JP2006080506A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 本発明は、不純物の混入による特性不良が低減できる半導体装置の製造方法について提供することを課題とする。また、本発明は、不純物の混入による特性不良が低減された半導体装置、電子機器について提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の半導体装置の製造方法は、有機半導体を堆積する工程を有する。そして、有機半導体が堆積された被処理物を処理器から取り出した後、処理器内が有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、反応性の低いガスを処理器内に導入・排出する工程を有する。
【選択図】図1

Description

本発明は半導体装置の製造方法に関し、特に有機化合物から成る活性層を有するトランジスタの製造方法に関する。
近年、有機化合物から成る活性層を有する有機トランジスタの開発が盛んに行われている。有機トランジスタの製造工程では、例えば、特許文献1に開示されているように、OVPD法等の成膜方法を用いて活性層を形成する。
ところで、活性層を形成する時に使用する成膜装置には、成膜後、処理室内に有機物化合物が付着してしまう。付着した有機化合物が不純物として活性層に混入すると、トランジスタの特性不良を招くことがある。その為、純度の高い活性層を形成できるような技術の開発が求められる。
“Self−Organized Organic Thin−film Transistor for Flexible Active−Matrix Display”,Sung Hwan Kim et.al.,SID 04 DIGEST,pp.1294−1297
本発明は、不純物の混入による特性不良が低減できる半導体装置の製造方法について提供することを課題とする。また、本発明は、不純物の混入による特性不良が低減された半導体装置、電子機器について提供することを課題とする。
本発明の半導体装置の製造方法は、有機半導体を堆積する工程を有する。そして、有機半導体が堆積された被処理物を処理器から取り出した後、処理器内が有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、反応性の低いガスを処理器内に導入および排出する工程を有する。
ここで、被処理物は、有機半導体の昇華温度よりも低い温度となるように加熱されていることが好ましい。また、反応性の低いガスとしては、窒素ガス、希ガス等の不活性ガスを用いることが好ましい。
本発明の半導体装置の製造方法は、活性層を形成する工程を有する。活性層を形成する工程は、昇華させた有機半導体を被処理物の上に堆積する第1工程と、処理器内が有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、反応性の低いガスを処理器内に導入および排出する第2工程とを含む。
ここで、被処理物は、有機半導体の昇華温度よりも低い温度となるように加熱されていることが好ましい。また、反応性の低いガスとしては、窒素ガス、希ガス等の不活性ガスを用いることが好ましい。
本発明の半導体装置は、不純物の混入が低減できる製造方法を用いて製造されている。その為、本発明によって、活性層へ混入した不純物に起因した素子不良が少ない半導体装置、若しくは電子機器を得ることができる。
以下、本発明の一態様について説明する。但し、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
(実施の形態1)
本発明の半導体装置の製造方法について図1を用いて説明する。
基板101上にゲート電極102を形成する。ゲート電極102の形成方法について特に限定は無く、成膜した導電層をフォトリソグラフィ法によって所望の形状に加工して形成してもよいし、または、導電物を含む液滴をタイミングや位置を調節しながら吐出して所望の形状になるように描画するインクジェット法等によって形成してもよい。また、ゲート電極102を形成する材料についても特に限定は無く、例えばアルミニウム、銅、金、銀等を用いることが出来る。また、基板101についても特に限定はなく、ガラス、石英等の他、プラスチック、ポリカーボネード等の可撓性を有する基板を用いることができる。
次に、ゲート電極102を覆うゲート絶縁層103を形成する。ゲート絶縁層103について特に限定はなく、例えば、酸化珪素や窒化珪素等の絶縁物をCVD法等によって成膜して形成すればよい。この他、成膜時の処理物への印加温度にもよるがポリイミド、ポリアミックサン、ポリビニルフェノールなどの有機物をキャスト、スピナー、印刷、インクジェット等の方法により塗布してもよい。
