JP2005209859A - ウェハー搬送処理方法とこれを用いる半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体製造装置のウェハー加工容器内のウェハー位置ズレによる搬送ミスを防止し、さらにウェハー加工における異常も防ぐ。
【解決手段】搬入ウェハーを予備テーブルが上昇して真空吸着する前に、他のテーブルの排気動作の完了確認まで待機する(S21)。テーブルに載せるためウェハーを吸着状態で予備テーブルを下降し、かつ下降後の1秒間はウェハー1を真空吸着状態とする(S22)。ウェハー加工容器内のガス排出部8からスロー排気を始める際、加工容器内の圧力変動の影響を避けるためウェハーを真空吸着状態で開始、その後ウェハーの吸着解除する(S23)。また、ウェハーの加工を終了してテーブルが降下した後の予備テーブル上昇と同時にウェハーを真空吸着する際、他のテーブルの排気動作の完了を確認する(S24)。各処理により、ウェハー加工容器内でのウェハー位置ズレによる搬送ミスやウェハー加工時の異常をなくすことができる。
【選択図】図1
【解決手段】搬入ウェハーを予備テーブルが上昇して真空吸着する前に、他のテーブルの排気動作の完了確認まで待機する(S21)。テーブルに載せるためウェハーを吸着状態で予備テーブルを下降し、かつ下降後の1秒間はウェハー1を真空吸着状態とする(S22)。ウェハー加工容器内のガス排出部8からスロー排気を始める際、加工容器内の圧力変動の影響を避けるためウェハーを真空吸着状態で開始、その後ウェハーの吸着解除する(S23)。また、ウェハーの加工を終了してテーブルが降下した後の予備テーブル上昇と同時にウェハーを真空吸着する際、他のテーブルの排気動作の完了を確認する(S24)。各処理により、ウェハー加工容器内でのウェハー位置ズレによる搬送ミスやウェハー加工時の異常をなくすことができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体製造装置におけるウェハーの搬送とウェハーの処理を行う、ウェハー搬送処理方法とこれを用いる半導体製造装置に関するものである。
従来のこの種の半導体製造装置は、非特許文献1に記載されるように、石英の容器内を真空ポンプにて排気して真空状態とし、加工対象のウェハーを容器内の温度制御したテーブル上に載置して、ガスを導入することによりウェハー表面上の被膜を加工する装置である。
図2に従来の半導体製造方法であるウェハー加工部へのウェハー搬送処理方法におけるフローチャートを示し、半導体製造装置におけるウェハー加工部の概略構成を図3に示す。従来のウェハー搬送処理方法について、図2のフローチャートに基づき図3を参照しながらその動作を説明する。
ロボット(図示せず)の移動により、ウェハー加工容器6内に存在するテーブル4の上部にウェハー1の搬入を行う(S1)。そして、予備テーブル3が上昇してウェハー1を予備テーブル3上に載置すると、ロボットはウェハー加工容器6内から出る。このときウェハー1は、予備テーブル3上で真空ライン5を通る空気流にて真空吸着されている(S2)。
引き続き、予備テーブル3は下降し、下降の終わった時点でウェハー1の真空吸着は解除する(S3)。この状態で、テーブル4上にウェハー1が載り、ウェハーガイド2の内側に収まる。次にテーブル4が上昇し、これに同期してウェハー1はテーブル4に予備テーブル3の真空ライン5を通る空気流にて真空吸着する(S4)。
テーブル4が上昇し終わった時点で、他のテーブルの排気状態を確認し(S5)、排気状態である場合は(S5のYes)、その状態で終了まで待つ。処理S5にて、他のテーブル(ウェハー加工容器6)が排気状態でない場合は(S5のNo)、真空ポンプにてウェハー加工容器6内を緩やかな状態でガス排出部8からスロー排気を開始し、かつウェハー1の真空吸着を解除する(S6)。一定圧力到達後は一気に排気を行って目的圧力まで排気を行う(S7)。この状態を保ちながら、ガス導入部7からウェハー1の加工に使用するガスを導入し、圧力安定後、ウェハー1の加工を行う(S8)。
