JP2009024229A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハを搬送する負圧移載装置12が設置された負圧移載室10と、負圧移載室10に連結されてウエハを処理する複数の処理モジュール61〜64と、ウエハを搬入する予備室20と搬出する予備室30とを制御する制御システム70に、使用ガス情報記憶部91と残留ガス排除レシピ記憶部92と残留ガス排除判断部93とを備えた残留ガス排除システム90を設ける。残留ガス排除判断部93は使用ガス情報記憶部91からの使用ガス種とプレレシピ実行で使用されたガス種とを比較し、不一致の場合に処理室内残留ガス排除レシピ実行と判断し、処理モジュール61〜64で処理室内残留ガス排除レシピを適時に実施させる。処理室内残留ガス排除の必要性を自動的に判断して実行するので、処理品質低下を防止でき、無駄な処理室内残留ガス排除レシピ実行を回避できる。
【選択図】図5
Description
従来のこの種のマルチチャンバ型基板処理装置においては、ウエハは25枚がウエハキャリア(収納容器)に収納されて供給されるのが、一般的である。
従来のマルチチャンバ型基板処理装置を述べている例として、特許文献1がある。
しかしながら、集積回路の高集積化が進み、かつ、ウエハが200mmから300mmに転換した多品種少量生産の環境下においては、異なる品種(例えば、異なる機種のシステムLSI)のウエハが混じって流れる状況が発生するために、マルチチャンバ型基板処理装置の処理室で使用するガス種がロット(複数のウエハの集り)毎に異なる場合が発生する。
異なるガス種が処理室に残留していると、ウエハに作り込まれたICの品質を低下させる原因になるので、同一の処理室で異なるガス種が使用される場合には、次のウエハ(またはロット)を処理室に搬送する前に、処理室内の残留ガスを排除する必要がある。
(1)基板に処理を施す処理室と、
前記処理室へ前記基板を搬送する搬送装置が設置された搬送室と、
前記搬送室に対して前記基板を搬入搬出する予備室と、
前記搬送装置や前記処理室および前記予備室における前記基板の搬送を制御する第一制御装置と、
前記基板に対して予め設定されたレシピを実行して前記基板を処理する第二制御装置と、を備えた基板処理装置であって、
前記第一制御装置は前回のロット処理に使用したガスと次回のロット処理に使用するガスとを比較して、前記前回のロット処理に使用したガスを前記処理室内から排除するステップを実行するか否かを判断することを特徴とする基板処理装置。
(2)同一の処理室に単数または複数枚ずつ基板を順次に搬入し、ガスを使用して処理を施す基板処理方法において、
前回のロット処理に使用したガスと次回のロット処理に使用するガスとを比較して、前記前回のロット処理に使用したガスを前記処理室内から排除するステップを実行することを特徴とする基板処理方法。
なお、本実施の形態に係る基板処理装置においてはウエハ搬送用のキャリアとしては、FOUP(front opening unified pod 。以下、ポッドという。)が使用されている。
以下の説明において、前後左右は図1を基準とする。すなわち、ウエハ移載室40側が前側、その反対側すなわち第一ウエハ移載室10側が後側、第一予備室20側が左側、第二予備室30側が右側とする。
第一ウエハ移載室(以下、負圧移載室という。)10の筐体(以下、負圧移載室筐体という。)11は、平面視が六角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
負圧移載装置12はウエハWを保持する保持部としての一対のアーム14、15を備えている。上側に位置する第一アーム(以下、上側アームという。)14の先端部には、二股のフォーク形状に形成された上側エンドエフェクタ16が取り付けられており、下側に位置する第二アーム(以下、下側アームという。)15の先端部には、下側エンドエフェクタ17が取り付けられている。
第一予備室20の筐体(以下、第一予備室筐体という。)21および第二予備室30の筐体(以下、第二予備室筐体という。)31はいずれも、平面視が大略四角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されているとともに、負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。
第一予備室20には第一予備室用仮置き台25が設置されている。
互いに隣接した第二予備室筐体31の側壁および負圧移載室筐体11の側壁には搬入搬出口32、33がそれぞれ開設されており、負圧移載室10側の搬入搬出口33には搬入搬出口32、33を開閉するゲートバルブ34が設置されている。
第二予備室30には第二予備室用仮置き台35が設置されている。
正圧移載室40には正圧下でウエハWを移載する第二ウエハ移載装置(以下、正圧移載装置という。)42が設置されており、正圧移載装置42はスカラ形ロボットによって2枚のウエハを同時に搬送し得るように構成されている。
正圧移載装置42は正圧移載室40に設置されたエレベータ43によって昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ44によって左右方向に往復移動されるように構成されている。
互いに隣接した第二予備室筐体31の側壁および正圧移載室筐体41の側壁には搬入搬出口36、37がそれぞれ開設されており、正圧移載室40側の搬入搬出口37には搬入搬出口36、37を開閉するゲートバルブ38が設置されている。
