JP2005505918A - フローティングアイランドを形成するための雛壇状のトレンチを有する電圧維持層を備える半導体パワーデバイスの製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 93
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims abstract description 4
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 claims description 35
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 11
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 10
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 8
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 8
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 8
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 7
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical group [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0607—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration
- H01L29/0611—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices
- H01L29/0615—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE]
- H01L29/063—Reduced surface field [RESURF] pn-junction structures
- H01L29/0634—Multiple reduced surface field (multi-RESURF) structures, e.g. double RESURF, charge compensation, cool, superjunction (SJ), 3D-RESURF, composite buffer (CB) structures
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66674—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/66712—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
Abstract
Description
【0001】
本出願は、2001年10月4日に米国特許商標庁に出願された、米国特許出願番号第09/970,972号「フローティングアイランド電圧維持層を有する半導体パワーデバイスの製造方法(Method for Fabricating a Power Semiconductor Device Having a Floating Island Voltage Sustaining Layer)」に関連する。
【技術分野】
【0002】
本発明は、半導体パワーデバイスに関し、詳しくは、逆の伝導性にドープされたフローティングアイランドを用いて電圧維持層(voltage sustaining layer)を形成した金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ及びこの他の半導体パワーデバイスに関する。
【背景技術】
【0003】
縦型の二重拡散金属酸化膜半導体(Double-diffused Metal Oxide Semiconductor:以下、DMOSという。)、V溝DMOS(V-groove DMOS)、トレンチMOS電界効果トランジスタ(Field Effect Transistor:以下、FETという。)、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(Insulated Gate Bipolar Transistor:以下、IGBTという。)並びにダイオード及びバイポーラトランジスタ等の半導体パワーデバイスは、自動車の電気系統、電源装置、モータ駆動装置及び他の電源制御装置等の用途に採用されている。このような半導体パワーデバイスは、オフ状態では高い耐電圧を維持し、オン状態では低い電圧降下と高い飽和電流密度を有する必要がある。
【0004】
図1は、nチャネルパワーMOSFETの典型的な構造を示す図である。n+にドープされたシリコン基板102上に形成されたn−エピタキシャルシリコン層101は、半導体デバイス内の2つのMOSFETセルに対応するpボディ領域105a、106bと、n+ソース領域107、108とを備える。pボディ領域5、6は、更に深いpボディ領域105b、106bとを含んでいてもよい。n+ソース領域107、108とpボディ領域105a、106bを接続するために、ソース及びボディ電極112がエピタキシャル層101の表面の特定の部分に広がっている。両セル用のn型ドレインは、図1に示す半導体の上側の表面に延びているn型エピタキシャル層101の部分で形成される。ドレイン電極は、n+にドープされたシリコン基板102の底部に設けられている。絶縁層と導電層、例えば酸化層とポリシリコン層からなる絶縁ゲート電極118は、チャネルが形成されるボディ上及びエピタキシャル層のドレイン部分の上に設けられている。
【0005】
図1に示す従来のMOSFETのオン抵抗は、主にエピタキシャル層101のドリフト領域の抵抗(drift zone resistance)によって決定される。エピタキシャル層101は、n+にドープされたシリコン基板102とp+にドープされた深いボディ領域105b、106bとの間に印加される逆電圧に耐えなければならないので、電圧維持層(a voltage sustaining layer)と呼ばれることもある。一方、ドリフト領域の抵抗は、エピタキシャル層101のドープ濃度及び厚みによって決定される。なお、半導体デバイスの降伏電圧を高めるためには、エピタキシャル層101のドープ濃度を低くするとともに、エピタキシャル層101の厚みを増加させる必要がある。図2に示す曲線は、従来のMOSFETの単位面積当たりのオン抵抗を降伏電圧の関数として示している。この曲線から分かるように、降伏電圧を高くすると、半導体デバイスのオン抵抗は、急激に高くなってしまう。MOSFETを高い電圧、特に数百ボルト以上の電圧で動作させる場合、このオン抵抗の急激な上昇が問題となる。