ウェハー1の加工終了後、ガス導入部7からのガスパージ動作を行い(S9)、ウェハー加工容器6内を一定圧力状態まで戻しながら、テーブル4を下降させる(S10)。テーブル4が降下し終わった後、ウェハー1を真空吸着し予備テーブル3を上昇させる(S11)。予備テーブル3が上昇し終わった後、ロボットが容器内に入りテーブル4の上部に移動する(S12)。予備テーブル3が下降を始めてウェハー1をロボット上に載せ、同時にウェハー1の真空吸着を解除する(S13)。予備テーブル3が下降し終わった後、ロボットは容器内からウェハー1を搬出する(S14)。これまでが、従来の半導体製造装置におけるウェハー搬送処理方法である。
前田和夫著,「はじめての半導体製造装置」,第1版,工業調査会出版,1999年03月10日発行,p163.図5.37
前田和夫著,「はじめての半導体製造装置」,第1版,工業調査会出版,1999年03月10日発行,p163.図5.37
しかしながら、このような構成の半導体製造装置のウェハー搬送処理方法には、第1に、ウェハー1の吸着動作時並びにガス導入部7からのパージガス導入時に、ウェハー1がテーブル4上で動き、ウェハーガイド2に乗り上げるために、正規の位置からズレが発生し、ロボットとテーブル4上のウェハー1を受け渡しする際、正常にロボットがウェハー1を認識することができず受け渡しミスを起こしていた。また、ウェハー1の受け渡しができたとしても、正常な位置からズレた状態でロボットが搬送するために、ウェハー1の落下が発生していた。これらの現象は、テーブル4上のウェハーガイド2における製作上の加工精度や、高さの適正化が取れていないために起こる現象ではなく、テーブル4と予備テーブル3上でのウェハー1吸着時に発生し、微少なウェハー1の動きによるものであることを、ウェハー加工容器6外からの観察によって確認することができた。また、(パージ)ガス導入部7からのガス導入時にも、ウェハー1を真空ライン5を通る空気流により真空吸着してテーブル4が上昇する状態において、ウェハー1の微少な移動が起こり得ることが想定でき、前述したようなテーブル4上のウェハー1の動きに起因する搬送異常という課題があった。
第2には、図3に示すウェハー加工容器6内にウェハー1を搬入し、テーブル4上にウェハー1を載せる際に、予備テーブル3の下降時にウェハー1を真空ライン5にて真空吸着した状態から解除しスロー排気が始まる時に空気流の逆流が起こり、容器内の圧力の変化でウェハー1が、正規の位置からズレが生じる。ウェハー1が正規の位置からズレた状態のままで、例えばウェハーガイド2上に乗った状態で加工した場合、ウェハー1に異常電圧が掛かり、ウェハー1上の回路の一部を破壊することがある。このようにウェハー1が位置ズレを起こし、ウェハーガイド2上に乗った場合は、テーブル4からウェハー1の端面が浮く形となり、電位が正常な状態でなくなるために異常の原因となる可能性が高いと推察でき、テーブル4上のウェハー1の動きによりウェハー加工に異常が生じるという課題があった。
本発明は、前記従来技術の課題を解決することに指向するものであり、ロボットによるウェハーの搬入と搬出、およびウェハーを加工するウェハー加工容器6内に設けたテーブル4,予備テーブル3,真空ライン5,ウェハーガイド2,並びにテーブル4,予備テーブル3の上昇と下降の動作等を見直し、半導体製造装置におけるウェハー加工容器内でウェハーの位置ズレによる装置の搬送ミスを防止し、さらにウェハー加工における異常も防ぐ、ウェハー搬送処理方法とこれを用いる半導体製造装置を提供することを目的とする。
この目的を達成するために、本発明に係るウェハー搬送処理方法は、半導体製造装置のウェハー加工容器内のテーブル上にウェハーを搬入および搬出して前記ウェハーを加工処理するウェハー搬送処理方法であって、前記ウェハー加工容器内のテーブル上に載置する際に、当該ウェハー加工容器外の他のテーブルにおいて排気処理実行の可否確認を行うことを特徴とする。
また、半導体製造装置のウェハー加工容器内のテーブル上にウェハーを搬入および搬出して前記ウェハーを加工処理するウェハー搬送処理方法であって、前記ウェハーを真空吸着状態で予備テーブルを下降させ、降下後のテーブル上に前記ウェハーを載置した一定時間経過後に前記ウェハーの真空吸着の解除を行うことを特徴とする。
また、半導体製造装置のウェハー加工容器内のテーブル上にウェハーを搬入および搬出して前記ウェハーを加工処理するウェハー搬送処理方法であって、前記ウェハー加工容器のスロー排気開始時に、前記ウェハーの真空吸着を行うことを特徴とする。
