JP5808454B1 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
以下に、本発明の第一実施形態にかかる基板処理装置の構成および動作について説明する。
まず、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の構成について、図1および図2を用いて説明する。図1は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の概略構成図である。図2は、図1に示す基板処理装置のガス供給系およびガス排気系の概略構成図である。
続いて、本実施形態にかかる基板処理装置1により実施される基板処理工程の一例について図3を参照して説明する。図3は、図1に示す基板処理装置で実施される基板処理工程を示すフローチャートである。以下の処理は、コントローラCNTによって基板処理装置1の各構成の動作を制御することによって行われる。
また、処理ユニットを、ウェハWを1枚ずつ処理する枚葉式としたが、ウェハWを複数枚同時に処理する縦型等の形式であってもよい。また、排気路のそれぞれを他の排気路の全てと接続路によって接続するようにしたが、隣り合う処理ユニットの排気路同士のみを接続路によって接続するようにしてもよい。その場合、図4のS23やS25の処理において、アイドル中やクリーニング処理中のプロセスチャンバPMは、隣り合う処理ユニットの中から選択する。また、図5のS42の処理において、排気経路の切り替え先となる処理ユニットとして、使用を停止するMBPを有する処理ユニットに隣り合う処理ユニットのみ選択できるようにする。
次いで、本発明の第二実施形態にかかる基板処理装置について説明する。前述の第一実施形態にあっては、ユーザから排気経路の切り替え指示が入力されると、切り替え先の処理ユニットの処理を一時的に禁止するようにしたが、本発明の第二実施形態にあっては、使用が停止されたMBP以外のMBPを、時分割で複数のプロセスチャンバMPで共用するように構成した。
次いで、本発明の第三実施形態にかかる基板処理装置について説明する。前述の第一および第二実施形態にあっては、各プロセスチャンバPMが同じ処理(成膜処理およびクリーニング処理)を行うようにしたが、第三実施形態にあっては、各プロセスチャンバPMがそれぞれ異なる処理を行うようにした。具体的には、第三実施形態にかかる基板処理装置は、ウェハWに対し、半導体装置の製造工程にかかる異なる処理を連続的に行うプロセス・インテグレーション装置として構成される。本実施形態にあっては、プロセス・インテグレーション装置として、トランジスタのゲート製造工程の一部を連続して処理する場合を例示して説明する。
次いで、図7に示すトランジスタのゲートの製造工程例について説明する。図8は、図7に示すトランジスタのゲートの製造工程例を示すフローチャートである。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
基板を処理する処理室と、前記処理室に接続された排気路と、前記排気路に設けられた排気ポンプとを少なくとも有する複数の処理ユニットと、前記処理ユニットの排気路同士を前記排気ポンプの上流側で接続する接続路と、前記処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプに前記接続路を介して連通させることによって前記処理室の排気経路を切り替える切り替え部と、を備える基板処理装置。
前記切り替え部の動作を制御する制御部と、前記排気ポンプの異常を検知する検知部と、を備え、前記制御部は、前記検知部の検知結果に基づいて前記切り替え部を制御するように構成される付記1に記載の基板処理装置。
ユーザからの指示を入力する入力部を備え、前記制御部は、前記入力部から入力された指示に基づいて前記切り替え部を制御するように構成される付記1または2に記載の基板処理装置。
前記制御部は、前記排気ポンプを時間的に分割して複数の処理室で共用するよう前記切り替え部を制御するように構成される付記3に記載の基板処理装置。
前記処理室において少なくとも成膜処理とクリーニング処理とが行われ、
前記制御部は、前記検知部によって前記排気ポンプの異常が検知されたとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、前記排気ポンプの異常が検知されておらず、かつ、クリーニング処理中の処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御するように構成される付記2に記載の基板処理装置。
前記制御部は、前記クリーニング処理中の処理室で実行されているクリーニング処理を中断させた後に、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を前記クリーニング処理が中断された処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御するように構成される付記5に記載の基板処理装置。
前記制御部は、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を前記クリーニング処理が中断された処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御すると共に、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室における処理が終了すると、前記クリーニング処理が中断された処理室を、当該処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御するように構成される付記6に記載の基板処理装置。
前記複数の処理ユニットは、前記基板に対して異なる処理を行う少なくとも3つの処理ユニットを含み、前記排気ポンプへの負荷が最も大きい処理を行う処理ユニットが他の処理ユニットの間に配置される付記1に記載の基板処理装置。
前記切り替え部の動作を制御する制御部と、
前記排気ポンプの異常を検知する検知部と、
を備え、前記制御部は、前記検知部の検知結果に基づいて前記切り替え部を制御するように構成される付記8に記載の基板処理装置。
前記制御部は、前記検知部によって前記排気ポンプの異常が検知されたとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、前記排気ポンプの異常が検知されておらず、かつ、アイドリング中の処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御するように構成される付記9に記載の基板処理装置。
前記切り替え部は、前記接続路に配置された弁体と、前記排気路において前記接続路の接続箇所の上流側および下流側に配置された弁体とから構成される付記1から10のいずれかに記載の基板処理装置。
前記検知部は、前記排気ポンプの回転数、消費電力、温度、前記排気路の圧力の少なくともいずれかを検知する付記1から11のいずれかに記載の基板処理装置。
基板を処理する処理室と、前記処理室に接続された排気路と、前記排気路に設けられた排気ポンプとを少なくとも有する複数の処理ユニットで前記基板を処理する半導体装置の製造方法であって、前記処理ユニットの排気路同士を前記排気ポンプの上流側で接続する接続路を介し、前記処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプから排気して前記基板を処理する処理工程、を備える半導体装置の製造方法。
検知部によって前記排気ポンプの異常を検知したとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプに前記接続路を介して連通させることによって前記処理室の排気経路を切り替えるよう切り替え部を制御する排気経路切り替え工程を、前記処理工程の前に有する付記13に記載の半導体装置の製造方法。
前記複数の処理ユニットの中のいずれかの処理ユニットの処理室を他の処理ユニットの排気ポンプを用いて排気させるユーザからの指示が入力されたとき、前記処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプに前記接続路を介して連通させることによって前記処理室の排気経路を切り替えるよう切り替え部を制御する排気経路切り替え工程を、前記処理工程の前に有する付記13に記載の半導体装置の製造方法。
基板を処理する処理室と、前記処理室に接続された排気路と、前記排気路に設けられた排気ポンプとを少なくとも有する複数の処理ユニットで前記基板を処理する処理手順をコンピュータに実行させるプログラムであって、前記処理手順は、前記処理ユニットの排気路同士を前記排気ポンプの上流側で接続する接続路を介し、前記処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプから排気して前記基板を処理する手順を有するプログラム。
前記処理手順は、検知部によって前記排気ポンプの異常を検知したとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプに前記接続路を介して連通させることによって前記処理室の排気経路を切り替えるよう切り替え部を制御する手順を有する付記16に記載のプログラム。
基板を処理する処理室と、前記処理室に接続された排気路と、前記排気路に設けられた排気ポンプとを少なくとも有する複数の処理ユニットで前記基板を処理する処理手順をコンピュータに実行させるプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、前記処理手順は、前記処理ユニットの排気路同士を前記排気ポンプの上流側で接続する接続路を介し、前記処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプから排気して前記基板を処理する手順を有する記録媒体。
前記処理手順は、検知部によって前記排気ポンプの異常を検知したとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプに前記接続路を介して連通させることによって前記処理室の排気経路を切り替えるよう切り替え部を制御する手順を有する付記18に記載の記録媒体。
コントローラ(制御部)・・・CNT
プロセスチャンバ(処理室)・・・PM1,PM2,PM3.PM4
基板処理装置・・・1
操作部(入力部)・・・100
排気路・・・211,221,231,241
MBP(排気ポンプ)・・・214,224,234,244
接続路・・・251,252,253,254,255,256
バルブ(切り替え部)・・・213,223,233,243,261,262,263,264,265,266
APC(切り替え部)・・・212,222,232,242
Claims (13)
- 基板を処理する処理室と、前記処理室に接続された排気路と、前記排気路に設けられた排気ポンプとを少なくとも有する複数の処理ユニットと、
前記処理ユニットの排気路同士を前記排気ポンプの上流側で接続する接続路と、
前記処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプに前記接続路を介して連通させることによって前記処理室の排気経路を切り替える切り替え部と、
前記排気ポンプの異常を検知する検知部と、
前記検知部の検知結果に基づいて前記切り替え部を制御するように構成される制御部と、を備える基板処理装置。 - ユーザからの指示を入力する入力部を備え、
