JP2005519478A5

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Publication number: JP2005519478A5
Application number: JP2003574388A
Authority: JP
Filing date: 2003-02-28
Publication date: 2006-04-20
Anticipated expiration: 2023-02-28

Claims

超小型電子加工物の電気化学機械処理のための装置であって、
超小型電子加工物を受け取るように構成された加工物ホルダと、
前記加工物が前記加工物ホルダに受け取られた時に該加工物の処理面と接触するように構成された加工物用電極と、
前記加工物ホルダから間隔を空けて配置された第１の遠隔電極及び第２の遠隔電極と、
前記加工物ホルダに面する支持面と前記第１及び第２の遠隔電極に面する裏側とを有する機械的媒体と、
前記加工物用電極、前記第１の遠隔電極、及び前記第２の遠隔電極に結合されたスイッチング組立体と、
前記スイッチング組立体に電気的に結合され、該スイッチング組立体を介して前記第１及び第２の遠隔電極と電気的に連通するＡＣ電源と、
前記スイッチング組立体に電気的に結合され、該スイッチング組立体を介して、前記加工物用電極とある極性で、前記第１及び第２の遠隔電極の少なくとも一方と反対の極性で電気的に連通するＤＣ電源と、
を含むことを特徴とする装置。
前記加工物用電極は、前記加工物ホルダによって担持されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記加工物用電極は、前記加工物ホルダによって担持され、
前記第１の遠隔電極及び前記第２の遠隔電極は、前記加工物ホルダとは別の遠隔電極組立体によって担持される、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記加工物ホルダは、前記処理面が下を向くように前記加工物を保持する構成を有するチャックを備えた基板キャリアと、該基板キャリアを移動させるために該基板キャリアに結合された駆動組立体とを含み、
前記加工物用電極は、前記加工物ホルダによって担持される、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記加工物ホルダは、前記処理面が上を向くように前記加工物を保持する構成を有するチャックを備えた基板キャリアと、該基板キャリアを移動させるために該基板キャリアに結合された駆動組立体とを含み、
前記加工物用電極は、前記加工物ホルダによって担持される、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置された電極組立体を更に含み、
前記第１の遠隔電極及び前記第２の遠隔電極は、前記電極組立体によって担持される、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置され、該加工物ホルダに対して可動の可動式電極組立体を更に含み、
前記第１の遠隔電極及び前記第２の遠隔電極は、前記電極組立体によって担持される、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置され、該加工物ホルダに対して可動の可動式電極組立体を更に含み、
前記第１の遠隔電極及び前記第２の遠隔電極は、前記電極組立体によって担持され、
前記機械的媒体は、前記第１の遠隔電極によって担持された第１の研磨パッドと、前記第２の遠隔電極によって担持された第２の研磨パッドとを含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
テーブルを更に含み、
前記機械的媒体は、前記テーブルによって担持された研磨パッドを含み、
前記加工物ホルダは、前記研磨パッドの上に位置決めされ、前記加工物用電極は、該加工物ホルダによって担持され、
前記第１の遠隔電極及び前記第２の遠隔電極は、前記テーブルによって担持される、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
（ａ）前記超小型電子加工物の前記処理面を電気化学処理溶液に接触させる段階と、
（ｂ）前記加工物が前記電気化学処理溶液に接触している間に、前記加工物用電極と前記第１の遠隔電極及び／又は前記第２の遠隔電極の少なくとも一方とに直流電流を印加する段階と、
（ｃ）前記加工物が前記電気化学処理溶液に接触している間に、前記第１の遠隔電極及び／又は前記第２の遠隔電極の少なくとも一方に交流電流を印加する段階と、
（ｄ）少なくとも前記交流電流を印加している間に、前記加工物の前記処理面を前記機械的媒体に押し付ける段階と、
を含む処理に従って装置を作動させるための命令を包含するコンピュータ制御可能媒体を有するコントローラを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
（ａ）前記超小型電子加工物の前記処理面を電気化学処理溶液に接触させる段階と、
（ｂ）前記加工物が前記電気化学処理溶液に接触している間に、前記加工物用電極と前記第１の遠隔電極及び／又は前記第２の遠隔電極の少なくとも一方とに直流電流を印加する段階と、
