JP2005286433A - 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 大きさが極めて小さなものとなっても、発振周波数特性の異なる２種類の圧電振動子を選択して収容することが可能であり、外形から容易に内部の発振特性を見分けることが可能な圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置を提供すること。
【解決手段】 凹部８を有する絶縁基体１と、第１の段差部５ａと、第２の段差部５ｂと、第１の電極４ａと、第２の電極４ｂと、配線導体６とを具備しており、第１の電極４ａまたは第２の電極４ｂの上面に圧電振動子２の端部が接続され、圧電振動子２が第１の電極４ａに接続される場合は第２の段差部５ｂの上面に第１の蓋体７ａが全周にわたって取着され、圧電振動子２が第２の電極４ｂに接続される場合は絶縁基体１の上面の第２の段差部５ｂの周囲に全周にわたって第２の蓋体７ｂが取着される。
【選択図】 図２

Description

本発明は、内部に圧電振動子を収容するための圧電振動子収納用パッケージ、およびこのパッケージに圧電振動子を収容してなる圧電装置に関するものである。

従来、内部に水晶振動子等の圧電振動子を収容するための圧電振動子収納用パッケージは、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，ガラスセラミックス等のセラミックス材料から成り、その上面中央部に圧電振動子を収納するための長方形状の凹部を有する絶縁基体と、凹部の外周部に形成され、圧電振動子の端部が接続される電極と、絶縁基体の上面の凹部の周囲に凹部を塞ぐようにして取着される蓋体とから構成されている。なお、通常、絶縁基体の凹部の底面に形成された電極から絶縁基体の側面や下面等の外表面にかけて配線導体が導出されている。

この圧電振動子収納用パッケージの凹部内に圧電振動子を収納するとともに、圧電振動子の端部を凹部の底面に形成された電極に導電性接着剤等を介して電気的，機械的に接続し、その後、絶縁基体の上面の凹部の周囲に蓋体を半田や低融点ガラス等のろう材を介して接合し凹部を塞ぐことにより、凹部内に圧電振動子が気密封止されて圧電装置となる。そして、絶縁基体の外表面に導出された配線導体を外部の電気回路に接続することにより圧電振動子が外部の電気回路と接続され、圧電振動子から外部の電気回路に時間や周波数の基準信号等が出力される。

近年、この圧電装置を形成するための圧電振動子は、その発振周波数特性等の特性に対する要求が非常に多岐にわたるようになってきており、これに応じてその寸法や電極の配置形態等の種類が非常に多くなってきている。

このような圧電振動子の多品種化に対応するためには、圧電振動子を収納する凹部の寸法や電極の配置形態等が異なる多くの種類の圧電振動子収納用パッケージを準備する必要がある。

しかしながら、圧電振動子の種類に対応させて多くの種類の圧電振動子収納用パッケージを準備することは通信用機器の開発段階において無駄が多く、また煩雑であるため、通信用機器の開発期間が長期化したり、また、生産性を低下させるという問題があった。このような問題に対しては、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すような発振周波数特性の異なる２種類の圧電振動子を兼用して同一の圧電振動子収納用パッケージで収容するタイプの圧電振動子収納用パッケージおよびこれを用いた圧電装置が提案されている。なお、図３（ａ）は従来の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置の一例を示す平面図であり、図３（ｂ）は、そのＢ−Ｂ’線における断面図である。

この圧電振動子収納用パッケージは、上面に圧電振動子３２を収納するための長方形状の凹部３８が形成された絶縁基体３１と、凹部３８の内側面に形成された段差部３５と、凹部３８の底面の外周部および段差部３５の上面にそれぞれ一対ずつ形成された電極３４と、電極３４から前記絶縁基体３１の外表面に導出された配線導体３６とを具備している。

圧電振動子３２は、外形寸法の小さいもの３２ａおよび外形寸法の大きいもの３２ｂのいずれかが選択されて凹部３８内に収容される。

また、電極３４は、凹部３８の底面の外周部に形成されたもの３４ａが、寸法の小さい圧電振動子３２ａの端部に対応し、第２の段差部３５の上面に形成されたもの３４ｂが、寸法の大きな圧電振動子３２ｂの端部に対応している。