前記制御部は、前記入力部から入力された指示に基づいて前記切り替え部を制御するように構成される請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記排気ポンプを時間的に分割して複数の処理室で共用するよう前記切り替え部を制御するように構成される請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記処理室において少なくとも成膜処理とクリーニング処理とが行われ、
前記制御部は、前記検知部によって前記排気ポンプの異常が検知されたとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、前記排気ポンプの異常が検知されておらず、かつ、クリーニング処理中の処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御するように構成される請求項1から請求項3の内、いずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記クリーニング処理中の処理室で実行されているクリーニング処理を中断させた後に、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を前記クリーニング処理が中断された処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御するように構成される請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を前記クリーニング処理が中断された処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御すると共に、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室における処理が終了すると、前記クリーニング処理が中断された処理室を、当該処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御するように構成される請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記複数の処理ユニットは、前記基板に対して異なる処理を行う少なくとも3つの処理ユニットを含み、前記排気ポンプへの負荷が最も大きい処理を行う処理ユニットが他の処理ユニットの間に配置される請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記検知部によって前記排気ポンプの異常が検知されたとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、前記排気ポンプの異常が検知されておらず、かつ、アイドリング中の処理室を有する処理ユニットの排気ポンプに連通させるよう前記切り替え部を制御するように構成される請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記切り替え部は、前記接続路に配置された弁体と、前記排気路において前記接続路の接続箇所の上流側および下流側に配置された弁体とから構成される請求項1から請求項8の内、いずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記検知部は、前記排気ポンプの回転数、消費電力、温度、前記排気路の圧力の少なくともいずれかを検知する請求項1から請求項9の内、いずれか一項に記載の基板処理装置。
- 基板を処理する処理室と、前記処理室に接続された排気路と、前記排気路に設けられた排気ポンプと、前記排気ポンプの異常を検出する検知部と、を少なくとも有する複数の処理ユニットで前記基板を処理する半導体装置の製造方法であって、
前記検知部が前記排気ポンプの異常を検知したとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプに接続路を介して連通させることによって前記処理室の排気経路を切り替える排気経路切り替え工程と、
前記切り替え工程の後、前記処理室の雰囲気を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプから排気して前記基板を処理する処理工程と、
を備える半導体装置の製造方法。 - 基板を処理する処理室と、前記処理室に接続された排気路と、前記排気路に設けられた排気ポンプと、前記排気ポンプの異常を検出する検知部と、を少なくとも有する複数の処理ユニットで前記基板を処理する処理手順をコンピュータに実行させるプログラムであって、
前記処理手順は、
前記検知部が前記排気ポンプの異常を検知したとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプに接続路を介して連通させることによって前記処理室の排気経路を切り替えて、
その後、前記処理室の雰囲気を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプから排気して前記基板を処理する手順であるプログラム。 - 基板を処理する処理室と、前記処理室に接続された排気路と、前記排気路に設けられた排気ポンプと、前記排気ポンプの異常を検出する検知部と、を少なくとも有する複数の処理ユニットで前記基板を処理する処理手順をコンピュータに実行させるプログラムが記録されたコンピュータが読み取り可能な記録媒体であって、
前記処理手順は、
前記検知部が前記排気ポンプの異常を検知したとき、前記異常が検知された排気ポンプを有する処理ユニットの処理室を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプに接続路を介して連通させることによって前記処理室の排気経路を切り替えて、
その後、前記処理室の雰囲気を、当該処理室を有する処理ユニットとは異なる処理ユニットの排気ポンプから排気して前記基板を処理する手順である記録媒体。
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