JP2005538851A - 非共晶はんだ組成物 - Google Patents

非共晶はんだ組成物 Download PDF

Info

Publication number
JP2005538851A
JP2005538851A JP2004537867A JP2004537867A JP2005538851A JP 2005538851 A JP2005538851 A JP 2005538851A JP 2004537867 A JP2004537867 A JP 2004537867A JP 2004537867 A JP2004537867 A JP 2004537867A JP 2005538851 A JP2005538851 A JP 2005538851A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solder
eutectic
lead
composition
free
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004537867A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4938980B2 (ja
Inventor
インテランテ、マリオ
ファーコック、ムクタ、ジー
サブリンスキ、ウィリアム、エドワード
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of JP2005538851A publication Critical patent/JP2005538851A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4938980B2 publication Critical patent/JP4938980B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/0008Soldering, e.g. brazing, or unsoldering specially adapted for particular articles or work
    • B23K1/0016Brazing of electronic components
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/22Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
    • B23K35/24Selection of soldering or welding materials proper
    • B23K35/26Selection of soldering or welding materials proper with the principal constituent melting at less than 400 degrees C
    • B23K35/262Sn as the principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/341Surface mounted components
    • H05K3/3431Leadless components
    • H05K3/3436Leadless components having an array of bottom contacts, e.g. pad grid array or ball grid array components
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/36Electric or electronic devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10613Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
    • H05K2201/10954Other details of electrical connections
    • H05K2201/10992Using different connection materials, e.g. different solders, for the same connection
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/04Soldering or other types of metallurgic bonding
    • H05K2203/041Solder preforms in the shape of solder balls
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/04Soldering or other types of metallurgic bonding
    • H05K2203/0415Small preforms other than balls, e.g. discs, cylinders or pillars
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3463Solder compositions in relation to features of the printed circuit board or the mounting process
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

電子モジュール(20)の回路ボード(120)への接合などの電子部品の第2レベルのはんだ接続に用いる無鉛はんだ階層。SnCuまたはSnAgの非共晶はんだ(60)中の濃度をモジュール側の接続に使用する。この非共晶はんだ(60)は、モジュール側接続に堅固な第2レベル・アセンブリおよび再加工プロセスを提供するのに十分な金属間化合物を含有している。この非共晶組成物(60)は、アセンブルの際にモジュール側のフィレット中に金属間化合物相構造をもたらす。この金属間化合物相構造は、第2レベルのアセンブルの際に傾斜および倒壊の問題をなくし、また、より粘着性のある接合を実現し、ボード(120)からのコラム(100)の除去を、モジュール(20)から同時に除去することなしに可能にすることによって、再加工に役立つ。

