JP2005505697A - 真空下で対象物を処理するためのマルチチャンバ装置並びにこのようなマルチチャンバ装置を排気する方法並びにそのための排気システム - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
本発明は、真空下で対象物を処理するためのマルチチャンバ装置であって、チャンバに接続された排気システムを備えた形式のものに関する。さらに本発明は、このような装置を排気する方法並びにそのための排気システムに関する。
【0002】
このような形式のマルチチャンバ装置は公知である。このマルチチャンバ装置は、脱ガス、コーティング(例えばメタライジング)、基板のエッチングのために利用される。このような形式の公知の方法はCVDプロセスまたはDVDプロセスである。通常は、このような装置はプロセスチャンバを有しており、このプロセスチャンバの手前には、ゲート機能を有した単数又は複数の前チャンバが配置されている。ゲートは、基板を導入するまたは導出する時間、開かれているので、チャンバからチャンバへと異なる高い圧力変動が生じる。
【0003】
2つのチャンバを備えたマルチチャンバ装置では、2つの別個の真空ポンプを使用することが公知である。これにより、各チャンバを、配属されたゲートの閉鎖後できるだけ迅速に排気することができる。
【0004】
本発明の根底を成す課題は、冒頭で述べた形式のまたは類似の形式のマルチチャンバ装置において、排気システムのための手間を減じることである。
【0005】
この課題は、本発明によれば、請求項の特徴部により解決されている。
【0006】
各段に1つの入口が設けられていて、各入口が各1つのチャンバに接続されていることにより、異なる複数のチャンバで、同じまたは異なる所望の圧力を、できるだけ迅速に生ぜしめ、正しく維持するために、さらに1つだけの真空ポンプしか必要としない。それぞれ1つの駆動モータを備えた複数のポンプはもはや不要である。組み付けの手間が、機械的にも電気的にも減じられる。有利にはこれらのポンプ段は平行に運転されるので、2つの無関係な真空ポンプの機能を有している。
【0007】
典型的な前真空ポンプは、例えばドイツ連邦共和国実用新案第9007544号明細書により公知のようなオイル密な回転翼形真空ポンプである。
【0008】
本発明のさらなる利点および詳細は、図1〜図4に概略的に示した実施例に基づき説明する。
【0009】
図面では、マルチチャンバ装置が共通して符号1で、チャンバが符号2,3,4で、排気システムが符号5で示されている。チャンバ2〜4は、それぞれ1つのプロセスチャンバ2であって、このプロセスチャンバ2に、別の複数のチャンバ3,4(図1の実施例)もしくは単数のチャンバ4(図2,3の実施例)が配属されている。これらのチャンバは例えばゲートの機能を有していてよい。スリットゲートは符号6,7,8で概略的に示されている。排気システム5は、多段式の前真空ポンプとして形成されている。
【0010】
図1の実施例では3つのチャンバ2,3,4が設けられている。これに応じて前真空ポンプ5は、3つの段11,12,13を有していて、これらの段11,12,13はそれぞれ1つの吸入口14,15,16を有している。各吸入口14,15,16は、それぞれ1つの接続導管17,18,19を介して各チャンバ2,3,4に接続されている。ポンプ段11,12,13の流出部20,21,22は、ポンプ5の内側で1つの共通の流出導管に開口しており、従ってポンプ5は1つの流出口23しか有していない。ポンプ段11,12,13が異なる吸込能を有している場合は、最大の吸込能を有した段がプロセスチャンバ2に接続されると有利である。これによりここでは最速に十分低い圧力が得られる。
【0011】
図2の実施例では、2つのチャンバ2,4しか設けられておらず、これに応じて2つのポンプ段11,13が設けられている。接続導管17,19には、単数又は複数のチャンバ2,4を、通気の際に、排気システム5から分離するために、弁24,25が設けられている。
【0012】
図3の実施例では、接続導管17内に、ターボ分子真空ポンプ26が設けられていて、その吐出側には弁27が設けられている。このような形式の高真空ポンプは、前真空ポンプに比較して高い吸込出力と低い最終圧とを特徴とするが、図示の例では、ポンプ段11を形成する前真空ポンプを要する。この構成は、できるだけ迅速に、比較的低い圧力(例えば10−2mbar)に達することが所望されるような、プロセスチャンバ2で行われる方法のために有利である。前真空ポンプによっても、約1mbar〜5.10−2mbarの最終圧に達するが、高真空ポンプの使用により、より迅速に、さらに低い圧力にも達することができる。
【0013】
図4には、市販の2段式の前真空ポンプ5の部分図が示されているが、これは、マルチチャンバ装置での使用のために変更されている。この真空ポンプ5は、油溜め29を備えた外側のケーシング28を有している。外側のケーシング28内には、実際のポンプ31、即ち、2つの段11,13を備えた回転翼形真空ポンプ31が位置している。この真空ポンプ31は、3つのプレート32,33,34と、これらのプレートの間に配置されたポンプリング35,36とを有している。これらのポンプリング35,36は、作業室37,38を形成していて、この作業室37,38には、偏心的に配置されたそれぞれ1つのロータ41,42と、その翼板43,44とが設けられている。ロータ42は、駆動モータ(図示せず)の軸45に連結されている。さらに、ロータ41,42の軸受端部が、プレート33の領域で互いに結合されている。ロータ41,42の直径は同じであって、その長さは異なる。これにより、両ポンプ段11,13には異なる吸込能が生じる。相前後して配置されたポンプ段11,13を備えた2段式の真空ポンプとして図示のポンプを使用する場合には、長い方が吸込側のポンプ段であって、短い方が吐出側のポンプ段である。
