JP3893513B2 - 複合構造物とその製造方法および複合構造物形成用脆性材料粒子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、脆性材料粒子を高速で基板に衝突させ、この衝突により、基板上に脆性材料構造物を形成させる複合構造物とその製造方法、並びにこの複合構造物の形成に用いられる脆性材料粒子に関する。
【0002】
【従来の技術】
脆性材料粒子を高速で基板に衝突させ、この衝突により、基板上に脆性材料構造物を形成させる構造物の製造方法には、脆性材料粒子をガス中に分散させたエアロゾルを加速させ、ノズルより基板材料に向けて噴射させる方法である微粒子ビーム堆積法あるいはエアロゾルデポジション法と呼ばれる手法があり、特開平11−21677号公報、特開2000−212766号公報に開示されるものが知られている。
特開平11−21677号公報に開示される技術は、前記した超微粒子を含むエアロゾルを搬送する際あるいはセラミックスなどを加熱蒸発させる際に、超微粒子同士が凝集して大きな粒子となるのを防止するために、中間の経路に分級装置を配置するようにしている。
特開2000−212766号公報は、粒径が10nmから5μmの範囲にあるセラミックスなどの超微粒子をガスに分散させてエアロゾルとした後、ノズルより高速の超微粒子流として基板に向けて噴射して堆積物を形成させる。このときに超微粒子や基板に、イオン、原子、分子ビームや低温プラズマなどの高エネルギー原子などを照射して作製される構造物を強固なものとする工夫がなされている。
【0003】
【発明を解決するための課題】
まず脆性材料粒子より脆性材料構造物を形成させるエアロゾルデポジション法について説明する。
延展性を持たない脆性材料(セラミックス)に機械的衝撃力を付加すると、結晶子同士の界面などの劈開面に沿って結晶格子のずれを生じたり、あるいは破砕される。そして、これらの現象が起こると、ずれ面や破面には、もともと内部に存在し別の原子と結合していた原子が剥き出しの状態となり新生面が形成される。この新生面の原子一層の部分は、もともと安定した原子結合状態から外力により強制的に不安定な表面状態に晒され、表面エネルギーが高い状態となり、この活性面が隣接した脆性材料表面や同じく隣接した脆性材料の新生面あるいは基板表面と接合して安定状態に移行する。
外部からの連続した機械的衝撃力の付加は、この現象を継続的に発生させ、微粒子の変形、破砕などの繰り返しにより接合の進展、緻密化が行われ、脆性材料構造物が形成される。この際の機械的衝撃力の付与手段としてガス中に脆性材料粒子を分散させたエアロゾルを基材に向けて高速で噴射させて衝突させ、基材表面上で上述した構造物形成を起こさしめ、基材と脆性材料構造物からなる複合構造物を形成させる方法がエアロゾルデポジション法である。
【0004】
しかしながら、従来のエアロゾルデポジション法においては,原料に用いる粉体が大気中に含まれる水分を多量に吸着すると粉体同士が凝集してしまうなどして良好なエアロゾルの発生が困難となるという問題があった。すなわちエアロゾル中に凝集粒(二次粒子あるいはこれ以上に大きな固まり)が含まれるとその凝集粒が基板に衝突する際に既に形成されていた構造物を削ってしまうエッチングという不具合が生じていた。また、凝集粒などによりエアロゾル濃度が不安定になると均一な性状の構造物を得る事が困難となるという問題があった。更に、良好なエアロゾルを得られないとエアロゾル中の一次粒子が減少し、場合によっては構造物形成ができないなどの問題があった。
本発明では,上記問題を解決して、構造物の形成に関する不具合を解消してエッチングによる欠損部分をなくし、また構造物の形成速度の向上が可能となる脆性材料微粒子およびこれを用いて作製された脆性材料構造物とその製造方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明では、その一実施態様においては、水分量が0.45%以下の脆性材料粒子を高速で基板に衝突させ、この衝突により、基板上に脆性材料からなる構造物を形成させることを特徴とする複合構造物の製造方法を提供する。
【0006】
また本発明では、その一実施態様においては、水分量が0.40%以下の脆性材料粒子を高速で基板に衝突させ、この衝突により、基板上に脆性材料からなる構造物を形成させることを特徴とする複合構造物の製造方法を提供する。
【0007】
本発明の好ましい実施態様においては、前記脆性材料粒子を高速で基板に衝突させる方法は、脆性材料粒子をガス中に分散させたエアロゾルを、高速で基板材料に向けて噴射する方法であることを特徴とする。
【0008】
また本発明では、上述の方法を用いて作製された基板と脆性材料の構造物からなる複合構造物を提供し、好ましくは脆性材料からなる構造物の相対密度が80%以上であり、好ましくは脆性材料からなる構造物のビッカース硬度が500以上とする。
【0009】
また本発明では前記脆性材料からなる構造物を形成するための脆性材料粒子を提供し、好ましくはその粒子径は平均粒径0.1〜5μmであることを特徴とする。
【0010】
構造物粉体の水分量の多少は、機械的衝撃力を加えたときに構造物ができやすいか否かに関係し、水分量がある程度少ない場合になって良好な構造物形成が行われる。特に機械的衝撃力の付加手段としてエアロゾルデポジション法を用いる場合においては、エアロゾル中の粉体の凝集等を抑制して一次粒子が多く存在し濃度も一定の良好なエアロゾルを発生させることが出来、このエアロゾルの基板への衝突が構造物が順調に形成されるための条件となりまたその形成速度を上昇させる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明につき、より詳述する。
まず、本発明により粉体の水分量を制御することで構造物の形成が可能となる、あるいは形成速度が上昇する理由につき説明する。
それは、本発明の構造物の形成に用いられる脆性材料粒子が水分を多く有する場合では、粒子同士の凝集などによりエアロゾルの発生が困難となることが考えられる。すなわちエアロゾルの発生が少なくなったり不安定になれば構造物の形成が不可能となったり、構造物の形成速度が低下することとなる。また凝集粒を多く含むエアロゾルを使用した場合、構造物形成時に順調に形成されていく構造物にこの凝集粒がアタックしてエッチングを引き起こしたり、構造物中に取り込まれて構造物の強度を脆弱化させるなどの不具合を起こす。エッチングは構造物の形成速度を低下させる一つの要因であるばかりか、構造物の部分的欠損を引き起こすため不良品率を上昇させる大きな要因となる。
【0012】
本発明で構造物の形成が可能となったり、その形成速度を上昇させることができた理由は、原料の脆性材料粒子粉体に熱や熱風等を加える方法によりそれに含まれる水分の量を抑制することで、その水分量を0.45%以下あるいは0.40%以下としたことにより原料粉体の凝集が少なく安定したエアロゾルが得られ、その発生量も制御し易くしたことである。ここで言う熱や熱風を加える方法としては具体的に乾燥機やドライヤー等を用いることが考えられる。
【0013】
次に、以下に本発明の請求項に使用されている語につき説明する。
本発明においての「脆性材料」とは、例えば、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化錫、酸化鉄、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム、酸化クロム、酸化ハフニウム、酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、酸化珪素等の単一金属の酸化物や、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸リチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸アルミニウム、PZT、PLZT、ニッケルフェライト、マンガンフェライト、マンガンジンクフェライト、超伝導材料等の複合金属酸化物などの金属酸化物、ダイヤモンド、炭化硼素、炭化珪素、炭化チタン、炭化ジルコニウム、炭化バナジウム、炭化ニオブ、炭化クロム、炭化タングステン、炭化モリブデン、炭化タンタルなどの炭化物、窒化硼素、窒化チタン、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ニオブ、窒化タンタルなどの窒化物、硼素、硼化アルミニウム、硼化珪素、硼化チタン、硼化ジルコニウム、硼化バナジウム、硼化ニオブ、硼化タンタル、硼化クロム、硼化モリブデン、硼化タングステンなどの硼化物、あるいはこれらの混合物や多元系の固溶体などを示す。
【0014】