Description

本発明は電子部品アセンブリ用の無鉛はんだ構造に関し、より詳細には、電子モジュールを回路カードまたは回路ボードに接合することなど電子部品における第2レベルのはんだ接続に用いる無鉛はんだ階層に関する。
はんだを使用して部品を電子アセンブリ内で接合することは当業界では周知である。他の電子部品への、または他のパッケージング・レベルへの接続が必要な様々な電子部品がある。典型的な例は第2レベルの表面実装技術であり、そこではコラム・グリッド・アレイ(CGA)またはボール・グリッド・アレイ(BGA)を使用して、回路ボードと多層セラミック(MLC)基板に取り付けられた半導体チップなどの電子モジュール・アセンブリとの間の相互接続が形成される。
このモジュール・アセンブリは、はんだボールまたははんだコラムを基板下面メタラジ(BSM)に接合することによってボードまたはカードに接続される。その後で、このモジュールは、第2レベル・アセンブリといわれるボードまたはカードに接合される。
様々な環境的な理由から産業界は、部品アセンブリについて無鉛はんだ戦略に移行している。最近の無鉛相互接続の解決策は、モジュール側およびカード側のどちらの接合にも接合合金としてスズ/銀/銅共晶物を使用することである。この合金が使用されるのは、大抵のより高融点の合金が他の諸問題を伴うからである。たとえば、スズアンチモン(235〜240℃)にはアンチモンの酸化物に関する環境問題がある。
無鉛システムに対する最近の解決策は、モジュール側およびカードまたはボード側のどちらの側のコラム接合にも同じはんだ合金(3.8Ag/0.7Cu/残余Snなどの特殊な組成のSn/Ag/Cu)を使用することである。これは2つの顕著な問題を伴う。その1つは、モジュール側のフィレットが融解していくので第2レベル・アセンブリの際にコラムが傾斜または崩壊する可能性があることである。Cuのコラムをモジュール下面メタラジBSMパッド上にSn、Ag、およびCu(SAC)で接合し、カード側上にSACペーストで接合すると、モジュールが235℃の接合中に倒れる原因になる。SAC共晶は217℃で融解する。第2は、カード再加工プロセスがはるかに複雑になることである。というのは、カードからモジュールを除去する間、コラムのほとんどすべてがカード上に残り、次いで再接合する前にそれらを苦労して除去しなければならないからである。カードからモジュールを再加工すると、カード上に多くのコラムが残るはずである。これは製造生産において極めて厄介であり、時間を無駄にする。別の問題は、環境、プロセス、または信頼性の問題を伴わない、入手が容易で融解温度が220℃乃至260℃にある合金がないことである。
本発明は第2レベル・アセンブリ用のはんだ溶融階層を作り出すことによってこれら諸問題を解決する。本発明は、以下の要件を満足させるのに十分な金属間化合物(intermetallics)をモジュールのBSMフィレットに追加する、SnCuまたはSnAgの非共晶組成物を提供する。すなわち、材料は、すべての無鉛はんだの用途を満足させるために235℃〜260℃の標準的な接合温度でリフローし、ぬれなければならない。材料は、カードまたは回路ボードに接合の際にモジュールが倒れるのを防ぐようにモジュールのBSM接合を安定化しなければならない。材料は、できるだけ多くのコラムがモジュールに取り付けられたままでカードまたはボード上に残らないことを保証するためにカードまたはボードの再加工の際、粘着性を維持しなければならない。
本発明は、スズ、銀、銅のうちの2つ以上を含有する非共晶無鉛はんだ合金の使用を開示する。これらの非共晶組成物は、280℃を超える温度で溶融し、モジュールのBSM接合に実質的な構造上の支持を加える第2金属間化合物相(intermetallic phase)を含有する。本発明は、機械的なスタンドオフ(standoff)の支援なしで、かつカードまたはボードからのモジュールの除去/再加工なしで、カードまたはボードを取り付け可能にするモジュール/コラムBSM接合において所望の温度階層を実現する。その際、コラムの大多数はモジュールBSMに取り付けられたままである。これによって、同じはんだをモジュール側およびカード側のパッドのどちらにも使用するときに付随する諸問題がなくなる。はんだ温度階層がないと、再加工中にコラムのすべてまたはほとんどがカードまたはボード上に残り、その結果、新しいモジュールを再接合するためのサイトの準備に極めて労働集約的な作業が生じる。本発明は、初期のカード接合およびその後のモジュール/カード再加工の際に安定な構造を作り出してコラムの倒壊を防ぐために相異なる合金を使用する。
この材料的な解決策は、無鉛BGA用に設計された単一の溶融Sn、Ag、およびCu(SAC)はんだボールに置き換えることもできる。本発明のこれらおよび他の目的は、添付の図面と共に考察した以下の説明を参照すればより明白になるであろう。
本発明の目的および利点は、第2レベル・パッケージング・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層構造を提供することによって実現された。一実施形態では、組成が90.0%乃至99.0%のSnおよび10.0%乃至1.0%のCuであり、280℃を超える融解温度の金属間化合物を有する非共晶はんだ組成物をモジュール側の接続に使用する。好ましい実施形態では、この非共晶はんだ組成物は、組成が約93.0%Sn/7.0%Cuであり、SnCu金属間化合物相構造の分散した結晶粒子を有している。
別の実施形態では、組成が80.0%乃至96.0%のSnおよび20.0%乃至4.0%のAgであり、280℃を超える融解温度の金属間化合物を有する非共晶はんだ組成物をモジュール側の接続に使用する。好ましい実施形態では、この非共晶はんだ組成物は、組成が約82.0%Sn/18.0%Agであり、SnAg金属間化合物相構造の分散した結晶粒子を有している。好ましい実施形態では、非共晶はんだ組成物は、組成が約88.0%Sn/12.0%Agであり、SnAg金属間化合物相構造の分散した結晶粒子を有している。
本発明の別の態様では、非共晶はんだ組成物を使用して第2レベルの無鉛はんだアセンブリ用のはんだ溶融階層を作り出す方法を提供する。
本発明の態様は新規性があると考えられ、本発明の特徴的な構成要素は添付の特許請求の範囲に詳細に説明されている。図は図示するためだけであって、実寸に比例し示されていない。しかし、本発明自体は、その構成および実施方法のどちらに関しても添付の図面と共に以下の詳細な説明を参照することによって最適に理解することができる。
本発明の目的は第2レベル・アセンブリ用のはんだ溶融階層を提供することによって実現された。
はんだ溶融階層は、カード・アセンブリ会社が、モジュールをカードまたは回路ボードへ取り付けるための無鉛はんだについて共通の解決策に移行しているために必要となってきている。しかし、接合温度は上面メタラジ(TSM)構造によって許容される温度より高温になることができない。カード側はんだが、95.5Sn/3.8Ag/0.7Cu(またはこの組成に近い)共晶になるという業界の傾向は、カードはんだペースト中の95.5Sn/3.8Ag/0.7Cu(以後「SAC」と呼ぶ)の3元共晶温度より高い液相線温度の金属間化合物相構造を有する非共晶組成物が望ましいことを意味している。SACの共晶温度は217℃である。非共晶組成物は、カード接合の際にモジュール側フィレット中に金属間化合物相構造を存在可能にする。このような金属間化合物相構造は、不完全な液状化(liquification)の証左であるが、アセンブリの際の傾斜および崩壊の問題をなくすためにクリティカルなものである。