（ｃ）前記加工物が前記電気化学処理溶液に接触している間に、前記第１の遠隔電極及び前記第２の遠隔電極に交流電流を印加する段階と、
（ｄ）少なくとも前記交流電流を印加している間に、前記加工物の前記処理面を前記機械的媒体に押し付ける段階と、
を含む処理に従って装置を作動させるための命令を包含するコンピュータ制御可能媒体を有するコントローラを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
（ａ）前記超小型電子加工物の前記処理面を電気化学処理溶液に接触させる段階と、
（ｂ）前記加工物が前記電気化学処理溶液に接触している間に、前記加工物用電極と前記第１の遠隔電極及び／又は前記第２の遠隔電極の少なくとも一方とに直流電流を印加する段階と、
（ｃ）前記直流電流を印加している間に、前記第１の遠隔電極及び前記第２の遠隔電極に交流電流を印加する段階と、
を含む処理に従って装置を作動させるための命令を包含するコンピュータ制御可能媒体を有するコントローラを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
（ａ）前記超小型電子加工物の前記処理面を電気化学処理溶液に接触させる段階と、
（ｂ）前記加工物が前記電気化学処理溶液に接触している間に、前記加工物用電極と前記第１の遠隔電極及び／又は前記第２の遠隔電極の少なくとも一方とに直流電流を印加する段階と、
（ｃ）前記加工物が前記電気化学処理溶液に接触している間に、前記第１の遠隔電極及び前記第２の遠隔電極に交流電流を印加する段階と、
（ｄ）少なくとも前記交流電流を印加している間に、前記加工物の前記処理面を前記機械的媒体に押し付ける段階と、
（ｅ）前記第１及び第２の遠隔電極の滞留時間が前記加工物の第１の領域で第２の領域よりも長くなるように、該加工物及び／又は該第１及び第２の遠隔電極の少なくとも１つを移動させる段階と、
を含む処理に従って装置を作動させるための命令を包含するコンピュータ制御可能媒体を有するコントローラを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
超小型電子加工物の電気化学機械処理のための装置であって、
超小型電子加工物を受け取るように構成された加工物ホルダと、
前記加工物が前記加工物ホルダに受け取られた時に該加工物の処理面と接触するように構成された加工物用電極と、
前記加工物が前記加工物ホルダに受け取られた時に該加工物の処理面から間隔が空くように該加工物ホルダに並置された第１の遠隔電極及び第２の遠隔電極と、
ＡＣ電源と、
ＤＣ電源と、
前記加工物用電極、前記第１の遠隔電極、前記第２の遠隔電極、前記ＡＣ電源、及び前記ＤＣ電源に結合されたスイッチング組立体であって、該スイッチング組立体は少なくとも第１の構成及び第２の構成を含み、該第１の構成では、前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第１の遠隔電極に結合されるのに対し、前記ＡＣ電源は前記第１及び第２の遠隔電極に同時に結合され、該第２の構成では、前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第１及び第２の遠隔電極の両方に結合されるのに対し、前記ＡＣ電源は同時に前記第１及び第２の遠隔電極に結合される、前記スイッチング組立体と、
を含むことを特徴とする装置。
前記加工物用電極は、前記加工物ホルダによって担持され、
前記加工物ホルダに面する支持面と前記第１及び第２の遠隔電極に面する裏側とを有する機械的媒体、
を更に含むことを特徴とする請求項１４に記載の装置。
前記加工物用電極は、前記加工物ホルダによって担持され、
前記第１の遠隔電極及び前記第２の遠隔電極は、前記加工物ホルダとは別の電極組立体によって担持される、
ことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置された電極組立体を更に含み、
前記第１及び第２の遠隔電極は、前記電極組立体によって担持される、
ことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置され、該加工物ホルダに対して可動の可動式電極組立体を更に含み、
前記第１及び第２の遠隔電極は、前記電極組立体によって担持される、
ことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置された可動式電極組立体を更に含み、
前記第１及び第２の遠隔電極は、前記電極組立体によって担持され、
前記機械的媒体は、前記第１の遠隔電極によって担持された第１の研磨パッドと、前記第２の遠隔電極によって担持された第２の研磨パッドとを含む、
ことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
テーブルを更に含み、
前記機械的媒体は、前記テーブルによって担持された研磨パッドを含み、
前記加工物ホルダは、前記研磨パッドの上に位置決めされ、前記加工物用電極は、該加工物ホルダによって担持され、
前記第１及び第２の遠隔電極は、前記テーブルによって担持される、
ことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
超小型電子加工物の電気化学機械処理のための装置であって、
超小型電子加工物を受け取るように構成された加工物ホルダと、
前記加工物が前記加工物ホルダに受け取られた時に該加工物の処理面に接触するように構成された第１の電極と、
前記加工物ホルダから間隔の空いた遠隔電極である第２の電極及び第３の電極と、
前記加工物ホルダと前記第２及び第３の電極の各々との間の機械的媒体と、
ＡＣ電源と、
ＤＣ電源と、
前記第１の電極、第２の電極、第３の電極、ＡＣ電源、及びＤＣ電源に結合されたスイッチング組立体であって、該スイッチング組立体は、次の少なくとも３つの構成：
前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第１及び第２の遠隔電極から切断されるのに対し、前記ＡＣ電源は前記第１及び第２の遠隔電極に結合される、第１の構成；
前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第１及び第２の両方の遠隔電極に結合されるのに対し、前記ＡＣ電源は前記第１及び第２の遠隔電極から切断される、第２の構成；及び、
前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第１及び第２の両方の遠隔電極に結合されるのに対し、前記ＡＣ電源は同時に前記第１及び第２の遠隔電極に結合される、第３の構成；
を含む、前記スイッチング組立体と、
を含むことを特徴とする装置。
前記第１の電極は、前記加工物ホルダによって担持されることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
前記第１の電極は、前記加工物ホルダによって担持され、
前記第２及び第３の電極は、前記加工物ホルダとは別の電極組立体によって担持される、
ことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
前記加工物ホルダは、前記処理面が下を向くように前記加工物を保持する構成を有するチャックを備えた基板キャリアと、該基板キャリアを移動させるために該基板キャリアに結合された駆動組立体とを含み、
前記第１の電極は、前記加工物ホルダによって担持される、
ことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
前記加工物ホルダは、前記処理面が上を向くように前記加工物を保持する構成を有するチャックを備えた基板キャリアと、該基板キャリアを移動させるために該基板キャリアに結合された駆動組立体とを含み、
前記第１の電極は、前記加工物ホルダによって担持される、
ことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置された電極組立体を更に含み、
前記第２及び第３の電極は、前記電極組立体によって担持される、
ことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置された可動式電極組立体を更に含み、
前記第２及び第３の電極は、前記電極組立体によって担持される、
ことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置された可動式電極組立体を更に含み、
前記第２及び第３の電極は、前記電極組立体によって担持され、
前記機械的媒体は、前記第２の電極によって担持された第１の研磨パッドと、前記第３の電極によって担持された第２の研磨パッドとを含む、
ことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
テーブルを更に含み、
前記機械的媒体は、前記テーブルによって担持された研磨パッドを含み、
前記加工物ホルダは、前記研磨パッドの上に位置決めされ、前記第１の電極は、該加工物ホルダによって担持され、
前記第２及び第３の電極は、前記テーブルによって担持される、
ことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
（ａ）前記超小型電子加工物の前記処理面を電解液に接触させる段階と、
（ｂ）前記加工物が前記電解液に接触している間に、前記第１の電極と前記第２及び／又は前記第３の電極の少なくとも一方に直流電流を印加する段階と、
（ｃ）前記加工物が前記電解液に接触している間に、前記第２及び／又は前記第３の電極の少なくとも一方に交流電流を印加する段階と、
（ｄ）少なくとも前記交流電流を印加している間に、前記加工物の前記処理面を前記機械的媒体に押し付ける段階と、
を含む処理に従って装置を作動させるための命令を包含するコンピュータ制御可能媒体を有するコントローラを更に含むことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
（ａ）前記超小型電子加工物の前記処理面を電解液に接触させる段階と、
（ｂ）前記加工物が前記電解液に接触している間に、前記第１の電極と前記第２及び／又は前記第３の電極の少なくとも一方に直流電流を印加する段階と、
（ｃ）前記加工物が前記電解液に接触している間に、前記第２及び第３の電極に交流電流を印加する段階と、