このような圧電振動子収納用パッケージによれば、絶縁基体３１の凹部３８内に圧電振動子３２を収納するとともに、この圧電振動子３２の端部に形成されている電極（図示せず）を、その圧電振動子３２の寸法等に応じて、凹部３８の底面の外周部に形成された電極３４に導電性接着剤３９等の電気的接続手段を介して電気的に接続し、しかる後、凹部３８の周囲の上面に半田や低融点ガラス等のろう材を介して鉄−ニッケル−コバルト等の金属から成る蓋体３７を接合，取着することによって、絶縁基体３１と蓋体３７とから成る容器の内部に圧電振動子３２が気密に封止され、それにより製品としての圧電装置となる。

このような圧電振動子収納用パッケージによれば、圧電振動子３２が、例えば高周波用となる寸法の小さなもの３２ａであれば、その端部に形成された電極を凹部３８の底面の電極３４ａに接続することができ、また、低周波用となる寸法の大きなもの３２ｂであれば、その端部に形成された電極を凹部３８の側面の隅部に形成された段差部３５の上面の電極３４ｂに接続することができるので、大きさの異なる圧電振動子３２ａ，３２ｂのいずれであっても、容易に気密封止して圧電装置を形成することができる。

なお、圧電振動子３２の電極と、凹部３８の底面の電極３４ａまたは段差部３５の上面の電極３４ｂとの接続は、通常、導電性接着剤３９を介して行なわれる。例えば、圧電振動子３２の電極を、凹部３８の底面の電極３４ａまたは段差部３５の上面の電極３４ｂの上に位置決めして載せ、この部分に導電性接着剤供給装置（ディスペンサー）（図示せず）から導電性接着剤３９を排出，供給することにより圧電振動子３２の電極と、凹部３８の底面の電極３４ａ、または段差部３５の上面の電極３４ｂとが電気的，機械的に接続される。
特開２０００−２７８０７９号公報

しかしながら、近時の圧電装置を使用する携帯電話やＰＤＡ等の発振装置においては、小型化の要求に伴い、その大きさが１辺の長さが数ｍｍ程度の長方形状等の極めて小さなものとなってきている一方で、使用する部品の外形寸法の規格統一の動きがあり、蓋体に印字等の処理を施してはいるが、外形からは内部の発振特性を見分けることが難しくなってきている。

このように圧電振動子収納用パッケージの小型化が進むと、類似した携帯電話やＰＤＡ等の発振装置の製造において、使用する圧電装置の種類を間違ってしまうという危険性があった。

また、発振周波数特性の異なる２種類の圧電振動子を兼用して同一の圧電振動子収納用パッケージで収容するタイプの圧電装置においては、例えば低周波用となる寸法の大きな圧電振動子であっても、高周波用となる寸法の小さな圧電振動子であっても、使用される鉄−ニッケル−コバルト合金等の金属から成る蓋体は、同一形状であるため、単純に上方から見た場合に高周波用の圧電装置なのか低周波用の圧電装置なのか見分けがつかないという問題点があった。

さらに、低周波用となる寸法の大きな圧電振動子であっても、高周波用となる寸法の小さな圧電振動子であっても、蓋体を接合後の圧電装置は、その厚みが同一であるため、圧電装置としての薄型化が出来ないという問題点を有していた。

本発明は、かかる問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、小型化の要求に伴い、その大きさが１辺の長さが数ｍｍ程度の長方形状等の極めて小さなものとなっても、発振周波数特性の異なる２種類の圧電振動子を兼用して同一の圧電振動子収納用パッケージに選択して収容することが可能であり、圧電装置の外形から容易に内部の発振特性を見分けることが可能であり、圧電装置としての薄型化が可能な圧電振動子収納用パッケージ、およびこの圧電振動子収納用パッケージを用いた薄型で、かつ高信頼性の圧電装置を提供することにある。

本発明の圧電振動子収納用パッケージは、上面に圧電振動子が収容される凹部を有する絶縁基体と、前記凹部の側面と底面との間に形成された第１の段差部と、前記絶縁基体の上面と前記凹部の側面との間で前記第１の段差部よりも上側に全周にわたって形成された第２の段差部と、前記凹部の底面の外周部に形成された第１の電極と、前記第１の段差部の上面に形成された第２の電極と、前記第１および第２の電極から前記絶縁基体の外表面に導出された配線導体とを具備しており、前記第１の電極または前記第２の電極の上面に前記圧電振動子の端部が接続され、前記圧電振動子が前記第１の電極に接続される場合は前記第２の段差部の上面に第１の蓋体が全周にわたって取着され、前記圧電振動子が前記第２の電極に接続される場合は前記絶縁基体の上面の前記第２の段差部の周囲に全周にわたって第２の蓋体が取着されることを特徴とする。

また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、前記圧電振動子は前記第１の電極に接続されるものの外形寸法が前記第２の電極に接続されるものの外形寸法よりも小さく、前記第１の蓋体は前記第２の蓋体よりも外形寸法が小さいことを特徴とする。

また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、前記第１の段差部の高さが前記第１の電極に接続される圧電振動子の厚さよりも低く、前記第１の段差部の上面と前記第２の段差部の上面と間の距離が、前記第２の電極に接続される圧電振動子の厚さよりも小さいことを特徴とする。

本発明の圧電装置は、上記構成の圧電振動子収納用パッケージと、前記凹部に収容されるとともに前記第１の電極または前記第２の電極に電気的に接続された前記圧電振動子と、前記第２の段差部の上面または前記絶縁基体の上面の前記第２の段差部の周囲に前記凹部を覆うように取着された蓋体とを具備していることを特徴とする。

本発明の圧電振動子収納用パッケージによれば、第１の電極または第２の電極の上面に圧電振動子の端部が接続され、圧電振動子が第１の電極に接続される場合は第２の段差部の上面に第１の蓋体が全周にわたって取着され、圧電振動子が第２の電極に接続される場合は絶縁基体の上面の第２の段差部の周囲に全周にわたって第２の蓋体が取着されることから、小型化の要求に伴い、その大きさが１辺の長さが数ｍｍ程度の長方形状等の極めて小さなものとなっても、発振周波数特性の異なる２種類の圧電振動子を兼用して同一の圧電振動子収納用パッケージに収容することが可能となる。よって、圧電振動子が多品種となっても多くの種類の圧電振動子収納用パッケージを準備する必要はなく、生産性を向上させることができる。

また、凹部内に収容した圧電振動子が接続される電極に応じて、使用する蓋体、および蓋体の取着される絶縁基体の部位が異なるので、蓋体の種類や、蓋体が取着されている部位を識別することにより、内部に封止した圧電振動子を識別することができ、圧電装置の外形から容易に内部の発振特性を見分けることが可能となる。

本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、圧電振動子は第１の電極に接続されるものの外形寸法が第２の電極に接続されるものの外形寸法よりも小さく、第１の蓋体は第２の蓋体よりも外形寸法が小さいことから、第１の電極に圧電振動子を接続する場合において、第１の蓋体を第２の段差部の上面外周に沿って接合することが可能となり、圧電装置の薄型化が可能となる。

また、凹部の底面に形成され、上側に第１および第２の段差部があるために上部空間の狭い第１の電極に、外形寸法の小さい圧電振動子が接続されるので、凹部内に効率よく圧電振動子を収納することができ、小型化がより容易にできる。

また、外形寸法が小さく、発振周波数の高い圧電振動子が収納される場合には、より小さい第１の蓋体が用いられるので、圧電振動子の大きさに応じて圧電振動子収納用パッケージの大きさを変化させることができ、小さい圧電振動子収納用パッケージほど圧電振動子が小さいという形態となり、人為的なミス等をより確実に防いで、圧電装置の外形からより一層容易かつ確実に内部の発振特性を見分けることができる。

本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、第１の段差部の高さが第１の電極に接続される圧電振動子２の厚さよりも低く、第１の段差部の上面と第２の段差部の上面と間の距離が、第２の電極に接続される圧電振動子の厚さよりも小さいことから、圧電振動子を搭載用ヘッド（図示せず）により絶縁基体の上面の凹部内の第１の電極、または第２の電極に接続する際に、誤って搭載用ヘッドが絶縁基体の凹部の内面に接触するのを防止し、絶縁基体にクラックや欠けが発生することを有効に防止することができる。

