JP2005218201A - モータ駆動装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 位置信号に対する応答性を低下させることなく、位置信号のノイズに起因して回転信号に発生するチャタリングを防止する。
【解決手段】 位置検出部10は、モータ巻線L1〜L3と回転子60との相対位置を示す位置信号101を出力する。交差検出部20aは、位置信号101と基準信号102との大小関係を表す回転信号241を出力する。通電制御信号生成部30は、回転信号241に基づき、モータ巻線L1〜L3に順次通電するための通電制御信号301を生成する。交差検出部20aでは、位置信号101と基準信号102との大小関係が逆転したときにエッジ信号221が出力され、エッジ信号221の出力から所定の時間に亘ってマスク信号231が出力される。マスク信号231が出力されている間、交差検出部20aは、回転信号241として、マスク信号231が出力される前に入力されていた比較結果信号211を出力し続ける。
【選択図】 図1

Description

本発明は、モータ駆動装置に関し、より特定的には、モータ巻線と回転子との相対位置を検出し、モータの回転を連続的に制御するモータ駆動装置に関する。
モータ駆動装置は、モータ巻線と回転子との相対位置を表す位置信号を求め、位置信号とその基準値との大小関係を表す回転信号を求め、回転信号に基づきモータに供給する電力を連続的に制御する。このとき、モータ駆動装置で発生したノイズが位置信号に回り込み、回転信号にチャタリングが発生する場合がある。そこで、回転信号に発生するチャタリングを防止するために、従来のモータ駆動装置では、ローパスフィルタを用いて位置信号に含まれるノイズを除去する方法や、ヒステリシスを有する比較器を用いて位置信号と基準値とを比較する方法が採用されている。
図9は、従来のモータ駆動装置の構成を示す図である。図9に示すモータ駆動装置9は、位置検出部10、交差検出部29、通電制御信号生成部30、パルス幅変調(Pulse Width Modulation:以下、PWMと記載する)信号生成部40、ゲート回路50、およびパワートランジスタQ1〜Q6を備えている。モータ駆動装置9では、ヒステリシスを有する交差検出部29を用いて、位置信号と基準値とを比較する方法が採用されている。
図9において、位置検出部10は、モータ巻線L1〜L3と回転子60との相対位置を検出し、その結果を表す位置信号101を出力する。交差検出部29には、位置信号101と、位置信号101の基準レベルを示す基準信号102とが入力される。交差検出部29は、比較器21を用いて、位置信号101と基準信号102とを比較し、両者の大小関係を表す回転信号291を出力する。交差検出部29は、位置信号101と基準信号102との大小関係が逆転したときに、基準信号102のレベルを所定の方向に所定量だけ変化させる。具体的には、位置信号101が基準信号102よりも大きくなったときには、基準信号102のレベルを所定量だけ小さくし、位置信号101が基準信号102よりも小さくなったときには、基準信号102のレベルだけ所定量だけ大きくする。
通電制御信号生成部30は、回転信号291に基づき、モータ巻線L1〜L3に順次通電するための通電制御信号301を出力する。PWM信号生成部40は、所定の時間幅を有するPWM信号401を生成する。ゲート回路50は、通電制御信号301とPWM信号401との論理積を求める。パワートランジスタQ1〜Q6は、通電制御信号301とゲート回路50の出力信号とに基づき、モータ巻線L1〜L3に電力を供給する。
図10は、交差検出部29の入出力信号を示す信号波形図である。図10に示すように、位置信号101は、理想的には、回転子60の回転に合わせて周期的に変化する正弦波(図10では破線で示す)であり、基準信号102は一定レベルの信号である。しかしながら、実際の位置信号101(図10では実線で示す)には、一定の振幅および周期を有するノイズが混入する。
したがって、交差検出部29がヒステリシスを有していない場合には、位置信号101と基準信号102との大小関係が逆転する前後の時間帯で、回転信号291にチャタリングが発生する。これに対して、交差検出部29がヒステリシスを有する場合には、上記時間帯においても、回転信号291にチャタリングは発生しない。よって、ヒステリシスを有する交差検出部29を用いることにより、回転信号291に発生するチャタリングを防止することができる。
