JP2006029971A - X線反射率測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射率測定の前に,入射角ωの読み取り目盛りの修正作業を実行する。その修正作業では,受光スリット18の開口幅をX線反射率測定時よりも広くして,反射経路の途中にアナライザー結晶58を配置して,試料16の表面からの全反射X線20を検出する。そのとき,試料表面に対する入射X線10の入射角ωaを正確に決定でき,それに基づいて入射角の読み取り目盛りを修正する。その後,アナライザー結晶58を反射経路から外して,試料表面のX線反射率測定を実施する。入射角を高精度に決定できるので,高精度の反射率測定が可能になる。
【選択図】図10
Description
12 X線検出器
16 試料
18 受光スリット
20 反射X線
22 入射光学系
24 試料支持機構
26 受光光学系
30 2θ回転台
34 ω回転台
58 アナライザー結晶
Claims (2)
- 次の段階を備えるX線反射率測定方法。
(ア)基準点を通過可能な入射X線を発生するX線源と,試料を保持する試料ホルダーであって前記試料の表面が前記基準点にできるだけ合致するように前記試料を保持できる試料ホルダーと,前記試料の表面で前記入射X線が鏡面反射したときの反射X線の強度を検出するX線検出器と,前記入射X線と前記試料の表面とのなす角度ω(以下,入射角という)を変更する入射角変更手段であって前記基準点を中心として前記入射角を変更できる入射角変更手段と,前記X線検出器で検出される前記反射X線が前記試料の表面から出て行くときの方向と前記入射X線とのなす角度2θ(以下,散乱角という)を変更する散乱角変更手段であって前記基準点を中心として前記散乱角を変更できる散乱角変更手段とを備えるX線反射率測定装置を準備する段階。
(イ)前記基準点と前記X線検出器とを結ぶ反射経路の途中にアナライザー結晶を配置するとともに,特定の波長を有する前記反射X線が前記アナライザー結晶で反射してから前記X線検出器で検出されるように前記アナライザー結晶に対して前記X線検出器を位置決めする段階。
(ウ)前記散乱角変更手段を用いて前記散乱角2θを零度に設定し,前記入射X線が前記試料に当たることなく前記基準点を通過して前記アナライザー結晶で反射して前記X線検出器で検出される第1状態を作り,前記X線検出器で検出されるX線強度が最大になるように前記入射X線に対する前記アナライザー結晶の角度を調整する段階。
(エ)前記アナライザー結晶と前記X線検出器との相対位置関係を固定したままで,前記散乱角変更手段を用いて前記散乱角2θを所定の基準角度2θrに設定し,前記試料の表面が前記基準点にできるだけ合致するように前記試料を位置決めして,前記入射X線を前記試料の表面に照射して,前記試料の表面で鏡面反射した反射X線が前記アナライザー結晶を経由して前記X線検出器で検出されるときのX線強度が最大になるように前記入射角変更手段を用いて前記入射角ωを調整して,そのときの入射角ωの値が前記基準角度2θrの正確に2分の1となるように入射角ωの読み取り目盛りを修正する段階。
(オ)前記アナライザー結晶を前記反射経路から外して,前記X線検出器を前記アナライザー結晶を使わないときの配置状態に戻す段階。
(カ)修正された前記読み取り目盛りに基づいて前記入射角ωを変化させて,それぞれの入射角ωにおいて,前記入射X線を前記試料の表面に入射して,前記反射X線の強度を前記X線検出器で検出し,これによって試料のX線反射率を測定する段階。 - 次の構成を備えるX線反射率測定装置。
(ア)基準点を通過可能な入射X線を発生するX線源。
(イ)試料を保持する試料ホルダーであって前記試料の表面が前記基準点にできるだけ合致するように前記試料を保持できる試料ホルダー。
(ウ)前記試料の表面で前記入射X線が鏡面反射したときの反射X線の強度を検出するX線検出器。
(エ)前記入射X線と前記試料の表面とのなす角度ω(以下,入射角という)を変更する入射角変更手段であって前記基準点を中心として前記入射角を変更できる入射角変更手段。
(オ)前記X線検出器で検出される前記反射X線が前記試料の表面から出て行くときの方向と前記入射X線とのなす角度2θ(以下,散乱角という)を変更する散乱角変更手段であって前記基準点を中心として前記散乱角を変更できる散乱角変更手段。
(カ)前記基準点と前記X線検出器とを結ぶ反射経路の途中に挿入可能なアナライザー結晶であって,前記反射経路から退避させることも可能なアナライザー結晶。
(キ)前記アナライザー結晶を前記反射経路の途中に挿入したときに前記アナライザー結晶で反射したX線を検出できるように前記X線検出器を位置決めでき,かつ,前記アナライザー結晶を前記反射経路から退避させたときに前記試料からの前記反射X線を検出できるように前記X線検出器を位置決めできるX線検出器位置決め手段。
(ク)前記入射X線が前記アナライザー結晶で反射できるように前記アナライザー結晶の配置角度を調整する角度調整機構。
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