【0006】
図3は、高い電圧で動作するとともに、オン抵抗が低くなるように設計されたMOSFETを示している。このMOSFETは、セザック(Cezac)他著、ISPSD会報(Proceedings of the ISPSD)、2000年5月、69〜72頁、及びチェン(Chen)他著、電子機器に関するIEEEトランザクション第47−6(IEEE Transactions on Electron Devices Vol. 47, No. 6)、2000年6月、1280〜1285頁に開示されており、これらの文献の全体は、引用によって本願に援用されるものとする。このMOSFETは、電圧維持領域301のドリフト領域に縦方向に分離されて形成された一連のp+にドープされた層(所謂「フローティングアイランド(floating island)」)3101、3102、3103、・・・、310nを備えている点を除いて、図1に示す従来のMOSFETと略同じ構造を有している。フローティングアイランド3101、3102、3103、・・・、310nは、フローティングアイランドがない構造の場合よりも発生する電界は低い。発生する電界を低くすることにより、電圧維持領域301の一部を構成するエピタキシャル層において用いられる不純物濃度をより高くすることができる。フローティングアイランド3101、3102、3103、・・・、310nは、鋸歯状の電界プロファイルを生成し、これらの電界を積分することにより、従来の半導体デバイスで用いられていた不純物濃度より高い不純物濃度で、維持電圧を得ることができる。不純物濃度を高くすることにより、フローティングアイランドの層が全くない半導体デバイスに比べてオン抵抗が低い半導体デバイスを製造することができる。
【0007】
図3に示す構造は、複数回のエピタキシャル成長工程と、これに続く適切な不純物の導入を含む一連の処理によって形成される。ここで、エピタキシャル成長工程は、高価な工程であり、したがって、複数回のエピタキシャル成長工程を必要とする構造は、製造原価が高くなる。
【0008】
そこで、図3に示すようなMOSFET構造を有する半導体パワーデバイスの製造方法であって、エピタキシャル成長工程の実施回数を減らし、より安価に半導体パワーデバイスを製造できる製造方法の実現が望まれている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明は、半導体パワーデバイスの製造方法を提供する。この製造方法では、まず、第1の伝導性を有する基板を準備し、この基板上に電圧維持領域(voltage sustaining region)を形成する。電圧維持領域の形成では、まず、基板上に、第1の伝導性を有するエピタキシャル層を成長させ、エピタキシャル層内に少なくとも1つの雛壇状のトレンチ(terraced trench)を形成する。雛壇状のトレンチは、幅が異なる複数の部分を有し、これらの部分間に少なくとも1つの環状の棚を画定する。次に、トレンチの壁及び底部に沿ってバリア材を堆積させる。次に、少なくとも1つの環状の棚及びトレンチの底部に堆積されたバリア層を介して、隣接するエピタキシャル層の部分に第2の伝導性を有する不純物を打ち込む。不純物を拡散させ、エピタキシャル層内に少なくとも1つの環状のドープ領域を形成する。更に、エピタキシャル層内の環状のドープ領域の下方に位置する少なくとも1つの他の領域を形成してもよい。続いて、雛壇状のトレンチ内にフィラ材料を堆積させ、雛壇状のトレンチを実質的に埋め込み、電圧維持領域が完成する。そして、電圧維持領域上に、第2の伝導性を有する少なくとも1つの領域を形成し、領域と電圧維持領域との間に接合を画定する。
【0010】
本発明によって製造される半導体パワーデバイスは、縦型二重拡散金属酸化膜半導体(縦型DMOS)、V溝二重拡散金属酸化膜半導体(V溝DMOS)、トレンチ二重拡散金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(トレンチDMOS MOSFET)、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(IGBT)、バイポーラトランジスタ、及びダイオードからなるグループから選択してもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
図4は、同時に継続中の米国特許出願番号第[GS158]号明細書に開示されている半導体パワーデバイスを示している。このデバイスでは、トレンチの断面を円形に形成しており、したがって、フローティングアイランドはドーナツ状の形状を有している。勿論、トレンチは、正方形、長方形又は六角形等、円形以外の形状を有していてもよく、このトレンチの断面形状がフローティングアイランドの形状を決定する。n+シリコン基板402上に形成されたn型エピタキシャルシリコン層401は、pボディ領域405aと、半導体デバイス内の2つのMOSFETセルに対応するn+ソース領域407とを備える。図4に示すように、pボディ領域405aは、深いpボディ領域405bを備えていてもよい。n+ソース領域407とボディ領域405aを接続するために、ソース及びボディ電極412がエピタキシャル層401の表面の特定の部分に広がっている。両セル用のn型ドレインは、半導体上表面に延びているn型エピタキシャル層401の部分によって形成される。ドレイン電極は、n+シリコン基板402の底部に設けられている。ボディのチャネル及びドレイン部分の上には、酸化層とポリシリコン層からなる絶縁ゲート電極418が形成されている。エピタキシャルシリコン層401によって画定される半導体デバイスの電圧維持領域内には、一連のフローティングアイランド410が形成されている。フローティングアイランド410は、半導体デバイスの上側から見て、アレー状に配列されている。例えば、図4に示す実施例では、「y軸」方向において、フローティングアイランドには、41011、41012、41013、・・・、4101mといった符号を付しており、「z軸」方向には、41011、41021、41031、410m1といった符号を付している。ゲート電極418の真下に位置するフローティングアイランド410の列は、設けても設けなくてもよく、これらは、半導体デバイスの幾何学的構造(geometry)及びエピタキシャル層410の抵抗率に対する要求に応じて設けられる。
【0012】
図4に示す半導体デバイスでは、フローティングアイランドの水平方向の行、例えば、フローティングアイランド41011、41012、41013、・・・、4101Mからなる行は、それぞれ個別の打込み工程によって形成される。この製造方法では、例えば図3を用いて説明したような従来の製造方法に比べて、必要なエピタキシャル成長工程の回数を減らすことができるが、ここで、必要な打込み工程の回数を減らすことによって、より単純な製造方法を実現することが望まれる。
【0013】
本発明では、p型フローティングアイランドを共通の軸を有する環状の棚(coaxially located annular ledges)として形成する。以下、このようなフローティングアイランドを半導体パワーデバイスの電圧維持層内に形成する手法について説明する。まず、半導体デバイスの電圧維持層となるエピタキシャル層内に雛壇状のトレンチ(terraced trench)を形成する。雛壇状のトレンチは、エピタキシャル層内の異なる深さにエッチングされた共通の軸を有する2つ以上のトレンチから形成される。各トレンチの直径は、エピタキシャル層において、各トレンチが、より深いトレンチより長い直径を有するように形成される。隣り合うトレンチは、水平面において連結され、隣り合うトレンチの直径の差の結果、環状の棚が画定される。p型の不純物は、1回の打込み工程によって、各環状の棚とトレンチにおける最も深い位置である底部とに同時に打ち込まれる。必要であれば、最下位のトレンチは、底部にドープ領域の環状リングを形成するように更にエッチングしてもよい。打ち込まれた材料は、棚とトレンチの底部に隣接し及びこれらの下方の電圧維持領域内の部分に拡散する。これにより、打ち込まれた材料は、共通の軸を有する複数の環状リングとして一連のフローティングアイランドを形成する。最後に、半導体デバイスの特性に悪い影響を与えない材料をトレンチに埋め込む。トレンチに埋め込む材料の具体例としては、高抵抗ポリシリコン、シリコン酸化物のような誘電体、又はこの他の材料及びこれらの材料の組合せがある。
【0014】
本発明に基づく半導体パワーデバイスの製造工程の具体例について、図5(a)〜図5(f)を用いて説明する。
【0015】
まず、従来と同様に、n+にドープされた基板502上にn型エピタキシャル層501を成長させる。エピタキシャル層501の厚さは、抵抗率が5〜40Ωcm、400〜800Vの半導体デバイスでは、代表的に、15〜50μmである。次に、エピタキシャル層501の表面を誘電体層で覆うことによって、誘電体マスキング層を形成し、続いて周知の手法により、この誘電体マスキング層をトレンチ5201の位置を画定するマスク部分を残して露光し、パターンを形成する。次に、反応性イオンエッチングによって、マスク開口部を介してトレンチ5201を例えば5〜15μmの深さにドライエッチングする。詳しくは、等間隔で設けられるフローティングアイランドの水平方向の行の所望の数を「x」とすると、トレンチ520は、まず、後に形成されるボディ領域の底部とn+にドープされた基板502の上面との間に存在するエピタキシャル層501の部分の厚さの約1/(x+1)の深さにエッチングする。ここで、必要に応じて、各トレンチ520の側壁を平滑にしてもよい。この場合、まず、反応性イオンエッチングプロセスによる損傷を防ぐために、トレンチ520の側壁から薄い二酸化シリコン層(通常500〜1000Å)を、化学的なドライエッチングによって取り除く。次に、犠牲二酸化シリコン層をトレンチ5201上に成長させる。そして、トレンチ5201の側壁を可能な限り平坦にするために、犠牲二酸化シリコン層及び残留するマスクの一部を、バッファードフッ酸を用いたエッチング(buffered oxide etch)又はフッ化水素酸を用いたエッチング(HF etch)によって除去する。
【0016】
次に、図5(b)に示すように、トレンチ5201内に二酸化シリコン層5241を成長させる。二酸化シリコン層(以下、酸化層とも呼ぶ。)5241の厚さは、このトレンチ5201と、次に形成されるトレンチとの間の直径の差(したがって、この結果形成される環状の棚の径方向の幅)を決定する。次に、トレンチ5201の底部から酸化層5241を取り除く。
【0017】
次に、図5(c)に示すように、トレンチ5201の露出された底部を介して、第2のトレンチ5202をエッチングする。この実施例では、トレンチ5202の厚さは、トレンチ5201の厚さと同じになるように形成する。すなわち、トレンチ5202は、ボディ領域の底部とn+にドープされた基板502の上面との間に存在するエピタキシャル層501の部分の厚さの約1/(x+1)の深さにエッチングする。これにより、トレンチ5202の底部は、ボディ領域の底部から2/(x+1)の深さに位置することとなる。
【0018】
次に、図5(d)に示すように、まず、トレンチ5202の壁に酸化層5242を成長させることによって、第3のトレンチ5203(図5(e)及び図5(f)に最も明瞭に示されている。)を形成する。ここでも、二酸化シリコン層5242の厚さは、トレンチ5202と、トレンチ5203との間の直径の差(したがって、この結果形成される環状の棚の径方向の幅)を決定する。次に、トレンチ5202の底部から酸化層5242を取り除く。このプロセスは、所望の数のトレンチが形成され、したがって、所望の数の環状の棚が形成できるようになるまで必要な回数繰り返し行う。例えば、図5(d)では、4個のトレンチ5201〜5204(図5(e)に最も明瞭に示されている。)が形成されている。
【0019】
次に、図5(e)に示すように、4個のトレンチ5201〜5204の側壁に形成された各酸化層をエッチングによって取り除くことにより、環状の棚5461〜5463を形成する。次に、トレンチ5201〜5204内に、実質的に均一の厚さを有する酸化層540を形成する。酸化層540の厚さは、打ち込まれた原子が、トレンチ5201〜5204の側壁に隣接するシリコンに透過することを防止するのに十分な厚みであって、且つ環状の棚5461〜5463及びトレンチ底部555において、打ち込まれた原子が酸化層540の一部を透過できる厚さにする必要がある。
【0020】
トレンチ5201〜5204の直径は、最終的に形成される環状の棚5461〜5463及びトレンチ底部555が同じ表面積を有するように選択する。これにより、環状の棚5461〜5463及びトレンチ底部555に不純物が打ち込まれると、この結果形成される各フローティングアイランドの水平面は、同じ電荷を有するようになる。
【0021】
