JPH04269391A - 多段真空ポンプ - Google Patents
多段真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH04269391A JPH04269391A JP4893691A JP4893691A JPH04269391A JP H04269391 A JPH04269391 A JP H04269391A JP 4893691 A JP4893691 A JP 4893691A JP 4893691 A JP4893691 A JP 4893691A JP H04269391 A JPH04269391 A JP H04269391A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum pump
- stage
- rotor
- multistage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000003434 inspiratory effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は同一回転軸に２段以上の
ロータを取付ける多段真空ポンプに関するものである。
ロータを取付ける多段真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来技術及び発明が解決しようとする課題】従来、複
数のチャンバーで同時に異なる真空度の真空を得るには
、図５に示すように、高真空度チャンバー４１には制御
バルブ４２を介して低真空用真空ポンプ４３を接続し、
低真空チャンバー４４には制御バルブ４５を介して高真
空用真空ポンプ４６を接続するというように、チャンバ
ーの数だけ真空ポンプが必要であった。
数のチャンバーで同時に異なる真空度の真空を得るには
、図５に示すように、高真空度チャンバー４１には制御
バルブ４２を介して低真空用真空ポンプ４３を接続し、
低真空チャンバー４４には制御バルブ４５を介して高真
空用真空ポンプ４６を接続するというように、チャンバ
ーの数だけ真空ポンプが必要であった。
【０００３】また、１台のチャンバー内の真空度を低真
空〜高真空の広い範囲で変化させる場合も、図６に示す
ように、高〜低真空の広い範囲で変化させるチャンバー
５１に制御バルブ５２及び制御バルブ５３を介して、高
真空用真空ポンプ５４及び低真空用真空ポンプ５５を接
続するというように、複数の真空ポンプが必要であった
。
空〜高真空の広い範囲で変化させる場合も、図６に示す
ように、高〜低真空の広い範囲で変化させるチャンバー
５１に制御バルブ５２及び制御バルブ５３を介して、高
真空用真空ポンプ５４及び低真空用真空ポンプ５５を接
続するというように、複数の真空ポンプが必要であった
。
【０００４】しかしながら、上記のように複数の真空ポ
ンプを用いると設置スペース、設備費等が大きなものに
なるという欠点がある。そこで改造型として、図７に示
すように、高真空度チャンバー６１と低真空度チャンバ
ー６２を制御バルブ６３及び制御バルブ６４を介して真
空ポンプ６５に接続するもの、或いは図８に示すように
、高〜低真空の広い範囲で変化させるチャンバー７１を
制御バルブを介して真空ポンプ７３に接続したものがあ
る。
ンプを用いると設置スペース、設備費等が大きなものに
なるという欠点がある。そこで改造型として、図７に示
すように、高真空度チャンバー６１と低真空度チャンバ
ー６２を制御バルブ６３及び制御バルブ６４を介して真
空ポンプ６５に接続するもの、或いは図８に示すように
、高〜低真空の広い範囲で変化させるチャンバー７１を
制御バルブを介して真空ポンプ７３に接続したものがあ
る。
【０００５】しかしながら、上記図６及び図７に示すも
のでは、高真空用の真空ポンプ（真空ポンプ６５又は真
空ポンプ７３）を用いて、制御バルブ（制御バルブ６３
，６４又は制御バルブ７２）によって低真空を得るもの
であり、この構成では、広い圧力（真空度）範囲を圧力
制御する場合は、制御バルブでは制御不能のケースが多
々生じるという問題があった。
のでは、高真空用の真空ポンプ（真空ポンプ６５又は真
空ポンプ７３）を用いて、制御バルブ（制御バルブ６３
，６４又は制御バルブ７２）によって低真空を得るもの
であり、この構成では、広い圧力（真空度）範囲を圧力
制御する場合は、制御バルブでは制御不能のケースが多
々生じるという問題があった。
【０００６】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