次に、ゲート絶縁層103の上に活性層104を形成する。活性層104の形成方法について特に限定はない。例えば、活性層104を形成したい部分に対し選択的に撥水処理し、その他の部分に対し親水処理した後に、自己組織化膜した半導体層を形成してもよい。これによって、特にペンタセン等、撥水処理をした部位において成長するという性質を有する半導体を、成膜後にパターニングをすることなく所望の形状に加工することができる。また、シャドウマスク等を用いて、所望の部分に対し選択的に半導体層を形成することによって活性層104を形成してもよい。この場合、シャドウマスクと被処理物との間隙から回り込んだ原料が堆積し、特に半導体層を形成する必要のない部分において半導体層が形成されてしまうのを防ぐことができるよう、シャドウマスクと被処理物との密着性を高めることが好ましい。また、半導体層を成膜した後、これを所望の形状に加工することによって活性層104を形成してもよい。このような場合は加工後の真空ベーク等の処理をすることが好ましい。このような処理をすることによって半導体装置の特性が向上する。
半導体層を成膜する前に、ゲート絶縁層103の表面に自己組織化膜(自発的に形成し、厚さ方向が単分子で出来た膜。)を形成するとよい。自己組織化膜は、例えば、アミノ基を有するシラン誘導体等を用いて形成することができる。具体的には、オクタデシルトリクロロシラン、(3−アミノプロピル)トリメトキシシラン、N−2(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン等を用いて形成することができる。これらの物質をトルエンまたはヘキサン等の溶媒に溶解させた溶液でゲート絶縁層103の表面を処理して自己組織化膜を形成すればよい。これによって、任意の位置での膜形成を制御でき、かつ結晶性の向上が図れるので、移動度の高いトランジスタを得ることが出来る。また、ゲート絶縁層103の表面をラビング処理した後、半導体層を成膜してもよい。これによって、半導体層の配向性が揃い易くなる。
活性層104は気相成膜される。ここでは、図2に本発明を実施するために用いる成膜装置について説明する。図2の成膜装置は、チューブ201と、チューブ201の内側に設けられたチューブ202とから成る処理器と、チューブ201の側面を囲むように設けられたヒーター203とを有する。チューブ201の先端部は曲率を有する形状となっている。またチューブ202の先端部は開口しており、チューブ201の先端部とチューブ202の開口部は重畳している。このような構成とすることによって、チューブ202を通った後チューブ202の開口部から流れ出た気体は、チューブ201の側壁に沿うように流れ易くなり、チューブ201とチューブ202との間へスムーズに流れる。これによって装置内を流れるガスの気流の乱れが少なくなり、均一に成膜することができる。成膜時、チューブ202の内側には、少なくとも一以上の被処理物(点線210)が載置されたボート204が搬入される。なお、本形態では、ゲート電極102等が形成された基板101が被処理物である。そして、ボート204は、ヒーター203によって加熱される。なお、ボート204には複数の被処理物を一度に載置することが可能であり、効率よく処理することができる。原料は坩堝205内に入っており、ヒーター206によって加熱され、昇華する。加熱直後の昇華成分には不純物が含まれるため、シャッター207により直接被処理物に不純物が成膜されるのを防ぐ。所定の時間不純物成分を含む気体を不活性ガスと共に流した後、シャッター207を開き、昇華した原料は、窒素ガス又はその他の不活性ガスと共にチューブ202内に導入され、被処理物上に堆積する。ここで、処理器内は、0.1〜50torrの低圧に保たれていることが好ましい。これによって、均一な膜を形成することができる。また、被処理物は、原料の昇華時の温度よりも70℃〜130℃低く、また原料を保持、加熱するために設けられた坩堝205から被処理物までは、緩やかな温度勾配となるように調節されていることが好ましい。温度勾配は、必ずしも滑らかな勾配である必要はなく、屈曲した勾配であってもよい。具体的には、坩堝205から最も近い被処理物までの温度勾配(ΔTa)と、左記の被処理物から最遠い位置にある被処理物の間までの温度勾配(ΔTb)のように2種類あるいは、それ以上の傾きを有してもよい。2種類の傾きを有する場合は、ΔTa≧ΔTbの傾きであることが望ましい。また、傾きが2種類以上の場合でも、被処理物の周辺の温度勾配は小さいことが好ましい。さらに、坩堝205からの距離が遠い位置ほど温度が低い関係とすることが好ましい。その為に、例えば、ボートが設けられる部分を加熱するためのヒーター203の温度(T1)が、原料を加熱するためのヒーター206の温度(T2)よりも低くなるように調節することが好ましい。図2ではヒーターは2系統であるが、ヒーターの系統数について特に限定はなく、2系統以上であってもよい。さらにヒーターの系統数を増やすことで、より精密な温度分布制御をすることができる。なお、残余ガスは、チューブ201とチューブ202との間を通って、排気口から排気される。
