JP2006080506A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の半導体装置の製造方法は、有機半導体を堆積する工程を有する。そして、有機半導体が堆積された被処理物を処理器から取り出した後、処理器内が有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、反応性の低いガスを処理器内に導入・排出する工程を有する。
【選択図】図1
Description
本発明の半導体装置の製造方法について図1を用いて説明する。
本発明の半導体装置の製造方法について図3を用いて説明する。
除去した原料は回収することが望ましい。
本発明の半導体装置の製造方法について、図4を用いて説明する。
本発明の半導体装置を含む液晶装置の態様について、図5を用いて説明する。
本発明の半導体装置を含む記憶装置について図8のブロック図を用いて説明する。
102 ゲート電極
103 ゲート絶縁層
104 活性層
105 電極
201 チューブ
202 チューブ
203 ヒーター
204 ボート
205 坩堝
206 ヒーター
207 シャッター
208 回収ボックス
209 冷却器
301 基板
302 ゲート電極
303 ゲート絶縁層
304 電極
305 ソースまたはドレイン
306 活性層
401 基板
402 ゲート電極
403 ゲート絶縁層
404 ゲート電極
406 活性層
405 絶縁層
407 電極
501 素子基板
502 対向基板
503 画素部
504 端子部
505 フレキシブルプリント配線
521 素子基板
522 ゲート電極
523 ゲート絶縁層
524 活性層
525 電極
526 電極
527 トランジスタ
528 絶縁層
529 画素電極
530 配向膜
531 対向基板
532 対向電極
533 配向膜
534 液晶層
535 スペーサ
551 素子基板
552 ゲート電極
553 ゲート絶縁層
554 電極
555 電極
556 活性層
557 トランジスタ
558a 絶縁層
558b 絶縁層
559 画素電極
560 配向膜
561 対向基板
562 対向電極
563 配向膜
564 液晶層
565 スペーサ
5551 表示部
5552 本体
5553 アンテナ
5554 音声出力部
5555 音声入力部
5556 操作スイッチ
5531 表示部
5532 筐体
5533 スピーカー
5541 支持体
5542 表示部
5543 集積回路チップ
5544 駆動回路
5545 駆動回路
801 メモリセルアレイ
802 記憶素子
803 ワード線
804 ビット線
805 周辺回路
806 周辺回路
5521 本体
5522 筐体
5523 表示部
5524 キーボード
Claims (22)
- 第1のガスを処理器内に導入しながら昇華させた有機半導体を、前記処理器内において、被処理物の上に堆積する第1工程と、
堆積後、前記処理器から前記被処理物を取り出す第2工程と、
前記処理器内が前記有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、第2のガスを前記処理器内に導入および排出する第3工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1工程において、前記被処理物は、前記有機半導体の昇華温度よりも70℃〜130℃低い温度となるように加熱されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のガスと前記第2のガスとは、それぞれ、窒素ガス若しくは希ガスのいずれかであることを特徴とする請求項1または請求項2半導体装置の製造方法。
- 前記希ガスはアルゴンガスであることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記有機半導体がペンタセンであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理器において、
前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面の法線方向と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記処理器において、
前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 被処理物上にゲート電極を形成する第1工程と、
前記ゲート電極を覆うようにゲート絶縁層を形成する第2工程と、
処理器内において、第1のガスを処理器内に導入しながら昇華させた有機半導体を前記ゲート絶縁層の上に堆積させて活性層を形成した後、前記処理器から前記被処理物を取り出し、前記処理器内が前記有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、第2のガスを前記処理器内に導入および排出する第3工程と、
前記活性層と接するソース電極およびドレイン電極を形成する第4工程と、
を有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第3工程において、前記被処理物は、前記有機半導体の昇華温度よりも70℃〜130℃低い温度となるように加熱されていることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のガスと前記第2のガスとは、それぞれ、窒素ガス若しくは希ガスのいずれかであることを特徴とする請求項8または請求項9半導体装置の製造方法。
- 前記希ガスはアルゴンガスであることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記有機半導体がペンタセンであることを特徴とする請求項8乃至請求項11のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理器において、
前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面の法線方向と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
ことを特徴とする請求項8乃至請求項12のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記処理器において、
前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
ことを特徴とする請求項8乃至請求項12のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 被処理物上にゲート電極を形成する第1工程と、
前記ゲート電極を覆うようにゲート絶縁層を形成する第2工程と、
前記ゲート絶縁層の上にソース電極およびドレイン電極を形成する第3工程と、
処理器内において、第1のガスを処理器内に導入しながら昇華させた有機半導体を前記ゲート絶縁層の上に堆積させて活性層を形成した後、前記処理器から前記被処理物を取り出し、前記処理器内が前記有機半導体の昇華温度よりも高い温度となるように処理器を加熱すると共に、第2のガスを前記処理器内に導入および排出する第4工程と、
を有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第4工程において、前記被処理物は、前記有機半導体の昇華温度よりも70℃〜130℃低い温度となるように加熱されていることを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のガスと前記第2のガスとは、それぞれ、窒素ガス若しくは希ガスのいずれかであることを特徴とする請求項15または請求項16半導体装置の製造方法。
- 前記希ガスはアルゴンガスであることを特徴とする請求項17に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記有機半導体がペンタセンであることを特徴とする請求項15乃至請求項18のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理器において、
前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面の法線方向と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
ことを特徴とする請求項15乃至請求項19のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記処理器において、
前記被処理物は原料供給源の上方に設けられ、前記被処理物の成膜面と重力方向とが平行になるように前記被処理物と前記原料供給源とを配置させて前記有機半導体を堆積させる
ことを特徴とする請求項15乃至請求項19のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項22のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法を用いて製造された半導体装置を含むことを特徴とする電子機器。
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