、上記問題点を除去し、１台で同時に複数の異なった吸
気圧力をえることができる多段真空ポンプを提供するこ
とにある。
、上記問題点を除去し、１台で同時に複数の異なった吸
気圧力をえることができる多段真空ポンプを提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、同一回転軸に２段以上のロータを取付けると
共に、各段を隔壁で仕切った構造の多段真空ポンプにお
いて、１段目ロータ以降のロータ吸い込み側にも適宜吸
気口を設けたことを特徴とする。
本発明は、同一回転軸に２段以上のロータを取付けると
共に、各段を隔壁で仕切った構造の多段真空ポンプにお
いて、１段目ロータ以降のロータ吸い込み側にも適宜吸
気口を設けたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明は多段真空ポンプを上記の如く１段目ロ
ータ以降のロータ吸い込み側にも吸気口を設けることに
より、多段真空ポンプは各段の圧力が異なるから、１台
の真空ポンプで同時に複数の異なった吸気圧力を得るこ
とができる。
ータ以降のロータ吸い込み側にも吸気口を設けることに
より、多段真空ポンプは各段の圧力が異なるから、１台
の真空ポンプで同時に複数の異なった吸気圧力を得るこ
とができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図１は本発明の多段真空ポンプの実施例を示す図で
ある。図示するように、多段真空ポンプ１０は同一回転
軸（図示を省略）に、１段目のロータ１１、２段目のロ
ータ１２、３段目のロータ１３、４段目のロータ１４及
び５段目のロータ１５が取付けられており、各ロータは
ケーシング１６と該ケーシング内を仕切る隔壁（図示を
省略）で囲まれたロータ室（図示を省略）に配置されて
いる。
る。図１は本発明の多段真空ポンプの実施例を示す図で
ある。図示するように、多段真空ポンプ１０は同一回転
軸（図示を省略）に、１段目のロータ１１、２段目のロ
ータ１２、３段目のロータ１３、４段目のロータ１４及
び５段目のロータ１５が取付けられており、各ロータは
ケーシング１６と該ケーシング内を仕切る隔壁（図示を
省略）で囲まれたロータ室（図示を省略）に配置されて
いる。
【００１０】１段目のロータ１１の吸い込み側に第１吸
気口１７を設け、５段目のロータ１５の排出側に排気口
１８を設ける。そして更に３段目のロータ１３の吸い込
み側に第２吸気口１９を設ける。上記構造の多段真空ポ
ンプにおいて、第２吸気口１９が無い場合、流体は第１
吸気口１７より吸気され、１段目のロータ１１→２段目
のロータ１２→３段目のロータ１３→４段目のロータ１
４→５段目のロータ１５の順に圧縮され、排気口１８か
ら排気される。なお、図１において、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３
，Ｐ４，Ｐ５は、それぞれの１段目のロータ１１，２段
目のロータ１２，３段目のロータ１３，４段目のロータ
１４，５段目のロータ１５の吸気圧力を示す。
気口１７を設け、５段目のロータ１５の排出側に排気口
１８を設ける。そして更に３段目のロータ１３の吸い込
み側に第２吸気口１９を設ける。上記構造の多段真空ポ
ンプにおいて、第２吸気口１９が無い場合、流体は第１
吸気口１７より吸気され、１段目のロータ１１→２段目
のロータ１２→３段目のロータ１３→４段目のロータ１
４→５段目のロータ１５の順に圧縮され、排気口１８か
ら排気される。なお、図１において、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３
，Ｐ４，Ｐ５は、それぞれの１段目のロータ１１，２段
目のロータ１２，３段目のロータ１３，４段目のロータ
１４，５段目のロータ１５の吸気圧力を示す。
【００１１】本実施例では、３段目のロータ１３の吸い
込み側に第２吸気口１９を設けることにより、１台の多
段真空ポンプで、１段目のロータ１１の吸気圧力Ｐ１と
３段目のロータの吸気圧力Ｐ３の２種類の圧力を同時に
得ることができる。
込み側に第２吸気口１９を設けることにより、１台の多
段真空ポンプで、１段目のロータ１１の吸気圧力Ｐ１と
３段目のロータの吸気圧力Ｐ３の２種類の圧力を同時に
得ることができる。
【００１２】なお、上記実施例では３段目のロータの吸
い込み側に吸気口を設けたが、当然の如くロータの段数
分吸い込み側に吸気口を設けることができる。
い込み側に吸気口を設けたが、当然の如くロータの段数
分吸い込み側に吸気口を設けることができる。
【００１３】図２は図１に示す構造の多段真空ポンプを