排気された残余ガスには原料である有機半導体が含まれている。これらの原料は高価であることが一般的であり、また、環境への影響も考慮して回収し再利用することが望ましい。図2の回収ボックス208は、残余ガスが通過時に必要により冷却器209により冷却して残余ガス中の原料を凝集させ回収するものである。
また、被処理物を処理器から取り出した後、成膜時に処理器内に付着した原料は、処理器内を原料の昇華温度よりも高くなるように調節した状態で、窒素ガス又はその他の不活性ガスを流すことによって除去するのが好ましい。その為、例えば、上記T1、T2よりも高い温度(T3)になるように、ヒーター203、206の温度を調節することが好ましい。このように、成膜後に処理器内に付着した原料を除去することで、不純物の混入が少なく、良好な特性を示す膜を形成することができる。前述の成膜時と同様に、クリーンニング時においても排気中の残余ガスからの原料の回収を行うことが望ましい。
このように、図2の成膜装置は、一度に複数の被処理物を処理することができ、量産に適したものである。また、成膜後、処理器内に付着した有機物のクリーングを簡便に行うことができ、良質な膜の形成を継続して行うことが容易な装置である。
なお、ボート204に被処理物をどのように載置するかについて特に限定はないが、図2を用いて説明した装置のように、被処理物における成膜面(原料を堆積し、膜を形成したい側の面)と、原料供給源(図2において坩堝205が原料供給源に該当する。)とが対向し、被処理物の成膜面の法線方向と重力方向とが平行になるように、つまり被処理物に対して原料供給源が下方となるように被処理物と原料供給源とを配置することによって成膜分布の均一化が図れる。さらに、成膜時のゴミが被処理物に付着する確率を減らすことができる。これは上方に原料供給源を配置した場合、シャッター等からのゴミや、チューブに厚く付着した材料から剥れたゴミが落下して被処理物に付着するためである。このため、原料供給源を下に配置し、上方に被処理物を配置することが望ましいが、ゴミ対策を考慮した場合は、この限りではない。また、図10のように、成膜面と重力方向とが平行になるように被処理物と原料供給源とを配置してもよい。このように配置しても、成膜時のゴミが被処理物に付着する確率を減らすことができる。
次に活性層104の上に、電極105、106を形成する。電極105、106について特に限定は無く、金、銀等の無機導電物の他、ポリ(エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸)水溶液(PEDOT/PSS)等を含む有機導電等を用いて形成すればよい。また、電極105、106の形成方法についても特に限定はなく、スパッタリング装置や蒸着装置等の成膜装置を用いて形成した導電層を、所望の形状に加工することによって形成してもよいし、または導電物を含む液滴をタイミングや位置を調節しながら吐出して所望の形状になるように描画するインクジェット法等によって形成してもよい。
ここで、電極105、106を形成する前に、活性層104上に、自己組織化膜を形成し、電極105、106と活性層104との間に自己組織化膜を設けてもよい。これによって、活性層104と電極105、106とのコンタクト抵抗を低下させることができる。ここで、自己組織化膜は、アミノ基を有するアルキルシラン等を用いて形成することができる。具体的には、オクタデシルトリクロロシラン、(3−アミノプロピル)トリメトキシシラン、N−2(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン等を用いて形成することができる。
以上のようにして作製した半導体装置は、ゲート電極102、電極105、106を有する三端子のトランジスタを含むものである。ここで、電極105、106は、一方がソースとして、他方がドレインとして機能する。このような、三端子のトランジスタを含む半導体装置は、例えば、液晶素子のスイッチング用回路の他、論理回路、DRAM等のメモリ回路等として用いられる。
また、以上のようにして、作製した本発明の半導体装置は、不純物の混入が少なく、良好な特性を示す活性層104を有する為、動作特性が良く、信頼性の高いものである。
(実施の形態2)
本発明の半導体装置の製造方法について図3を用いて説明する。
基板301上にゲート電極302を形成する。ゲート電極302の形成方法について特に限定は無く、成膜した導電層をフォトリソグラフィ法によって所望の形状に加工して形成してもよいし、または、導電物を含む液滴をタイミングや位置を調節しながら吐出して所望の形状になるように描画するインクジェット法等によって形成してもよい。また、ゲート電極302を形成する材料についても特に限定は無く、例えばアルミニウム、銅、金、銀等を用いることが出来る。なお、ゲート電極302の側壁を本形態のように、傾斜を有するように形成することで、後の工程で形成するゲート絶縁層303の被覆性が良くなる。基板301についても特に限定はなく、ガラス、石英等の他、プラスチック等の可撓性を有する基板を用いることができる。