次に、図5(f)に示すように、棚5461〜5463及びトレンチ底部555に設けられた酸化層540を介して、ホウ素等の不純物を打ち込む。不純物の総ドーズ量は及び打込みエネルギは、後に拡散工程を行った後に、エピタキシャル層501に残留する不純物の量が、最終的な半導体デバイスで要求される降伏電圧を満足するように選択する。次に、高温拡散工程を行い、先に打ち込まれた不純物528を縦方向(vertically)及び横方向(laterally)にドライブイン(drive-in)し、これにより共通の軸を有するフローティングアイランド5501〜5504を形成する。
【0022】
次に、半導体デバイスの特性に悪影響を与えない材料を個々のトレンチ5201〜5204から形成される雛壇状のトレンチに埋め込む。このような材料としては、以下に限定されるものではないが、例えば、熱成長される二酸化シリコン、及び二酸化シリコン、窒化シリコンのような堆積される誘電体、並びにこれらの又は他の材料の熱成長層及び堆積層の組合せ等がある。そして、図5(f)に示すように、この構造体の表面を平坦化(planarize)する。図5(g)は、図5(f)と同様の構造において、トレンチ底部を更にエッチングし、この底部に不純物を含む底部環状リングを形成した構成例を示している。
【0023】
図5(f)及び図5(g)に示す構造体を製造する上述した処理工程のシーケンスにより、数多くの様々な半導体パワーデバイスに一連の環状のフローティングアイランドを有する電圧維持領域を作ることができる。上述のように、このような電力用半導体素子としては、DMOS、V溝DMOS、トレンチDMOS、MOSFET、IGBT、及びこの他のMOSゲートデバイスが含まれる。例えば、図4は、図5に示す電圧維持領域上に形成することができるMOSFETの具体例を示している。なお、図5(a)〜図5(g)では、単一の雛壇状のトレンチを示しているが、本発明では、単一又は複数の雛壇状のトレンチを用いて、いかなる数のフローティングアイランドの列を形成してもよい。
【0024】
図5に示すような電圧維持領域及びフローティングアイランドを形成した後、次のような工程によって図4に示すようなMOSFETが完成する。まず、アクティブ領域のマスクを形成した後、ゲート酸化層を成長させる。次に、多結晶シリコンを堆積させ、不純物をドープし、酸化させる。次に、ポリシリコン層をマスクし、ゲート領域を形成する。次に、従来と同様のマスキング工程、打込み工程及び拡散工程を用いて、深いp+にドープされたボディ領域405bを形成する。深いp+にドープされたボディ領域405bは、例えば、20〜200KeVで、ドーズ量を約1×1014〜5×1015/cm2として、ホウ素を打ち込む。同様の手法により、浅いボディ領域405aも形成する。浅いボディ領域405aには、20〜100KeVで、ドーズ量を約1×1013〜5×1014/cm2として、ホウ素を打ち込む。
【0025】
次に、フォトレジストマスキングプロセスによってソース領域407を画定するパターンのマスク層を形成する。続いて、打込み及び拡散によってソース領域407を形成する。ソース領域407には、例えば、20〜100KeVで、代表的には2×1015〜1.2×1016/cm2の濃度でヒ素を打ち込む。打込みの後、ヒ素は、約0.5〜2.0μmの深さに拡散する。ボディ領域の深さは、代表的には約1〜3μmとし、深いp+にドープされたボディ領域405bは、(これを設ける場合は)これより若干深く形成する。最後に、従来の方法でマスク層を除去する。DMOSトランジスタは、従来の方法で酸化層を形成及びパターン化し、コンタクト開口部(contact opening)を形成することにより完成する。更に、金属層を蒸着させ、マスキングして、ソース及びボディ領域とゲート電極とを画定する。マスクは、パッドコンタクトを画定するためにも使用する。そして、基板の底面にドレインコンタクト層を形成する。
【0026】
ここでは、パワーMOSFETを製造するための特定の一連のプロセスについて説明したが、本発明の範囲内で他のプロセスを用いることもできる。例えば、深いp+にドープされたボディ領域405bは、ゲート領域を画定する以前に形成してもよい。更に、トレンチを形成する前に深いp+にドープされたボディ領域405bを形成してもよい。幾つかのDMOS構造では、p+にドープされたボディ領域は、p−にドープされたボディ領域よりも浅く形成してもよく、更に幾つかの具体例では、p+にドープされたボディ領域を設けなくてもよい。
【0027】
以上、様々な実施例を詳細に図示し、説明したが、上述の説明から、本発明に基づくこれらの実施例を修正及び変更することができ、このような修正及び変更は、請求の範囲に基づく本発明の主旨及び範囲から逸脱するものではない。特定の一実施例においては、本発明に基づく方法を用いて、各半導体領域の伝導性が上述の実施例とは逆の半導体パワーデバイスを製造することもできる。更に、本発明に基づく半導体パワーデバイスを製造するために必要な工程を縦型DMOSトランジスタを例に説明したが、ここに開示した手法を用いて、例えばダイオード、バイポーラトランジスタ、パワーJFET、IGBT、MCT及びこの他のMOSゲートパワーデバイスを始めとするこの他のDMOS FET及びこの他の半導体パワーデバイスを製造することもできる。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【図1】従来のパワーMOSFET構造の断面図である。
【図2】従来のパワーMOSFETの単位面積当たりのオン抵抗を降伏電圧の関数として示すグラフ図である。
【図3】図1に示す構造に比べて、同じ電圧で、より低い単位面積当たりのオン抵抗で動作するよう設計された、
ボディ領域の下方に設けられたフローティングアイランドを有する電圧維持領域を含むMOSFET構造を示す図である。
【図4】ボディ領域の下方及びボディ領域間に設けられたフローティングアイランドを有する電圧維持領域を備えるMOSFETの断面図である。
【図5a】本発明に基づいて電圧維持領域を作成するためのプロセスを説明する図である。
【図5b】本発明に基づいて電圧維持領域を作成するためのプロセスを説明する図である。
【図5c】本発明に基づいて電圧維持領域を作成するためのプロセスを説明する図である。
【図5d】本発明に基づいて電圧維持領域を作成するためのプロセスを説明する図である。
【図5e】本発明に基づいて電圧維持領域を作成するためのプロセスを説明する図である。
【図5f】本発明に基づいて電圧維持領域を作成するためのプロセスを説明する図である。
【図5g】本発明に基づいて電圧維持領域を作成するためのプロセスを説明する図である。
Claims (41)
- A.第1の伝導性を有する基板を準備する工程と、
B.
