JP7080757B2 - インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法 - Google Patents
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Description
Vi=Ai×sin(ωt+Bi)+Ci ・・・ (2)
Vr1=sin(ωt) ・・・ (3)
Vr2=cos(ωt) ・・・ (4)
ここで、符号Avで表されるパラメータは被測定信号Vvの振幅であり、符号Bvで表されるパラメータは被測定信号Vvの位相であり、符号Cvで表されるパラメータは被測定信号Vvのオフセットである。また、符号Aiで表されるパラメータは被測定信号Viの振幅であり、符号Biで表されるパラメータは被測定信号Viの位相であり、符号Ciで表されるパラメータは被測定信号Viのオフセットである。また、符号ωは、2πf(f:被測定信号Vv,Viの周波数)である。
Vvs=(Av×sin(ωt+Bv)+Cv)×sin(ωt)
=1/2×Av×cos(Bv)+Cv×sin(ωt)-1/2×Av×cos(2ωt+Bv)
Vvc=(Av×sin(ωt+Bv)+Cv)×cos(ωt)
=1/2×Av×sin(Bv)+Cv×cos(ωt)+1/2×Av×sin(2ωt+Bv)
Vis=(Ai×sin(ωt+Bi)+Ci)×sin(ωt)
=1/2×Ai×cos(Bi)+Ci×sin(ωt)-1/2×Ai×cos(2ωt+Bi)
Vic=(Ai×sin(ωt+Bi)+Ci)×cos(ωt)
=1/2×Ai×sin(Bi)+Ci×cos(ωt)+1/2×Ai×sin(2ωt+Bi)
Vvsdc=T/2×Av×cos(Bv) ・・・ (5)
Vvcdc=T/2×Av×sin(Bv) ・・・ (6)
Visdc=T/2×Ai×cos(Bi) ・・・ (7)
Vicdc=T/2×Ai×sin(Bi) ・・・ (8)
Vv=Av/√2×(cos(Bv)+jsin(Bv))
Vi=Ai/√2×(cos(Bi)+jsin(Bi))
Z=Vv/Vi
=Av/√2×(cos(Bv)+jsin(Bv))/(Ai/√2×(cos(Bi)+jsin(Bi)))
=(Av×cos(Bv)+jAv×sin(Bv))/(Ai×cos(Bi)+jAi×sin(Bi)) ・・・ (9)
Z=(Vvsdc+jVvcdc)/(Visdc+jVicdc)
=(Vvsdc×Visdc+Vvcdc×Vicdc)/(Visdc2+Vicdc2)+j(Vvcdc×Visdc-Vvsdc×Vicdc)/(Visdc2+Vicdc2)・・・(10)
Dvd=d(Vv)/dt
=ω×Av×cos(ωt+Bv) ・・・ (11)
Did=d(Vi)/dt
=ω×Ai×cos(ωt+Bi) ・・・ (12)
ただし、ω=2πfである。
つまり、第1微分波形データDvdは、オフセットを含まない正弦波信号を示す波形データとなっており、第2微分波形データDidもまた、オフセットを含まない正弦波信号を示す波形データとなっている。
Vvs=∫[0,T/4]ω×Av×cos(ωt+Bv)×sin(ωt)dt
=ω×Av/2×∫[0,T/4](sin(2ωt+Bv)-sin(Bv))dt
=Av/2×cos(Bv)-πAv/4×sin(Bv) ・・・ (13)
Vis=∫[0,T/4]ω×Ai×cos(ωt+Bi)×sin(ωt)dt
=ω×Ai/2×∫[0,T/4](sin(2ωt+Bi)-sin(Bi))dt
=Ai/2×cos(Bi)-πAi/4×sin(Bi) ・・・ (14)
Vvc=∫[0,T/4]ω×Av×cos(ωt+Bv)×cos(ωt)dt
=ω×Av/2×∫[0,T/4](cos(2ωt+Bv)+cos(Bv))dt
=-Av/2×sin(Bv)+πAv/4×cos(Bv) ・・・ (15)
Vic=∫[0,T/4]ω×Ai×cos(ωt+Bi)×cos(ωt)dt
=ω×Ai/2×∫[0,T/4](cos(2ωt+Bi)+cos(Bi))dt
=-Ai/2×sin(Bi)+πAi/4×cos(Bi) ・・・ (16)
なお、∫[0,T/4]g(t)dtは、関数g(t)についての時間tが0からT/4までの定積分を示すものである。
Z=((2×Vvs-π×Vvc)+j(π×Vvs-2×Vvc))/((2×Vis-π×Vic)+j(π×Vis-2×Vic)) ・・・ (17)
sin(Bv)=4×(π×Vvs-2×Vvc)/(4-π2)×Av ・・・(18)
cos(Bv)=4×(2×Vvs-π×Vvc)/(4-π2)×Av ・・・(19)
sin(Bi)=4×(π×Vis-2×Vic)/(4-π2)×Ai ・・・(20)
cos(Bi)=4×(2×Vis-π×Vic)/(4-π2)×Ai ・・・(21)
7 処理部
11 測定対象
Dv 第1波形データ
Di 第2波形データ
I 測定用正弦波電流
V 両端間電圧
Vi 電流検出信号
Vv 電圧検出信号
Claims (4)
