JP2005290460A - 粉末調整方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 粉末調整方法は、粉末を容器82に入れ、粉末を容器82内で浮かせながら、加熱する工程を含む。粉末調整装置は、粉末を入れる容器82と、容器に入っている粉末を容器内で浮かせる手段84と、容器に入っている粉末を加熱する手段86とを備える。
【選択図】 図1
Description
図2は粉末Pを容器内82で浮かせる手段84の変形例を示す図である。手段84は、粉末を入れた容器82を軸線84Dの回りで回転可能に支持し、容器82を機械的に回転させることにより、粉末を攪拌し、粉末を容器内で浮き上がらせるように構成される。なお、粉末を加熱する手段86は図2に示されていないが、図1を参照して説明したのと同様の手段を用いることができる。
前処理として、平均粒径0.5μmのBaTiO3粉末を原料粉末として粉末調整装置80の容器82に入れ、容器82に全体的に超音波を加えた(超音波振動プロファイル、10kHz 1分、10kHz 30分、5kHz 1分、5Hz 30分、50kHz 5分、振動方向は水平、垂直、45度傾斜の3方向をランダムに)。約150℃で加熱しながら、30分真空脱気して、粉末表面に形成した水分を除去した。次に、容器内に、粉末上部に3本の羽根を挿入し、回転させた。(回転数プロファイル、50rpm 1分、100rpm 30分、10rpm 1分、50rpm 30分、30rpm 5分)。また、容器内にガス導入口を5本設け、粉末中に送気した。(各管への送気量は5l/分)。このガス気流体を全体から加熱して、粉末表面の熱処理を施した。
前処理として、平均粒径0.5μmのBaTiO3粉末を原料粉末として粉末調整装置80の容器82に入れ、容器14には3本の羽根を挿入し、回転させた。(回転数プロファイル、50rpm 1分、100rpm 30分、10rpm 1分、50rpm 30分、30rpm 5分)。また、容器内にガス導入口を5本設け、粉末中に送気した(各管への送気量は5l/分)。
前処理として、平均粒径0.5μmのBaTiO3粉末を原料粉末として粉末調整装置80の容器82に入れ、容器14内に150℃に加熱した窒素ガスを送気した(送気量は5l/分)。遠心分離機を通し、その後、遠心分離機を通過したエアロゾルを回収した。
82…容器
84…粉末を浮かせる手段
86…粉末を加熱する手段
88…ガス供給管
90…搬送管
92…回収容器
94…シャッタ
96…シャッタ
98…螺旋状の突条
Claims (5)
- エアロデポジション装置で使用する原料粉末を前処理するための粉末調整方法であって、粉末を容器に入れ、粉末を容器内で浮かせながら、加熱することを特徴とする粉末調整方法。
- 700℃から1500℃の範囲の温度で加熱することを特徴とする請求項1に記載の粉末調整方法。
- エアロデポジション装置で使用する原料粉末を前処理するための粉末調整装置であって、粉末を入れる容器と、容器に入っている粉末を容器内で浮かせる手段と、容器に入っている粉末を加熱する手段とを備えることを特徴とする粉末調整装置。
- 容器に入っている粉末を容器内で浮かせる手段は、容器内の粉末を攪拌する手段と、粉末を入れた容器を動かす手段と、容器内の粉末にガスを挿入する手段のうちの少なくとも1つであることを特徴とする請求項3に記載の粉末調整装置。
- エアロデポジション装置で使用する原料粉末を前処理するための粉末調整装置であって、粉末を入れる容器と、粉末を搬送する搬送ガスを容器内に挿入するガス供給手段と、粉末を搬送ガスとともに容器から外部へ搬送する搬送管と、搬送された粉末を回収する手段とを備えることを特徴とする粉末調整装置。
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JP2004105832A JP2005290460A (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 粉末調整方法及び装置 |
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JP2009231830A Division JP5234289B2 (ja) | 2009-10-05 | 2009-10-05 | 粉末調整方法及び装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009242844A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Fujitsu Ltd | 成膜方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61246576A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-01 | 株式会社大川原製作所 | 連続流動層乾燥装置 |
JPH05302176A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-11-16 | Inter Metallics Kk | 皮膜形成方法 |
JPH11302702A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-02 | Kubota Corp | 粉末乾燥機 |
JP2003313227A (ja) * | 2002-04-19 | 2003-11-06 | Sumitomo Chem Co Ltd | ポリマー粉体の脱気・乾燥方法 |
WO2003100131A1 (en) * | 2002-05-28 | 2003-12-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Method for forming ultrafine particle brittle material at low temperature and ultrafine particle brittle material for use therein |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004105832A patent/JP2005290460A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61246576A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-01 | 株式会社大川原製作所 | 連続流動層乾燥装置 |
JPH05302176A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-11-16 | Inter Metallics Kk | 皮膜形成方法 |
JPH11302702A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-02 | Kubota Corp | 粉末乾燥機 |
JP2003313227A (ja) * | 2002-04-19 | 2003-11-06 | Sumitomo Chem Co Ltd | ポリマー粉体の脱気・乾燥方法 |
WO2003100131A1 (en) * | 2002-05-28 | 2003-12-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Method for forming ultrafine particle brittle material at low temperature and ultrafine particle brittle material for use therein |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009242844A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Fujitsu Ltd | 成膜方法 |
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