素子と、該容量素子と直列形態で接続されており前記出力端子と前記容量素子の他方の端子との間に存在するスイッチ素子とを備え、該スイッチ素子を前記第1の位相期間にオン状態にして前記容量素子に前記抵抗素子の端子間電圧をサンプリングし、前記第2の位相期間に前記スイッチ素子をオフ状態にして前記容量素子に保持されている電圧をホールドすることにより前記出力端子と前記容量素子の前記他方の端子との間の電圧を比較して電位差に応じた信号を出力するように構成されていることを特徴とする磁気検出用半導体集積回路。
  2. 交差する線上に位置し対向する端子対を2組有するホール素子と、該ホール素子の一方の端子対間に所定のバイアス電圧を印加して電流を流したとき他方の端子対間に生じる電圧変化を増幅する電圧入力−電流出力型の差動増幅回路と、第1の位相期間と第2の位相期間で前記ホール素子に印加する前記所定のバイアス電圧を切り替えて前記ホール素子の一方の端子対または他方の端子対に交互に印加させる第1切替え回路と、前記第1の位相期間に前記ホール素子の一方の端子対間に生じる電圧と第2の位相期間に前記ホール素子の他方の端子対間に生じる電圧を前記差動増幅回路の差動入力端子に交互に印加させる第2切替え回路と、を備えた磁気検出用半導体集積回路であって、
    前記差動増幅回路は一対の差動入力端子と一つの出力端子を有する差動入力−単相出力の差動増幅回路により構成され、該差動増幅回路の出力端子と所定の電位が印加された定電位点との間に接続され前記差動増幅回路から出力された電流を電圧に変換する抵抗素子と、一方の端子が前記定電位点と接続されており該抵抗素子と並列に設けられた第1の容量素子と、該第1の容量素子と直列形態で接続されており前記出力端子と前記第1の容量素子の他方の端子との間に存在する第1のスイッチ素子と、一方の端子が前記定電位点と接続されており前記抵抗素子と並列に設けられた第2容量素子と、該第2容量素子と直列形態で接続されており前記出力端子と前記第2の容量素子の他方の端子との間に存在する第2スイッチ素子とを備え、前記第1のスイッチ素子を前記第1の位相期間にオン状態にして前記第1の容量素子に前記抵抗素子の端子間電圧をサンプリングし、前記第2スイッチ素子を前記第2の位相期間にオン状態にして前記第2容量素子に前記抵抗素子の端子間電圧をサンプリングし、前記第1の位相期間と第2の位相期間においてそれぞれ、前記第1の容量の他方の端子に印加される電圧と前記第2の容量の他方の端子に印加される電圧とを比較して電位差に応じた信号を出力することを特徴とする磁気検出用半導体集積回路。
  3. 前記第2切替え回路は、前記第1の位相期間に前記差動増幅回路へ入力させる電圧の極性と前記第2の位相期間に前記差動増幅回路へ入力させる電圧の極性が逆になるように切り替えて入力させることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気検出用半導体集積回路。
  4. 前記ホール素子の温度依存性を補償する温度補償回路を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の磁気検出用半導体集積回路。
  5. 前記温度補償回路は、前記ホール素子の端子対間に印加される前記所定のバイアス電圧に前記ホール素子の温度依存性を補償する温度特性を与えることを特徴とする請求項4に記載の磁気検出用半導体集積回路。
  6. ヒステリシス特性を有し前記出力端子と前記容量素子の前記他方の端子との間の電圧を比較する電圧比較回路を備えることを特徴とする請求項1に記載の磁気検出用半導体集積回路。
  7. 前記容量素子の他方の端子又は前記出力端子と前記電圧比較回路との間に設けられたインピーダンス変換回路を備えることを特徴とする請求項6に記載の磁気検出用半導体集積回路。
  8. 請求項1〜7のいずれかに記載の磁気検出用半導体集積回路と、電源から供給される電源電圧を降圧して前記磁気検出用半導体集積回路に印加する電圧を発生する電源回路および前記磁気検出用半導体集積回路から出力される検出信号を受けて外部の制御回路へ出力するインタフェース回路を備えたインタフェース用半導体集積回路と、が1つの絶縁基板上に実装されてなることを特徴とする電子部品。
  9. 前記磁気検出用半導体集積回路は前記電源回路からの駆動電圧が印加される電源電圧端子と基準電位が印加されるグランド端子とを有する2端子の半導体集積回路であり、前記インタフェース用半導体集積回路は前記電源回路から前記磁気検出用半導体集積回路へ流される電流を検出する電流検出回路を備えることを特徴とする請求項8に記載の電子部品。
  10. 請求項1〜7のいずれかに記載の磁気検出用半導体集積回路と、該磁気検出用半導体集積回路と所定の間隔をおいて対向された磁石と、電源から供給される電源電圧を降圧して前記磁気検出用半導体集積回路に印加する電圧を発生する電源回路および前記磁気検出用半導体集積回路から出力される検出信号を受けて外部の制御回路へ出力するインタフェース回路を備えたインタフェース用半導体集積回路と、が1つの絶縁基板上に実装されてなることを特徴とする電子部品。
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