JP2005308858A - レジスト剥離剤 - Google Patents
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Abstract
近年、半導体デバイスの配線材料として銅配線が、また、その配線間の絶縁膜として低誘電率膜が用いられるようになってきている。それに伴い、銅配線やLow−k膜に対して腐食やダメージを抑制しつつ、かつ灰化したレジスト残渣の除去性にも優れたレジスト剥離剤が求められている。
【解決手段】
第3級アミン化合物、アルカリ性化合物、フッ素化合物及びアニオン系界面活性剤を含有することを特徴とするレジスト剥離剤(以下、本発明剥離剤と記す。)及び本発明剥離剤を用いた半導体デバイス製造方法を提供するものである。
【選択図】なし
Description
従来、レジスト剥離剤としては、アルミニウムを主成分とした配線を施用対象とした、第3級アミン化合物、フッ素化合物、金属キレート化剤等を含有するレジスト剥離剤(特許文献1)、第3級アミン化合物、キレート剤等を含有するレジスト剥離剤(特許文献2)等が知られている。
窒素原子に少なくとも2つのアルキル基を有する第3級アミン化合物としては、アルキル基を3つ有するアミン化合物、2つのアルキル基の他にヒドロキシアルキル基を有するアミン化合物、分子内に2つのアルキル基の他にシクロアルキル基を有するアミン化合物、分子内に窒素原子を2個以上有するポリアミン化合物等が挙げられる。
ここでアルキル基としては炭素数1〜4のアルキル基が挙げられ、具体的にはメチル基、エチル基、イソプロピル基、n−プロピル基、ブチル基等が挙げられる。
本発明剥離剤にはこれらの第3級アミン化合物が二種以上含有されていても良い。
これらの中でも、ジメチルシクロヘキシルアミン、N,N,N',N'',N''−ペンタメチルジエチレントリアミン、ビス(2−ジメチルアミノエチル)エーテルが好ましい。
無機系水酸化物としては、具体的には水酸化アンモニウム、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等、水酸化第4級アンモニウムとして水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリン等が挙げられる。アルカノールアミン類としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、2−メチルアミノエタノール、2−エチルアミノエタノール、N−メチルジエタノールアミン、2−(2−アミノエトキシ)エタノール、1−アミノ−2−プロパノール、モノプロパノールアミン、ジブタノールアミン等、モルホリン類としてモルホリン、N−メチルモルホリン、N−エチルモルホリン等、ピペラジン類としてピペラジン、ヒドロキシエチルピペラジン、2−メチルピペラジン等、ヒドロキシルアミン等が挙げられる。
本発明剥離剤にはこれらのアルカリ性化合物が二種以上含有されていても良い。
これらの中で、好ましいものとして水酸化アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリン等が挙げられ、より好ましいものとして水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウムが挙げられる。
本発明剥離剤にはこれらのフッ素化合物が二種以上含有されていても良い。
フッ化物の塩は金属塩以外のものが好ましく、これらの中ではフッ化アンモニウムが好ましい。
フッ素化合物の含有量が上記範囲より少ないとレジスト剥離性が不十分となる傾向があり、一方多すぎると銅配線やLow−k膜へのダメージ抑制性が低下する場合がある。
一方、アニオン系界面活性剤が含有されている場合には、必要に応じて他の界面活性剤が含有されていても良い。
ここでいうアニオン系官能基とは、水中でアニオンを生じる基を表し、具体的にはスルホン酸を形成する基(以下、スルホン酸基と記す。)、硫酸エステルを形成する基(以下、硫酸エステル基と記す。)、リン酸エステルを形成する基(以下、リン酸エステル基と記す。)、カルボン酸を形成する基(以下、カルボン酸基と記す。)等が挙げられる。本発明剥離剤においては、スルホン酸基又は硫酸エステル基を有するアニオン系界面活性剤を用いるのが好ましい。
ここで化合物としては、具体的にはスルホン酸基を有する化合物として一般式(1)で表されるアルキルジフェニルエーテルジスルホン酸、一般式(2)で表されるアルキレンジスルホン酸、一般式(3)で表されるアルキルベンゼンスルホン酸、一般式(4)で表されるジアルキルサクシネートスルホン酸、一般式(5)で表されるモノアルキルサクシネートスルホン酸、一般式(6)で表されるアルキルフェノキシエトキシエチルスルホン酸、一般式(7)で表されるナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物、一般式(8)で表されるフェノールスルホン酸ホルマリン縮合物、一般式(9)で表されるフェニルフェノールスルホン酸ホルマリン縮合物等が挙げられ、硫酸エステル基を有する化合物としては、一般式(10)で表されるポリオキシアルキレンアルキルフェニルエーテル硫酸エステル、一般式(11)で表されるポリオキシアルキレンアルキルエーテル硫酸エステル、一般式(12)で表されるポリオキシアルキレン多環フェニルエーテル硫酸エステル、一般式(13)で表されるポリオキシアルキレンアリールエーテル硫酸エステル、一般式(14)で表されるアルキルメチルタウリン、アシルメチルタウリン、脂肪酸メチルタウリン等のメチルタウリン類化合物等が挙げられ、リン酸エステル基を有する化合物としては一般式(15)で表されるポリオキシアルキレンアルキルエーテルリン酸、一般式(16)で表されるポリオキシアルキレンアルキルフェニルエーテルリン酸等、カルボン酸基を有する化合物としてはヤシ油、オレイン酸等の脂肪酸、一般式(17)で表されるアシルサルコシン,脂肪酸サルコシン等のサルコシン類化合物等が挙げられ、スルホン酸基及びカルボン酸基を有する化合物として一般式(18)で表されるアルキルスルホコハク酸、一般式(19)で表されるポリオキシアルキレンアルキルスルホコハク酸等が挙げられる。
更に、これらの中では特に、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸又はその塩がよく、より具体的には、ドデシルジフェニルエーテルジスルホン酸ジナトリウム塩又はドデシルジフェニルエーテルジスルホン酸ジアンモニウム塩、ドデシルジフェニルエーテルジスルホン酸ジトリエタノールアミン塩が好ましい。
本発明剥離剤には、これらのアニオン系界面活性剤が二種類以上含有されていても良い。
本発明剥離剤には水が40重量%〜99.98重量%、好ましくは50重量%〜99.98重量%、より好ましくは70重量%〜99.98重量%、特に好ましくは90重量%〜99.98重量%含有される。
これらの水溶性有機溶媒が含有される場合には、その含有量は本発明剥離剤全量にに対して5重量%〜30重量%の範囲内である。
その他の成分としては、例えば、ノニオン系又はカチオン系の各種界面活性剤、過酸化水素水、消泡剤等が挙げられる。
まずトランジスタ等の素子を形成した半導体基板にシリコン酸化膜等の絶縁膜を形成し、公知のCMP技術とリソグラフィー技術を用いて絶縁膜に銅配線を形成する。その後銅配線上にLow−k膜やシリコン酸化膜、シリコン窒化膜等を形成する。次いでリソグラフィー技術でレジストをパターニングした後、レジストをマスクとしてドライエッチング技術を用いて誘電率膜等にビアホールを形成する。その後、酵素プラズマ等でレジストを灰化アッシング除去し、更に本発明剥離剤を処理し、ビアホール内に残ったレジスト残渣を除去する。その後、ビアホール内部に、銅又はタングステン膜を埋め込み、層間接続プラグを形成する。
このようなLow−k膜としては、例えば、FSG(F含有SiO2)、SiOC(カーボン含有SiO2)、SiON(N含有SiO2)のような無機系の膜、MSQ(メチルシルセスキオキサン)、HSQ(ハイドロジェンシルセスキオキサン)、MHSQ(メチル化ハイドロジェンシルセスキオキサン)等のポリオルガノシロキサン系の膜、PAE(ポリアリールエーテル)、BCB(ジビニルシロキサン−ビス−ベンゾシクロブテン)等の芳香族系の膜、Silk、ポーラスSilk等の有機膜系の膜等が挙げられる。
特に本発明剥離剤を処理するのに好適な膜としてはSiOC、MSQ、PAE(ポリアリールエーテル)等の膜が挙げられる。