また、本発明に関連を有する他の先行技術としては、特許文献1に、マスク信号生成回路に外付けされたコンデンサの容量を、コントローラからの制御信号に従い、低速回転および高速回転に適した容量に設定することにより、センサレススピンドルモータを安定的に駆動する技術が開示されている。
特開2002−10678号公報
しかしながら、上記従来のモータ駆動装置には、以下に示す問題がある。ローパスフィルタを用いて位置信号に含まれるノイズを除去するモータ駆動装置では、ノイズの除去レベルを高めるために、ローパスフィルタに含まれるコンデンサの容量を大きくすると、ローパスフィルタにおける遅延時間が大きくなる。このため、回転信号の出力が遅延し、検出した位置信号に対する応答性が低下する。特に、高速回転するモータでは、わずかな遅延時間が大きな位相遅れに対応するため、応答性の低下は大きな問題となる。
また、ヒステリシスを有する比較器を用いて位置信号と基準値とを比較するモータ駆動装置では、回転信号が変化するのは、位置信号と基準信号との大小関係が逆転したときから、所定の遅延時間(図10に示す時間T1)だけ経過した後である。また、この遅延時間は、モータの回転数には依存せず、比較器のヒステリシス幅に依存して定まる。このため、位置信号が緩慢に変化する場合には、上記遅延時間が大きくなり、回転信号の出力が遅延する。また、比較器の特性(例えば、ヒステリシス幅)がばらつく場合には、比較器から出力される回転信号にもばらつきが生じる。また、ノイズのレベルと比べてヒステリシス幅が小さい場合には、回転信号にチャタリングが発生するので、予めノイズのレベルを想定して、比較器のヒステリシス幅を決定する必要がある。
それ故に、本発明の目的は、位置信号に対する応答性が高く、回転信号に発生するチャタリングを防止したモータ駆動装置を提供することである。また、本発明のさらなる目的は、回転信号が変化するタイミングを自由に変更できるモータ駆動装置を提供することである。
本発明のモータ駆動装置は、制御対象のモータに含まれる複数相のモータ巻線と回転子との相対位置を検出し、位置信号を出力する位置検出部と、位置信号と当該信号の基準レベルとを比較し、両者の大小関係を表す回転信号を出力する交差検出部と、回転信号に基づき、複数相のモータ巻線に順次通電するための通電制御信号を生成する通電制御信号生成部と、所定の時間幅を有するパルス幅変調信号を生成するパルス幅変調信号生成部と、通電制御信号とパルス幅変調信号とに対して論理演算を行うゲート回路と、通電制御信号とゲート回路の出力信号とに基づき、複数相のモータ巻線に電力を供給する複数のパワートランジスタとを備える。交差検出部は、位置信号と基準レベルとを比較し、両者の大小関係を表す仮の回転信号を出力する比較器と、位置信号と基準レベルとの大小関係が逆転したときから所定のマスク時間に亘って、マスク信号を出力するマスク信号生成部と、マスク信号が出力されていない間は、仮の回転信号を回転信号として出力し、マスク信号の出力が開始されたときに、仮の回転信号を内部に保持し、マスク信号が出力されている間は、内部に保持した信号を回転信号として出力する出力信号保持部と含む。
この場合、交差検出部は、仮の回転信号が変化したときに、エッジ信号を出力するエッジ信号生成部をさらに含み、マスク信号生成部は、エッジ信号が出力されたときからマスク時間に亘って、マスク信号を出力してもよい。
また、マスク信号生成部は、与えられたクロック信号や、所定の時間だけ信号を遅延させる遅延回路を用いて、マスク時間を計測してもよい。また、マスク信号生成部におけるマスク時間を、位置信号の周波数に応じて設定してもよい。
また、交差検出部は、回転信号の出力を所定の遅延時間だけ遅延させる出力信号遅延部をさらに含んでいてもよい。この場合、出力信号遅延部は、与えられたクロック信号や、所定の時間だけ信号を遅延させる遅延回路を用いて、遅延時間を計測してもよい。また、出力信号遅延部における遅延時間を、位置信号の周波数に応じて設定してもよい。
また、マスク信号生成部は、パルス幅変調信号が出力される前後の所定の時間に亘って、マスク信号を生成してもよい。
本発明のモータ駆動装置によれば、回転信号にチャタリングが発生するときに、マスク信号を発生させ、回転信号を変化させないので、位置信号に対する応答性を低下させることなく、回転信号に発生するチャタリングを防止することができる。
また、エッジ信号生成部を用いることにより、交差検出部を容易に構成することができる。