また、第１の段差部の高さ、および第１の段差部と第２の段差部との間の高さが、ともに高くなりすぎることを有効に防止することができ、絶縁基体のより一層の薄型化が容易にできる。

本発明の圧電装置によれば、上記構成の圧電振動子収納用パッケージと、凹部に収容されるとともに第１の電極または第２の電極に電気的に接続された圧電振動子と、第２の段差部の上面または絶縁基体の上面の第２の段差部の周囲に凹部を覆うように取着された蓋体とを具備していることから、周波数が異なり、外形寸法の異なる種々の圧電振動子を選択して収納されるとともに端部が電極に確実に電気的，機械的に接続された、薄型で、かつ高信頼性の圧電装置とすることができる。

次に、本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび半導体装置を添付の図面を基に説明する。図１は本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の一例を示す平面図であり、図２（ａ），（ｂ）は、図１の圧電振動子収納用パッケージのＡ−Ａ’線における断面図であり、圧電振動子収納用パッケージに各種の圧電振動子を搭載したときの各種例を示すものである。同図において１は絶縁基体、２は圧電振動子、３は封止用メタライズ層、４は圧電振動子２の端部が接続される電極、６は配線導体、７ａは第１の蓋体，７ｂは第２の蓋体である。

そして、主として絶縁基体１、電極４、配線導体６および蓋体（第１の蓋体７ａまたは第２の蓋体７ｂ）で本発明の圧電振動子収納用パッケージが構成されている。

絶縁基体１は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，ガラスセラミックス等のセラミックス材料から成るセラミック層を積層して成り、例えば一辺の長さが２〜２０ｍｍ程度で厚みが０．５〜３ｍｍ程度の四角形状である。そして、その上面中央部に圧電振動子２を収納するための長方形状の凹部８が設けられている。

また、この凹部８の内側には、凹部８の側面と底面との間に形成された第１の段差部５ａと、絶縁基体１の上面と凹部８の側面との間で第１の段差部５ａよりも上側に全周にわたって形成された第２の段差部５ｂが形成されている。

これらの第１および第２の段差部５ａ，５ｂは、圧電振動子２の寸法等が異なるものとなったとしても、これを凹部８内に収納するとともに、その端部に形成された電極を電気的に接続したり、凹部８を効率よく第１または第２の蓋体７ａ，７ｂで塞いで封止することを可能とするためのものである。詳細については後で説明する。

これらの第１および第２の段差部５ａ，５ｂは、通常、絶縁基体１と同じ材料により形成される。

例えば、絶縁基体１，第１の段差部５ａ、および第２の段差部５ｂが酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、酸化アルミニウム等の原料粉末を有機バインダーとともにシート状に成形して複数のグリーンシートを形成し、これらのグリーンシートを、積み重ねたときに凹部８となる開口と第１および第２の段差部５ａ，５ｂとが形成されるように開口寸法を異ならせて打ち抜き加工し、その後、これらのグリーンシートを積層し、焼成することにより、一体的に形成される。

また、凹部８の底面の外周部に一対の第１の電極４ａが、そして第１の段差部５ａの上面に一対の第２の電極４ｂがそれぞれ形成されている。

また、第１および第２の電極４ａ，４ｂは、それぞれ、凹部８の内面から絶縁基体１の外表面にかけて導出された配線導体６と電気的に接続されている。

これらの第１の電極４ａ、第２の電極４ｂ、および配線導体６は、タングステンやモリブデン，銅，銀等の金属材料から成り、例えば、タングステンからなる場合であれば、タングステンの金属ペーストを絶縁基体１や第１および第２の段差部５ａ，５ｂを形成するグリーンシートに印刷しておくことにより形成される。

そして、圧電振動子２が、例えば高周波用となる寸法の小さな圧電振動子２ａであれば、その端部に形成された電極を凹部８の底面の第１の電極４ａに、そして低周波用となる寸法の大きな圧電振動子２ｂであれば、その端部に形成された電極を凹部８の隅部に形成された第１の段差部５ａの上面の電極４ｂに電気的，機械的に接続される。