図1に示されているように、正圧移載室40の左側にはノッチ合わせ装置45が設置されている。
また、図2に示されているように、正圧移載室40の上部にはクリーンエアを供給するクリーンユニット46が設置されている。
ポッドオープナ50の載置台51に対してはポッドPが、図示しない工程内搬送装置(RGV)によって供給および排出されるようになっている。したがって、載置台51によってキャリアステージとしてのポッドステージが構成されていることになる。
第一CVDモジュール61および第二CVDモジュール62はいずれも、枚葉式CVD装置(枚葉式コールドウオール形CVD装置)によってそれぞれ構成されている。
また、負圧移載室筐体11における6枚の側壁のうちの残りの互いに対向する2枚の側壁には、第三処理室としての第一クーリングモジュール63と、第四処理室としての第二クーリングモジュール64とがそれぞれ連結されており、第一クーリングモジュール63および第二クーリングモジュール64はいずれも、処理済みのウエハWを冷却するように構成されている。
図3に示されているように、制御システム70はパーソナルコンピュータ等から構成された第一制御装置としてのメインコントローラ71を備えている。
メインコントローラ71にはそれぞれLANシステム72を介して、負圧移載装置12を制御するサブコントローラ73、正圧移載装置42を制御するサブコントローラ74、第一CVDモジュール61を制御するサブコントローラ75、第二CVDモジュール62を制御するサブコントローラ76、第一クーリングモジュール63を制御するサブコントローラ77、第二クーリングモジュール64を制御するサブコントローラ78等が接続されている。
メインコントローラ71にはキーボード等によって構成された入力装置81、テレビモニタ等によって構成された表示装置82、フロッピディスク駆動装置等によって構成された外部記憶装置83等が接続されている。
また、メインコントローラ71はホストコンピュータ84に接続することができるように構成されている。
図3に示されているように、残留ガス排除システム90は使用ガス情報記憶部91と、残留ガス排除レシピ記憶部92と、残留ガス排除判断部93と、を備えており、これらは後述する残留ガス排除判断フローを実行するように構成されている。
図1および図2に示されているように、搬送されて来たポッドPは基板処理装置におけるポッドオープナ50の載置台51上に工程内搬送装置から受け渡されて載置される。
ポッドPがポッドオープナ50によって開放されると、正圧移載室40に設置された正圧移載装置42はウエハ搬入搬出口47を通してポッドPからウエハWを1枚ずつピックアップし、第一予備室20に搬入搬出口26、27を通して搬入(ウエハローディング)し、ノッチ合わせ装置45を経由して、ウエハWを第一予備室用仮置き台25に移載して行く。
この移載作業により、図4(a)に示されているように、正圧移載装置42のサブコントローラ74はポッドPの25枚のウエハWを第一予備室用仮置き台25に移し替る。
なお、移替作業中には、負圧移載室10側の搬入搬出口22、23はゲートバルブ24によって閉じられており、負圧移載室10の負圧は維持されている。
図5に示されているように、第一ステップS1において、残留ガス排除システム90は前回のプレレシピおよびロット処理で使用したガスの種類を使用ガス情報記憶部91から取得する。
なお、ここで、プレレシピとは炉内を予熱する(ウオームアップする)ためのレシピであって、ガス種は不活性ガス(窒素ガス)や酸素ガス等が使用される。
残留ガス排除判断部93は、使用ガス情報記憶部91からの使用ガス種とプレレシピおよびロット処理用レシピの実行においてそれぞれ使用されるガス種とが一致した場合には、残留ガス排除レシピを実行しない(NO)と、判断する。
残留ガス排除判断部93は、使用ガス情報記憶部91からの使用ガス種とプレレシピおよびロット処理用レシピの実行においてそれぞれ使用されるガス種とが一つでも一致しなかった場合には、残留ガス排除レシピを実行する(YES)と、判断する。
終了後、プレレシピおよびロット処理用レシピを実行する。
残留ガス排除レシピを実行しない(NO)と判断すると、ポッドPから第一予備室20への移載作業が終了後にプレレシピを実行し、続いて、ロット処理用レシピを実行する。
残留ガス排除レシピは、例えば、処理室を排気しつつ、処理室内へ不活性ガス(通例は窒素ガス)を供給するシーケンスによって構成することができる。
なお、第四ステップS4の使用ガス情報の更新処理は、第二ステップS2でYESと判断した後であればよく、特に、第三ステップS3の残留ガス排除レシピの実行前でも構わない。
第一CVDモジュールで次に処理するロット(図6のロット処理B)で使用する全てのプロセスレシピから一度でも使用するガスをテーブルにて生成し、このプロセス使用ガス情報と使用ガス情報とを比較して、異なるロット間で異なるガス種が存在する場合には、ガス排除レシピをプレレシピ前に実施させる。
また、比較した結果、使用ガス情報をプロセス使用ガス情報に更新する。
全く同じガス種を使用している場合には、ガス排除レシピは実施しない。また、使用ガス情報も更新されない。
さらに、図示しないが、前述したプロセスレシピと同様に異なるロット間でプレレシピで使用するガス種情報も比較して、異なるガス種が存在する場合、ガス排除レシピを実施させてもよい。
第一予備室20が予め設定された圧力値に減圧されると、負圧移載室10側の搬入搬出口22、23がゲートバルブ24によって開かれる。