次に、ゲート電極302を覆うゲート絶縁層303を形成する。ゲート絶縁層303について特に限定はなく、例えば、酸化珪素や窒化珪素等の絶縁物をCVD法等によって成膜して形成すればよい。あるいは、成膜時の処理物への印加温度にもよるがポリイミド、ポリアミックサン、ポリビニルフェノールなどの有機物をキャスト、スピナー、印刷、インクジェット等の方法により塗布してもよい。
次にゲート絶縁層303の上に、電極304、305を形成する。電極304、305について特に限定は無く、金、銀等の無機導電物の他、PEDOT等を含む有機導電等を用いて形成すればよい。また、電極304,305の形成方法についても特に限定はなく、スパッタリング装置や蒸着装置等の成膜装置を用いて形成した導電層を、所望の形状に加工することによって形成してもよいし、または導電物を含む液滴をタイミングや位置を調節しながら吐出して所望の形状になるように描画するインクジェット法等によって形成してもよい。
次に、ゲート絶縁層303、電極304、305の上に活性層306を形成する。活性層306について特に限定は無く、例えばペンタセン等を用いて形成すればよい。実施の形態1に記載の活性層104と同様、活性層306の形成方法について特に限定はない。例えば、活性層306を形成したい部分に対し選択的に撥水処理し、その他の部分に対し親水処理した後に、自己組織化膜した半導体層を形成してもよい。これによって、特にペンタセン等、撥水処理をした部位において成長するという性質を有する半導体を、成膜後にパターニングをすることなく所望の形状に加工することができる。また、シャドウマスク等を用いて、所望の部分に対し選択的に半導体層を形成することによって活性層306を形成してもよい。この場合、シャドウマスクと被処理物との間隙から回り込んだ原料が堆積し、特に半導体層を形成する必要のない部分において半導体層が形成されてしまうのを防ぐことができるよう、シャドウマスクと被処理物との密着性を高めることが好ましい。また、半導体層を成膜した後、これを所望の形状に加工することによって活性層306を形成してもよい。このような場合は加工後の真空ベーク等の処理をすることが好ましい。このような処理をすることによって半導体装置の特性が向上する。
半導体層を成膜する前に、ゲート絶縁層303の表面に自己組織化膜を形成することが好ましい。自己組織化膜は、アミノ基を有するアルキルシラン等を用いて形成することができる。具体的には、オクタデシルトリクロロシラン、(3−アミノプロピル)トリメトキシシラン、N−2(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン等を用いて形成することができる。任意の位置での膜形成を制御でき、かつ結晶性の向上が図れるので、移動度の高いトランジスタを得ることが出来る。また、電極304、305と活性層306との間に自己組織化膜を設けることによって、活性層306と電極304、305とのコンタクト抵抗を低下させることができる。
また、成膜時に処理器内に付着した原料は、処理器内を原料の昇華温度よりも高くなるように調節した状態で、窒素ガス又はその他の不活性ガスを流すことによって除去するのが好ましい。このように、成膜後に処理器内に付着した原料を除去することで、不純物の混入が少なく、良好な特性を示す膜を形成することができる。
除去した原料は回収することが望ましい。
以上のようにして作製した半導体装置は、ゲート電極302、電極304、305を有する三端子のトランジスタを含むものである。ここで、電極304、305は、一方がソースとして、他方がドレインとして機能する。このような、三端子のトランジスタを含む半導体装置は、例えば、液晶素子のスイッチング用回路の他、論理回路、DRAM等のメモリ回路等として用いられる。
以上のようにして、作製した本発明の半導体装置は、不純物の混入が少なく、良好な特性を示す活性層306を有する為、動作特性が良く、信頼性の高いものである。
(実施の形態3)
本発明の半導体装置の製造方法について、図4を用いて説明する。
基板401上に、第1ゲート電極402を形成する。第1ゲート電極402の形成方法について特に限定は無く、成膜した導電層をフォトリソグラフィ法によって所望の形状に加工して形成してもよいし、または、導電物を含む液滴をタイミングや位置を調節しながら吐出して所望の形状になるように描画するインクジェット法等によって形成してもよい。また、第1ゲート電極402を形成する材料についても特に限定は無く、例えばアルミニウム、銅、金、銀等を用いることが出来る。また、基板401についても特に限定はなく、ガラス、石英等の他、プラスチック等の可撓性を有する基板を用いることができる。
次に、第1ゲート電極402を覆うゲート絶縁層403を形成する。ゲート絶縁層403について特に限定はなく、例えば、酸化珪素や窒化珪素等の絶縁物をCVD法等によって成膜して形成すればよい。