銅配線上のビアホール形成プロセスにおいて、本発明剥離剤の剥離性及び防食性の評価を行った。
評価に供する試料は、次のようにして作成した。
まずシリコンウェーハ上に銅配線を形成した後、その上にプラズマCVD法を用いてLow−k膜であるSiOC膜を成膜した。次にポジ型レジスト膜を形成、露光、現像し、レジストパターンを得た。
このレジスト膜をマスクとしてLow−k膜をドライエッチングし、ビアホールを形成した。エッチング終了後、酸素プラズマアッシングによりレジスト膜を灰化した後、灰化後に残るレジスト残渣付き試料について、表1に示す組成にて本発明剥離剤(本発明剥離剤1とする。)及び特許文献1記載の剥離剤(比較剥離剤1とする。)を用いて剥離処理を行った。
剥離処理は、試料を剥離剤中に室温にて10分間浸漬することにより行い、その後純水でリンス処理した後、SEM(走査型電子顕微鏡)による断面観察を行った。ホール内のレジスト残渣のビア底での剥離性、ビア底に露出した銅配線に対する防食性、露出したLow−k膜(SiOC)表面のダメージを評価し、結果を表1に記載した。
評価基準は以下に示す。
*2:金属キレート化剤。
[評価基準]:
残渣除去性 ◎:極めて良好
○:良好
△:やや不足
×:不足
銅配線腐食性 ◎:腐食なし
○:やや腐食
△:腐食あり
×:激しい腐食
Low-kダメージ ◎:ダメージなし
○:ややダメージあり
△:ダメージあり
×:激しいダメージあり
実施例1と同じ試料及び剥離剤組成液を用い、試料を500rpmで回転させ、剥離剤を100ml/分の流量で1分間、枚葉スピン処理し、その後10秒間水リンスを行った後、SEM(走査型電子顕微鏡)による断面観察を行った。レジスト残渣のビア底での剥離性、ビア底に露出した銅膜に対する防食性、露出したLow−k膜(SiOC)表面のダメージを評価した。結果を表2に示す。
表3に示す組成の剥離剤を調整した。シリコンウエハー上に、メッキ法により銅膜を成膜した試料を用い、剥離剤中に試料を室温にて1分間浸漬した。その前後の膜厚を測定することで銅膜のエッチング量を調べ、浸漬後の銅膜表面をSEM(走査型電子顕微鏡)で観察することで腐食の状況を調べた。
Claims (9)
- 第3級アミン化合物、アルカリ性化合物、フッ素化合物及びアニオン系界面活性剤を含有することを特徴とするレジスト剥離剤。
- アルカリ性化合物が、水酸化第4級アンモニウム類及びアルカノールアミン類から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項1記載のレジスト剥離剤。
- アルカリ性化合物が、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム及びコリンからなる群から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項1〜2記載のレジスト剥離剤。
- フッ素化合物が、フッ化水素酸及び/又はフッ化物の塩から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項1〜3記載のレジスト剥離剤。
- フッ素化合物がフッ化水素酸、フッ化アンモニウム、フッ化テトラメチルアンモニウム及びフッ化テトラエチルアンモニウムから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項1〜4記載のレジスト剥離剤。
- アニオン系界面活性剤が、分子構造中に2つ以上のアニオン系官能基を有することを特徴とする請求項1〜5記載のレジスト剥離剤。
- 第3級アミン化合物が、分子内にシクロアルキル基を有する化合物又は分子内に窒素原子を2個以上有するポリアミン化合物であることを特徴とする請求項1〜6記載のレジスト剥離剤。
- 第3級アミン化合物濃度が全体の5重量%以下であることを特徴とする請求項1〜7記載のレジスト剥離剤。
- 銅又は銅を主成分とする銅合金を配線材料とする半導体デバイス製造時において、製造過程であるデバイスに請求項1〜8記載のレジスト剥離剤を処理してレジスト残渣を除去することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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