図4(a)に示されているように、この第一CVDモジュール61の処理室内への1枚目のウエハの搬入時には、前述した残留ガス排除レシピが既に実行されている。
なお、本実施形態では25枚を例に挙げたが、ウエハWの枚数は特に限定されない。
すなわち、第一予備室20のロードロックが解除された後に、正圧移載室40の第一予備室20に対応したウエハ搬入搬出口47がポッドオープナ50によって開かれるとともに、載置台51に載置された空のポッドPのキャップがポッドオープナ50によって開かれる。
続いて、正圧移載室40の正圧移載装置42は第一予備室用仮置き台25からウエハWを搬入搬出口27を通してピックアップして正圧移載室40に搬出し、正圧移載室40のウエハ搬入搬出口47を通してポッドPに収納(チャージング)して行く。
閉じられたポッドPは載置台51の上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。
さらに、第一クーリングモジュール63および第二クーリングモジュール64が使用される場合についても、図6に示すように、同様の残留ガス排除判断フローが実施される。
また、本発明はIC等の半導体製造装置に限らず、LCD装置のようなガラス基板を処理するLCD製造装置や露光装置、リソグラフィー装置、塗布装置およびプラズマ処理装置等の基板処理装置全般に適用することができる。
さらに、本発明における処理モジュールでの処理はCVDに限らず、PVDや酸化膜形成、窒化膜形成、金属膜形成および半導体膜形成等の基板処理全般に適用することができる。
20…第一予備室、21…第一予備室筐体、22、23…搬入搬出口、24…ゲートバルブ、25…第一予備室用仮置き台、26、27…搬入搬出口、28…ゲートバルブ、
30…第二予備室、31…第二予備室筐体、32、33…搬入搬出口、34…ゲートバルブ、35…第二予備室用仮置き台、36、37…搬入搬出口、38…ゲートバルブ、
40…正圧移載室(ウエハ移載室)、41…正圧移載室筐体、42…正圧移載装置(ウエハ移載装置)、43…エレベータ、44…リニアアクチュエータ、45…ノッチ合わせ装置、46…クリーンユニット、
47、48、49…ウエハ搬入搬出口、50…ポッドオープナ、51…載置台、52…キャップ着脱機構、
61…第一CVDモジュール(第一処理室)、62…第二CVDモジュール(第二処理室)、63…第一クーリングモジュール(第三処理室)、64…第二クーリングモジュール(第四処理室)、65、66、67、68…ウエハ搬入搬出口、
70…制御システム(制御装置)、71…メインコントローラ、72…LANシステム、73〜78…サブコントローラ、
81…入力装置、82…表示装置、83…外部記憶装置、84…ホストコンピュータ、
90…残留ガス排除システム(残留ガス排除レシピ割り込ませシステム)、91…使用ガス情報記憶部、92…残留ガス排除レシピ記憶部、93…残留ガス排除判断部。
Claims (1)
- 基板に処理を施す処理室と、
前記処理室へ前記基板を搬送する搬送装置が設置された搬送室と、
前記搬送室に対して前記基板を搬入搬出する予備室と、
前記搬送装置や前記処理室および前記予備室における前記基板の搬送を制御する第一制御装置と、
前記基板に対して予め設定されたレシピを実行して前記基板を処理する第二制御装置と、を備えた基板処理装置であって、
前記第一制御装置は前回のロット処理に使用したガスと次回のロット処理に使用するガスとを比較して、前記前回のロット処理に使用したガスを前記処理室内から排除するステップを実行するか否かを判断することを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009024229A true JP2009024229A (ja) | 2009-02-05 |
JP2009024229A5 JP2009024229A5 (ja) | 2010-08-19 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61152016A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-10 | Anelva Corp | 表面処理装置 |
JP2002299315A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2006253483A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2006324532A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜堆積方法および薄膜堆積装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61152016A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-10 | Anelva Corp | 表面処理装置 |
JP2002299315A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2006253483A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2006324532A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜堆積方法および薄膜堆積装置 |
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