なお、このように発振周波数特性の異なる２種類の圧電振動子２を兼用して同一の圧電振動子収納用パッケージで収容するタイプの圧電装置においては、凹部８内に１個の圧電振動子２が収容されることとなる。

圧電振動子２の端部に形成された電極と、第１および第２の電極４ａ，４ｂとの接続は、導電性接着剤９を介して行なわれる。例えば、圧電振動子２の電極を第１および第２の電極４ａ，４ｂの上に位置決めして載せ、この部分にディスペンサー（図示せず）から導電性接着剤９を排出，供給することにより圧電振動子２の端部に形成された電極と第１および第２の電極４ａ，４ｂとが電気的，機械的に接続される。

そして、凹部８内に圧電振動子２を収容し、第１または第２の電極４ａ，４ｂに圧電振動子２の端部を導電性接着剤等を介して電気的、機械的に接続した後、第１の蓋体７ａまたは第２の蓋体７ｂで凹部８を塞ぐことにより圧電装置が形成される。

本発明の圧電振動子収納用パッケージによれば、第１の電極４ａまたは第２の電極４ｂの上面に圧電振動子２（２ａ，２ｂ）の端部が接続され、圧電振動子２ａが第１の電極４ａに接続される場合は第２の段差部５ｂの上面（下層の封止面３ａ）に第１の蓋体７ａが全周にわたって取着され、圧電振動子２ｂが第２の電極４ｂに接続される場合は絶縁基体１の上面の第２の段差部５ｂの周囲（上層の封止面３ｂ）に全周にわたって第２の蓋体７ｂが取着される。

この構成により、圧電装置の小型化の要求に伴い、絶縁基体１や凹部８の大きさが１辺の長さが数ｍｍ程度の長方形状等の極めて小さなものとなっても、発振周波数特性の異なる２種類の圧電振動子２（２ａ，２ｂ）を兼用して同一の圧電振動子収納用パッケージに選択して収容することが可能であり、圧電装置の外形から容易に内部の発振特性を見分けることが可能となる。

また、本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいて、圧電振動子２は第１の電極４ａに接続されるものの外形寸法が第２の電極４ｂに接続されるものの外形寸法よりも小さく、第１の蓋体７ａは第２の蓋体７ｂよりも外形寸法が小さいことが好ましい。

これにより、第１の電極４ａに圧電振動子２ａを接続する場合において、第１の蓋体７ａを第２の段差部５ｂの上面（下層の封止面３ａ）に接合することが可能となり、圧電装置のより一層の薄型化が可能となる。

また、凹部８の底面に形成され、上側に第１および第２の段差部５ａ，５ｂがあるために上部空間の狭い第１の電極４ａに、外形寸法の小さい圧電振動子２ａが接続されるので、凹部８内に効率よく圧電振動子２を収納することができ、小型化がより容易にできる。

また、外形寸法が小さく、発振周波数の高い圧電振動子２ａが収納される場合には、より小さい第１の蓋体７ａが用いられるので、圧電振動子２の大きさに応じて圧電振動子収納用パッケージの大きさを変化させることができ、小さい圧電振動子収納用パッケージほど圧電振動子２が小さいという形態となる。つまり、小さいものほど周波数が高いという一般的な法則、経験に対応した形態となり、人為的なミス等をより確実に防いで、圧電装置の外形からより一層容易かつ確実に内部の発振特性を見分けることができる。

ここで、通常、絶縁基体１の上面の凹部８の周囲に形成された下層の封止面３ａ、および上層の封止面３ｂに半田や低融点ガラス等のろう材を介して金属から成る第１または第２の蓋体７ａ，７ｂを接合，取着することによって、絶縁基体１と蓋体（第１または第２の蓋体７ａ，７ｂ）とから成る容器の内部に圧電振動子２（２ａ，２ｂ）が気密に封止され、それにより製品としての圧電装置となる。