また、与えられたクロック信号や遅延回路を用いてマスク時間を計測することにより、マスク時間を自由な値に設定することができる。また、位置信号の周波数に応じてマスク時間を設定することにより、マスク時間を好適な値に設定することができる。
また、出力信号遅延部を備えることにより、回転信号が変化するタイミングを自由に変更することができる。また、与えられたクロック信号や遅延回路を用いて、出力信号遅延部における遅延時間を計測することにより、遅延時間を自由な値に設定することができる。また、位置信号の周波数に応じて遅延時間を設定することにより、遅延時間を好適な値に設定することができる。
また、パルス幅変調信号が出力されるときにもマスク信号を生成することにより、位置信号にPWMノイズが混入する場合でも、回転信号に発生するチャタリングを防止することができる。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係るモータ駆動装置の構成を示す図である。図1に示すモータ駆動装置1は、位置検出部10、交差検出部20a、通電制御信号生成部30、PWM信号生成部40、ゲート回路50、およびパワートランジスタQ1〜Q6を備えている。モータ駆動装置1は、複数相のモータ巻線L1〜L3と回転子60とを備えたモータの回転を連続的に制御する。
図1において、位置検出部10は、モータ巻線L1〜L3と回転子60との相対位置を検出し、その結果を示す位置信号101を出力する。位置信号101は、交差検出部20aに入力される。これに加えて交差検出部20aには、位置信号101の基準レベルを示す基準信号102が入力される。具体的には、基準信号102は、位置信号101の交流的ゼロ点を示す信号である。ここで、位置信号101の交流的ゼロ点とは、センサを用いずにモータを駆動する場合には、位置信号101の中点電位であり、センサを用いてモータを駆動する場合には、ホールセンサから出力される2種類の逆位相の位置信号の交点電位である。基準信号102は、モータ駆動装置1の内部で位置信号101に基づき生成されることとしてもよく、モータ駆動装置1の外部から入力されることとしてもよい。
交差検出部20aは、位置信号101と基準信号102とを比較し、両者の大小関係を表す回転信号241を出力する。交差検出部20aの詳細は、後述する。通電制御信号生成部30は、回転信号241に基づき、モータ巻線L1〜L3に順次通電するための6本の通電制御信号301を出力する(図2を参照)。PWM信号生成部40は、平均モータ駆動電流の大きさに応じた時間幅を有するPWM信号401を生成する。ゲート回路50は、通電制御信号301とPWM信号401とを論理積を求める(図2を参照)。通電制御信号301のうち3本の信号は、パワートランジスタQ1、Q3、Q5の制御端子に直接入力される。残余の3本の通電制御信号301は、ゲート回路50を経由して、パワートランジスタQ2、Q4、Q6の制御端子に入力される。
パワートランジスタQ1〜Q6は、通電制御信号301とゲート回路50の出力信号とに基づき、モータ巻線L1〜L3に電力を供給する。パワートランジスタQ1〜Q6は、NPNトランジスタまたはPNPトランジスタのいずれで構成されていてもよく、バイポーラトランジスタやMOSトランジスタなど、いずれの種類のトランジスタで構成されていてもよい。なお、モータ駆動装置1では、ゲート回路50の出力信号はパワートランジスタQ2、Q4、Q6の制御端子に入力されているが、ゲート回路50の出力信号をパワートランジスタQ1、Q3、Q5の制御端子に入力してもよい。また、パワートランジスタQ2、Q4、Q6の前と、パワートランジスタQ1、Q3、Q5の前との双方にゲート回路50を設けて、上下のパワートランジスタの動作タイミングを外しながら、ゲート回路50の出力信号を上下のパワートランジスタの制御端子にそれぞれ入力してもよい(いわゆる上下チョップ方式)。
以下、交差検出部20aの詳細を説明する。交差検出部20aは、図1に示すように、比較器21、エッジ信号生成部22、マスク信号生成部23、および出力信号保持部24を含んでいる。比較器21は、位置信号101と基準信号102とを比較し、両者の大小関係を示す仮の位置信号として比較結果信号211を出力する。比較器21は、ヒステリシスを有していても、有していなくてもよい。