（ｄ）少なくとも前記交流電流を印加している間に、前記加工物の前記処理面を前記機械的媒体に押し付ける段階と、
を含む処理に従って装置を作動させるための命令を包含するコンピュータ制御可能媒体を有するコントローラを更に含むことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
（ａ）前記超小型電子加工物の前記処理面を電解液に接触させる段階と、
（ｂ）前記加工物が前記電解液に接触している間に、前記第１の電極と前記第２及び／又は前記第３の電極の少なくとも一方に直流電流を印加する段階と、
（ｃ）前記直流電流を印加している間に、前記第２及び第３の電極に交流電流を印加する段階と、
を含む処理に従って装置を作動させるための命令を包含するコンピュータ制御可能媒体を有するコントローラを更に含むことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
（ａ）前記超小型電子加工物の前記処理面を電解液に接触させる段階と、
（ｂ）前記加工物が前記電解液に接触している間に、前記第１の電極と前記第２及び／又は前記第３の電極の少なくとも一方に直流電流を印加する段階と、
（ｃ）前記加工物が前記電解液に接触している間に、前記第２及び第３の電極に交流電流を印加する段階と、
（ｄ）少なくとも前記交流電流を印加している間に、前記加工物の前記処理面を前記機械的媒体に押し付ける段階と、
（ｅ）前記第２及び第３の電極の滞留時間が前記加工物の第１の領域で第２の領域よりも長くなるように、該加工物及び／又は該第２及び第３の電極の少なくとも１つを移動させる段階と、
を含む処理に従って装置を作動させるための命令を包含するコンピュータ制御可能媒体を有するコントローラを更に含むことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
超小型電子加工物の電気化学機械処理のための装置であって、
超小型電子加工物を受け取るように構成された加工物ホルダと、
前記加工物が前記加工物ホルダに受け取られた時に該加工物の処理面と接触するように構成された加工物用電極と、
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置された第１の遠隔電極及び第２の遠隔電極と、
前記加工物ホルダと前記第１及び第２の遠隔電極の各々との間の機械的媒体と、
ＡＣ電源と、
ＤＣ電源と、
前記加工物用電極、第１の遠隔電極、第２の遠隔電極、ＡＣ電源、及びＤＣ電源に結合されたスイッチング組立体と、
（ａ）前記加工物用電極と前記第１及び第２の遠隔電極の少なくとも一方とを前記スイッチング組立体を介して前記ＤＣ電源に接続する段階、及び／又は、（ｂ）前記第１及び第２の遠隔電極を前記スイッチング組立体を介して前記交流電源に接続する段階を含む処理に従って前記スイッチング組立体を作動させるための命令を包含するコンピュータ制御可能媒体を含む、該スイッチング組立体に結合されたコントローラと、
を含むことを特徴とする装置。
超小型電子加工物の電気化学機械処理のための装置であって、
超小型電子加工物を受け取るように構成された加工物ホルダと、
前記加工物が前記加工物ホルダに受け取られた時に該加工物の処理面と接触するように構成された加工物用電極と、
前記加工物ホルダから間隔を置いて配置された第１の遠隔電極及び第２の遠隔電極と、
前記加工物ホルダと前記第１及び第２の遠隔電極の各々との間の機械的媒体と、
前記加工物用電極、前記第１の遠隔電極、及び前記第２の遠隔電極に結合されたスイッチング組立体と、
前記スイッチング組立体に電気的に結合され、前記第１及び第２の遠隔電極と電気的に連通するＡＣ電源と、
前記スイッチング組立体に電気的に結合され、該スイッチング組立体を介して、前記加工物用電極とある極性で、前記第１及び第２の遠隔電極の少なくとも一方と反対の極性で電気的に連通するＤＣ電源と、
を含むことを特徴とする装置。
超小型電子加工物の電気化学機械処理のための装置であって、
超小型電子加工物を受け取るように構成された加工物ホルダと、
前記加工物が前記加工物ホルダに受け取られた時に該加工物の処理面に接触するように構成され、該加工物ホルダによって担持された加工物用電極と、
前記加工物ホルダに面する電極組立体と、該電極組立体によって担持された第１の遠隔電極と、該電極組立体によって担持された第２の遠隔電極と、該加工物ホルダから間隔を置いて配置された該第１及び第２の遠隔電極によって担持された機械的媒体とを含む材料除去装置と、
ＡＣ電源と、
ＤＣ電源と、
前記加工物用電極、第１の遠隔電極、第２の遠隔電極、ＡＣ電源、及びＤＣ電源に結合されたスイッチング組立体であって、該スイッチング組立体は、次の少なくとも３つの構成：
前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第１及び第２の遠隔電極から切断されるのに対し、前記ＡＣ電源は前記第１及び第２の遠隔電極に結合される、第１の構成；
前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第１及び第２の両方の遠隔電極に結合されるのに対し、前記ＡＣ電源は前記第１及び第２の遠隔電極から切断される、第２の構成；及び、