同様に、この金属間化合物相構造はより粘着性のあるBSM接合をもたらすことによってカードの再加工に役立ち、それによって、コラムをモジュールから同時に除去することなくカードから除去することを可能にする。このような非共晶合金で顕著な結果を示した例としては82Sn/18Agおよび93Sn/7Cuがある。
本発明はSnCu(スズ/銅)およびSnAg(スズ/銀)合金を対象とする。スズ/銅の場合、共晶合金組成は99.3%Sn/0.7%Cu(227℃)であり、評価した合金は97Sn/3Cuおよび93Sn/7Cuであった。97Sn/3Cu合金で235℃のカード接合をすると、有望な結果が得られたが、より強固なカード接合および再加工プロセスを実現するためには改善が必要であった。93Sn/7Cu合金で235℃のカード接合をすると、すべてのモジュールがどんな再加工も必要とせずに直立したままであった。これと対照的に、モジュール側およびカード側のどちらのはんだペーストにもSACを使用した従来の235℃のカード接合を試みるとすべてのモジュールが倒れた。唯一の代案は、モジュールを物理的に支えるためにモジュールの隅に取り付けられたスタンドオフを使用することであった。
スズ/銀の場合の共晶組成は96.5%Sn/3.5%Agで221℃であった。評価した非共晶合金組成は、90Sn/10Ag、88Sn/12Ag、および82Sn/18Agであった。90Sn/10Ag合金で235℃のカード接合をすると、有望な結果が得られたが、より強固なカード接合および再加工プロセスを実現するためにはやはり改善が必要であった。88Sn/12Ag合金のカード接合をすると、すべてのモジュールが235℃のカード接合リフローで残っていた。82Sn/18Ag合金のカード接合をすると、すべてのモジュールが245℃のリフローの際に直立したままであった。
したがって、235℃のリフローでの第2レベル・アセンブリの場合、好ましい非共晶はんだ合金は93Sn/7Cu、88Sn/12Ag、または82Sn/18Agのいずれかである。245℃以上のリフロー要件での第2レベル・アセンブリの場合、好ましい非共晶はんだ合金は82Sn/18Agである。これらの非共晶合金は、モジュールBSMへの取り付け中に金属間化合物相構造を形成する。この非共晶はんだ合金が93Sn/7Cuの場合、これらの金属間化合物はCuSnおよびCuSnである。この非共晶はんだ合金が88Sn/12Agまたは82Sn/18Agの場合、これらの金属間化合物はAgSnである。カード接合リフロー温度をより高くするには金属間化合物相構造の濃度がより高い非共晶はんだ合金を使用することが必要になることは、当業者には明らかであろう。
非共晶はんだ合金の好ましい体積は、接触パッドの寸法および相互接続フィーチャすなわちボール、コラム等の寸法に応じて変わる。上述の非共晶はんだ組成物それぞれの好ましい体積範囲は約0.033〜0.12mm(約2,000〜7,000立方ミル)である。BSM接触パッドは直径0.81mm(32ミル)でありコラムの直径は0.25mm(10ミル)であった。上述の評価で使用した無鉛コラムは銅コラムであった。しかし、本発明は、銅コラムでの使用に限定されない。本発明のはんだ階層は、容易にはんだ付けできるめっき被覆、ならびにNi、Co、Cu、およびPtの合金を有する標準的なコバール(NiFe)合金にも適用できる。同様に、本発明は、一般の無鉛はんだボールまたは無鉛はんだ接続にも適合している。
開示したスズ/銅およびスズ/銀の非共晶合金に少量の第3の成分あるいはさらに第4の成分を追加しても階層構造に影響を与えず、したがって、このような追加は開示した発明の範疇内にあることは、当業者なら判るであろう。追加した成分は銅および銀のように容易にスズと金属間化合物を形成しなければならない。可能な追加成分の例には、ニッケル、コバルト、および金が含まれる。というのは、ニッケル/スズ、コバルト/スズ、および金/スズは周知のスズ金属間化合物であるからである。
本発明はコラム相互接続にも限定されない。本発明は、「ばね」、「コネクタ」、「sコネクタ」、「cコネクタ」、「カンチレバー・ビーム」、および、部材がどちらの側、すなわちセラミック側およびカード側にも接合が困難なほぼ任意のアセンブリにも適用できる。本発明は、温度階層の追加の利点を有し、接合/再加工プロセスに役立つ機械的なスタンドオフを必要としない満足できる無鉛合金システムの使用を可能にする。
好ましい方法を、電子モジュール20の上側に取り付けられた回路チップ10を示す図1を参照して示す。モジュール20の下面に下面メタラジ(BSM)パッド30を設ける。一般的にグラファイトで作製される予備成形ボート40は、モジュール20上のBSMパッド30の位置と一致するように配列された開口50を含む。次いで、このボート開口50中に本発明の非共晶はんだ予備成形物60を載置する。次いで、モジュール20をボート40上に載置して、BSMパッド30が非共晶はんだ予備成形物60と接触するようにする。次いで、得られるモジュール/ボート・アセンブリを一般に235℃乃至245℃の必要なリフロー温度まで加熱し、それによって、はんだ予備成形物60をBSMパッド30上にリフローさせる。次いで、モジュール/ボート・アセンブリを冷却し、その結果、BSMパッド30が非共晶はんだ合金で被覆される。
次いで、図2を参照すると、リフロー後のモジュール20が示されている。得られる非共晶はんだ被覆BSMパッドは、一般にはんだバンプ70と呼ぶ。図3を参照すると、一般的にグラファイトで作製され、はんだバンプ70の位置と一致するように配置された開口90を含む第2ボート80が示されている。この実施例では銅コラム100である無鉛はんだコラムをボート開口90中に載置する。
図4を参照すると、はんだバンプ70がコラム100の端部に接触するようにモジュール20がボート80上に位置している。次いで、得られるモジュール/ボート・アセンブリを必要とされるリフロー温度まで加熱する。銅コラムの場合、この温度は最大で260℃であり、好ましくは250℃である。使用される特別なはんだ階層に応じてこのリフロー温度は350℃を超えることもできる。はんだバンプ70はコラム100の端部上にリフローされ、冷却後コラム100をモジュール20に接着させるモジュール側はんだフィレットを形成する。
次いで、図5を参照すると、本発明により得られる金属間化合物相構造110によってコラム100が取り付けられたモジュール20が示されている。次いで、図6を参照すると、この時点で回路ボードまたはカード120にアセンブルされたコラム100が取り付けられた、得られるモジュール20が示されている。この回路ボード120は、電気接触パッド140を備える。SACはんだペースト130をこの接触パッド140に塗布する。コラム100をボード120上に載置してコラム100の自由端部がSACはんだペースト130に接触するようにする。次いで、モジュール/ボード・アセンブリを加熱してSACはんだペーストをコラム端部上にリフローさせる。リフローされたSACはんだペーストを冷却すると、ボード120にコラムを接着させるはんだ接合が形成される。この得られるモジュール/ボード・アセンブリは、本発明のモジュール側とボード側の接合の間にはんだ階層を含む。