エッジ信号生成部22は、比較結果信号211が変化したときに、エッジ信号221を出力する。言い換えると、エッジ信号生成部22は、位置信号101と基準信号102との大小関係が逆転したときに、エッジ信号221を出力する。マスク信号生成部23は、エッジ信号221が出力されたときから所定の時間(以下、マスク時間という)に亘って、マスク信号231を出力する。出力信号保持部24は、マスク信号231が出力されていない間は、比較結果信号211をそのまま回転信号241として出力し、マスク信号231の出力が開始されたときに、比較結果信号211を内部に保持し、マスク信号231が出力されている間は、内部に保持した信号を回転信号241として出力する。
マスク信号生成部23は、例えば、与えられたクロック信号を用いてマスク時間を測定してもよい。あるいは、マスク信号生成部23は、所定の時間だけ信号を遅延させる遅延回路を用いてマスク時間を測定してもよい。このようなマスク信号生成部23を用いることにより、マスク時間を任意の値に設定することができる。また、マスク信号生成部23におけるマスク時間を、位置信号101の周波数に応じて設定してもよい。例えば、位置信号101の周波数をfとしたときに、マスク時間を1/(2f)未満の値に設定してもよい。これにより、マスク時間を好適な値に設定することができる。
図3は、交差検出部20aの具体的な構成例を示す図である。図3に示すように、出力信号保持部24は、スイッチ25およびフリップフロップ26を含んでいる。スイッチ25の一端には、位置信号101よりも高い周波数を有するクロック信号251が供給される。マスク信号231が出力されていない間、スイッチ25は導通状態となり、マスク信号231が出力されている間、スイッチ25は開放状態となる。これにより、マスク信号231が出力されていない間、フリップフロップ26にはクロック信号251が供給され、交差検出部20aは、比較結果信号211に追随して変化する回転信号241を出力する。これに対して、マスク信号231が出力されている間、フリップフロップ26にはクロック信号251は供給されず、回転信号241は変化しない。このため、マスク信号231が出力されている間は、交差検出部20aは、マスク信号231が出力される前に入力されていた比較結果信号211を、回転信号241として出力し続ける。
図4は、図10に示す信号波形図に、交差検出部20aから出力される回転信号241を追加した図である。図4に示すように、ヒステリシスを有していない交差検出部29を使用した場合の回転信号291には、チャタリングが発生する。また、ヒステリシスを有する交差検出部29を使用した場合の回転信号291は、位置信号101の理想値と基準信号102との大小関係が逆転してから、遅延時間T1だけ遅れて変化する。これに対して、交差検出部20aから出力される回転信号241は、位置信号101の理想値と基準信号102との大小関係が逆転したときから、所定のマスク時間(図4に示すT2)に亘って変化しない。したがって、モータ駆動装置1では、回転信号241にチャタリングは発生しない。また、回転信号241は、位置信号101の理想値と基準信号102との大小関係が逆転するよりも前に、実際の位置信号101と基準信号102との大小関係が最初に逆転したときに変化する。
以上に示すように、本実施形態に係るモータ駆動装置によれば、位置信号と基準信号との大小関係が逆転したときから所定のマスク時間に亘ってマスク信号が出力され、マスク信号が出力されている間は、回転信号は変化しない。したがって、位置信号にノイズが混入した場合でも、回転信号にチャタリングが発生せず、回転信号は、ノイズが混入していないと仮定した場合の回転信号よりも早く変化する。よって、本実施形態に係るモータ駆動装置によれば、位置信号に対する応答性を低下させることなく、回転信号に発生するチャタリングを防止することができる。
(第2の実施形態)
図5は、本発明の第2の実施形態に係るモータ駆動装置の構成を示す図である。図5に示すモータ駆動装置2は、第1の実施形態に係るモータ駆動装置1(図1)において、交差検出部20aを交差検出部20bに置換したものである。交差検出部20bは、交差検出部20aに出力信号遅延部27を追加したものである。本実施形態の構成要素のうち、第1の実施形態と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する。
出力信号遅延部27は、出力信号保持部24と通電制御信号生成部30との間に設けられ、出力信号保持部24から出力された回転信号241を所定の遅延時間だけ遅延させる。出力信号遅延部27における遅延時間は、図示しない手段により、モータ駆動装置1の外部から任意の値に設定される。出力信号遅延部27の出力信号が、交差検出部20bから出力された回転信号271となる。なお、出力信号遅延部27を、位置検出部10と比較器21との間、あるいは、比較器21と出力信号保持部24との間に設けてもよい。