また、「水分量」とは300℃の乾燥機中に24時間放置した原料粉体の水分量を基準として、構造物の形成に使用する粉体が含んでいる水分の量を重量パーセント示したものであり、測定にはケツト科学研究所の微量水分計FM−300を用い、外気を遮断した閉鎖系の中で粉体約1gを300℃に加熱して含有する水分を蒸発させて吸着剤に選択吸着させ、その水分の質量を測定して水分量を求めた。
【0015】
また、「高速」とは例えばエアロゾルデポジション法において実施例2で説明する方法で測定した値において、50〜500m/s、好ましくは100〜450m/s、より好ましくは150〜400m/sのことを指す。
【0016】
また、「ガス」とはここでは窒素ガスを用いている。ほかには乾燥空気、ヘリウム、酸素、アルゴン、水素やこれらの混合ガスなどが挙げられる。
【0017】
また、「構造物の形成速度」とは単位時間あたり単位面積における構造物の膜厚すなわち形成高さを日本真空技術株式会社製触針式表面形状測定器Dektak3030を用いて測定することにより、算出した。
【0018】
また、「構造物の相対密度」は、本発明記載の構造物についての嵩密度として、アルキメデス法(構造物の乾燥重量:W1、水中での重量:W2、飽水の重量:W3から算出)にて測定算出した。その値をMOxの真比重にて割り、%にて表示した。また複合構造物を液体窒素中に浸積し、基材から剥離した構造物の嵩密度を測定した。
【0019】
また、「構造物のビッカース硬度」は、膜の硬度は、島津製作所製ダイナミック超微小硬度計DUH−W201を用いてビッカース圧子を50gの荷重で15秒間印加し求めた結果を,5点測定行い平均値を求めた。
【0020】
「平均粒径0.1〜5μm」であることは、島津製作所製のレーザー式沈降型粒度分布測定器SALD−2000による測定に基づく。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。まず複合構造物作製装置の態様について述べる。
エアロゾルデポジション法による複合構造物の形成を行う際に使用する典型的な複合構造物作製装置の構成とその作用は次のとおりである。
図1は複合構造物作製装置1を示したものであり、窒素ガスボンベ101の先にガス搬送管102を介してエアロゾル発生器103が設置され、その下流側にエアロゾル搬送管104を介して構造物形成室105内にノズル106が設置されている。エアロゾル発生器103内には脆性材料微粒子例えば酸化アルミニウム微粒子粉体が充填されている。ノズル106の開口の先には真鍮の基板107が配置され、基板107はXYステージ108に固定されている。構造物形成室105は真空ポンプ109と接続されている。
【0022】
以下に複合構造物作製装置1の作用を述べる。窒素ガスボンベ101を開栓し、ガスをエアロゾル発生器103内に送り込み、同時にエアロゾル発生器103を運転させて脆性材料微粒子と窒素ガスが適当比で混合されたエアロゾルを発生させる。また真空ポンプ109を稼動させ、エアロゾル発生器103と構造物形成室105の間に差圧を生じさせる。このエアロゾルをエアロゾル搬送管104を通して加速させ、ノズル106より基板107に向けて噴射する。基板107はXYステージ108により揺動され、エアロゾル衝突位置を変化させつつ、微粒子の衝突により基板107上に膜状の脆性材料構造物が形成されていく。ノズル106と基板107を相対的に移動させることにより必要面積に脆性材料構造物を形成させる。
【0023】
【実施例】
(実施例1)
本発明に基づく複合構造物作製に使用する複合構造物形成用脆性材料粒子につき、実施例をあげて説明する。複合構造物形成用脆性材料粒子である微粒子粉体サンプルとして平均粒径0.6μmの酸化アルミニウム微粒子を用いた。この酸化アルミニウム微粒子を温度、湿度を制御する事でその粉体に含まれる水分量の異なる微粒子粉体サンプルを作製した。具体的には、酸化アルミニウム微粒子粉体約100gを室温放置すなわち25℃湿度80%、50℃24時間乾燥、100℃24時間乾燥、150℃24時間乾燥、200℃24時間乾燥の各条件で作製した。それぞれの水分量は0.50%、0.45%、0.40%、0.30%、0.23%であった。また、酸化アルミニウム微粒子粉体をさらに多湿の環境で放置することにより水分量は10%、5%の微粒子粉体サンプルも作製した。
【0024】