また、第１および第２の蓋体７ａ，７ｂが、鉄−ニッケル−コバール等の金属から成る場合ならば、このような第１および第２の蓋体７ａ，７ｂは、鉄−ニッケル合金板や鉄−ニッケル−コバルト合金板等の下面に銀−銅ろう等のろう材箔を重ねて圧延することによって鉄−ニッケル合金板や鉄−ニッケル−コバルト合金板等の下面に厚みが２０〜５０μｍのろう材層が圧着された複合金属板を得るとともに、この複合金属板を打ち抜き金型により打ち抜くことによって下面の全面に厚みが２０〜５０μｍのろう材層が被着された所定の形状に製作される。

また、圧電装置を上側から見た際に蓋体の形状が異なることから、圧電装置の外形から容易に内部の発振特性を見分けることが可能となる。

また、本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいて、第１の段差部５ａの高さが第１の電極４ａに接続される圧電振動子２ａの厚さよりも低く、第１の段差部５ａの上面と第２の段差部５ｂの上面と間の距離が、第２の電極４ｂに接続される圧電振動子２ｂの厚さよりも小さいことが好ましい。

これにより、圧電振動子２（２ａ，２ｂ）を搭載用ヘッド（図示せず）により絶縁基体１の上面の凹部８内の第１の電極４ａ、または第２の電極４ｂに搭載する際に、誤って搭載用ヘッドが絶縁基体１の凹部８の内面に接触するのを防止し、絶縁基体１にクラックや欠けが発生することを有効に防止することができる。

また、第１の段差部５ａの高さ、および第１の段差部５ａと第２の段差部５ｂとの間の高さが、ともに高くなりすぎることを有効に防止することができ、絶縁基体１のより一層の薄型化が容易になる。

この場合、例えば絶縁基体１の厚みが１．５ｍｍであれば、第１の段差部５ａおよび第２の段差部５ｂの高さを０．３ｍｍ程度とすることが望ましい。通常、圧電振動子２の厚みは、０．２〜０．５ｍｍであり、第１の段差部５ａの上面と圧電振動子２ａの上面との高さの差、および第２の段差部５ｂの上面と圧電振動子２ｂの上面との高さの差は少なくとも０．１ｍｍ以上確保することが望ましい。０．１ｍｍ未満となると、圧電振動子２（２ａ，２ｂ）を搭載用ヘッドにより絶縁基体１の上面の凹部８内の第１の電極４ａ、または第２の電極４ｂに搭載する際に、誤って搭載用ヘッドが絶縁基体１の凹部８の内面に接触しやすくなる。

そして、絶縁基体１の上面に、凹部８を塞ぐようにして第１または第２の蓋体７ａ，７ｂを、半田や低融点ガラス等のろう材を介して接合することにより、絶縁基体１の凹部８と蓋体（第１または第２の蓋体７ａ，７ｂ）とで形成される容器の内部に圧電振動子２（２ａ，２ｂ）が気密封止され、圧電装置が形成される。

なお、半田を用いて第１または第２の蓋体７ａ，７ｂを接合する場合、半田の濡れ性を向上させるために、第２の段差部５ｂの上面や、第２の段差部５ｂの周囲の絶縁基体１の上面に封止用メタライズ層を形成しておいてもよい。また、封止用メタライズ層を形成する場合、その表面をニッケル、金等のめっき層（図示せず）で被覆すると、封止用メタライズ層の酸化を効果的に防止することができる。また、半田の濡れ性もより一層向上する。

この圧電装置は、配線導体６の絶縁基体１の外表面に導出された部位を外部の電気回路に接続することにより、気密封止された圧電振動子２（２ａ，２ｂ）の電極が配線導体６を介して外部の電気回路と電気的に接続される。

本発明の圧電装置によれば、上記構成の圧電振動子収納用パッケージと、凹部８に収容されるとともに第１の電極４ａまたは第２の電極４ｂに電気的に接続された圧電振動子２（２ａ，２ｂ）と、第２の段差部５ｂの上面または絶縁基体１の上面の第２の段差部５ｂの周囲に凹部８を覆うように取着された第１または第２の蓋体７ａ，７ｂとを具備していることから、周波数が異なり、外形寸法の異なる種々の圧電振動子２を選択して収納されるとともに端部が第１または第２の電極４ａ，４ｂに確実に電気的，機械的に接続された、薄型で、かつ高信頼性の圧電装置とすることができる。