また、半導体製造装置のウェハー加工容器内のテーブル上にウェハーを搬入および搬出して前記ウェハーを加工処理するウェハー搬送処理方法であって、前記ウェハーの加工終了により前記テーブルを下降した後、予備テーブルに載置する前記ウェハーを真空吸着して上昇する際に、当該ウェハー加工容器外の他のテーブルにおいて排気処理実行の可否確認を行うことを特徴とする。
また、本発明に係る半導体製造装置は、請求項1〜4のいずれか1項に記載のウェハー搬送処理方法を用いて半導体装置を製造することを特徴とする。
前記の方法および構成によれば、半導体製造装置におけるウェハー加工容器内でウェハーの位置ズレによる装置の搬送ミスを防止でき、さらにウェハー加工における異常も防ぐことができる。
以上説明したように、本発明によれば、半導体製造装置におけるウェハー加工容器内でウェハーの位置ズレによって生じる装置の搬送ミスを防止し、さらにウェハー加工における異常も防ぐことができるという効果を奏する。
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
図1は本発明の実施の形態における半導体製造方法でウェハー加工部へのウェハー搬送処理方法のフローチャートを示す。ここで、前記従来例を示す図2において説明した構成要件に対応し実質的に同等の機能の処理には同一の符号を付す。
本実施の形態について、図1のフローチャートに基づき図3に示した半導体製造装置におけるウェハー加工部の概略構成を参照しながら、その動作を説明する。まず、搬入されたウェハー1を予備テーブル3上に載せる場合において、ロボット(図示せず)によりウェハー加工容器6内に存在するテーブル4の上部にウェハー1を搬入し(S1)、予備テーブル3が上昇してウェハー1を予備テーブル3上に載せるために真空ライン5により真空吸着する(S2)。このとき、他のテーブルにおいてスロー排気から排気への切り替える時と重なると、一瞬の圧力変動により真空ライン5から受ける微少な圧力変動が予備テーブル3上のウェハー1に伝わり、ウェハー1が動くことがあるため、他のテーブルの排気動作が完了することを確認し完了するまで、ロボットがテーブル4上でウェハー1を保持したまま待機する(S21)。
次に、予備テーブル3が、真空ライン5を通る空気流によりウェハー1を真空吸着している状態から下降後に、吸着解除した状態とすると、予備テーブル3の下降時等の振動によりウェハー1がテーブル4上で動く場合があるため、ウェハー1を吸着状態で予備テーブル3を下降させ、かつ予備テーブル3が下降し終わった際の振動を防ぐため、予備テーブル3が下降後の1秒間は、真空ライン5を通る空気流によりウェハー1を真空吸着した状態とする(S22)。
この状態で、テーブル4上にウェハー1が載り、ウェハーガイド2の内側に収まる。次にテーブル4が上昇し、これに同期してウェハー1はテーブル4に予備テーブル3の真空ライン5を通る空気流にて真空吸着される(S4)。テーブル4が上昇し終わった時点で、他のテーブルの排気状態を確認し(S5)、排気状態である場合は(S5のYes)、その状態で終了まで待つ。
処理S5にて、他のテーブル(ウェハー加工容器6)が排気状態でない場合は(S5のNo)、真空ポンプにてウェハー加工容器6内を緩やかな状態でガス排出部8からスロー排気を開始する。このガス排出部8からスロー排気を始める際、その動作時に発生するウェハー加工容器6内の圧力変動によってウェハー1が動く場合があることから、スロー排気を始める際にも、真空ライン5を通る空気流によりウェハー1を真空吸着している状態で開始し、その後ウェハーの真空吸着を解除する(S23)。
一定圧力到達後は一気に排気を行って目的圧力まで排気を行う(S7)。この状態を保ちながら、ガス導入部7からウェハー1の加工に使用するガスを導入し、圧力安定後、ウェハー1の加工を行う(S8)。ウェハー1の加工終了後、ガス導入部7からのガスパージ動作を行い(S9)、ウェハー加工容器6内を一定圧力状態まで戻しながら、テーブル4を下降させる(S10)。