1.上記基板上に、第1の伝導性を有するエピタキシャル層を成長させる工程と、
2.上記エピタキシャル層内に、幅が異なる複数の部分を有し、該部分間に少なくとも1つの環状の棚を画定する少なくとも1つの雛壇状のトレンチを形成する工程と、
3.上記トレンチの壁及び底部に沿ってバリア材を堆積させる工程と、
4.上記少なくとも1つの環状の棚及びトレンチの底部に堆積された上記バリア層を介して、隣接するエピタキシャル層の部分に第2の伝導性を有する不純物を打ち込む工程と、
5.上記不純物を拡散させ、上記エピタキシャル層内に少なくとも1つの環状のドープ領域と、該エピタキシャル層内の該環状のドープ領域の下方に位置する少なくとも1つの他の領域とを形成する工程と、
6.上記雛壇状のトレンチ内にフィラ材料を堆積させ、該雛壇状のトレンチを実質的に埋め込む工程と
によって上記基板上に電圧維持領域を形成する工程と、
C.上記電圧維持領域上に、上記第2の伝導性を有する少なくとも1つの領域を形成し、該領域と電圧維持領域との間に接合を画定する工程とを有する半導体パワーデバイスの製造方法。 - 上記少なくとも1つの雛壇状のトレンチを形成する工程は、最も幅広の部分から最も幅狭の部分の順に、雛壇状のトレンチの複数の部分を順次エッチングする工程を有することを特徴とする請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記最も幅狭の部分は、上記エピタキシャル層内において、上記最も幅広の部分より上記基板に近い深さに位置することを特徴とする請求項2記載の半導体パワー半導体デバイスの製造方法。
- 上記雛壇状のトレンチの複数の部分は、互いに共通の軸を有するよう配置されていることを特徴とする請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記雛壇状のトレンチの複数の部分は、少なくとも2つの環状の棚を画定する、互いに幅が異なる少なくとも3つの部分を含み、上記少なくとも1つの環状のドープ領域は、少なくとも2つの環状のドープ領域を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記雛壇状のトレンチの複数の部分は、少なくとも2つの環状の棚を画定する、互いに幅が異なる少なくとも3つの部分を含み、上記少なくとも1つの環状のドープ領域は、少なくとも2つの環状のドープ領域を含むことを特徴とする請求項4記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記少なくとも1つの雛壇状のトレンチを形成する工程は、最も幅広の部分から最も幅狭の部分の順に、該雛壇状のトレンチの上記少なくとも3つの部分を順次エッチングする工程を有することを特徴とする請求項6記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記最も幅狭の部分は、上記エピタキシャル層内において、上記最も幅広の部分より上記基板に近い深さに位置することを特徴とする請求項7記載の半導体パワー半導体デバイスの製造方法。
- 上記工程Cは、更に
ゲート誘電体領域上にゲート導電層を形成する工程と、
上記エピタキシャル層内に第2の伝導性を有する第1及び第2のボディ領域を形成し、該第1及び第2のボディ領域間にドリフト領域を画定する工程と、
上記第1及び第2のボディ領域内に第1の伝導性を有する第1及び第2のソース領域をそれぞれ形成する工程とを有することを特徴とする請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。 - 上記バリア材は、酸化物材料であることを特徴とする請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記酸化物材料は、二酸化シリコンであることを特徴とする請求項10記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記エピタキシャル層は、所定の厚みを有し、xを上記電圧維持領域に形成すべき環状のドープ領域の所定数以上の整数として、上記所定の厚みの実質的に1/(x+1)に等しい距離分上記雛壇状のトレンチの第1の部分をエッチングする工程を更に有する請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記トレンチに埋め込む材料は、誘電体材料であることを特徴とする請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記誘電体材料は、二酸化シリコンであることを特徴とする請求項13記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記誘電体材料は、窒化シリコンであることを特徴とする請求項13記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記不純物は、ホウ素であることを特徴とする請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記ボディ領域は、深いボディ領域を有することを特徴とする請求項9記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記雛壇状のトレンチは、上記複数の部分のうちの少なくとも第1の部分を画定するマスク層を設け、該マスク層によって画定された第1の部分をエッチングすることによって形成されることを特徴とする請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記雛壇状のトレンチの第1の部分の壁に沿って、所定の厚さの酸化層を堆積させる工程を更に有する請求項18記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記酸化層は、第2のマスク層として機能し、上記雛壇状のトレンチの第1の部分の底面を介して、該第2のマスク層によって画定された該雛壇状のトレンチの第2の部分をエッチングする工程を更に有する請求項19記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記酸化層の所定の厚さは、上記環状の棚の表面積と、非環状の領域の表面積とが互いに実質的に等しくなるように選択されることを特徴とする請求項20記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記ボディ領域は、上記基板に不純物を打ち込み、拡散させることによって形成されることを特徴とする請求項9記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 上記半導体パワーデバイスは、縦型二重拡散金属酸化膜半導体、V溝二重拡散金属酸化膜半導体、トレンチ二重拡散金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ、及びバイポーラトランジスタからなるグループから選択されることを特徴とする請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法。
- 請求項1記載の半導体パワーデバイスの製造方法に基づいて製造された半導体パワーデバイス。
- 請求項7記載の半導体パワーデバイスの製造方法に基づいて製造された半導体パワーデバイス。
- 請求項9記載の半導体パワーデバイスの製造方法に基づいて製造された半導体パワーデバイス。
- 第1の伝導性を有する基板と、
上記基板上に形成された電圧維持領域とを備え、
上記電圧維持領域は、
第1の伝導性を有するエピタキシャル層と、
上記エピタキシャル層内に形成された、幅が異なる複数の部分を有し、該部分間に少なくとも1つの環状の棚を画定する少なくとも1つの雛壇状のトレンチと、
上記エピタキシャル層内の上記環状の棚の下方の及び隣接する部分に形成された、第2の伝導性を有する不純物がドープされた少なくとも1つの環状のドープ領域と、
上記雛壇状のトレンチに埋め込まれたフィラ材料と、
上記電圧維持領域上に形成され、第2の伝導性を有し、該電圧維持領域との間に接合を画定する少なくとも1つのアクティブ領域とを有することを特徴とする半導体パワーデバイス。 - 上記雛壇状のトレンチの複数の部分は、最も幅狭の部分と、最も幅広の部分とを含み、該最も幅狭の部分は、上記エピタキシャル層内において、上記最も幅広の部分より上記基板に近い深さに位置することを特徴とする27記載の半導体パワーデバイス。
- 上記雛壇状のトレンチの複数の部分は、互いに共通の軸を有するよう配置されていることを特徴とする請求項28記載の半導体パワーデバイス。
- 上記雛壇状のトレンチの複数の部分は、少なくとも2つの環状の棚を画定する、互いに幅が異なる少なくとも3つの部分を含み、上記少なくとも1つの環状のドープ領域は、少なくとも2つの環状のドープ領域を含むことを特徴とする請求項27記載の半導体パワーデバイス。