出力信号遅延部27は、例えば、与えられたクロック信号を用いて、遅延時間を測定してもよい。あるいは、出力信号遅延部27は、所定の時間だけ信号を遅延させる遅延回路を用いて、遅延時間を測定してもよい。このような出力信号遅延部27を用いることにより、遅延時間を任意の値に設定することができる。また、出力信号遅延部27における遅延時間を、位置信号101の周波数に応じて設定してもよい。例えば、位置信号101の周波数をfとしたときに、遅延時間を1/(2f)未満の値に設定してもよい。これにより、遅延時間を好適な値に設定することができる。
図6は、図4に示す信号波形図に、交差検出部20bから出力される回転信号271を追加した図である。図6に示すように、回転信号271は、第1の実施形態に係る交差検出部20aから出力される回転信号241から、所定の遅延時間T3だけ遅れる。したがって、遅延時間T3を適切な値に設定することにより、回転信号271が変化するタイミングを容易に変更することができる。例えば、位置信号101の理想値と基準信号102との大小関係が逆転したときに回転信号271が変化するように、回転信号271が変化するタイミングを変更することができる。
以上に示すように、本実施形態に係るモータ駆動装置によれば、位置信号に対する応答性を低下させることなく、回転信号に発生するチャタリングを防止するとともに、回転信号が変化するタイミングを容易に変更することができる。
(第3の実施形態)
図7は、本発明の第3の実施形態に係るモータ駆動装置の構成を示す図である。図7に示すモータ駆動装置3は、第2の実施形態に係るモータ駆動装置2(図5)において、交差検出部20bを交差検出部20cに置換したものである。交差検出部20cは、交差検出部20bにおいて、マスク信号生成部23をマスク信号生成部28に置換したものである。本実施形態の構成要素のうち、第2の実施形態と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する。
マスク信号生成部28は、マスク信号生成部23と同様に、エッジ信号221が出力されたときから所定のマスク時間に亘って、マスク信号281を出力する。これに加えて、マスク信号生成部28は、PWM信号401が出力される前後の所定の時間に亘って、マスク信号281を出力する。より詳細には、PWM信号生成部40は、PWM信号401を出力するタイミングを示すタイミング信号402を出力し、マスク信号生成部28は、タイミング信号402に従いマスク信号281を出力する。
図8は、マスク信号281が生成されるタイミングを示す信号波形図である。図8に示すように、位置信号101には、PWM信号401が出力されている間、PWMノイズ70と呼ばれるノイズが混入する。このようなPWMノイズ70が混入すると、回転信号271にチャタリングが発生しやすくなる。そこで、マスク信号生成部28は、PWM信号401が出力される前後の所定の時間に亘って、マスク信号281を出力する(図8を参照)。これにより、位置信号101にPWMノイズ70が混入している間、回転信号271は変化しなくなる。したがって、位置信号101にPWMノイズ70が混入する場合でも、回転信号271に発生するチャタリングを防止することができる。
以上に示すように、本実施形態に係るモータ駆動装置によれば、位置信号に対する応答性を低下させることなく、位置信号にPWMノイズが混入する場合でも、回転信号に発生するチャタリングを防止するとともに、回転信号が変化するタイミングを容易に変更することができる。
なお、上記第3の実施形態では、第2の実施形態に係るモータ駆動装置2に含まれるマスク信号生成部23に、PWM信号401が出力される前後の所定の時間に亘ってマスク信号281を出力する機能を追加することとしたが、第1の実施形態に係るモータ駆動装置1に含まれるマスク信号生成部23に同様の機能を追加してもよい。このような第3の実施形態の変形例に係るモータ駆動装置によれば、位置信号に対する応答性を低下させることなく、位置信号にPWMノイズが混入する場合でも、回転信号に発生するチャタリングを防止することができる。
本発明のモータ駆動装置は、位置信号に対する応答性を低下させることなく、回転信号に発生するチャタリングを防止できるという効果を奏するので、DVDディスクドライブを始めとして、各種のモータ駆動装置に利用することができる。