次いで、図7を参照すると、スクリーン・オン・コラム法を用いる第2の方法が示されているが、この方法によって本発明の非共晶はんだ合金をペーストの形でコラム・アレイ上にスクリーン印刷し、次いでリフローする。この方法は、1つのリフロー・ステップを節約する。一般にMoまたはステンレス鋼から作製されたスクリーン・マスク200を無鉛はんだコラム100を含むコラム・ボート80上に載置する。本実施形態では、コラム・ボート80はフィレット開口180またはコラム開口90の拡大された上側部分を含む。このスクリーン・マスク200は、はんだコラム100の位置と一致するように配列されたマスク開口150を有する。非共晶はんだ予備成形体60と同じ組成物で作製された非共晶はんだペースト160をマスク開口150およびフィレット開口180中にスクリーン印刷する。
次いで、図8を参照すると、スクリーン・マスク200が除去され、非共晶「はんだペースト・バンプ」170が一端上にあるコラム100がコラム・ボート80中に残される。このはんだペースト・バンプ170の幾何形状はスクリーン・マスク200の厚さの組合せおよびコラム・ボート80中のフィレット開口180の幾何形状によって決まる。
次いで、図9を参照すると、BSMパッド30付きのモジュール20がコラム・ボート80上に載置されて、BSMパッド30が非共晶はんだペースト・バンプ170に接触するようになっている。次いで、得られるモジュール/ボート・アセンブリを必要とされるリフロー温度まで加熱する。無鉛銅コラムの場合、この温度は最大で245℃までであり、好ましくは250℃である。使用される特別なはんだ階層に応じてこのリフロー温度は350℃を超えることもできる。この非共晶はんだペースト・バンプ170はコラム100の端部上にリフローされ、冷却後コラム100をモジュール20に接着させるモジュール側はんだフィレットを形成する。
次いで、図10を参照すると、本発明により得られる金属間化合物構造110によってコラム100が取り付けられたモジュール20が示されている。次いで、図11を参照すると、この時点で回路ボードまたはカード120にアセンブリングされたコラム100が取り付けられた、得られるモジュール20が示されている。この回路ボード120は電気接触パッド140を有する。SACはんだペースト130をこの接触パッド140に塗布する。コラム100をボード120上に載置して、コラム100の自由端部がSACはんだペースト130に接触するようにする。次いで、モジュール/ボード・アセンブリを加熱してSACはんだペーストをコラム端部上にリフローさせる。リフローされたSACはんだペーストを冷却すると、ボード120にコラムを接着させるはんだ接合が形成される。この得られるモジュール/ボード・アセンブリは、本発明のモジュール側とボード側の接合の間にはんだ階層を含む。
スタンドオフ・サポートの使用を必要とせずにカード・アタック・リフローを生き延びるのに、本発明は現存しないはんだ階層を実現した。これは初期のカード接合にクリティカルなだけでなく、これはカード再加工に対しても極めてクリティカルである。本発明では、コラムの大部分(95%以上)がリフロー/カードからの除去の際にモジュールに取り付けられたままである。
上記で好ましい実施形態を説明したが、Sn/Ag、Sn/Cu、およびSn/Ag/Cuシステムの場合の非共晶はんだ組成物も本発明の範疇内であることは当業者なら当然分かるであろう。これらの非共晶はんだ溶体をモジュール側に使用し、併せて3.8〜4.0重量%のAg、0.5〜0.9重量%のCu、残余がSnである米国電子機器製造者協会(NEMI)の「標準」合金をカード側に使用するとき、自然な温度階層が実現されて、接合プロセスおよび再加工プロセスも円滑になる。これは、非共晶はんだ合金が自体の液相線温度がカード側のはんだ合金のものより高い金属間化合物を含むことにより生じる。したがって、溶融を開始させることができるが、不完全な液状化が存在し、それによって金属間化合物相構造が生じる。この金属間化合物相構造は、より高粘度になるが、それがこの解決策の成功の鍵である。それは接合/再加工プロセスの際にコラム、または他の部材を崩壊から防ぐ。
本発明は、これらの組成物のみに限定されない。本発明の開示は、これらの合金または同じ成分の同様な組成物の1つを用いて上述のコラム傾斜および再加工の問題を解決するためのものである。カード・アセンブリ会社は、カード側に取り付ける場合、共通の無鉛はんだに次第に移行しており、選択される組成は95.5Sn/3.8Ag/0.7Cuに近くなっているように思われる。
また、本発明は、上記で説明した第2レベル・アセンブリ法に限定されない。他の無鉛第2レベル・アセンブリ法も本発明の非共晶はんだ組成物の使用により容易に恩恵を受け得ることは当業者には明らかであろう。実施例を図3に示すが、ここでは非共晶はんだ組成物が、BSMパッド30を有するモジュール20のボード120への第2レベルBGAアセンブリ用はんだボール190として使用される。本発明の非共晶組成物からなるはんだボールを使用すると、再加工後はんだボールのほとんどがモジュールに取り付けられたままのはずだという点で既に議論したのと同じ再加工の利点が得られるはずである。これによって、ボードまたはカードの取り付けサイトを清浄にし再仕上げするために要する時間および労力が低減されるであろう。
本発明の開示を考慮すれば、本発明の精神から逸脱することなく、本明細書で具体的に記述したこれらの実施形態を越えて本発明に他の修正を加え得ることは当業者には明らかであろう。したがって、このような修正は添付の特許請求の範囲にのみ制限される本発明の範疇内と考えられる。
第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第1の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第1の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第1の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第1の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第1の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第1の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第2の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第2の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第2の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第2の方法を示す図である。 第2レベル・アセンブリに用いる無鉛はんだ階層を提供する第2の方法を示す図である。 本発明による無鉛BGA構造の概略断面図である。

