JP2005235890A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 原版ステージ上に保持された原版のパターンを、投影光学系を介して基板に投影転写する露光装置において、
   前記原版ステージに設けられ、第１の当接面を有し前記原版を保持する第１の原版保持手段と、
   前記原版ステージに設けられ、第２の当接面を有し前記原版を保持する第２の原版保持手段と、を備え、
   前記第２の当接面は、前記第１の当接面に対して弾性変位可能で、
   前記第２の当接面は、前記原版ステージ上で前記第１の当接面に接触した前記原版に、弾性変位して接触することを特徴とする露光装置。
2. 前記第１の当接面と前記第２の当接面の間に第３の当接面を有し前記原版を保持する第３の原版保持手段と、をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記第３の原版保持手段は、複数のピンで構成されることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
4. 前記原版を真空吸引する真空吸引手段と、をさらに備え、
   前記真空吸引手段は、前記原版が前記第１の当接面に接触してから前記第２の当接面が弾性変位して前記原版に接触するまでの間に、吸引を開始することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の露光装置。
5. 前記第１の当接面と前記第２当接面の間に形成される溝を介して前記原版を吸引する吸引手段と、をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の露光装置。
6. 前記第２の当接面が弾性変位して前記原版に接触する際、前記第１の原版保持手段と前記第２の原版保持手段が当接する部位が、テーパ構造のシール面になっていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の露光装置。
7. 前記第２の当接面が前記第１の当接面を取り囲むように設けられることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の露光装置。
8. 前記原版ステージは、４組の前記第１の原版保持手段および前記第２の原版保持手段を備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の露光装置。
9. 前記原版ステージ、および、前記基板を保持する基板ステージを露光光に対してスキャン移動させて露光することを特徴とする請求項１〜８に記載の露光装置。
10. 請求項１〜９のいずれか１つに記載の露光装置を用いてデバイスを製造する工程を有するデバイス製造方法。