本発明の第1の実施形態に係るモータ駆動装置の構成を示す図 モータ駆動装置における通電制御信号を示す信号波形図 図1に示すモータ駆動装置の交差検出部の具体的な構成例を示す図 図1に示すモータ駆動装置の交差検出部の入出力信号を示す信号波形図 本発明の第2の実施形態に係るモータ駆動装置の構成を示す図 図5に示すモータ駆動装置の交差検出部の入出力信号を示す信号波形図 本発明の第3の実施形態に係るモータ駆動装置の構成を示す図 図7に示すモータ駆動装置において、マスク信号が生成されるタイミングを示す信号波形図 従来のモータ駆動装置の構成を示す図 従来のモータ駆動装置の交差検出部の入出力信号を示す信号波形図
符号の説明
1、2、3…モータ駆動装置
10…位置検出部
20…交差検出部
21…比較器
22…エッジ信号生成部
23、28…マスク信号生成部
24…出力信号保持部
25…スイッチ
26…フリップフロップ
27…出力信号遅延部
30…通電制御信号生成部
40…PWM信号生成部
50…ゲート回路
60…回転子
70…PWMノイズ
101…位置信号
102…基準信号
211…比較結果信号
221…エッジ信号
231、281…マスク信号
241、271…回転信号
251…クロック信号
301…通電制御信号
401…PWM信号
402…タイミング信号
Q1〜Q6…パワートランジスタ
L1〜L3…モータ巻線

Claims (10)

  1. モータの回転を制御するモータ駆動装置であって、
    制御対象のモータに含まれる複数相のモータ巻線と回転子との相対位置を検出し、位置信号を出力する位置検出部と、
    前記位置信号と当該信号の基準レベルとを比較し、両者の大小関係を表す回転信号を出力する交差検出部と、
    前記回転信号に基づき、前記複数相のモータ巻線に順次通電するための通電制御信号を生成する通電制御信号生成部と、
    所定の時間幅を有するパルス幅変調信号を生成するパルス幅変調信号生成部と、
    前記通電制御信号と前記パルス幅変調信号とに対して論理演算を行うゲート回路と、
    前記通電制御信号と前記ゲート回路の出力信号とに基づき、前記複数相のモータ巻線に電力を供給する複数のパワートランジスタとを備え、
    前記交差検出部は、
    前記位置信号と前記基準レベルとを比較し、両者の大小関係を表す仮の回転信号を出力する比較器と、
    前記位置信号と前記基準レベルとの大小関係が逆転したときから所定のマスク時間に亘って、マスク信号を出力するマスク信号生成部と、
    前記マスク信号が出力されていない間は、前記仮の回転信号を前記回転信号として出力し、前記マスク信号の出力が開始されたときに、前記仮の回転信号を内部に保持し、前記マスク信号が出力されている間は、内部に保持した信号を前記回転信号として出力する出力信号保持部と含む、モータ駆動装置。
  2. 前記交差検出部は、前記仮の回転信号が変化したときに、エッジ信号を出力するエッジ信号生成部をさらに含み、
    前記マスク信号生成部は、前記エッジ信号が出力されたときから前記マスク時間に亘って、前記マスク信号を出力することを特徴とする、請求項1に記載のモータ駆動装置。
  3. 前記マスク信号生成部は、与えられたクロック信号を用いて、前記マスク時間を計測することを特徴とする、請求項1に記載のモータ駆動装置。
  4. 前記マスク信号生成部は、所定の時間だけ信号を遅延させる遅延回路を用いて、前記マスク時間を計測することを特徴とする、請求項1に記載のモータ駆動装置。
  5. 前記マスク信号生成部における前記マスク時間は、前記位置信号の周波数に応じて設定されることを特徴とする、請求項1に記載のモータ駆動装置。
  6. 前記交差検出部は、前記回転信号の出力を所定の遅延時間だけ遅延させる出力信号遅延部をさらに含む、請求項1に記載のモータ駆動装置。
  7. 前記出力信号遅延部は、与えられたクロック信号を用いて、前記遅延時間を計測することを特徴とする、請求項6に記載のモータ駆動装置。
  8. 前記出力信号遅延部は、所定の時間だけ信号を遅延させる遅延回路を用いて、前記遅延時間を計測することを特徴とする、請求項6に記載のモータ駆動装置。
  9. 前記出力信号遅延部における前記遅延時間は、前記位置信号の周波数に応じて設定されることを特徴とする、請求項6に記載のモータ駆動装置。
  10. 前記マスク信号生成部は、前記パルス幅変調信号が出力される前後の所定の時間に亘って、前記マスク信号を生成することを特徴とする、請求項1に記載のモータ駆動装置。
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