Claims (18)

  1. 90.0%乃至99.0%のSnと、
    10.0%乃至1.0%のCuとから本質的に構成され、
    280℃を超える融解温度の金属間化合物を有する非共晶はんだ組成物。
  2. 前記組成物が
    93.0%のSnと、
    7.0%のCuとであり、
    SnCuの金属間化合物相構造の分散結晶粒子を有する、請求項1に記載の非共晶はんだ組成物。
  3. 前記金属間化合物相構造が300℃を超える温度でCuSnを含む、請求項2に記載の非共晶はんだ組成物。
  4. 前記金属間化合物相構造が300℃を超える温度でCuSnを含む、請求項2に記載の非共晶はんだ組成物。
  5. 前記組成物の体積が0.033mm乃至0.12mmである、請求項2に記載の非共晶はんだ組成物。
  6. 80.0%乃至96.0%のSnと、
    20.0%乃至4.0%のAgとから本質的に構成され、
    280℃を超える融解温度の金属間化合物を有する非共晶はんだ組成物。
  7. 前記組成物が
    82.0%のSnと、
    18.0%のAgとであり、
    SnAgの金属間化合物相構造の分散結晶粒子を有する、請求項6に記載の非共晶はんだ組成物。
  8. 前記金属間化合物相構造が280℃を超える温度でAgSnを含む、請求項7に記載の非共晶はんだ組成物。
  9. 前記組成物の体積が0.033mm乃至0.12mmである、請求項7に記載の非共晶はんだ組成物。
  10. 前記組成物が
    88.0%のSnと、
    12.0%のAgとであり、
    SnAgの金属間化合物相構造の分散結晶粒子を有する、請求項6に記載の非共晶はんだ組成物。
  11. 前記金属間化合物相構造が280℃を超える温度でAgSnを含む、請求項8に記載の非共晶はんだ組成物。
  12. 前記組成物の体積が0.033mm乃至0.12mmである、請求項10に記載の非共晶はんだ組成物。
  13. 第2レベルのはんだアセンブリ用の無鉛はんだ溶融階層を生じる方法であって、
    下面メタラジ・パッドを下面に有する電子モジュールを準備するステップと、
    前記下面メタラジ・パッドに非共晶無鉛はんだを載置するステップと、
    前記非共晶無鉛はんだに接触して無鉛コラムの第1の端部を載置するステップと、
    前記非共晶無鉛はんだをリフローさせ、前記下面メタラジ・パッドに前記無鉛コラムの第1の端部を接着させるモジュール側の非共晶無鉛はんだフィレットを形成するように前記非共晶無鉛はんだを加熱するステップと、
    接触パッドを上面に有する回路ボードを準備するステップと、
    前記接触パッドにはんだペーストを塗布するステップと、
    無鉛コラムの第2の端部を前記はんだペーストに接触して載置するステップと、
    前記はんだペーストをリフローさせるように、且つ前記無鉛コラムの第2の端部を前記接触パッドに接着させるカード側はんだフィレットを形成するように前記はんだペーストを加熱するステップとを含む、方法。
  14. 前記モジュール側の非共晶はんだフィレットが93.0%Sn/7.0%Cuの組成物を有し、SnCuの金属間化合物相構造の分散結晶粒子を有する、請求項13に記載の方法。
  15. 前記モジュール側の非共晶はんだフィレットが82.0%Sn/18.0%Agの組成物を有し、SnAgの金属間化合物相構造の分散結晶粒子を有する、請求項13に記載の方法。
  16. 前記モジュール側の非共晶はんだフィレットが88.0%Sn/12.0%Agの組成物を有し、SnAgの金属間化合物相構造の分散結晶粒子を有する、請求項13に記載の方法。
  17. 前記非共晶無鉛はんだが、固体の非共晶無鉛はんだ予備成形物として前記下面メタラジ・パッドに載置される、請求項13に記載の方法。
  18. 前記非共晶無鉛はんだが、スクリーン・マスクを介して非共晶無鉛はんだペーストをスクリーン印刷することによって無鉛コラムの前記第2の端部に載置される、請求項13に記載の方法。
JP2004537867A 2002-09-18 2003-09-12 非共晶はんだ組成物 Expired - Lifetime JP4938980B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/246,282 US6892925B2 (en) 2002-09-18 2002-09-18 Solder hierarchy for lead free solder joint
US10/246,282 2002-09-18
PCT/US2003/029092 WO2004026517A2 (en) 2002-09-18 2003-09-12 Solder hierarchy for lead free solder joint