- 上記雛壇状のトレンチの複数の部分は、少なくとも2つの環状の棚を画定する、互いに幅が異なる少なくとも3つの部分を含み、上記少なくとも1つの環状のドープ領域は、少なくとも2つの環状のドープ領域を含むことを特徴とする請求項29記載の半導体パワーデバイス。
- 上記エピタキシャル層は、所定の厚みを有し、xを上記電圧維持領域に形成すべき環状のドープ領域の所定数以上の整数として、上記所定の厚みの実質的に1/(x+1)に等しい距離分エッチングされて形成された、上記雛壇状のトレンチの第1の部分を備える請求項27記載の半導体パワーデバイス。
- 上記トレンチに埋め込む材料は、誘電体材料であることを特徴とする請求項27記載の半導体パワーデバイス。
- 上記誘電体材料は、二酸化シリコンであることを特徴とする請求項33記載の半導体パワーデバイス。
- 上記誘電体材料は、窒化シリコンであることを特徴とする請求項33記載の半導体パワーデバイス。
- 上記不純物は、ホウ素であることを特徴とする請求項27記載の半導体パワーデバイス。
- 上記少なくとも2つの環状の棚の表面積は、互いに実質的に等しいことを特徴とする請求項31記載の半導体パワーデバイス。
- 上記少なくとも1つのアクティブ領域は、
ゲート誘電体及び該ゲート誘電体上に形成されたゲート導電層と、
上記エピタキシャル層内に形成され、第2の伝導性タイプを有し、ドリフト領域を画定する第1及び第2のボディ領域と、
上記第1及び第2のボディ領域内にそれぞれ形成された第1及び第2のソース領域とを備えることを特徴とする請求項27記載の半導体パワーデバイス。 - 上記ボディ領域は、深いボディ領域を有することを特徴とする請求項38記載の半導体パワーデバイス。
- 上記雛壇状のトレンチは、円形の断面を有することを特徴とする請求項27記載の半導体パワーデバイス。
- 上記トレンチは、正方形、長方形、八角形、及び六角形からなるグループから選択される断面形状を有していることを特徴とする請求項27記載の半導体パワーデバイス。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/970,758 US6649477B2 (en) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | Method for fabricating a power semiconductor device having a voltage sustaining layer with a terraced trench facilitating formation of floating islands |
PCT/US2002/031790 WO2003030220A2 (en) | 2001-10-04 | 2002-10-03 | Method for fabricating a power semiconductor device having a voltage sustaining layer with a terraced trench facilitating formation of floating islands |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005505918A true JP2005505918A (ja) | 2005-02-24 |
JP4615217B2 JP4615217B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=25517468
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003533321A Expired - Fee Related JP4615217B2 (ja) | 2001-10-04 | 2002-10-03 | フローティングアイランドを形成するための雛壇状のトレンチを有する電圧維持層を備える半導体パワーデバイスの製造方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6649477B2 (ja) |
EP (1) | EP1433200B1 (ja) |
JP (1) | JP4615217B2 (ja) |
KR (1) | KR100916818B1 (ja) |
CN (1) | CN100568466C (ja) |
AU (1) | AU2002347807A1 (ja) |
DE (1) | DE60239692D1 (ja) |
TW (1) | TW561628B (ja) |
WO (1) | WO2003030220A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011505709A (ja) * | 2007-12-04 | 2011-02-24 | ヴィシャイ ジェネラル セミコンダクター エルエルシー | フローティングアイランドを形成するための雛壇状のトレンチを備えた電圧維持層を有するパワー半導体デバイスの製造方法 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7303810B2 (en) | 2001-03-05 | 2007-12-04 | 3Form, Inc. | Fire-resistant architectural resin materials |
US6576516B1 (en) * | 2001-12-31 | 2003-06-10 | General Semiconductor, Inc. | High voltage power MOSFET having a voltage sustaining region that includes doped columns formed by trench etching and diffusion from regions of oppositely doped polysilicon |
US6656797B2 (en) * | 2001-12-31 | 2003-12-02 | General Semiconductor, Inc. | High voltage power MOSFET having a voltage sustaining region that includes doped columns formed by trench etching and ion implantation |
US6686244B2 (en) * | 2002-03-21 | 2004-02-03 | General Semiconductor, Inc. | Power semiconductor device having a voltage sustaining region that includes doped columns formed with a single ion implantation step |
JP4500530B2 (ja) * | 2003-11-05 | 2010-07-14 | トヨタ自動車株式会社 | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JP4241444B2 (ja) * | 2004-03-10 | 2009-03-18 | 富士雄 舛岡 | 半導体装置の製造方法 |
JP4491307B2 (ja) * | 2004-09-21 | 2010-06-30 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US20070012983A1 (en) * | 2005-07-15 | 2007-01-18 | Yang Robert K | Terminations for semiconductor devices with floating vertical series capacitive structures |
US7880224B2 (en) * | 2008-01-25 | 2011-02-01 | Infineon Technologies Austria Ag | Semiconductor component having discontinuous drift zone control dielectric arranged between drift zone and drift control zone and a method of making the same |
CN102468177A (zh) * | 2010-11-19 | 2012-05-23 | 无锡华润上华半导体有限公司 | P型dmos器件及其制造方法 |
CN102306657A (zh) * | 2011-10-13 | 2012-01-04 | 电子科技大学 | 一种具有浮空埋层的绝缘栅双极型晶体管 |
US8765609B2 (en) | 2012-07-25 | 2014-07-01 | Power Integrations, Inc. | Deposit/etch for tapered oxide |