用いて真空度の異なる複数のチャンバーで真空を得る場
合（即ち、図５及び図７の改良型）を示す図で、図示す
るように高真空度チャンバー２１は制御バルブ２２を介
して多段真空ポンプ１０の第１吸気口１７に接続され、
低真空度チャンバー２３は制御バルブ２４を介して第２
吸気口１９に接続される。これにより、前述のように第
１吸気口１７の吸気圧力と第２吸気口１９の吸気圧力は
異なるから、１台の多段真空ポンプでチャンバー２１及
びチャンバー２３内にそれぞれ真空度の異なる真空を得
ることが容易に可能となる。
用いて真空度の異なる複数のチャンバーで真空を得る場
合（即ち、図５及び図７の改良型）を示す図で、図示す
るように高真空度チャンバー２１は制御バルブ２２を介
して多段真空ポンプ１０の第１吸気口１７に接続され、
低真空度チャンバー２３は制御バルブ２４を介して第２
吸気口１９に接続される。これにより、前述のように第
１吸気口１７の吸気圧力と第２吸気口１９の吸気圧力は
異なるから、１台の多段真空ポンプでチャンバー２１及
びチャンバー２３内にそれぞれ真空度の異なる真空を得
ることが容易に可能となる。
【００１４】図３は１台の多段真空ポンプを用いて１台
のチャンバー内の真空度を低真空〜高真空の広い範囲で
変化させる場合（即ち、図６及び図８の改良型）を示す
図で、図示するように、真空度を低真空〜高真空の広い
範囲で変化させるチャンバー３１は制御バルブ３２及び
制御バルブ３３を介して多段真空ポンプ１０の第１吸気
口１７と第２吸気口１９に接続される。これにより、容
易にチャンバー３１内の真空度を低真空〜高真空の広い
範囲で変化させることができる。
のチャンバー内の真空度を低真空〜高真空の広い範囲で
変化させる場合（即ち、図６及び図８の改良型）を示す
図で、図示するように、真空度を低真空〜高真空の広い
範囲で変化させるチャンバー３１は制御バルブ３２及び
制御バルブ３３を介して多段真空ポンプ１０の第１吸気
口１７と第２吸気口１９に接続される。これにより、容
易にチャンバー３１内の真空度を低真空〜高真空の広い
範囲で変化させることができる。
【００１５】図４は本発明の多段真空ポンプの概略構造
を示す断面図である。図示するように、多段真空ポンプ
１０は同一回転軸９に、１段目のロータ１１、２段目の
ロータ１２、３段目のロータ１３、４段目のロータ１４
及び５段目のロータ１５が取付けられており、ロータ１
１，１２，１３，１４，１５の各々は、ケーシング１６
と該ケーシング内を仕切る隔壁２０−１，２０−２，２
０−３，２０−４で囲まれたロータ室Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３
，Ｒ４，Ｒ５内に配置されている。
を示す断面図である。図示するように、多段真空ポンプ
１０は同一回転軸９に、１段目のロータ１１、２段目の
ロータ１２、３段目のロータ１３、４段目のロータ１４
及び５段目のロータ１５が取付けられており、ロータ１
１，１２，１３，１４，１５の各々は、ケーシング１６
と該ケーシング内を仕切る隔壁２０−１，２０−２，２
０−３，２０−４で囲まれたロータ室Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３
，Ｒ４，Ｒ５内に配置されている。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明の多段真空ポ
ンプを用いれば、真空度の異なる複数チャンバー及び広
い真空範囲を制御するとき、１台の多段真空ポンプでお
こなうことができ、省スペース、省コスト化が図れ、且
つ適正な真空度制御できるという優れた効果が得られる
。
ンプを用いれば、真空度の異なる複数チャンバー及び広
い真空範囲を制御するとき、１台の多段真空ポンプでお
こなうことができ、省スペース、省コスト化が図れ、且
つ適正な真空度制御できるという優れた効果が得られる
。
【図１】本発明の多段真空ポンプの実施例を示す図であ
る。
る。
【図２】本発明に係る多段真空ポンプを用いて真空度の
異なる複数のチャンバーで真空を得る場合を示す図であ
る。
異なる複数のチャンバーで真空を得る場合を示す図であ
る。
【図３】本発明に係る多段真空ポンプを用いて１台のチ
ャンバー内の真空度を低真空〜高真空の広い範囲で変化
させる場合を示す図である。
ャンバー内の真空度を低真空〜高真空の広い範囲で変化
させる場合を示す図である。
【図４】本発明に係る多段真空ポンプの概略構造を示す
断面図である。
断面図である。
【図５】従来の複数のチャンバーで同時に異なる真空度
の真空を得る場合を示す図である。