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005538851A true JP2005538851A (ja) 2005-12-22
JP4938980B2 JP4938980B2 (ja) 2012-05-23

Family

ID=31992296

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004537867A Expired - Lifetime JP4938980B2 (ja) 2002-09-18 2003-09-12 非共晶はんだ組成物

Country Status (10)

Country Link
US (1) US6892925B2 (ja)
EP (1) EP1545826A4 (ja)
JP (1) JP4938980B2 (ja)
KR (1) KR100702500B1 (ja)
CN (1) CN100393471C (ja)
AU (1) AU2003273330A1 (ja)
IL (1) IL167254A (ja)
PL (1) PL374701A1 (ja)
TW (1) TWI241351B (ja)
WO (1) WO2004026517A2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008078653A1 (ja) * 2006-12-25 2008-07-03 Sanyo Special Steel Co., Ltd. 鉛フリー接合用材料およびその製造方法
JP2008178909A (ja) * 2006-12-25 2008-08-07 Sanyo Special Steel Co Ltd 鉛フリー接合用材料およびその製造方法
JP2014193474A (ja) * 2013-03-29 2014-10-09 Mitsubishi Materials Corp ハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペースト
JP2014193473A (ja) * 2013-03-29 2014-10-09 Mitsubishi Materials Corp ハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペースト
JP2015527935A (ja) * 2012-07-18 2015-09-24 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 電子部材を高い側方精度ではんだ付けする方法
TWI670136B (zh) * 2015-12-01 2019-09-01 日商三菱綜合材料股份有限公司 焊料粉末及使用此粉末之焊接用膏之調製方法

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6854636B2 (en) * 2002-12-06 2005-02-15 International Business Machines Corporation Structure and method for lead free solder electronic package interconnections
JP2005288458A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Toshiba Corp 接合体、半導体装置、接合方法、及び半導体装置の製造方法
US20070023910A1 (en) * 2005-07-29 2007-02-01 Texas Instruments Incorporated Dual BGA alloy structure for improved board-level reliability performance
US7754343B2 (en) * 2005-08-17 2010-07-13 Oracle America, Inc. Ternary alloy column grid array
US20070059548A1 (en) * 2005-08-17 2007-03-15 Sun Microsystems, Inc. Grid array package using tin/silver columns
JP4569423B2 (ja) * 2005-08-31 2010-10-27 株式会社日立製作所 半導体装置の製造方法
DE102005055488A1 (de) * 2005-11-18 2007-01-04 Infineon Technologies Ag Elektronische Struktur mit mehreren elektronischen Komponenten und Verfahren zu ihrer Herstellung
US20070117475A1 (en) * 2005-11-23 2007-05-24 Regents Of The University Of California Prevention of Sn whisker growth for high reliability electronic devices
JP5058766B2 (ja) * 2007-12-07 2012-10-24 山陽特殊製鋼株式会社 鉛フリー接合用材料を用いてはんだ付けしてなる電子機器
US20090250506A1 (en) * 2008-02-28 2009-10-08 General Dynamics Advanced Information Systems Apparatus and methods of attaching hybrid vlsi chips to printed wiring boards
US8739392B2 (en) * 2009-06-30 2014-06-03 Intel Corporation Cast grid array (CGA) package and socket
JP5521584B2 (ja) * 2010-01-28 2014-06-18 Tdk株式会社 Pbフリーはんだ及び電子部品内蔵モジュール
US8673761B2 (en) * 2011-02-19 2014-03-18 International Business Machines Corporation Reflow method for lead-free solder
CN102560194A (zh) * 2012-03-13 2012-07-11 南京理工大学 一种非铅金属材料及其在索类火工品中的应用
US9583453B2 (en) 2012-05-30 2017-02-28 Ormet Circuits, Inc. Semiconductor packaging containing sintering die-attach material
US9476188B2 (en) 2012-06-22 2016-10-25 Kohler Mira Limited System and method for remotely disinfecting plumbing fixtures
US9005330B2 (en) 2012-08-09 2015-04-14 Ormet Circuits, Inc. Electrically conductive compositions comprising non-eutectic solder alloys
CN103258748B (zh) * 2013-05-16 2015-11-04 无锡中微高科电子有限公司 柱栅阵列陶瓷封装用焊柱的组装方法
JP6227580B2 (ja) * 2015-03-03 2017-11-08 ファナック株式会社 板金と樹脂から作製された基板、該基板を備えたモータ、および半田付け方法
CN105127612A (zh) * 2015-09-28 2015-12-09 苏州龙腾万里化工科技有限公司 一种无铅锡膏
GB2568271B (en) 2017-11-09 2020-04-22 Kohler Mira Ltd A plumbing component for controlling the mixture of two supplies of water
DE102018116410A1 (de) * 2018-07-06 2020-01-09 Endress+Hauser SE+Co. KG Verfahren zur Herstellung einer hochtemperaturfesten bleifreien Lotverbindung und hochtemperaturfeste bleifreie Lotverbindung
KR102442390B1 (ko) * 2018-10-11 2022-09-14 삼성전기주식회사 전자 부품
CN113319454B (zh) * 2021-04-29 2022-08-23 中国电子科技集团公司第二十九研究所 一种表贴自带固态焊料连接器焊端焊料预置方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02179385A (ja) * 1988-12-29 1990-07-12 Tokuriki Honten Co Ltd 低融点Agはんだ
JP2002057177A (ja) * 2000-08-09 2002-02-22 Hitachi Metals Ltd はんだボールおよびその製造方法
JP2002124533A (ja) * 2000-10-18 2002-04-26 Toshiba Corp 電極材料、半導体装置及び実装装置

