JP2006032462A5 - - Google Patents
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- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 39
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 15
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 8
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 claims 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 1
- MAKDTFFYCIMFQP-UHFFFAOYSA-N titanium tungsten Chemical compound [Ti].[W] MAKDTFFYCIMFQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004205799A JP4515177B2 (ja) | 2004-07-13 | 2004-07-13 | 配線形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004205799A JP4515177B2 (ja) | 2004-07-13 | 2004-07-13 | 配線形成方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006032462A JP2006032462A (ja) | 2006-02-02 |
| JP2006032462A5 true JP2006032462A5 (enExample) | 2007-07-05 |
| JP4515177B2 JP4515177B2 (ja) | 2010-07-28 |
Family
ID=35898474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004205799A Expired - Fee Related JP4515177B2 (ja) | 2004-07-13 | 2004-07-13 | 配線形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4515177B2 (enExample) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5154963B2 (ja) * | 2008-02-04 | 2013-02-27 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板の製造方法 |
| JP5411829B2 (ja) * | 2009-10-30 | 2014-02-12 | パナソニック株式会社 | 多層回路基板の製造方法及び該製造方法により製造された多層回路基板 |
| TWI412308B (zh) * | 2009-11-06 | 2013-10-11 | 威盛電子股份有限公司 | 線路基板及其製程 |
| JP5680589B2 (ja) * | 2012-06-25 | 2015-03-04 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板 |
| JP6932475B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2021-09-08 | 住友ベークライト株式会社 | 有機樹脂基板の製造方法、有機樹脂基板および半導体装置 |
| JP6779087B2 (ja) * | 2016-10-05 | 2020-11-04 | 株式会社ディスコ | 配線基板の製造方法 |
| JP6779088B2 (ja) * | 2016-10-05 | 2020-11-04 | 株式会社ディスコ | 配線基板の製造方法 |
| JP6783614B2 (ja) * | 2016-10-11 | 2020-11-11 | 株式会社ディスコ | 配線基板の製造方法 |
| JP2019204974A (ja) * | 2019-08-21 | 2019-11-28 | 住友ベークライト株式会社 | 有機樹脂基板の製造方法、有機樹脂基板および半導体装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2777020B2 (ja) * | 1992-07-29 | 1998-07-16 | 沖電気工業株式会社 | 配線層の平坦化方法 |
| JP3361556B2 (ja) * | 1992-09-25 | 2003-01-07 | 日本メクトロン株式会社 | 回路配線パタ−ンの形成法 |
| JPH06112199A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Hitachi Ltd | 配線基板の製造方法 |
| JPH06260772A (ja) * | 1993-03-03 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 機械研磨傷の低減方法 |
| JPH1098268A (ja) * | 1996-09-24 | 1998-04-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | 柱状導体のめっき方法及びそれにより得られる多層プリント配線板 |
| JPH11238970A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Mitsubishi Electric Corp | 多層プリント基板および多層プリント基板の製造方法 |
| JPH11298141A (ja) * | 1998-04-08 | 1999-10-29 | Hitachi Ltd | 電子装置の製造方法 |
| JP4057146B2 (ja) * | 1998-06-05 | 2008-03-05 | 沖電気工業株式会社 | 電子部品一体型多層基板の製造方法 |
| JP3137186B2 (ja) * | 1999-02-05 | 2001-02-19 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレ−ション | 層間接続構造体、多層配線基板およびそれらの形成方法 |
| JP3760857B2 (ja) * | 2001-12-17 | 2006-03-29 | 松下電器産業株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
-
2004
- 2004-07-13 JP JP2004205799A patent/JP4515177B2/ja not_active Expired - Fee Related
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