JP2006027795A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008209583A (ja) * 2007-02-26 2008-09-11 Toppan Printing Co Ltd 塗工フィルムの製造方法
JP5663126B2 (ja) 2007-08-09 2015-02-04 リンテック株式会社 ワーク搬送方法及びワーク受渡し機構を有する装置
JP5416386B2 (ja) * 2008-10-24 2014-02-12 三星ダイヤモンド工業株式会社 薄板ガラス基板のスクライブ方法
CN102179881A (zh) * 2011-04-01 2011-09-14 石金精密科技（深圳）有限公司 平面薄板吸附固定系统
JP2013023401A (ja) * 2011-07-20 2013-02-04 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 分断装置
WO2013057815A1 (ja) * 2011-10-20 2013-04-25 東洋機械金属株式会社 取出装置
CN104870341B (zh) 2012-10-19 2018-02-06 陶氏环球技术有限责任公司 用于提升和移动可成形的和/或可崩塌的零件的装置、系统和方法
KR101459644B1 (ko) * 2012-12-28 2014-11-12 엘아이지에이디피 주식회사 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치 및 그 박리방법
JP2014135332A (ja) * 2013-01-09 2014-07-24 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 吸着反転装置
JP6059565B2 (ja) * 2013-03-13 2017-01-11 三星ダイヤモンド工業株式会社 吸着反転装置
JP5744109B2 (ja) * 2013-06-05 2015-07-01 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性基板搬送ユニット
JP6287548B2 (ja) * 2014-04-28 2018-03-07 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板の端材分離方法及び端材分離装置
WO2016117095A1 (ja) * 2015-01-22 2016-07-28 株式会社島津製作所 基板移載システム
CN106217089B (zh) * 2016-08-15 2018-05-01 中国工程物理研究院化工材料研究所 机械加工装夹用真空吸盘的气水分离结构
JP6271683B2 (ja) * 2016-11-17 2018-01-31 三星ダイヤモンド工業株式会社 吸着反転装置
EP3999477A1 (en) * 2019-07-18 2022-05-25 Corning Incorporated Methods for separating transparent articles from a transparent mother sheet using an open ended pressure assembly
KR102623541B1 (ko) * 2021-11-30 2024-01-12 해성디에스 주식회사 스트립 형태 제품의 동축 회전 반전 장치

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0992710A (ja) * 1995-09-28 1997-04-04 Sony Corp 薄板状基板の研磨方法
JPH1174167A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Sharp Corp 半導体素子の製造方法
JPH11243135A (ja) * 1998-02-26 1999-09-07 Kyocera Corp 真空吸着盤
JP2001196448A (ja) * 1999-10-27 2001-07-19 Hitachi Chem Co Ltd 半導体ウエハ又は半導体素子の固定具及び半導体ウエハ又は半導体素子の加工方法
JP4546626B2 (ja) * 2000-08-29 2010-09-15 株式会社ディスコ 半導体素子のピックアップ方法
JP2002173250A (ja) * 2000-12-07 2002-06-21 Nitto Denko Corp 吸着搬送方法および吸着加工方法
JP2004055833A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Fujitsu Ltd 薄板状部材の吸着装置
JP2004128115A (ja) * 2002-10-01 2004-04-22 Hitachi Chem Co Ltd 減圧固定用フィルム、ウエハ保護フィルム、ダイシングフィルム及び半導体装置の製造方法

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