次に、第2のゲート電極404をゲート絶縁層403上に、第1ゲート電極402と重畳するように形成する。第2ゲート電極404について特に限定は無く、例えば燐、若しくはボロンを含む珪素等、不純物を含む半導体等を用いて形成することができる。また第2ゲート電極404の形成方法についても特に限定は無く、成膜した半導体層等をフォトリソグラフィ法によって所望の形状に加工して形成してもよいし、または、半導体等を含む液滴をタイミングや位置を調節しながら吐出して所望の形状になるように描画するインクジェット法等によって形成してもよい。
以上に記載したように、第1ゲート電極402を形成した後、これを覆うようにゲート絶縁層403を形成することで、後の工程で形成する活性層406と第1ゲート電極402とが干渉することを防ぐことができる。
次に、第2ゲート電極404を覆う絶縁層405を形成する。絶縁層405の形成方法について特に限定は無く、例えば、酸化珪素や窒化珪素等の絶縁物をCVD法等によって成膜して形成すればよい。なお、絶縁層405は、半導体装置を動作させたときに、活性層406から第2ゲート電極404へ電子が注入できるようなエネルギー障壁を有する膜厚となるように形成することが好ましい。
次に、絶縁層405の上に活性層406を形成する。活性層406の形成方法について特に限定はないが、実施の形態1に記載の活性層104と同様、図2に示すような成膜装置を用いて、半導体層を成膜した後、これを所望の形状に加工することによって形成することが好ましい。ここで、活性層406について特に限定はなく、例えばペンタセン等を用いて形成すればよい。
また、成膜時に処理器内に付着した原料は、処理器内を原料の昇華温度よりも高くなるように調節した状態で、窒素ガス又はその他の不活性ガスを流すことによって除去するのが好ましい。このように、成膜後に処理器内に付着した原料を除去することで、不純物の混入が少なく、良好な特性を示す膜を形成することができる。
次に活性層406の上に、電極407、408を形成する。電極407、408について特に限定は無く、金、銀等の無機導電物の他、PEDOT等を含む有機導電等を用いて形成すればよい。また、電極407、408の形成方法についても特に限定はなく、スパッタリング装置や蒸着装置等の成膜装置を用いて形成した導電層を、所望の形状に加工することによって形成してもよいし、または導電物を含む液滴をタイミングや位置を調節しながら吐出して所望の形状になるように描画するインクジェット法等によって形成してもよい。
ここで、電極407、408を形成する前に、活性層406上に自己組織化膜を形成し、電極407、408と活性層406との間に自己組織化膜を設けてもよい。これによって、活性層406と電極407、408とのコンタクト抵抗を低下させることができる。ここで、自己組織化膜は、アミノ基を有するアルキルシラン等を用いて形成することができる。具体的には、オクタデシルトリクロロシラン、、(3−アミノプロピル)トリメトキシシラン、N−2(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン等を用いて形成することができる。
以上のようにして作製した半導体装置は、第1ゲート電極402、電極407、408を有する三端子の記憶素子を含むものである。ここで、電極407、408は、一方がソースとして、他方がドレインとして機能する。そして、本形態の半導体装置は、第2ゲート電極404へ電子を捕獲、若しくは第2のゲート電極404から電子を解放することで、データの消去、書込を行う機能を有するものである。このように、第1ゲート電極402は、所謂コントロールゲートとして機能し、また第2ゲート電極404は所謂フローティングゲートとして機能する。
なお、本形態では、活性層を形成した後、その上にソース若しくはドレインとして機能する電極を形成しているが、これに限らず、例えば実施の形態2のように、ソース若しくはドレインとして機能する電極を形成した後、それらの少なくとも一部を覆うように活性層を形成しても構わない。
以上のようにして、作製した本発明の半導体装置は、不純物の混入が少なく、良好な特性を示す活性層406を有する為、動作特性が良く、信頼性の高いものである。
(実施の形態4)
本発明の半導体装置を含む液晶装置の態様について、図5を用いて説明する。
図5は液晶装置を模式的に表した上面図である。本形態の液晶装置は、素子基板501と対向基板502とが対向するように貼り合わせられて成る。本形態の液晶装置は、画素部503を有する。そして、画素部503の一端に沿うように設けられた端子部504には、フレキシブルプリント配線(FPC)505が装着され、フレキシブルプリント配線505を介して駆動回路から画素部503に信号が入力される。なお、本形態のように、駆動回路とフレキシブルプリント配線とは独立して設けられていてもよいし、または配線パターンが形成されたFPC上にICチップが実装されたTCP等の様に複合していてもよい。
