JP2005521205A - アクティブマトリクス表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
の距離は、画素アレイの範囲内に位置付けられることが可能であり、又は、画素障壁として同じプロセス段階において回路基板上に又形成される画素アレイの外部に位置付けられることが可能である。
各々の図1乃至3の実施形態のアクティブマトリクスエレクトロルミネッセンス表示(AMELD)装置は、マトリクスアドレス回路構成を有する回路基板100上の画素200のアレイを有する。物理的障壁210は、そのアレイの少なくとも1つの方向において少なくとも幾つかの隣接画素間にある。これらの障壁210の少なくとも幾つかは、本発明に従った相互接続として用いられる導電性障壁材料240を用いて構成される。本発明に従った障壁210の使用及びこの特別な構成を除いて、表示装置は、上記の背景的参照文献におけるように、既知の装置技術と回路技術を用いて構成されることが可能である。
この信号はアドレスTFT T2をオンにし、それ故、列導体160からのそれぞれのデータ信号を有する行の画素をロードする。これらのデータ信号は、それぞれの画素の個々の駆動TFT T1のゲートに印加される。その駆動TFT T1の結果として得られた導通状態を保持するために、このデータ信号は、このゲート5と駆動ライン140、240との間に結合される保持キャパシタChによりゲート5において維持される。このように、各々の画素200のLED25を流れる駆動電流は、前アドレス期間の間に印加され、関連するキャパシタChにおいて電圧として蓄積された駆動信号に基づいて、TFT T1により制御される。具体例の図1においては、T1はPチャネルTFTとして示され、T2はNチャネルTFTとして示されている。
● 半導体性高分子層22を調整する間に、個々の画素200のそれぞれの領域及び/又は画素200の列との間の高分子溶液のオーバーフローを回避して、分離する。
● 個々の画素200及び/又は画素の列のための他のエレクトロルミネッセンス層22または半導体性高分子(或いは、画素のための個々の電極であって、例えば、上部電極23の個々の下層の自己分離でさえ)の範囲限定において基板表面にセルフパターニング能力を提供する。
● 少なくとも有機半導体材料22及び/又は電極材料の析出の間に基板表面に亘るマスクのためのスペーサとして機能する。
● 光250が上部を透過して発光されるとき、アレイにおける画素200の明確に限定された光学的分離のための不透明障壁210を(底部基板100の代わり又はそれと併せて)構成する。
TFTゲートライン(例えば、図3におけるような)に接続された導電性障壁材料240は、アドレス(行)ライン150の少なくとも一部を提供することが可能である。そのような実施形態の1つを図4に示し、ライン150の殆どは導電性障壁材料240により構成されている。
ライン240(150)に沿って、導体障壁材料240は、代表的に、回路基板100におけるTFT Tgのゲートライン5(150)を提供する導体層の断面積より少なくとも2倍(又は、大きさの1桁)大きい断面積を有する。代表的には、導体障壁材料240は、回路基板100におけるこの導体層5(150)の膜厚zより2倍又はそれ以上(例えば、少なくとも5倍)大きい膜厚Zを有することが可能である。具体的な例においては、Zは、zの0.5μm又はそれ以下に対して、2μm乃至5μmの範囲内とすることが可能である。代表的には、導電性障壁材料240は、その導体層140のライン幅yと同じ幅(又は、少なくとも2倍大きい)であるライン幅Yを有することが可能である。具体的な例において、Yは、yの10μmに対して、20μmとすることが可能である。更に、ゲートライン5(150)は、代表的には、ドーピングポリシリコンであり、導電性障壁材料240は、代表的には、かなり大きい導電性を有する金属である。
図5は、それぞれのコーティング40、40xを用いて絶縁された金属コア240、240xをそれぞれ有する、複合した2つの隣り合った障壁210を示している。隣り合って多導体障壁構造210、21xは、種々の方法でデザインされ、用いられることができる。例えば、1つの方式においては、金属コア240及び240xは、アドレスライン150及び供給ライン140それぞれを構成する(又は、バックアップする)ことが可能である。例えば、他の方式においては、障壁210の1つは、付加構成要素であって、例えば、図9及び10を参照して下で説明するようなキャパシタを提供する絶縁性部分に分割されることが可能である。図6は、適切な画素レイアウトの一例を提供し、この図において、基板100のマトリクス状薄膜回路は120のようにデザインされている。
図7の改善されたレイアウトにおいては、2つの障壁210及び210x(各々、それぞれのコーティング40、40xを伴って描かれている金属コア240、240xを有する)は互いに交差するように配列されている。この場合、障壁210x(T2として、基板TFT Tmへの接続を伴う)は、行ライン150を置き換える又はバックアップするために用いられることが可能である。又、障壁210(T1としてTFT Tmへの接続を伴う)は、供給ライン140を置き換える又はバックアップするために用いられることが可能である。
図2、3及び図5の実施形態においては、障壁210及び210xは、導電性材料240及び240xを主体とするように示されている。図8は、障壁210が絶縁性材料244を主体とする改善された実施形態を示している。この場合、ビア244bはエッチングされ、又は回路基板100における回路素子4,5の方に絶縁性材料244を貫いて成形される。金属コーティング240は、絶縁性障壁210の上部及びビア244bにおいて延びる導電性障壁材料を提供する。このような他の導電性障壁構成は、障壁材料240が回路基板100の薄膜導体ライン(ライン140、150及び160等)を置き換える又はバックアップする実施形態に対して特に適切である。