これらの粉体サンプルを使用して、上述した複合構造物作製装置に相当する装置にてエアロゾルデポジション法により金属基板上に酸化アルミニウム構造物の形成を試みた。使用したガスは超高純度窒素であり、ガス流量は毎分5リットルとした。得られた構造物に関して、以下に酸化アルミニウム粉体中の水分量とエアロゾルデポジション法による構造物形成速度についての結果を述べる。
図2は酸化アルミニウム粉体中の水分量と構造物形成速度との関係を示したグラフである。図2より、水分量0.50%以下になると構造物の形成が可能となる事が分かる。しかしながら、水分量0.50%の粉体を用いた構造物では、エアロゾル中に含まれる凝集粒が多いためにエッチングが起こりやすく、構造物形成は可能なものの、構造物は部分的に剥離や欠損が起こっておりその性状は均質でない。水分量0.45%以下になると構造物の形成が可能で、かつエッチング等による構造物の剥離も見られにくくなり、均質な性状の膜を得る事が出来る。更に望ましくは水分量0.40%以下においては均質な性状の構造物をより速い形成速度で得る事が出来ることが分かる。
【0025】
(実施例2)
前記した粒子の速度の測定には次の方法を用いた。図3に粒子速度測定装置を示す。図示しないチャンバー内にエアロゾルを噴射するノズル21が開口を上に向けて設置され、その先にモーターによって回転運動する回転羽根22の先に設置された基板23およびその基板表面から19mm下に離れて固定された幅0.5mmの切りかきをもつスリット24を有する粒子速度測定装置2を配置する。ノズル21の開口から基板表面までの距離は24mmである。
【0026】
次に粒子速度測定方法を記す。エアロゾルの噴射は、実際の複合構造物作製方法に準じて行う。構造物形成装置内で構造物を形成する基板の代わりに、図の粒子速度測定装置2を設置して行うことが好適である。図示しないチャンバーを減圧下におき、数Torr以下の圧力としたのちにノズル21から粒子を含むエアロゾルが噴射させ、この状態で粒子速度測定装置2を一定回転速度で運転させる。ノズル21の開口から飛び出した粒子は、基板23がノズル21の上部に来た際にその一部がスリット24の切りかきの隙間を通過して基板表面に衝突し、基板23上に構造物(衝突痕)を形成する。粒子がスリットから19mm離れた基板表面に到達する間に基板23は回転羽根22の回転によって位置を変化させているため、基板23上におけるスリット24の切りかきからの垂線交差位置よりその変位量分ずれた位置に衝突する。この垂線交差位置から衝突して形成された構造物までの距離を表面凹凸測定により計測し、この距離およびスリット24と基板表面からの距離、回転羽根22の回転速度の値を用いて、ノズル21から噴射された粒子の速度としては、ノズル21の開口から5mm離れた場所から24mm離れた場所までの平均速度を算出し、これを本件における粒子の速度とした。
【0027】
【本発明の効果】
本発明によれば、脆性材料粒子に含まれる水分量を0.45%以下とすることで構造物の形成に関する不具合であるエッチングによる欠損部分をなくし、さらに0.40%以下にすることで構造物の形成速度の向上が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】 複合構造物作製装置1を示す模式図
【図2】 酸化アルミニウム粉体中の水分量と構造物形成速度との関係図
【図3】 粒子速度測定装置
【符号の説明】
1…複合構造物作製装置
101…窒素ガスボンベ
102…ガス搬送管
103…エアロゾル発生器
104…エアロゾル搬送管
105…構造物形成室
106…ノズル
107…基板
108…XYステージ
109…真空ポンプ
Claims (4)
- ガス中に脆性材料粒子を分散させたエアロゾルを基板に向けて噴射させて、衝突させ、前記基板上に脆性材料からなる構造物を形成するエアロゾルデポジション法による複合構造物の製造方法であって、水分量を0.40%以下とした前記脆性材料粒子を基板に衝突させ、この衝突により、前記基板上に脆性材料からなる構造物を形成させることを特徴とする複合構造物の製造方法。
- 請求項1に記載の製造方法によって作製されることを特徴とする複合構造物。
- 請求項2に記載の脆性材料からなる複合構造物を形成するための脆性材料粒子であって、水分量が0.40%以下であることを特徴とする複合構造物形成用脆性材料粒子。
- 請求項3に記載の脆性材料粒子であって、その粒子径は平均粒径0.1〜5μmであることを特徴とする複合構造物形成用脆性材料粒子。
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