画素部503について特に限定はなく、例えば図6(A)または図6(B)の断面図で表されるように、液晶素子とそれを駆動するためのトランジスタとを含む。図6(A)と図6(B)とは、それぞれ、液晶装置の断面構造の態様であり、含まれるトランジスタの構造が異なる。
図6(A)の断面図で表される液晶装置は、実施の形態1の半導体装置と同様に活性層524の上にソース若しくはドレインとして機能する電極525、526を有するトランジスタ527が設けられた素子基板521を有する。また、液晶素子は、画素電極529と対向電極532との間に液晶層534を挟んで成る。画素電極529、対向電極532のそれぞれにおいて液晶層534と接する側の表面には、配向膜530、533が設けられている。液晶層534には、スペーサ535が分散し、セルギャップを保っている。トランジスタ527は、コンタクトホールが設けられた絶縁層528によって覆われており、電極526と画素電極529とは電気的に接続している。ここで、対向電極532は、対向基板531によって支持されている。また、トランジスタ527において、活性層524とゲート電極522とは、間にゲート絶縁層523を挟んで重畳している。
また、図6(B)の断面図で表される液晶装置は、実施の形態2の半導体装置と同様にソース若しくはドレインとして機能する電極555、554の少なくとも一部が活性層556によって覆われた構造を有するトランジスタ557を含む素子基板551を有する。また、液晶素子は、画素電極559と対向電極562との間に液晶層564を挟んで成る。画素電極559、対向電極562のそれぞれにおいて液晶層564と接する側の表面には、配向膜560、563が設けられている。液晶層564には、スペーサ565が分散し、セルギャップを保っている。トランジスタ557は、コンタクトホールが設けられた絶縁層558a、558bによって覆われており、電極554と画素電極559とは電気的に接続している。なお、トランジスタを覆う絶縁層は、図6(B)のように絶縁層558aと絶縁層558bとから成る多層であってもよいし、または図6(A)のように絶縁層528から成る単層であってもよい。また、図6(B)のように、トランジスタを覆う絶縁層は、絶縁層558bのように表面が平坦化された層であってもよい。ここで、対向電極562は、対向基板561によって支持されている。また、トランジスタ557において、活性層556とゲート電極552とは、間にゲート絶縁層553を挟んで重畳している。
なお、液晶装置の構成について特に限定は無く、本形態で示した態様の他、例えば、素子基板上に、駆動回路が設けられたものであってもよい。
以上のような液晶装置は、図7(A)、(B)、(C)に示すように、電話機や、テレビ受像機等に実装される表示装置として用いることができる。また、IDカードの様な個人情報を管理する機能を有するカード等に実装してもよい。
図7(A)は電話機の図であり、本体5552には表示部5551と、音声出力部5554、音声入力部5555、操作スイッチ5556、5557、アンテナ5553等によって構成されている。この電話機は、動作特性が良く、信頼性の高いものである。本発明の半導体装置を表示部に組み込むことでこのような電話機を完成できる。
図7(B)は、本発明を適用して作製したテレビ受像機であり、表示部5531、筐体5532、スピーカー5533などによって構成されている。このテレビ受像機は、動作特性が良く、信頼性の高いものである。本発明の半導体装置を表示部に組み込むことでこのようなテレビ受像機を完成できる。
図7(C)は、本発明を適用して作製したIDカードであり、支持体5541、表示部5542、支持体5541内に組み込まれた集積回路チップ5543等によって構成されている。なお、表示部5542を駆動するための集積回路5544、5545についても支持体5541内に組み込まれている。このIDカードは、信頼性の高いものである。また、例えば、表示部5542において、集積回路チップ5543において入出力された情報を表示し、どのような情報が入出力されたかを確認することができる。
(実施の形態5)
本発明の半導体装置を含む記憶装置について図8のブロック図を用いて説明する。
図8は、実施の形態3に記載したものと同様の記憶素子を含む記憶装置の回路図である。メモリセルアレイ801において、記憶素子802は、行方向、列方向に配列されている。そして、同列に並んだ記憶素子802のそれぞれに含まれるゲート電極は、共通のワード線803に接続している。また、同行に並んだ記憶素子802のそれぞれに含まれるドレイン電極は、共通のビット線804に接続している。
メモリセルアレイ801内に記憶されたデータ、若しくはメモリセルアレイ801内に記憶するデータは、周辺回路805、806によって、読み出し若しくは書込される。