【0014】
図示のポンプ5は、ポンプ段11,13が平行に運転できるように変更されている。ポンプ段11の吸入口14としては、吸込管片弁46が設けられているいずれにせよ存在する入口が利用される。ポンプ段11の流出口(詳しくは図示せず)は、もはやポンプ段13の吸入口に接続されておらず、フェルトカバー47の下側に開口している。ポンプ段13には、吸入口16を形成する独立的な吸込管片48が設けられている。吸込管片48は、ケーシングから外方へとガイドされた管区分49を介して、作業室37に接続されている。このようなポンプ段13の出口(図示せず)は、同様にフェルトカバー47の下側に開口している。フェルトカバー47は、流れを落ち着かせ、油を粗分離する機能を有している。流出口23に接続された別の分離器は、先行技術とは異なり1つだけ設けられていれば良い。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】3つのチャンバと、3段形の前真空ポンプとを有したマルチチャンバ装置を示した図である
【図2】2つの真空チャンバと、2段形の前真空ポンプとを有したマルチチャンバ装置を示した図である
【図3】付加的な高真空ポンプを備えた図2のマルチチャンバ装置を示した図である
【図4】2段形の前真空ポンプの断面図である
Claims (14)
- 真空下で対象物を処理するためのマルチチャンバ装置(1)であって、チャンバ(2,3,4)に接続された排気システム(5)を備えた形式のものにおいて、
排気システム(5)の構成部分が、複数の段(11,12,13)を備えた前真空ポンプであって、各段に1つの入口(14,15,16)が設けられており、各入口が、チャンバ(2,3,4)の1つに接続されていることを特徴とする、真空下で対象物を処理するためのマルチチャンバ装置(1)。 - 前真空ポンプの複数のポンプ段(11,12,13)が平行に配置されている、請求項1記載の装置。
- チャンバ(2,3,4)の総数と、前真空ポンプ(5)のポンプ段(11,12,13)の総数とが同じである、請求項1又は2記載の装置。
- マルチチャンバ装置(1)の構成部分が、プロセスチャンバ(2)と、該プロセスチャンバ(2)に接続された少なくとも1つの前チャンバ(3,4)とであって、前真空ポンプ(5)の各ポンプ段(11,12,13)は異なる吸込能を有しており、最大の吸込能を有する段が、プロセスチャンバ(2)に接続されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。
- 接続導管内で、プロセスチャンバ(2)と、これに配属されたポンプ段(11)の入口(14)との間に、高圧真空ポンプ(26)が、有利にはターボ分子真空ポンプが位置している、請求項4記載の装置。
- 真空下で対象物を処理するためのマルチチャンバ装置(1)を運転するための方法であって、排気システム(5)によって、チャンバ(2,3,4)内に必要な負圧を生ぜしめる形成する形式のものにおいて、
負圧を形成するために、複数の段(11,12,13)を備えた前真空ポンプ(5)を使用し、これらのポンプ段に、チャンバ(2,3,4)に接続されるそれぞれ1つの入口(14,15,16)を設け、複数のポンプ段を平行に運転することを特徴とする、真空下で対象物を処理するためのマルチチャンバ装置(1)を運転するための方法。 - チャンバ(2,3,4)を、異なる吸込能を有した複数の前記ポンプ段(11,12,13)によって排気する、請求項6記載の方法。
- プロセスチャンバ(2)を、最大の吸込能を有しているポンプ段(11)によって排気する、請求項7記載の方法。
- プロセスチャンバ(2)を高真空ポンプ(26)によって排気し、高真空ポンプによって必要とされる前真空圧を、ポンプ段(2,3,4)のうち1つによって形成する、請求項7又は8記載の方法。
- マルチチャンバ装置(1)のための排気システム(5)であって、
多段式の前真空ポンプ(5)として形成されており、各段が、それぞれ1つの入口(14,15,16)を有していて、各入口が、マルチチャンバ装置(1)のチャンバとの接続のために働く、マルチチャンバ装置(1)のための排気システム(5)。 - ポンプ(5)の複数の段(11,12,13)が平行に配置されている、請求項10記載の排気システム(5)。
- システム(5)の構成部分が高真空ポンプ(26)であって、前真空ポンプ(5)の複数の段(11,12,13)の1つが、高真空ポンプ(26)によって必要な前真空を形成するために働く、請求項10又は11記載の排気システム。
- 出口(20,21,22)が、前真空ポンプ(5)の外側のケーシング(28)の内側で一緒にガイドされており、1つの共通のオイル分離器(47)が設けられている、請求項10から12までのいずれか1項記載の排気システム(5)。
- 前真空ポンプ(5)が、回転翼形真空ポンプである、請求項10から13までのいずれか1項記載の排気システム(5)。
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