JP2005189093A

JP2005189093A - 試験装置

Info

Publication number: JP2005189093A
Application number: JP2003430580A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Nagai; 弘幸永井
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2003-12-25
Filing date: 2003-12-25
Publication date: 2005-07-14

Abstract

【課題】被試験デバイスが出力する出力信号のジッタ量を可視化する試験装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る試験装置は、タイミングが異なる複数のストローブ信号を発生する多相ストローブ発生部と、複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおいて、被試験デバイスが出力する出力信号の電圧を設定された比較レベルと比較し、出力信号の変化タイミングを検出するレベル比較部と、比較レベルを設定する比較レベル設定部と、複数の異なる比較レベルのそれぞれにおいて、出力信号の変化タイミングがそれぞれ複数回検出された場合に、比較レベル及び変化タイミングに対応づけて、当該比較レベル及び当該変化タイミングでの検出回数をそれぞれ計数する変化点計数部と、比較レベル及び変化タイミングを軸とするグラフにおいて、比較レベル及び変化タイミングの対応する位置に変化点計数部が計数した検出回数に応じた情報を表示する表示部とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、試験装置に関する。特に本発明は、被試験デバイスが出力する出力信号のジッタ量を可視化する試験装置に関する。

従来、半導体デバイスが出力する出力信号をオシロスコープにより計測し、出力信号のジッタ量を可視化していた。

近年の半導体デバイスの複雑化に伴い、半導体デバイスに含まれる半導体素子が出力する出力信号におけるジッタが問題となっている。このため、半導体素子におけるパス毎のジッタ量の解析、ジッタ量の算出精度の向上等が望まれている。しかし、従来、オシロスコープの操作において誤差が生じ、またオシロスコープの操作に時間がかかっていた。

そこで本発明は、上記の課題を解決することができる試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

本発明の第１の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、タイミングが異なる複数のストローブ信号を発生する多相ストローブ発生部と、多相ストローブ発生部が発生した複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおいて、被試験デバイスが出力する出力信号の電圧を設定された比較レベルと比較し、出力信号の変化タイミングを検出するレベル比較部と、レベル比較部の比較レベルを設定する比較レベル設定部と、比較レベル設定部によって設定された複数の異なる比較レベルのそれぞれにおいて、レベル比較部によって出力信号の変化タイミングがそれぞれ複数回検出された場合に、比較レベル及び変化タイミングに対応づけて、当該比較レベル及び当該変化タイミングでの検出回数をそれぞれ計数する変化点計数部と、比較レベル及び変化タイミングを軸とするグラフにおいて、比較レベル及び変化タイミングの対応する位置に変化点計数部が計数した検出回数に応じた情報を表示する表示部とを備える。

表示部は、検出回数が予め定められた基準値より小さい場合には、比較レベル及び変化タイミングの対応する位置に検出回数を表示し、検出回数が予め定められた基準値以上である場合には、比較レベル及び変化タイミングの対応する位置に予め定められたキャラクタを表示してもよい。

なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となりうる。

本発明によれば、被試験デバイスが出力する出力信号のジッタ量を可視化する試験装置を提供できる。

以下、発明の実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本発明の一実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す。試験装置１００は、試験信号を生成する信号発生部１０２と、試験信号を整形する波形整形部１０４と、被試験デバイス（ＤＵＴ）１２０と信号の受け渡しをする信号入出力部１０６と、被試験デバイス１２０が出力する出力信号のジッタ量を検出するジッタ検出部１０８と、ジッタ検出部１０８が検出したジッタ量を表示する表示部１１０とを備える。

信号発生部１０２は、被試験デバイス１２０の試験用の試験信号を生成し、波形整形部１０４及び信号入出力部１０６を介して被試験デバイス１２０に入力する。波形整形部１０４は、信号発生部１０２が生成した試験信号を整形する。例えば、波形整形部１０４は、信号発生部１０２が生成した試験信号を所望の時間遅延させて、信号入出力部１０６に入力する。信号入出力部１０６は、被試験デバイス１２０と電気的に接続され、波形整形部１０４から受け取った試験信号を被試験デバイス１２０に入力する。また、信号入出力部１０６は、試験信号に基づいて被試験デバイス１２０が出力する出力信号を受け取り、ジッタ検出部１０８に出力する。ジッタ検出部１０８は、被試験デバイス１２０が入力された試験信号に基づいて出力する出力信号のジッタ量を検出する。表示部１１０は、ジッタ検出部１０８が検出したジッタ量を可視化して表示する。

図２は、本実施形態に係るジッタ検出部１０８の構成の一例を示す。また、図３は、本実施形態に係るジッタ検出部１０８及び表示部１１０の動作の一例を示す。ジッタ検出部１０８は、多相ストローブ発生部２００、レベル比較部２０２、比較レベル設定部２０４、及び変化点計数部２０６を有する。