このような圧電装置において、配線導体６の露出表面には、酸化腐食を防止するとともに配線導体６と圧電振動子２（２ａ，２ｂ）の各電極との接続および外部電気回路基板との接続を強固なものとするために、通常であれば、１０〜２０μｍ程度の厚みのニッケルめっき層と０．１〜３μｍ程度の厚みの金めっき層とを順次被着させておくことが好ましい。

これらのめっき層は、第１および第２の電極４ａ，４ｂの表面も被覆するように被着されていてもよい。これらのめっき層は、従来周知の電解法や無電解法等のめっき法により形成することができる。

なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えても何ら差し支えない。例えば、この例では絶縁基体１は４層のセラミック層を積層することにより形成されているが、絶縁基体１は５層や６層のセラミック層を積層することにより形成されていてもよいのは言うまでもない。

また、第１および第２の電極４ａ，４ｂは、図１のような一対のものに限らず、圧電振動子２の形態に応じて、凹部８や第２の段差部５ｂの上面の各隅部に設けてもよい。

また、第１の段差部５ａを、凹部８の側面の全周ではなく、第２の電極４ｂを形成するのに必要な部位のみに形成してもよい。

本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置の実施の形態の一例を示す平面図である。 （ａ），（ｂ）は図１の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置のＡ−Ａ’線における断面図であり、各種の圧電振動子を搭載したときの各種例を示すものである。 （ａ）は従来の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置の平面図、（ｂ）は（ａ）の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置のＢ−Ｂ’線における断面図である。

符号の説明

１・・・・・絶縁基体
２・・・・・圧電振動子
２ａ・・・・圧電振動子（小）
２ｂ・・・・圧電振動子（大）
４ａ・・・・第１の電極
４ｂ・・・・第２の電極
５ａ・・・・第１の段差部
５ｂ・・・・第２の段差部
６・・・・・配線導体
７ａ・・・・第１の蓋体
７ｂ・・・・第２の蓋体
８・・・・・凹部

Claims (4)

1. 上面に圧電振動子が収容される凹部を有する絶縁基体と、前記凹部の側面と底面との間に形成された第１の段差部と、前記絶縁基体の上面と前記凹部の側面との間で前記第１の段差部よりも上側に全周にわたって形成された第２の段差部と、前記凹部の底面の外周部に形成された第１の電極と、前記第１の段差部の上面に形成された第２の電極と、前記第１および第２の電極から前記絶縁基体の外表面に導出された配線導体とを具備しており、前記第１の電極または前記第２の電極の上面に前記圧電振動子の端部が接続され、前記圧電振動子が前記第１の電極に接続される場合は前記第２の段差部の上面に第１の蓋体が全周にわたって取着され、前記圧電振動子が前記第２の電極に接続される場合は前記絶縁基体の上面の前記第２の段差部の周囲に全周にわたって第２の蓋体が取着されることを特徴とする圧電振動子収納用パッケージ。
2. 前記圧電振動子は前記第１の電極に接続されるものの外形寸法が前記第２の電極に接続されるものの外形寸法よりも小さく、前記第１の蓋体は前記第２の蓋体よりも外形寸法が小さいことを特徴とする請求項１記載の圧電振動子収納用パッケージ。
3. 前記第１の段差部の高さが前記第１の電極に接続される圧電振動子の厚さよりも低く、前記第１の段差部の上面と前記第２の段差部の上面と間の距離が、前記第２の電極に接続される圧電振動子の厚さよりも小さいことを特徴とする請求項１または請求項２記載の圧電振動子収納用パッケージ。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の圧電振動子収容用パッケージと、前記凹部に収容されるとともに前記第１の電極または前記第２の電極に電気的に接続された前記圧電振動子と、前記第２の段差部の上面または前記絶縁基体の上面の前記第２の段差部の周囲に前記凹部を覆うように取着された蓋体とを具備していることを特徴とする圧電装置。

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