KR101367491B1 (ko) * | 2012-08-08 | 2014-02-26 | 고려대학교 산학협력단 | 단일 fli 구조를 갖는 반도체 소자의 제조 방법 및 그 제조 방법으로 제조된 반도체 소자 |
CN108922872A (zh) * | 2018-07-09 | 2018-11-30 | 盛世瑶兰(深圳)科技有限公司 | 一种功率器件芯片及其制作方法 |
US10886226B2 (en) * | 2018-07-31 | 2021-01-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co, Ltd. | Conductive contact having staircase barrier layers |
CN109273439A (zh) * | 2018-09-14 | 2019-01-25 | 深圳市心版图科技有限公司 | 一种功率器件保护芯片及其制作方法 |
FR3086797B1 (fr) * | 2018-09-27 | 2021-10-22 | St Microelectronics Tours Sas | Circuit electronique comprenant des diodes |
CN109244071B (zh) * | 2018-09-29 | 2021-06-18 | 深圳市物芯智能科技有限公司 | 功率器件保护芯片及其制备方法 |
CN109300893A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-02-01 | 深圳市南硕明泰科技有限公司 | 功率器件保护芯片及其制备方法 |
CN113629144B (zh) * | 2020-05-08 | 2023-07-07 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体器件及其制备方法 |
KR102369050B1 (ko) * | 2020-06-30 | 2022-03-02 | 현대모비스 주식회사 | 전력 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
DE102021113288A1 (de) | 2020-05-22 | 2021-11-25 | Hyundai Mobis Co., Ltd. | Leistungshalbleitervorrichtung und verfahren zu dessen herstellung |
CN111725318B (zh) * | 2020-06-18 | 2024-04-09 | 湖南国芯半导体科技有限公司 | 一种功率半导体器件的元胞结构及其制作方法 |
US11361971B2 (en) | 2020-09-25 | 2022-06-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | High aspect ratio Bosch deep etch |
CN117650175B (zh) * | 2024-01-30 | 2024-04-09 | 深圳市冠禹半导体有限公司 | 一种垂直型GaN HEMT半导体器件及其制造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5832430A (ja) * | 1981-08-21 | 1983-02-25 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
US4893160A (en) * | 1987-11-13 | 1990-01-09 | Siliconix Incorporated | Method for increasing the performance of trenched devices and the resulting structure |
JPH08162547A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2000504879A (ja) * | 1996-02-05 | 2000-04-18 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 電界効果により制御可能の半導体デバイス |
JP2002520816A (ja) * | 1998-07-07 | 2002-07-09 | インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト | 表面電界の低減されたバーティカル半導体素子 |
JP2002198447A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-07-12 | Hynix Semiconductor Inc | 非揮発性メモリの製造方法 |
JP2002525877A (ja) * | 1998-09-24 | 2002-08-13 | インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト | 半導体構成素子の製造方法 |
JP2003068885A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-03-07 | Fujio Masuoka | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US53568A (en) * | 1866-04-03 | Improvement in carriages | ||
GB2089119A (en) * | 1980-12-10 | 1982-06-16 | Philips Electronic Associated | High voltage semiconductor devices |
USH204H (en) * | 1984-11-29 | 1987-02-03 | At&T Bell Laboratories | Method for implanting the sidewalls of isolation trenches |
US4719185A (en) * | 1986-04-28 | 1988-01-12 | International Business Machines Corporation | Method of making shallow junction complementary vertical bipolar transistor pair |
JPH01136369A (ja) * | 1987-11-21 | 1989-05-29 | Toshiba Corp | 過電圧保護機能付半導体装置の製造方法 |
CN1019720B (zh) | 1991-03-19 | 1992-12-30 | 电子科技大学 | 半导体功率器件 |
KR940009640B1 (ko) * | 1991-12-13 | 1994-10-15 | 금성일렉트론 주식회사 | 쌍 트랜치 캐패시터 셀 제조방법 및 그 구조 |
US5488236A (en) * | 1994-05-26 | 1996-01-30 | North Carolina State University | Latch-up resistant bipolar transistor with trench IGFET and buried collector |
JP3291957B2 (ja) * | 1995-02-17 | 2002-06-17 | 富士電機株式会社 | 縦型トレンチmisfetおよびその製造方法 |
US5719409A (en) * | 1996-06-06 | 1998-02-17 | Cree Research, Inc. | Silicon carbide metal-insulator semiconductor field effect transistor |
US6097076A (en) * | 1997-03-25 | 2000-08-01 | Micron Technology, Inc. | Self-aligned isolation trench |
JP3342412B2 (ja) * | 1997-08-08 | 2002-11-11 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US6078078A (en) * | 1998-10-01 | 2000-06-20 | Advanced Micro Devices, Inc. | V-gate transistor |
US6194741B1 (en) * | 1998-11-03 | 2001-02-27 | International Rectifier Corp. | MOSgated trench type power semiconductor with silicon carbide substrate and increased gate breakdown voltage and reduced on-resistance |