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1565115A (en) 1924-01-11 1925-12-08 Western Electric Co Solder
US2763822A (en) 1955-05-10 1956-09-18 Westinghouse Electric Corp Silicon semiconductor devices
US4778733A (en) 1986-07-03 1988-10-18 Engelhard Corporation Low toxicity corrosion resistant solder
US5011658A (en) 1989-05-31 1991-04-30 International Business Machines Corporation Copper doped low melt solder for component assembly and rework
US5147084A (en) 1990-07-18 1992-09-15 International Business Machines Corporation Interconnection structure and test method
JPH05136216A (ja) 1991-11-13 1993-06-01 Toshiba Corp 半導体取付装置
US5282565A (en) * 1992-12-29 1994-02-01 Motorola, Inc. Solder bump interconnection formed using spaced solder deposit and consumable path
US5410184A (en) 1993-10-04 1995-04-25 Motorola Microelectronic package comprising tin-copper solder bump interconnections, and method for forming same
US5539153A (en) 1994-08-08 1996-07-23 Hewlett-Packard Company Method of bumping substrates by contained paste deposition
US5655703A (en) 1995-05-25 1997-08-12 International Business Machines Corporation Solder hierarchy for chip attachment to substrates
TW480636B (en) * 1996-12-04 2002-03-21 Seiko Epson Corp Electronic component and semiconductor device, method for manufacturing and mounting thereof, and circuit board and electronic equipment
US5863493A (en) 1996-12-16 1999-01-26 Ford Motor Company Lead-free solder compositions
JP3081559B2 (ja) * 1997-06-04 2000-08-28 ニッコー株式会社 ボールグリッドアレイ型半導体装置およびその製造方法ならびに電子装置
JP3592486B2 (ja) * 1997-06-18 2004-11-24 株式会社東芝 ハンダ付け装置
US6235996B1 (en) 1998-01-28 2001-05-22 International Business Machines Corporation Interconnection structure and process module assembly and rework
US6281573B1 (en) 1998-03-31 2001-08-28 International Business Machines Corporation Thermal enhancement approach using solder compositions in the liquid state
US6158644A (en) 1998-04-30 2000-12-12 International Business Machines Corporation Method for enhancing fatigue life of ball grid arrays
US6184062B1 (en) * 1999-01-19 2001-02-06 International Business Machines Corporation Process for forming cone shaped solder for chip interconnection
US6191379B1 (en) * 1999-04-05 2001-02-20 General Electric Company Heat treatment for weld beads
US6225206B1 (en) 1999-05-10 2001-05-01 International Business Machines Corporation Flip chip C4 extension structure and process
CA2340393A1 (en) * 1999-06-11 2000-12-21 Katsuaki Suganuma Lead-free solder
JP3832151B2 (ja) 1999-07-22 2006-10-11 株式会社日立製作所 鉛フリーはんだ接続構造体
JP3571593B2 (ja) * 1999-10-14 2004-09-29 リンナイ株式会社 通信装置
US6436703B1 (en) 2000-03-31 2002-08-20 Hyseq, Inc. Nucleic acids and polypeptides
US6638847B1 (en) * 2000-04-19 2003-10-28 Advanced Interconnect Technology Ltd. Method of forming lead-free bump interconnections
US6429388B1 (en) 2000-05-03 2002-08-06 International Business Machines Corporation High density column grid array connections and method thereof
JP3775172B2 (ja) * 2000-05-22 2006-05-17 株式会社村田製作所 はんだ組成物およびはんだ付け物品
US6333563B1 (en) 2000-06-06 2001-12-25 International Business Machines Corporation Electrical interconnection package and method thereof
JP3978004B2 (ja) * 2000-08-28 2007-09-19 株式会社日立製作所 耐蝕・耐摩耗性合金とそれを用いた機器
US6433425B1 (en) 2000-09-12 2002-08-13 International Business Machines Corporation Electronic package interconnect structure comprising lead-free solders
US6518089B2 (en) 2001-02-02 2003-02-11 Texas Instruments Incorporated Flip chip semiconductor device in a molded chip scale package (CSP) and method of assembly
US6784086B2 (en) 2001-02-08 2004-08-31 International Business Machines Corporation Lead-free solder structure and method for high fatigue life
US6683375B2 (en) * 2001-06-15 2004-01-27 Fairchild Semiconductor Corporation Semiconductor die including conductive columns
US6541305B2 (en) 2001-06-27 2003-04-01 International Business Machines Corporation Single-melt enhanced reliability solder element interconnect
JP4136641B2 (ja) 2002-02-28 2008-08-20 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置の接続条件の算出方法
US6917113B2 (en) * 2003-04-24 2005-07-12 International Business Machines Corporatiion Lead-free alloys for column/ball grid arrays, organic interposers and passive component assembly