図9の実施形態は、主な導電性障壁材料として金属コアを有する障壁210の絶縁性距離を有する点において、図2、3及び5の実施形態に類似している。この金属コア240は、基板100において回路素子4又は5等と接続され、その上に絶縁性コーティング40を有している。
図11乃至13は、装置ンお回路素子に電気的に接続されていない金属コア240mを有する障壁の実施形態210dを示している。この場合、薄膜基板回路素子に接続された導電性障壁材料240は、金属コア240dにおける絶縁性コーティング40における金属コーティングである。そのような構造は、強磁性コア240dであって、例えばニッケルを有するとトランス又はインダクタを有する表示装置を提供するために有用である。
相互接続材料240と共に障壁210を用いて構成すること以外に、本発明に従ったアクティブマトリクススエレクトロルミネッセンス表示装置は、例えば、上記の背景としての参照文献におけるように、既知の装置技術及び回路技術を用いて、構成されることが可能である。
この実施形態は、画素領域に隣接する障壁210の少なくとも側部に絶縁性コーティングを与えるために、陽極酸化処理法(析出の代わりに)を用いる。代表的には、導電性障壁材料240はアルミニウムを有することが可能である。既知のフォトリソグラフィのマスキング及びエッチング技術を用いて、析出されたアルミニウムの好ましい距離とレイアウトパターンとを規定することができる。図17は、アルミニウムの障壁パターン240の上部に保持されたフォトリソグラフィにより限定されるエッチャントマスクを示している。
上記の実施形態においては、導電性障壁材料240は、厚い不透明な金属、例えば、アルミニウム、銅、ニッケル又は銀である。しかしながら、他の導電性材料240、例えば、絶縁性コーティング40を形成するために表面酸化されることが可能である、金属シリサイド又は(有利ではないが)縮退ドーピング(degenarately−doped)ポリシリコンを用いることが可能である。透明な障壁210が必要とされる場合、ITOが導電性障壁材料240のために用いられることが可能である。
● 一部(又は主体)が金属又は他の導電性材料240から構成される一方、液晶が素セルに隣接する少なくともすペーサの側部が絶縁される、スペーサ。
● AMLCDに接続される付加構成要素(例えば、C、L、W)を構成するため及び/又は基板導体ライン(例えば、150´、160´)の距離を局所的に置き換える又は局所的にバックアップするために、AMLCDの回路基板100´の外部又は内部への接続を提供する、スペーサ。
Claims (20)
- 画素のアレイが該アレイの少なくとも1つの方向において少なくとも幾つかの隣接画素間の物理的障壁を有して存在する、回路基板;
を有する、アクティブマトリクス表示装置であって、
各々の画素は表示素子を有し;
前記回路基板は、前記表示素子が接続される回路構成を有し;
前記物理的障壁は、前記回路基板における中間絶縁性層におけるコンタクト窓により前記回路基板において回路素子と接続される導電性材料を有し;そして
前記導電性障壁材料は前記表示素子に隣接する前記障壁の少なくとも側部において絶縁される;
ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。 - 請求項1に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、
前記回路基板の前記第1回路素子は:
導体層;
電極接続;
供給ライン;
アドレスライン;
信号ライン;
薄膜トランジスタ;及び
薄膜キャパシタ;
を有するグループの少なくとも1つの薄膜素子である、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。 - 請求項1又は2に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記障壁の少なくとも絶縁された距離は、前記導電性障壁材料を提供する金属コアを有し、その金属コアは前記回路基板における前記回路素子と接続され且つ少なくともその障壁の側部における絶縁性コーティングを有する、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項3に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、金属コーティングは前記金属コアにおける絶縁性コーティングにおいて存在し、他の回路素子に接続されている、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項4に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記金属コア、前記絶縁性コーティング及び前記金属コーティングは共に、キャパシタであって、例えば、各々のそれぞれの画素に対する個々の維持キャパシタを構成する、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項1乃至5のいずれ一項に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記障壁の少なくとも絶縁性距離は、前記障壁の少なくともその距離の金属コアにおける絶縁性コーティングにおける金属コーティングを有し、前記金属コーティングは前記基板における前記回路素子と接続される前記導電性障壁材料を提供する、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項6に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記金属コアはニッケル又は他の強磁性材料であり、前記金属コーティングは前記共有電子金属コアを有するトランス又はインダクタの少なくとも1つのコイルを構成するように基板において非強磁性材料の導電体トラックと接続される非強磁性材料から成る、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項1又は2に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記障壁の少なくとも絶縁性距離は前記導電性障壁材料(及び、好適には、金属を有する)を主体とする、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項1又は2に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記物理的障壁は、前記回路基板における回路素子との接続のためにビアが延びる絶縁性材料から成り、前記導電性障壁材料を提供する金属コーティングは前記物理的障壁を通るビアにおける且つ前記物理的障壁の上部において広がっている、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項1、8又は9のいずれ一項に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記回路基板は交差するアドレスライン及び信号ラインと接続されたマトリクスアドレス回路を有し、前記導電性障壁材料は前記アドレスラインの少なくとも一部を提供する、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項1又は2に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記導電性障壁材料は、前記回路基板における前記回路素子と前記装置の他の回路素子との間の相互接続としての役割を果たす、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項1乃至11のいずれ一項に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記物理的障壁は、有機半導体材料の発光ダイオードを有するエレクトロルミネッセンス表示素子間にある、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。
- 請求項1乃至11のいずれ一項に記載のアクティブマトリクス表示装置であって、前記
物理的障壁はアクティブマトリクス液晶表示素子におけるスペーサである、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置。 - 請求項1乃至13のいずれ一項に記載のアクティブマトリクス表示装置を製造する方法であって:
(a)前記回路基板の前記回路素子の一部を露出するために前記回路基板において前記中間絶縁性層におけるコンタクト窓を開ける段階;
(b)前記画素領域に隣接する前記物理的障壁の少なくとも側部において絶縁体を有する前記回路基板において前記物理的障壁を形成する段階;及び
(c)前記物理的障壁間における前記画素領域において前記表示素子を提供する段階;
を有するアクティブマトリクス表示装置の製造方法であり、
前記導電性障壁材料は、前記中間絶縁性層の前記コンタクト窓における少なくとも接続のために電気導電性材料を析出することにより提供される;
ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の製造方法。 - 請求項14に記載のアクティブマトリクス表示装置の製造方法であって、前記段階(b)は、前記電気導電性材料を主体とする前記物理的障壁を形成する手順を有し、絶縁性コーティングはこの導電性障壁材料の少なくとも側部において析出される、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の製造方法。
- 請求項15に記載のアクティブマトリクス表示装置の製造方法であって、前記導電性障壁材料の少なくとも前記バルクはメッキ法により析出される、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の製造方法。
- 請求項15に記載のアクティブマトリクス表示装置の製造方法であって、前記導電性障壁材料はアルミニウムを有し、前記絶縁性コーティングは陽極酸化法により前記アルミニウムの障壁材料の少なくとも側部において形成される、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の製造方法。
- 請求項14に記載のアクティブマトリクス表示装置の製造方法であって、前記段階(b)は、前記中間絶縁性層のコンタクト窓において前記回路素子との接続のためにビアが形成される絶縁性材料を主体として前記物理的障壁を形成する手順を有し、前記電気導電性材料は、前記物理的障壁を通るビア及び前記物理的障壁の上部における導電性コーティングとして析出される、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の製造方法。
- 請求項18に記載のアクティブマトリクス表示装置の製造方法であって、であって、前記物理的障壁のための前記導電性コーティングと前記素子の上部電極は同時に析出され、前記物理的障壁の前記側部における突出形状のシャドーマスクの効果により分離される、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の製造方法。
- 請求項14乃至19のいずれ一項に記載のアクティブマトリクス表示装置の製造方法であって、請求項2乃至13のいずれ一項に記載の付加装置の特徴が提供される、ことを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の製造方法。
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