図３(ａ）に示すように、多相ストローブ発生部２００は、タイミングが異なる複数のストローブ信号を含む多相ストローブを発生する。また、比較レベル設定部２０４は、レベル比較部２０２による比較レベルを設定する。そして、レベル比較部２０２は、多相ストローブ発生部２００が発生した複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおいて、被試験デバイス１２０が出力する出力信号の電圧を設定された比較レベルと比較する。そして、レベル比較部２０２は、複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおいて、出力信号の電圧が比較レベルより大きいか否かを判断することにより、出力信号の変化タイミングを検出する。レベル比較部２０２は、同一の比較レベルにおいて、同様の動作により出力信号の変化タイミングを複数回検出する。

そして、変化点計数部２０６は、図３（ｂ）に示すように、複数のストローブ信号のそれぞれのタイミング毎に、レベル比較部２０２が変化タイミングとして検出した回数を計数する。そして、表示部１１０は、図３（ｃ）に示すように、比較レベル及び変化タイミングを軸とするグラフにおいて、比較レベル及び変化タイミングの対応する位置に変化点計数部２０６が計数した変化タイミングの検出回数に応じた情報を表示する。

そして、図３（ｄ）及び（ｅ）に示すように、比較レベル設定部２０４は、レベル比較部２０２による比較レベルを変化させて設定する。そして、比較レベル設定部２０４は、上述と同様に、同一の比較レベルにおいて、被試験デバイス１２０が出力する出力信号の電圧を設定された比較レベルと複数回比較して、出力信号の変化タイミングを複数回検出する。そして、変化点計数部２０６は、複数のストローブ信号のそれぞれのタイミング毎に、レベル比較部２０２が変化タイミングとして検出した回数を計数する。これらの作を比較レベルが所定の範囲を網羅するまで繰り返すことにより、変化点計数部２０６は、比較レベル設定部２０４によって設定された複数の異なる比較レベルのそれぞれにおいて、レベル比較部２０２によって出力信号の変化タイミングがそれぞれ複数回検出された場合に、比較レベル及び変化タイミングに対応づけて、当該比較レベル及び当該変化タイミングでの検出回数をそれぞれ計数する。

そして、表示部１１０は、図３（ｆ）に示すように、比較レベル及び変化タイミングを軸とするグラフにおいて、比較レベル及び変化タイミングの対応する位置に変化点計数部２０６が計数した変化タイミングの検出回数に応じた情報を表示する。本例においては、表示部１１０は、比較レベル設定部２０４により設定された比較レベルを縦軸とし、出力信号の変化タイミングである複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングを横軸として、検出回数が予め定められた基準値より小さい場合には、比較レベル及び変化タイミングの対応する位置に検出回数を表示し、検出回数が予め定められた基準値以上である場合には、比較レベル及び変化タイミングの対応する位置に予め定められたキャラクタの一例である「＊」を表示する。

本実施形態に係る試験装置１００によれば、被試験デバイス１２０が出力する出力信号をオシロスコープで波形観察するように波形の基線を可視化することができ、さらに波形の基線の幅によってジッタ成分を明確に表示することができる。したがって、ユーザは、被試験デバイス１２０が出力する出力信号のジッタ成分を容易に読み取ることができ、ジッタ量を容易に判断することができる。

以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

試験装置１００の構成の一例を示す図である。ジッタ検出部１０８の構成の一例を示す図である。ジッタ検出部１０８及び表示部１１０の動作の一例を示す図である。

符号の説明

１００試験装置
１０２信号発生部
１０４波形整形部
１０６信号入出力部
１０８ジッタ検出部
１１０表示部
２００多相ストローブ発生部
２０２レベル比較部
２０４比較レベル設定部
２０６変化点計数部

Claims

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
タイミングが異なる複数のストローブ信号を発生する多相ストローブ発生部と、
前記多相ストローブ発生部が発生した前記複数のストローブ信号のそれぞれのタイミングにおいて、前記被試験デバイスが出力する出力信号の電圧を設定された比較レベルと比較し、前記出力信号の変化タイミングを検出するレベル比較部と、
前記レベル比較部の前記比較レベルを設定する比較レベル設定部と、
前記比較レベル設定部によって設定された複数の異なる前記比較レベルのそれぞれにおいて、前記レベル比較部によって前記出力信号の前記変化タイミングがそれぞれ複数回検出された場合に、前記比較レベル及び前記変化タイミングに対応づけて、当該比較レベル及び当該変化タイミングでの検出回数をそれぞれ計数する変化点計数部と、
前記比較レベル及び前記変化タイミングを軸とするグラフにおいて、前記比較レベル及び前記変化タイミングの対応する位置に前記変化点計数部が計数した前記検出回数に応じた情報を表示する表示部と
を備える試験装置。
前記表示部は、前記検出回数が予め定められた基準値より小さい場合には、前記比較レベル及び前記変化タイミングの対応する位置に前記検出回数を表示し、前記検出回数が予め定められた基準値以上である場合には、前記比較レベル及び前記変化タイミングの対応する位置に予め定められたキャラクタを表示する請求項１に記載の試験装置。