このような、記憶装置は、例えば図9のコンピュータに実装することができる。図9は、本発明を適用して作製したノート型のコンピュータであり、本体5521、筐体5522、表示部5523、キーボード5524などによって構成されている。本発明の半導体装置を内部に組み込むことでこのようなコンピュータを完成できる。
本発明の半導体装置の製造方法について説明する図。 本発明の実施に用いる成膜装置の図。 本発明の半導体装置の製造方法について説明する図。 本発明の半導体装置の製造方法について説明する図。 本発明の半導体装置を含む液晶装置の上面図。 本発明の半導体装置を含む液晶装置の断面図。 本発明を適用した電子機器等の図。 本発明の半導体装置を含む記憶装置の図。 本発明を適用した電子機器の図。 本発明の実施に用いる成膜装置の図。
符号の説明
101 基板
102 ゲート電極
103 ゲート絶縁層
104 活性層
105 電極
201 チューブ
202 チューブ
203 ヒーター
204 ボート
205 坩堝
206 ヒーター
207 シャッター
208 回収ボックス
209 冷却器
301 基板
302 ゲート電極
303 ゲート絶縁層
304 電極
305 ソースまたはドレイン
306 活性層
401 基板
402 ゲート電極
403 ゲート絶縁層
404 ゲート電極
406 活性層
405 絶縁層
407 電極
501 素子基板
502 対向基板
503 画素部
504 端子部
505 フレキシブルプリント配線
521 素子基板
522 ゲート電極
523 ゲート絶縁層
524 活性層
525 電極
526 電極
527 トランジスタ
528 絶縁層
529 画素電極
530 配向膜
531 対向基板
532 対向電極
533 配向膜
534 液晶層
535 スペーサ
551 素子基板
552 ゲート電極
553 ゲート絶縁層
554 電極
555 電極
556 活性層
557 トランジスタ
558a 絶縁層
558b 絶縁層
559 画素電極
560 配向膜
561 対向基板
562 対向電極
563 配向膜
564 液晶層
565 スペーサ
5551 表示部
5552 本体
5553 アンテナ
5554 音声出力部
5555 音声入力部
5556 操作スイッチ
5531 表示部
5532 筐体
5533 スピーカー
5541 支持体
5542 表示部
5543 集積回路チップ
5544 駆動回路
5545 駆動回路
801 メモリセルアレイ
802 記憶素子
803 ワード線
804 ビット線
805 周辺回路
806 周辺回路
5521 本体
5522 筐体
5523 表示部
5524 キーボード

Claims (22)

  1. 第1のガスを処理器内に導入しながら昇華させた有機半導体を、前記処理器内において、被処理物の上に堆積する第1工程と、
    堆積後、前記処理器から前記被処理物を取り出す第2工程と、
    前記処理器内が前記有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、第2のガスを前記処理器内に導入および排出する第3工程と
    を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  2. 前記第1工程において、前記被処理物は、前記有機半導体の昇華温度よりも70℃〜130℃低い温度となるように加熱されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
  3. 前記第1のガスと前記第2のガスとは、それぞれ、窒素ガス若しくは希ガスのいずれかであることを特徴とする請求項1または請求項2半導体装置の製造方法。
  4. 前記希ガスはアルゴンガスであることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
  5. 前記有機半導体がペンタセンであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
  6. 前記処理器において、
    前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面の法線方向と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
  7. 前記処理器において、
    前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
    ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
  8. 被処理物上にゲート電極を形成する第1工程と、
    前記ゲート電極を覆うようにゲート絶縁層を形成する第2工程と、