の真空を得る場合を示す図である。
【図６】従来の１台のチャンバー内の真空度を低真空〜
高真空の広い範囲で変化させる場合を示す図である。
高真空の広い範囲で変化させる場合を示す図である。
【図７】従来の複数のチャンバーで同時に異なる真空度
の真空を得る場合を示す図である。
の真空を得る場合を示す図である。
【図８】従来の１台のチャンバー内の真空度を低真空〜
高真空の広い範囲で変化させる場合を示す図である。
高真空の広い範囲で変化させる場合を示す図である。
１０ 多段真空ロータ
１１ １段目のロータ
１２ ２段目のロータ
１３ ３段目のロータ
１４ ４段目のロータ
１５ ５段目のロータ
１６ ケーシング
１７ 第１吸気口
１８ 排気口
１９ 第２吸気口
Claims (1)
- 【請求項１】同一回転軸に２段以上のロータを取付ける
と共に、各段を隔壁で仕切った構造の多段真空ポンプに
おいて、１段目ロータ以降のロータ吸い込み側にも適宜
吸気口を設けたことを特徴とする多段真空ポンプ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4893691A JPH04269391A (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 多段真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4893691A JPH04269391A (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 多段真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04269391A true JPH04269391A (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=12817153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4893691A Pending JPH04269391A (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 多段真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04269391A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5820354A (en) * | 1996-11-08 | 1998-10-13 | Robbins & Myers, Inc. | Cascaded progressing cavity pump system |
| JP2005505697A (ja) * | 2001-10-11 | 2005-02-24 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 真空下で対象物を処理するためのマルチチャンバ装置並びにこのようなマルチチャンバ装置を排気する方法並びにそのための排気システム |
| KR20210112462A (ko) * | 2020-03-05 | 2021-09-15 | (주)엘오티베큠 | 과 압축 발생을 방지하는 진공펌프 하우징 및 이를 포함한 진공펌프 |
-
1991
- 1991-02-21 JP JP4893691A patent/JPH04269391A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5820354A (en) * | 1996-11-08 | 1998-10-13 | Robbins & Myers, Inc. | Cascaded progressing cavity pump system |
| JP2005505697A (ja) * | 2001-10-11 | 2005-02-24 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 真空下で対象物を処理するためのマルチチャンバ装置並びにこのようなマルチチャンバ装置を排気する方法並びにそのための排気システム |
| KR20210112462A (ko) * | 2020-03-05 | 2021-09-15 | (주)엘오티베큠 | 과 압축 발생을 방지하는 진공펌프 하우징 및 이를 포함한 진공펌프 |
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