- 測定対象に測定用正弦波電流が供給されている状態において当該測定対象に発生する両端間電圧の電圧値に比例して電圧値が変化する電圧検出信号についての第1波形データと前記測定用正弦波電流の電流値に比例して電圧値が変化する電流検出信号についての第2波形データとを前記測定用正弦波電流の1周期未満の期間に亘って同期して取得する波形データ取得処理と、
取得した前記第1波形データおよび前記第2波形データにおける前記測定用正弦波電流の前記1周期の1/4期間、1/2期間および3/4期間のうちのいずれかの期間と同じ長さの特定期間に含まれる第1特定波形データおよび第2特定波形データをそれぞれ微分処理して、第1微分波形データおよび第2微分波形データを取得する波形データ微分処理と、
前記第1微分波形データおよび前記第2微分波形データのそれぞれに対して前記測定用正弦波電流と同じ周波数の正弦波信号である第1参照信号についての第1参照波形データを乗算すると共に前記特定期間に亘る積分を実行して、前記第1微分波形データについての前記第1参照信号と同相の第1信号成分および前記第2微分波形データについての前記第1参照信号と同相の第2信号成分を算出すると共に、前記第1微分波形データおよび前記第2微分波形データのそれぞれに対して前記第1参照信号と同一周波数かつ同一振幅であって、位相が90°ずれた第2参照信号についての第2参照波形データを乗算すると共に前記特定期間に亘る積分を実行して、前記第1微分波形データについての前記第2参照信号と同相の第3信号成分および前記第2微分波形データについての前記第2参照信号と同相の第4信号成分を算出する信号成分算出処理と、
前記第1信号成分、前記第2信号成分、前記第3信号成分および前記第4信号成分に基づいて前記測定対象のインピーダンスを算出するインピーダンス算出処理とを実行する処理部を備えているインピーダンス測定装置。 - 前記処理部は、前記波形データ微分処理において、前記1/4期間と同じ長さの特定期間に含まれる前記第1特定波形データおよび前記第2特定波形データをそれぞれ微分処理する請求項1記載のインピーダンス測定装置。
- 測定対象に測定用正弦波電流が供給されている状態において当該測定対象に発生する両端間電圧の電圧値に比例して電圧値が変化する電圧検出信号についての第1波形データと前記測定用正弦波電流の電流値に比例して電圧値が変化する電流検出信号についての第2波形データとを前記測定用正弦波電流の1周期未満の期間に亘って同期して取得する波形データ取得処理と、
取得した前記第1波形データおよび前記第2波形データにおける前記測定用正弦波電流の前記1周期の1/4期間、1/2期間および3/4期間のうちのいずれかの期間と同じ長さの特定期間に含まれる第1特定波形データおよび第2特定波形データをそれぞれ微分処理して、第1微分波形データおよび第2微分波形データを取得する波形データ微分処理と、
前記第1微分波形データおよび前記第2微分波形データのそれぞれに対して前記測定用正弦波電流と同じ周波数の正弦波信号である第1参照信号についての第1参照波形データを乗算すると共に前記特定期間に亘る積分を実行して、前記第1微分波形データについての前記第1参照信号と同相の第1信号成分および前記第2微分波形データについての前記第1参照信号と同相の第2信号成分を算出すると共に、前記第1微分波形データおよび前記第2微分波形データのそれぞれに対して前記第1参照信号と同一周波数かつ同一振幅であって、位相が90°ずれた第2参照信号についての第2参照波形データを乗算すると共に前記特定期間に亘る積分を実行して、前記第1微分波形データについての前記第2参照信号と同相の第3信号成分および前記第2微分波形データについての前記第2参照信号と同相の第4信号成分を算出する信号成分算出処理と、
前記第1信号成分、前記第2信号成分、前記第3信号成分および前記第4信号成分に基づいて前記測定対象のインピーダンスを算出するインピーダンス算出処理とを実行するインピーダンス測定方法。 - 前記波形データ微分処理において、前記1/4期間と同じ長さの特定期間に含まれる前記第1特定波形データおよび前記第2特定波形データをそれぞれ微分処理する請求項3記載のインピーダンス測定方法。
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JP2018134885A JP7080757B2 (ja) | 2018-07-18 | 2018-07-18 | インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法 |
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JP2020012721A JP2020012721A (ja) | 2020-01-23 |
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JP3155311B2 (ja) * | 1991-09-26 | 2001-04-09 | アジレント・テクノロジー株式会社 | 微小電流計および微小電流測定方法 |
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