テーブル4が降下し終わった後、予備テーブル3を上昇させて、同時にウェハー1が真空ライン5を通る空気流により真空吸着する状態とする際、他のテーブルがスロー排気から排気へ切り替える時と重なると、一瞬の圧力変動により真空ライン5から発生する微少な圧力変動が予備テーブル3上のウェハー1に伝わり、ウェハー1が動く場合があるため、他のテーブルの排気動作が完了したことを確認し(S24)、完了した排気状態でなくなる(S24のNo)までテーブル4上にウェハー1を載せた状態を保持する。
その後、ウェハー1を真空吸着し予備テーブル3を上昇させる(S11)。予備テーブル3が上昇した後、ロボットが容器内に入りテーブル4の上部に移動する(S12)。予備テーブル3が下降しウェハー1をロボット上に載せ、同時にウェハー1の真空吸着を解除する(S13)。さらに予備テーブル3が下降し終わった後、ロボットは容器内からウェハー1を搬出する(S14)。
以上のウェハー搬送処理方法により、半導体製造装置におけるウェハー加工部でのウェハーの異常動作による装置の搬送ミスをなくし、またウェハー加工の異常も解決することができる。
なお、本実施の形態の説明として、処理S21〜S24の全てを網羅する半導体製造装置におけるウェハー搬送処理方法について記載したが、前述の処理S21〜S24のうち少なくとも1つの処理以上を含む半導体製造装置であっても同様である。
本発明に係るウェハー搬送処理方法とこれを用いる半導体製造装置は、半導体製造装置のウェハー加工容器内でウェハーの位置ズレによる装置の搬送ミスを防止し、さらに、ウェハー加工における異常も防ぐことができ、ウェハーの搬送とウェハーの処理を行う半導体製造装置等に用いて有用である。
1 ウェハー
2 ウェハーガイド
3 予備テーブル
4 テーブル
5 真空ライン
6 ウェハー加工容器
7 ガス導入部
8 ガス排出部
2 ウェハーガイド
3 予備テーブル
4 テーブル
5 真空ライン
6 ウェハー加工容器
7 ガス導入部
8 ガス排出部
Claims (5)
- 半導体製造装置のウェハー加工容器内のテーブル上にウェハーを搬入および搬出して前記ウェハーを加工処理するウェハー搬送処理方法であって、前記ウェハー加工容器内のテーブル上に載置する際に、当該ウェハー加工容器外の他のテーブルにおいて排気処理実行の可否確認を行うことを特徴とするウェハー搬送処理方法。
- 半導体製造装置のウェハー加工容器内のテーブル上にウェハーを搬入および搬出して前記ウェハーを加工処理するウェハー搬送処理方法であって、前記ウェハーを真空吸着状態で予備テーブルを下降させ、降下後のテーブル上に前記ウェハーを載置した一定時間経過後に前記ウェハーの真空吸着の解除を行うことを特徴とするウェハー搬送処理方法。
- 半導体製造装置のウェハー加工容器内のテーブル上にウェハーを搬入および搬出して前記ウェハーを加工処理するウェハー搬送処理方法であって、前記ウェハー加工容器のスロー排気開始時に、前記ウェハーの真空吸着を行うことを特徴とするウェハー搬送処理方法。
- 半導体製造装置のウェハー加工容器内のテーブル上にウェハーを搬入および搬出して前記ウェハーを加工処理するウェハー搬送処理方法であって、前記ウェハーの加工終了により前記テーブルを下降した後、予備テーブルに載置する前記ウェハーを真空吸着して上昇する際に、当該ウェハー加工容器外の他のテーブルにおいて排気処理実行の可否確認を行うことを特徴とするウェハー搬送処理方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のウェハー搬送処理方法を用いて半導体装置を製造することを特徴とする半導体製造装置。
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CN114823446A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-07-29 | 上海稷以科技有限公司 | 一种解决多尺寸晶圆传送的工艺方法 |
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2004
- 2004-01-22 JP JP2004014348A patent/JP2005209859A/ja active Pending
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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