前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第１及び第２の両方の遠隔電極に結合されるのに対し、前記ＡＣ電源は同時に前記第１及び第２の遠隔電極に結合される、第３の構成；
を含む、前記スイッチング組立体と、
を含むことを特徴とする装置。
超小型電子加工物の電気化学機械処理のための装置であって、
超小型電子加工物を受け取るように構成された加工物ホルダと、
前記加工物が前記加工物ホルダに受け取られた時に該加工物の処理面に接触するように構成され、該加工物ホルダによって担持された加工物用電極と、
前記加工物ホルダに面する電極組立体と、該電極組立体によって担持された第１の遠隔電極と、該電極組立体によって担持された第２の遠隔電極と、該第１及び第２の遠隔電極によって担持された機械的媒体とを含む材料除去装置と、
を含み、
前記電極組立体は、前記第１及び第２の遠隔電極を前記加工物ホルダに対して移動させるために可動であり、
ＡＣ電源と、
ＤＣ電源と、
前記加工物用電極、第１の遠隔電極、第２の遠隔電極、ＡＣ電源、及びＤＣ電源に結合されたスイッチング組立体であって、該スイッチング組立体は、次の少なくとも２つの構成：
前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第１及び第２の遠隔電極に結合されるのに対し、前記ＡＣ電源は前記第１の遠隔電極に結合される、第１の構成；及び、
前記ＤＣ電源が前記加工物用電極及び前記第２の遠隔電極に結合されるのに対し、前記ＡＣ電源は同時に前記第１及び第２の遠隔電極に結合される、第２の構成；
を含む、前記スイッチング組立体と、
を更に含むことを特徴とする装置。
超小型電子加工物を電気化学機械的に処理する方法であって、
超小型電子加工物の処理面を電解液に接触させる段階と、
前記加工物の前記処理面に接触し、前記電解液と電気的に連通した加工物用電極と、前記加工物の前記処理面から離隔し、前記電解液と電気的に連通した第１の遠隔電極とに対して直流電流を印加する段階と、
前記電解液と電気的に連通した前記第１の遠隔電極と、前記加工物の前記処理面から離隔し、前記電解液と電気的に連通した第２の遠隔電極とに対して交流電流を印加する段階と、
少なくとも前記交流電流を前記第１及び第２の遠隔電極に印加している間に、前記加工物の前記処理面を機械的媒体に接触させる段階と、
を含むことを特徴とする方法。
超小型電子加工物を電気化学機械的に処理する方法であって、
超小型電子加工物の処理面を電解液に接触させる段階と、
前記加工物の前記処理面と接触し、前記電解液と電気的に連通した加工物用電極と、前記加工物の前記処理面から離隔し、前記電解液と電気的に連通した第１の遠隔電極及び／又は第２の遠隔電極の少なくとも一方とに対して直流電流を印加する段階と、
前記第１及び第２の遠隔電極に交流電流を印加する段階と、
少なくとも前記交流電流を前記第１及び第２の遠隔電極に印加している間に、前記加工物の前記処理面を機械的媒体に接触させる段階と、
を含むことを特徴とする方法。
超小型電子加工物を電気化学機械的に処理する方法であって、
超小型電子加工物の処理面を電解液に接触させる段階と、
前記加工物の前記処理面と接触し、前記電解液と電気的に連通した加工物用電極と、該電解液と電気的に連通した第１の遠隔電極及び／又は第２の遠隔電極の少なくとも一方とに対して直流電流を印加する段階と、
前記加工物用電極と、前記第１の遠隔電極及び／又は第２の遠隔電極の少なくとも一方とに前記直流電流を印加している間に、前記第１及び第２の遠隔電極に交流電流を印加する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
超小型電子加工物を電気化学機械的に処理する方法であって、
超小型電子加工物の処理面を電解液に接触させる段階と、
前記加工物の前記処理面と接触し、前記電解液と電気的に連通した加工物用電極と、前記加工物の前記処理面から離隔し、前記電解液と電気的に連通した第１の遠隔電極及び第２の遠隔電極の少なくとも一方とに対して直流電流を印加し、同時に前記第１及び第２の遠隔電極に交流電流を印加する段階と、
前記第１及び第２の遠隔電極の滞留時間が前記超小型電子加工物の第１の領域で該加工物の第２の領域よりも長くなるように、前記直流電流及び前記交流電流を印加している間に該超小型電子加工物及び／又は該第１及び第２の遠隔電極の少なくとも１つを互いに対して移動させる段階と、
を含むことを特徴とする方法。
超小型電子加工物を電気化学機械的に処理する方法であって、
超小型電子加工物の処理面を電解液に接触させる段階と、
前記加工物の前記処理面と接触し、前記電解液と電気的に連通した加工物用電極と、該電解液と電気的に連通した第１の遠隔電極及び第２の遠隔電極の少なくとも一方とに対して直流電流を印加し、同時に前記第１及び第２の遠隔電極に交流電流を印加する段階と、
前記第１及び第２の遠隔電極の滞留時間がメッキ材料の層がより厚い前記超小型電子加工物の領域でより長くなるように、前記直流電流及び前記交流電流を印加している間に該超小型電子加工物及び／又は該第１及び第２の遠隔電極の少なくとも１つを互いに対して移動させる段階と、
を含むことを特徴とする方法。