JP2008300394A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 第１の組の基板および第２の組の基板を接合させる基板接合装置であって、
   前記第１の組の基板を保持する第１の基板保持手段と、
   前記第２の組の基板を保持する第２の基板保持手段と、
   前記第１および第２の基板保持手段の内の少なくとも一方を他方に向けて移動させる移動手段と、
   前記第１および第２の組の基板の側面に光を照射する照明手段と、
   前記第１および第２の組の基板を隔てて、前記照明手段と対向する位置から、前記第１の組の基板および第２の組の基板の側面を撮影するカメラと、
   前記カメラの撮影した画像から、前記第１および第２の組の基板の間のギャップの値を求める画像処理手段と、を備えたことを特徴とする基板接合装置。
2. 基板がウエハであることを特徴とする請求項１に記載の基板接合装置。
3. 前記第１および第２の基板保持手段の内の少なくとも一方が、保持する基板の面の傾きを調整する傾き調整手段をさらに備え、
   前記画像処理手段が、前記カメラの撮影した画像から、前記第１の組の基板および前記第２の組の基板の傾きを求めるように構成されたことを特徴とする請求項１または２に記載の基板接合装置。
4. 前記照明手段および前記カメラの対が２対であり、一方の対の照明手段とカメラを結ぶ直線が他方の対の照明手段とカメラを結ぶ直線と直交するように配置されたことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の基板接合装置。
5. 基板接合装置によって、第１の組の基板および第２の組の基板を接合させる基板接合方法であって、
   前記第１および第２の組の基板の側面を照射する照明装置と、前記第１および第２の組の基板を隔てて、対向する位置に設置されたカメラによって、前記第１および第２の組の基板の側面の画像を取得するステップと、
   取得した画像を処理し、前記第１および第２の組の基板間のギャップの情報を求めるステップと、を含む基板接合方法。
6. 前記第１および第２の組の基板間のギャップの情報を求めるステップが、前記第１の組の基板および前記第２の組の基板の傾きを求めることを含むことを特徴とする請求項５に記載の基板接合方法。