JP2005335999A - ポーラスカーボン - Google Patents
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 84
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 74
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 28
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 28
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims abstract description 23
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 25
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 14
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 abstract description 13
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 18
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 description 3
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229920003987 resole Polymers 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005273 aeration Methods 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000007849 furan resin Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- 239000005545 pitch carbide Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
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Abstract
【解決手段】 ポーラスカーボンは自己焼結性炭素で形成され、その気孔率が10〜50vol%である。該自己焼結性炭素の骨格表面を熱硬化性樹脂或いはガラス状カーボンで被膜させても良い。
Description
上記構成により、軽量且つ導電性を有し、充分な強度を持ち、発塵を抑えることが可能になる。
被膜する方法は自己焼結性炭素材料で形成されたポーラスカーボンへ真空含浸装置を用い、濃度調整した熱硬化性樹脂を真空含浸させる。真空含浸後に加圧含浸しても良いが樹脂濃度が低いため、含浸液の粘度は1P以下となり、特に加圧する必要はない。
<実施例1〜4>
○カーボンの製造工程
平均粒径20μmに調整した自己焼結性炭素粉をφ120mmの金型を用い油圧プレスで成形圧0.4、0.5、0.7、0.8t/cm2でそれぞれ成形し、φ120×0×10mmの円板成形体を得た。その円板成形体を非酸化雰囲気で昇温速度30℃/hrで1000℃まで昇温して、30分保持し放冷した。
得られた焼結体をφ100×0×5mmに加工後、十分に洗浄し、ポーラスカーボンを得た。加工物に対しアルキメデス法により開気孔を測定した結果、開気孔率はそれぞれ、50、40、20、10vol%であった。このポーラスカーボンを超音波洗浄機でアセトンを用い10分間洗浄し、充分に乾燥させた。得られたポーラスカーボンは真空含浸装置を用い、真空条件下で1時間脱気した後、エタノールを溶媒に4wt%に調整したレゾール型フェノール樹脂を投入し、充分に含浸させた。続いて乾燥炉にて昇温速度10℃/hrで200℃まで昇温して、30分保持することにより、溶媒に使用したエタノールを除去するとともに、フェノール樹脂を加熱硬化させた。この処理でポーラスカーボンの骨格がフェノール樹脂で被膜された。上記工程で得た吸着パッド用ポーラスカーボンをアルキメデス法により開気孔を測定した結果、開気孔率はそれぞれ、50、40、20、10vol%であった。ここで得られた自己焼結性炭素の骨格表面を熱硬化性樹脂で被膜した吸着パッド用ポーラスカーボンを実施例1,2,3,4の材料とした。
平均粒径20μmに調整した自己焼結性炭素粉をφ120mmの金型を用い油圧プレスで成形圧0.4、0.5、0.7、0.8t/cm2でそれぞれ成形し、φ120×0×10mmの円板成形体を得た。その円板成形体を非酸化雰囲気で昇温速度30℃/hrで1000℃まで昇温して、30分保持し放冷した。
得られた焼結体をφ100×0×5mmに加工後、十分に洗浄し、ポーラスカーボンを得た。加工物に対しアルキメデス法により開気孔を測定した結果、開気孔率はそれぞれ、50、40、20、10vol%であった。このポーラスカーボンを超音波洗浄機でアセトンを用い10分間洗浄し、充分に乾燥させた。
