JP2006044242A - 液体移送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電アクチュエータ3は、複数の圧力室14に夫々対応する複数の個別電極32、及び、これら複数の個別電極32に対向する振動板30と、複数の個別電極32と振動板30との間に挟まれて、複数の圧力室14に跨って連続的に形成された圧電層31とを有し、圧力室14が形成され且つ個別電極32と重ならない領域に、この領域における圧電アクチュエータ3の剛性を低下させる絶縁材料層34(剛性低下部)が設けられている
【選択図】 図4
Description
2 流路ユニット
3 圧電アクチュエータ
14 圧力室
20 ノズル
30, 30B,振動板
31 圧電層
32,32A,32D 個別電極
34,34B,34C、34D 絶縁材料層
35 配線部45 バンプ
50 配線部材
51 空隙
34,52 剛性低下部
60 接着剤
Claims (12)
- 液体流出口に連通する複数の圧力室が平面上に配置された流路ユニットと、複数の圧力室の容積を選択的に変化させる圧電アクチュエータとを備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記複数の圧力室に夫々対応する複数の個別電極、及び、これら複数の個別電極に対向する共通電極と、
前記複数の個別電極と前記共通電極との間に挟まれた圧電層とを有し、
前記平面に直交する方向から見て、少なくとも前記圧力室が形成され且つ前記個別電極と重ならない領域に、前記圧電アクチュエータの剛性を低下させる剛性低下部が設けられていることを特徴とする液体移送装置。 - 前記圧電層は、複数の圧力室に跨って形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液体移送装置。
- 前記圧電アクチュエータは、その表面に前記複数の個別電極又は前記共通電極が形成され、あるいは、それ自身が前記共通電極である振動板を有し、
この振動板と前記圧電層の間に前記剛性低下部が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体移送装置。 - 前記剛性低下部は、前記振動板と前記圧電層の間に形成された空隙であることを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置。
- 前記空隙は、前記振動板に形成された凹部と前記圧電層の面とによって区画されていることを特徴とする請求項4に記載の液体移送装置。
- 前記剛性低下部は、前記振動板と前記圧電層の間に介装され、その弾性率が前記振動板と前記圧電層の両方の弾性率よりも低い低弾性材であることを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置。
- 前記剛性低下部は、前記振動板に形成された凹部と前記圧電層の面とによって区画された空隙に、その弾性率が前記振動板と前記圧電層の両方の弾性率よりも低い低弾性材を充填して形成されることを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置。
- 前記低弾性材は、絶縁材料であることを特徴とする請求項6又は7に記載の液体移送装置。
- 前記剛性低下部は、前記平面に直交する方向から見て前記圧力室が形成されていない領域まで跨って形成されており、前記平面に直交する方向から見て、前記剛性低下部と重なる領域に、前記複数の個別電極とこれら複数の個別電極に駆動電圧を供給する配線部材とを、電気的に接続する為の接点部が形成されていることを特徴とする請求項3〜8の何れかに記載の液体移送装置。
- 前記平面に直交する方向から見て、前記個別電極が前記剛性低下部と部分的に重なっていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の液体移送装置。
- 前記圧電層は、エアロゾルデポジション法又はスパッタ法により形成されることを特徴とする請求項2〜10の何れかに記載の液体移送装置。
- 前記圧電層と前記振動板とが部分的に接着剤で接着され、前記接着剤で接着されていない前記圧電層および前記振動板の箇所が前記剛性低下部として機能することを特徴とする請求項1に記載の液体移送装置。
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