DE19854915C2 (de) * | 1998-11-27 | 2002-09-05 | Infineon Technologies Ag | MOS-Feldeffekttransistor mit Hilfselektrode |
US6316336B1 (en) * | 1999-03-01 | 2001-11-13 | Richard A. Blanchard | Method for forming buried layers with top-side contacts and the resulting structure |
US6191447B1 (en) * | 1999-05-28 | 2001-02-20 | Micro-Ohm Corporation | Power semiconductor devices that utilize tapered trench-based insulating regions to improve electric field profiles in highly doped drift region mesas and methods of forming same |
US6380569B1 (en) * | 1999-08-10 | 2002-04-30 | Rockwell Science Center, Llc | High power unipolar FET switch |
GB0010041D0 (en) * | 2000-04-26 | 2000-06-14 | Koninkl Philips Electronics Nv | Trench semiconductor device manufacture |
US6468847B1 (en) * | 2000-11-27 | 2002-10-22 | Power Integrations, Inc. | Method of fabricating a high-voltage transistor |
US6686244B2 (en) * | 2002-03-21 | 2004-02-03 | General Semiconductor, Inc. | Power semiconductor device having a voltage sustaining region that includes doped columns formed with a single ion implantation step |
-
2001
- 2001-10-04 US US09/970,758 patent/US6649477B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-10-03 EP EP02784020A patent/EP1433200B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-03 JP JP2003533321A patent/JP4615217B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-03 KR KR1020047004955A patent/KR100916818B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-10-03 WO PCT/US2002/031790 patent/WO2003030220A2/en active Application Filing
- 2002-10-03 AU AU2002347807A patent/AU2002347807A1/en not_active Abandoned
- 2002-10-03 DE DE60239692T patent/DE60239692D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-03 CN CNB028196570A patent/CN100568466C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-03 TW TW091122863A patent/TW561628B/zh active
-
2003
- 2003-11-13 US US10/712,810 patent/US7304347B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5832430A (ja) * | 1981-08-21 | 1983-02-25 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
US4893160A (en) * | 1987-11-13 | 1990-01-09 | Siliconix Incorporated | Method for increasing the performance of trenched devices and the resulting structure |
JPH08162547A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2000504879A (ja) * | 1996-02-05 | 2000-04-18 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 電界効果により制御可能の半導体デバイス |
JP2002520816A (ja) * | 1998-07-07 | 2002-07-09 | インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト | 表面電界の低減されたバーティカル半導体素子 |
JP2002525877A (ja) * | 1998-09-24 | 2002-08-13 | インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト | 半導体構成素子の製造方法 |
JP2002198447A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-07-12 | Hynix Semiconductor Inc | 非揮発性メモリの製造方法 |
JP2003068885A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-03-07 | Fujio Masuoka | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011505709A (ja) * | 2007-12-04 | 2011-02-24 | ヴィシャイ ジェネラル セミコンダクター エルエルシー | フローティングアイランドを形成するための雛壇状のトレンチを備えた電圧維持層を有するパワー半導体デバイスの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2003030220A2 (en) | 2003-04-10 |
EP1433200A4 (en) | 2009-03-11 |
AU2002347807A1 (en) | 2003-04-14 |
DE60239692D1 (de) | 2011-05-19 |
CN100568466C (zh) | 2009-12-09 |
US7304347B2 (en) | 2007-12-04 |
EP1433200A2 (en) | 2004-06-30 |
KR20040037243A (ko) | 2004-05-04 |
US6649477B2 (en) | 2003-11-18 |
US20030068854A1 (en) | 2003-04-10 |
TW561628B (en) | 2003-11-11 |
KR100916818B1 (ko) | 2009-09-14 |
JP4615217B2 (ja) | 2011-01-19 |
CN1565051A (zh) | 2005-01-12 |
EP1433200B1 (en) | 2011-04-06 |
US20040097028A1 (en) | 2004-05-20 |
WO2003030220A3 (en) | 2004-02-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20091215 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100108 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100308 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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