    処理器内において、第1のガスを処理器内に導入しながら昇華させた有機半導体を前記ゲート絶縁層の上に堆積させて活性層を形成した後、前記処理器から前記被処理物を取り出し、前記処理器内が前記有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、第2のガスを前記処理器内に導入および排出する第3工程と、
    前記活性層と接するソース電極およびドレイン電極を形成する第4工程と、
    を有する
    ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  9. 前記第3工程において、前記被処理物は、前記有機半導体の昇華温度よりも70℃〜130℃低い温度となるように加熱されていることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
  10. 前記第1のガスと前記第2のガスとは、それぞれ、窒素ガス若しくは希ガスのいずれかであることを特徴とする請求項8または請求項9半導体装置の製造方法。
  11. 前記希ガスはアルゴンガスであることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
  12. 前記有機半導体がペンタセンであることを特徴とする請求項8乃至請求項11のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
  13. 前記処理器において、
    前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面の法線方向と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
    ことを特徴とする請求項8乃至請求項12のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
  14. 前記処理器において、
    前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
    ことを特徴とする請求項8乃至請求項12のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
  15. 被処理物上にゲート電極を形成する第1工程と、
    前記ゲート電極を覆うようにゲート絶縁層を形成する第2工程と、
    前記ゲート絶縁層の上にソース電極およびドレイン電極を形成する第3工程と、
    処理器内において、第1のガスを処理器内に導入しながら昇華させた有機半導体を前記ゲート絶縁層の上に堆積させて活性層を形成した後、前記処理器から前記被処理物を取り出し、前記処理器内が前記有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、第2のガスを前記処理器内に導入および排出する第4工程と、
    を有する
    ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  16. 前記第4工程において、前記被処理物は、前記有機半導体の昇華温度よりも70℃〜130℃低い温度となるように加熱されていることを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。
  17. 前記第1のガスと前記第2のガスとは、それぞれ、窒素ガス若しくは希ガスのいずれかであることを特徴とする請求項15または請求項16半導体装置の製造方法。
  18. 前記希ガスはアルゴンガスであることを特徴とする請求項17に記載の半導体装置の製造方法。
  19. 前記有機半導体がペンタセンであることを特徴とする請求項15乃至請求項18のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
  20. 前記処理器において、
    前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面の法線方向と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
    ことを特徴とする請求項15乃至請求項19のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
  21. 前記処理器において、
    前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
    ことを特徴とする請求項15乃至請求項19のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
  22. 請求項1乃至請求項22のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法を用いて製造された半導体装置を含むことを特徴とする電子機器。
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