JP2006041302A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 原版面に描かれたパターンを、投影光学系を介して基板に投影転写する露光装置において、
   該原版に当接し保持位置決めを行なう為の原版保持面が設けられた第１の原版保持部位と、前記第１の原版保持部位の原版保持面に対して異なる位置で該原版に当接し保持を行ない、前記第１の原版保持部位に対して相対的に変位可能に支持された第２の原版保持部位が設けられたことを特徴とする露光装置。
2. 前記第１の原版保持部位及び前記第２の原版保持部位の少なくともいずれかの原版保持面に、真空吸引手段または静電吸引手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記第１の原版保持部位と前記第２の原版保持部位は、該原版を保持する際に、両者の該原版保持部位の該原版保持面が該原版に当接することを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の露光装置。
4. 前記第２の原版保持部位の該原版保持面に真空吸引溝を有し、該真空吸引溝に該原版面と部分当接する部位を複数箇所設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の露光装置。
5. 前記第２の原版保持部位は、該原版面に対して略鉛直方向に弾性変位可能であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の露光装置。
6. 前記第２の原版保持部位は、前記第１の原版保持部位の外周部に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の露光装置。
7. 複数の前記第１の原版保持部位間に前記第２の原版保持部位が一体的に設けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の露光装置。
8. 前記第２の原版保持部位は、該原版面の位置決め計測手段の計測光透過孔が設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の露光装置。
9. 前記第２の原版保持部位は、複数の分割体を備えてなり、各分割体の原版保持面が該原版に対して独立して変位可能なことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の露光装置。
10. 請求項１〜９のいずれかに記載の露光装置を用いて露光対象に露光を行う工程と、露光された前記露光対象を現像する工程と、を具備することを特徴とするデバイス製造方法。