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02179385A (ja) * 1988-12-29 1990-07-12 Tokuriki Honten Co Ltd 低融点Agはんだ
JP2002057177A (ja) * 2000-08-09 2002-02-22 Hitachi Metals Ltd はんだボールおよびその製造方法
JP2002124533A (ja) * 2000-10-18 2002-04-26 Toshiba Corp 電極材料、半導体装置及び実装装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008078653A1 (ja) * 2006-12-25 2008-07-03 Sanyo Special Steel Co., Ltd. 鉛フリー接合用材料およびその製造方法
JP2008178909A (ja) * 2006-12-25 2008-08-07 Sanyo Special Steel Co Ltd 鉛フリー接合用材料およびその製造方法
US9157135B2 (en) 2006-12-25 2015-10-13 Sanyo Special Steel Co., Ltd. Lead-free jointing material and method of producing the same
JP2015527935A (ja) * 2012-07-18 2015-09-24 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 電子部材を高い側方精度ではんだ付けする方法
JP2014193474A (ja) * 2013-03-29 2014-10-09 Mitsubishi Materials Corp ハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペースト
JP2014193473A (ja) * 2013-03-29 2014-10-09 Mitsubishi Materials Corp ハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペースト
TWI670136B (zh) * 2015-12-01 2019-09-01 日商三菱綜合材料股份有限公司 焊料粉末及使用此粉末之焊接用膏之調製方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004026517A2 (en) 2004-04-01
JP4938980B2 (ja) 2012-05-23
PL374701A1 (en) 2005-10-31
US20040050904A1 (en) 2004-03-18
CN1681618A (zh) 2005-10-12
US6892925B2 (en) 2005-05-17
TW200406492A (en) 2004-05-01
KR20050083640A (ko) 2005-08-26
TWI241351B (en) 2005-10-11
AU2003273330A1 (en) 2004-04-08
AU2003273330A8 (en) 2004-04-08
EP1545826A2 (en) 2005-06-29
CN100393471C (zh) 2008-06-11
WO2004026517A3 (en) 2004-05-06
KR100702500B1 (ko) 2007-04-03
EP1545826A4 (en) 2009-02-11
IL167254A (en) 2009-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4938980B2 (ja) 非共晶はんだ組成物
US5730932A (en) Lead-free, tin-based multi-component solder alloys
US6010060A (en) Lead-free solder process
US6574859B2 (en) Interconnection process for module assembly and rework
US6307160B1 (en) High-strength solder interconnect for copper/electroless nickel/immersion gold metallization solder pad and method
KR101209845B1 (ko) 전자부품 땜납 방법 및 전자부품 땜납 구조
KR100776114B1 (ko) 땜납 접합용 페이스트 및 이를 이용한 땜납 접합 방법
US5221038A (en) Method for forming tin-indium or tin-bismuth solder connection having increased melting temperature
CN100501982C (zh) 带半导体部件的布线基板
KR101332532B1 (ko) 전자 장치의 제조 방법, 전자 부품 탑재용 기판 및 반도체 소자 탑재용 기판의 제조 방법
JPH08116169A (ja) 合金はんだ接続アセンブリおよび接続方法
KR20050063689A (ko) 전자부품상에 솔더부를 형성하는 방법 및 솔더부를 가진전자 부품
PL195528B1 (pl) Bezołowiowy stop lutowniczy
JP3597810B2 (ja) はんだペーストおよび接続構造
JP2007251053A (ja) 半導体装置の実装構造及びその実装構造の製造方法
US20060180639A1 (en) Method and arrangement for thermally relieved packages with different substrates
US6127731A (en) Capped solder bumps which form an interconnection with a tailored reflow melting point
JP4022139B2 (ja) 電子装置及び電子装置の実装方法及び電子装置の製造方法
JP3400408B2 (ja) フリップチップ実装方法
JP2009277777A (ja) はんだボール搭載方法及び電子部品実装用部材
JP2005072173A (ja) 電子部品およびソルダペースト
JP2005297011A (ja) ソルダーペーストおよび半田付け物品
JPH10509842A (ja) 単一合金半田被覆基板
WO1997047425A1 (en) Lead-free, high tin ternary solder alloy of tin, silver, and bismuth
VIANCO Solder Mounting Technologies for Electronic Packaging

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060711

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20090206

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090714

RD12 Notification of acceptance of power of sub attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7432

Effective date: 20090727

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20090727

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091009

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100126

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100520

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20100624

RD14 Notification of resignation of power of sub attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7434

Effective date: 20100802

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20100924

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111227

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120224

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150302

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4938980

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

EXPY Cancellation because of completion of term