得られたポーラスカーボンは真空含浸装置を用い、真空条件下で1時間脱気した後、エタノールを溶媒に4wt%に調整したレゾール型フェノール樹脂を投入し、充分に含浸させた。続いて乾燥炉にて昇温速度10℃/hrで200℃まで昇温して、30分保持することにより、溶媒に使用したエタノールを除去するとともに、フェノール樹脂を加熱硬化させた。更に、フェノール樹脂で被膜された吸着パッド用ポーラスカーボンを非酸化雰囲気で昇温速度30℃/hrで900℃まで昇温して、30分保持することにより、フェノール樹脂を炭化処理してガラス状カーボンとした。この炭化処理により、フェノール樹脂が炭化され、吸着パッド用ポーラスカーボンの自己焼結性炭素の骨格表面をガラス状カーボンで被膜した。上記工程で得た吸着パッド用ポーラスカーボンをアルキメデス法により開気孔を測定した結果、開気孔率はそれぞれ、50、40、20、10vol%だった。ここで得られた自己焼結性炭素の骨格表面にガラス状カーボンを被膜した吸着パット用ポーラスカーボンを実施例5,6,7,8の材料とした。
70wt%のコークス粒と30wt%のピッチを加圧混練機で加圧混練後、平均粒径20μmに粉砕した混練粉を、φ120mmの金型を用い油圧プレスで成形圧1.0t/cm2で成形し、φ120×0×10mmの円板成形体を得た。その円板成形体を非酸化雰囲気で昇温速度30℃/hrで1000℃まで昇温して、30分保持し放冷した。
得られた焼結体をφ100×0×5mmに加工後、十分に洗浄し、ポーラスカーボンを得た。加工物に対しアルキメデス法により開気孔を測定した結果、開気孔率は15vol%であった。このポーラスカーボンを超音波洗浄機でアセトンを用い10分間洗浄し、充分に乾燥させた。
得られたカーボンは真空含浸装置を用い、真空条件下で1時間脱気した後、エタノールを溶媒に4wt%に調整したレゾール型フェノール樹脂を投入し、充分に含浸させた。続いて乾燥炉にて昇温速度10℃/hrで200℃まで昇温して、30分保持することにより、溶媒に使用したエタノールを除去するとともに、フェノール樹脂を加熱硬化させた。この処理でポーラスカーボンの骨格がフェノール樹脂で被膜された。上記工程で得た吸着パッド用ポーラスカーボンをアルキメデス法により開気孔を測定した結果、開気孔率は15vol%であった。ここで得られた自己焼結性炭素の骨格表面を熱硬化性樹脂で被膜した吸着パッド用ポーラスカーボンを比較例1の材料とした。
図1に示す通りステンレス製吸着パッド治具3を製作し、そこに上記で得た吸着パッド用ポーラスカーボン2をエポキシ樹脂で接着部4を接着固定後、吸着面1を研磨にて平面度1μm以下に整えて吸着パッドAを製作した。
本発明では、いずれの実施例においても、優れた吸着力を示し、発塵もなかった。
Claims (3)
- 自己焼結性炭素で形成されたポーラスカーボンであって、その気孔率が10〜50vol%である、
ことを特徴とする吸着パッド用ポーラスカーボン。 - 前記ポーラスカーボンにおいて、自己焼結性炭素の骨格表面が熱硬化性樹脂で被膜されている、
請求項1の吸着パッド用ポーラスカーボン。 - 前記ポーラスカーボンにおいて、自己焼結性炭素の骨格表面がガラス状カーボンで被膜されている、
請求項1の吸着パッド用ポーラスカーボン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004155646A JP4681255B2 (ja) | 2004-05-26 | 2004-05-26 | ポーラスカーボン |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004155646A JP4681255B2 (ja) | 2004-05-26 | 2004-05-26 | ポーラスカーボン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005335999A true JP2005335999A (ja) | 2005-12-08 |
JP4681255B2 JP4681255B2 (ja) | 2011-05-11 |
Family
ID=35489967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004155646A Expired - Fee Related JP4681255B2 (ja) | 2004-05-26 | 2004-05-26 | ポーラスカーボン |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4681255B2 (ja) |
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CN110233128A (zh) * | 2018-03-05 | 2019-09-13 | 株式会社迪思科 | 卡盘工作台、切削装置以及卡盘工作台的修正方法 |
JP7106298B2 (ja) | 2018-03-05 | 2022-07-26 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル、切削装置、及び、切削装置のチャックテーブル修正方法 |
CN110233128B (zh) * | 2018-03-05 | 2024-03-15 | 株式会社迪思科 | 卡盘工作台、切削装置以及卡盘工作台的修正方法 |
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---|---|
JP4681255B2 (ja) | 2011-05-11 |
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---|---|---|---|
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