JP2005216562A - マイクロリレー - Google Patents
マイクロリレー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005216562A JP2005216562A JP2004019000A JP2004019000A JP2005216562A JP 2005216562 A JP2005216562 A JP 2005216562A JP 2004019000 A JP2004019000 A JP 2004019000A JP 2004019000 A JP2004019000 A JP 2004019000A JP 2005216562 A JP2005216562 A JP 2005216562A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- armature
- contact
- movable
- substrate
- movable substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】アマチュア30は、電磁石装置2との間に作用する磁力によりシーソ動作することで可動接点を固定接点14に離接させる。アマチュア30は、ケースAに固定されたフレーム31と連続一体に形成される半導体材料からなる可動基板30aと、可動基板30aの厚み方向の少なくとも一面に積層され電磁石装置2との間に磁力を作用させる磁性体材料からなる接極子板30bとを備える。可動基板30aは単結晶シリコンからなり、<100>方向をアマチュア30のシーソ動作の支点と可動接点とを結ぶ方向に一致させてある。したがって、可動基板30aは接極子板30bの熱膨張による伸縮に追随して伸縮させることができ、熱膨張によるアマチュア30の反りを抑制できる。
【選択図】 図1
Description
3 アマチュアブロック
14 固定接点
20 ヨーク
22 コイル
30 アマチュア
30a 可動基板
30b 接極子板
31 フレーム
36b 支点突起
39 可動接点
52 弾性部
A ケース
Claims (4)
- コイルを巻装したヨークを備えケースに収納される電磁石装置と、ケースに固定される枠状のフレームを有するとともにフレームと一体であってフレームの内側に配置され電磁石装置との間に作用する磁力により規定の支点の回りでシーソ動作するアマチュアを有したアマチュアブロックと、ケースの定位置に設けた固定接点とアマチュアの端部の移動により固定接点に離接する可動接点とからなりアマチュアのシーソ動作により開閉する接点装置とを有し、アマチュアは、フレームと連続一体に形成される半導体材料からなる可動基板と、可動基板の厚み方向の少なくとも一面に積層され電磁石装置との間に磁力を作用させる磁性体材料からなる接極子板と、アマチュアのシーソ動作の支点と可動接点とを結ぶ方向において可動基板を接極子板の熱膨張による伸縮に追随して伸縮させる伸縮部とを備えることを特徴とするマイクロリレー。
- 前記伸縮部は、可動基板の面内でアマチュアのシーソ動作の支点と可動接点との間の部位にリング状に形成された弾性部であることを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
- 前記伸縮部は、可動基板の面内でアマチュアのシーソ動作の支点と可動接点との間の部位に蛇行状に形成された弾性部であることを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
- 前記可動基板は単結晶シリコンからなり、前記伸縮部の伸縮方向は<100>方向に一致することを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004019000A JP4069870B2 (ja) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | マイクロリレー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004019000A JP4069870B2 (ja) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | マイクロリレー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005216562A true JP2005216562A (ja) | 2005-08-11 |
JP4069870B2 JP4069870B2 (ja) | 2008-04-02 |
Family
ID=34903351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004019000A Expired - Fee Related JP4069870B2 (ja) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | マイクロリレー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4069870B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008120503A1 (ja) | 2007-02-28 | 2008-10-09 | Max Co., Ltd. | 用紙処理装置及びコイル成形機 |
WO2008120504A1 (ja) | 2007-02-28 | 2008-10-09 | Max Co., Ltd. | 用紙処理装置 |
-
2004
- 2004-01-27 JP JP2004019000A patent/JP4069870B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008120503A1 (ja) | 2007-02-28 | 2008-10-09 | Max Co., Ltd. | 用紙処理装置及びコイル成形機 |
WO2008120504A1 (ja) | 2007-02-28 | 2008-10-09 | Max Co., Ltd. | 用紙処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4069870B2 (ja) | 2008-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4183008B2 (ja) | マイクロリレー | |
CA2520250C (en) | Micro relay | |
JP4222320B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4069870B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4059203B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4265542B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4059202B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4222319B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4059205B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4222318B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4059201B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP2005216558A (ja) | マイクロリレー | |
JP4059199B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP2006210082A (ja) | マイクロリレー | |
JP4059198B2 (ja) | マイクロリレーおよびその製造方法 | |
JP4059204B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4059200B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4069869B2 (ja) | マイクロリレーおよびこれを用いたマトリクスリレー | |
JP4196008B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4063228B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP2005216543A (ja) | マイクロリレー | |
JP2011134506A (ja) | 接点装置及びそれを用いたリレー、並びにマイクロリレー | |
JP2005216556A (ja) | マイクロリレー | |
JP2011086588A (ja) | 接点装置及びそれを用いたリレー、並びにマイクロリレー | |
JP2011086589A (ja) | 接点装置及びそれを用いたリレー、並びにマイクロリレー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060403 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070704 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070904 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20071127 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20071210 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080107 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |