JP4110201B2 - ジッタ量算出装置、及び試験装置 - Google Patents

Description

本発明は、電子デバイスの良否を試験する試験装置に関する。特に、電子デバイスが出力する出力信号のジッタ量に基づいて電子デバイスの良否を試験する試験装置に関する。また本出願は、下記の日本特許出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の記載の一部とする。
特願２０００−３７５８７４ 出願日 平成１２年１２月１１日

従来、電子デバイスが出力する出力信号のジッタ量を算出するために、電子デバイスが出力する出力信号をオシロスコープ等により複数回計測し、計測した出力信号の波形からジッタ量を算出していた。例えば、予め与えられた基準値となる当該出力信号のタイミングを計測し、当該タイミングのばらつきによって、当該出力信号の立ち上がりや立ち下がりのジッタ量を算出していた。

近年の半導体装置等の複雑化に伴い、半導体装置に含まれる半導体素子が出力する出力信号におけるジッタが問題となっている。このため、半導体素子におけるパス毎のジッタ量の解析、ジッタ量の算出精度の向上等が望まれている。しかし、従来のジッタ量の算出方法では、オシロスコープ等の操作等において誤差が生じ、精度良くジッタ量を算出することが困難であった。また、オシロスコープ等を操作する必要があるため、ジッタ量の算出に時間がかかっていた。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、電子デバイスから出力される出力信号のジッタ量を算出するジッタ量算出装置であって、所定の位相間隔で２つのタイミングを発生するタイミング発生器と、タイミング発生器が発生したタイミングに基づいて、出力信号の値を複数回算出する値算出部と、値算出部が２つのタイミングのうちの片方に基づいて複数回算出した出力信号の値が、第１の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力する第１判定部と、値算出部が２つのタイミングのうちの他方に基づいて複数回算出した出力信号の値が、第２の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力する第２判定部と、第１判定部において、出力信号の値が第１の基準値以上であり、第２判定部において、出力信号の値が第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出する第４の算出手段を有するジッタ算出部とを備え、タイミング発生器は、値算出部が予め与えられた回数、出力信号の値を算出する毎に、異なる２つのタイミングを発生し、第４の算出手段は、異なる２つのタイミング毎の、判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出することを特徴とするジッタ量算出装置を提供する。

また、ジッタ算出部は、第１判定部において、出力信号の値が第１の基準値以上であり、第２判定部において、出力信号の値が第２の基準値以上である判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出する第５の算出手段を更に有し、第５の算出手段は、異なる２つのタイミング毎の、判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出してよい。また、ジッタ算出部は、第１判定部において、出力信号の値が第１の基準値以上でなく、第２判定部において、出力信号の値が第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出する第６の算出手段を更に有し、第６の算出手段は、異なる２つのタイミング毎の、判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出してよい。

また、ジッタ算出部は、第１判定部において、出力信号の値が第１の基準値以上であり、第２判定部において、出力信号の値が第２の基準値以上である判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出する第５の算出手段と、第１判定部において、出力信号の値が第１の基準値以上でなく、第２判定部において、出力信号の値が第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出する第６の算出手段とを更に有し、第５の算出手段及び第６の算出手段は、異なる２つのタイミング毎の、判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出し、第１の算出手段、第４の算出手段、第５の算出手段又は第６の算出手段のいずれかを選択し、出力信号のジッタ量を算出させる算出手段選択部を更に備えてよい。また、タイミング発生器が、値算出部が予め与えられた回数、出力信号の値を算出する毎に発生する、異なるタイミング毎の判定回数を記憶する記憶部を更に備えてよい。

また、算出手段選択部は、選択するべき第１の算出手段、第４の算出手段、第５の算出手段、又は第６の算出手段のいずれかを示す選択情報を、ジッタ算出部に供給し、ジッタ算出部は、選択情報と、第１判定部及び第２判定部における判定結果とを受け取り、それぞれの判定結果が、選択された算出手段の判定条件を満たすか否かを判定し、判定結果が判定条件を満たした回数を、判定回数として計数してよい。

また、算出手段選択部は、選択するべき算出手段の判定条件を示す、切替信号ＩＮＶ１と切替信号ＩＮＶ２とを、選択情報としてジッタ量算出部に供給し、ジッタ算出部は、切替信号ＩＮＶ１と、第１判定部における判定結果とを受け取り、第１判定部における判定結果が、選択された算出手段の判定条件を満たすか否かを判定する第１判定基準比較部と、切替信号ＩＮＶ２と、第２判定部における判定結果とを受け取り、第２判定部における判定結果が、選択された算出手段の判定条件を満たすか否かを判定する第２判定基準比較部と、第１判定基準比較部及び第２判定基準比較部における判定結果に基づいて、第１判定部及び第２判定部における判定結果が、選択された算出手段の判定条件を共に満たすか否かを判定する第３判定基準比較部と、第３判定基準比較部において、選択された算出手段の判定条件を共に満たす回数を、判定回数として計数するカウンタとを有してよい。

また、第１判定基準比較部は、第１判定部における判定結果と、切替信号ＩＮＶ１との排他的論理和を出力する第１排他論理和回路であり、第２判定基準比較部は、第２判定部における判定結果と、切替信号ＩＮＶ２との排他的論理和を出力する第２排他論理和回路であり、第３判定基準比較部は、第１排他論理和回路の出力の否定論理と、第２排他論理和回路の出力の否定論理との論理積を出力する論理積回路であってよい。

また、第１判定部は、第１判定部における判定結果を、ジッタ算出部に供給するか否かを切り替える第１切替部を有し、第２判定部は、第２判定部における判定結果を、ジッタ算出部に供給するか否かを切り替える第２切替部を有し、算出手段選択部は、第１切替部及び第２切替部を制御する制御信号を第１切替部及び第２切替部に供給してよい。また、ジッタ算出部は、制御信号に基づいて、カウンタに、第３判定基準比較部における判定結果を供給するか否かを切り替える第３切替部を更に有してよい。

本発明の第２の形態においては、電子デバイスの良否を判定する試験装置であって、試験用の試験信号を生成し、電子デバイスに入力する信号発生器と、入力された試験信号に基づいて、電子デバイスが出力する出力信号のジッタ量を算出するジッタ量算出装置と、ジッタ量算出装置が算出したジッタ量に基づいて、電子デバイスの良否を判定する良否判定部とを備え、ジッタ量算出装置は、所定の位相間隔で２つのタイミングを発生するタイミング発生器と、タイミング発生器が発生したタイミングに基づいて、出力信号の値を複数回算出する値算出部と、値算出部が２つのタイミングのうちの片方に基づいて複数回算出した出力信号の値が、第１の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力する第１判定部と、値算出部が２つのタイミングのうちの他方に基づいて複数回算出した出力信号の値が、第２の基準値以下であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力する第２判定部と、第１判定部において、出力信号の値が第１の基準値以上であり、第２判定部において、出力信号の値が第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出する第４の算出手段を含むジッタ算出部とを有し、タイミング発生器は、値算出部が予め与えられた回数、出力信号の値を算出する毎に、異なる２つのタイミングを発生し、第４の算出手段は、異なる２つのタイミング毎の、判定回数に基づいて、出力信号のジッタ量を算出することを特徴とする試験装置を提供する。
尚、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又、発明となりうる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本発明に係る試験装置１００の構成の一例を示す。試験装置１００は、試験信号を生成する信号発生器１０、試験信号を整形する波形整形器１２、電子デバイス２０と信号を受け渡しする信号入出力部１４、電子デバイス２０が出力する出力信号のジッタ量を算出するジッタ量算出装置５０、及び電子デバイス２０の良否を判定する良否判定部１６を備える。

信号発生器１０は、電子デバイス２０の試験用の試験信号を生成し、電子デバイス２０に、波形整形器１２及び信号入出力部１４を介して入力する。波形整形器１２は、信号発生器１０が生成した試験信号を整形する。例えば、波形整形器１２は、信号発生器１０が生成した試験信号を所望の時間遅延させて、信号入出力部１４に入力する。信号入出力部１４は、電子デバイス２０と電気的に接続され、波形整形器１２から受け取った試験信号を、電子デバイス２０に入力する。また、信号入出力部１４は、試験信号に基づいて電子デバイス２０が出力する出力信号を受け取り、ジッタ量算出装置５０に出力する。

ジッタ量算出装置５０は、入力された試験信号に基づいて、電子デバイス２０が出力する出力信号のジッタ量を算出する。良否判定部１６は、ジッタ量算出装置５０が算出したジッタ量に基づいて、電子デバイス２０の良否を判定する。例えば、良否判定部１６には、期待値が与えられ、算出したジッタ量が期待値以上であれば、試験した電子デバイス２０を不良と判定する。また、良否判定部１６には、異なる複数の期待値が与えられ、異なる複数の期待値と、算出したジッタ量とを比較し、それぞれの期待値に対して電子デバイス２０の良否を判定し、電子デバイス２０の品質を判定してよい。つまり、良否判定部１６は、算出したジッタ量に基づいて、電子デバイス２０の品質グレードを判定してよい。

図２は、本発明に係るジッタ算出装置５０の構成の一例を示すブロック図である。ジッタ算出装置５０は、タイミングを発生するタイミング発生器５２と、当該タイミングに基づいて電子デバイス２０が出力した出力信号の値を算出する値算出部５４と、値算出部５４が算出した値が基準値以上であるか否かを判定する第１判定部５６及び第２判定部と、第１判定部及び第２判定部における判定結果に基づいて出力信号のジッタ量を算出するジッタ算出部６２と、ジッタ算出部６２における算出手段を選択する算出手段選択部６０を備える。

タイミング発生器５２は、一例としてタイミングパルスを発生するパルス発生部と、当該タイミングパルスを所望の時間遅延させて出力する可変遅延回路を有する。値算出部５４は、タイミング発生器５２が発生したタイミングに基づいて、出力信号の値を複数回算出する。第１判定部５６は、値算出部５４が複数回算出した出力信号の値が、第１の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力する。第２判定部５８は、値算出部５４が複数回算出した出力信号の値が、第２の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定する。タイミング発生器５２は、値算出部５４が予め与えられた回数、出力信号の値を算出する毎に、異なるタイミングを発生することが好ましい。

ジッタ算出部６２は、第１判定部５６及び第２判定部５８が出力する判定結果に基づいてジッタ量を算出する。つまり、ジッタ算出部６２は、タイミング発生器５２が発生するタイミング毎に、第１判定部５６及び第２判定部５８が出力する判定結果が、所定の結果になる回数に基づいてジッタ量を算出する。ジッタ算出部６２は、ジッタ量を算出するための算出手段を複数有し、ジッタ量を算出するのが好ましい。そして、算出手段選択部６０は、ジッタ算出部６２が有する複数の算出手段のいずれかを選択し、出力信号のジッタ量を算出させる。

図３は、ジッタ算出部６２において、電子デバイス２０の出力信号のジッタ量を算出する算出手段の説明図である。図３（ａ）は、電子デバイス２０が出力する出力信号２２と、タイミング発生器５２が発生するタイミングを示す波形図である。図３（ａ）において、横軸は時間を示し、縦軸は信号レベルを示す。

まず、ジッタ算出部６２において、電子デバイス２０の出力信号のジッタ量を算出する第１の算出手段について説明する。まず、タイミング発生器５２が、出力信号２２の値を検出する所定のタイミング（ＳＴＲＢ１）を発生する。本例においては、タイミング発生器５２は、Ｔ１に示すタイミングでＳＴＲＢ１を発生する。値算出部５４は、ＳＴＲＢ１のタイミングで出力信号２２の値を複数回取得する。第１判定部５６は、値算出部５４が複数回取得した値が、第１の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、それぞれの値について判定結果を出力する。第２判定部５８は、値算出部５４が複数回取得した値が、第２の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、それぞれの値について判定結果を出力する。本例においては、第１の基準値として、出力信号２２がＨ論理を示す電圧の８０％の電圧値であるＶＯＨが与えられ、第２の基準値として、出力信号２２がＨ論理を示す電圧の２０％の電圧値であるＶＯＬが与えられる。値算出部５４が出力信号２２の値を算出し出力する信号は、出力信号２２の値がＨ論理を示す場合は１を出力し、出力信号２２の値がＬ論理を示す場合に０を出力するようなディジタル信号であってよい。

次に、ジッタ算出部６２は、第１判定部５６において、出力信号２２の値が第１の基準値以上でなく、第２判定部５８において、出力信号２２の値が第２の基準値以上である判定回数をカウントする。出力信号２２がジッタを有する場合、値算出部５４が同一のタイミングで出力信号２２の値を複数回取得した場合であっても、値算出部５４が取得する値は、異なる値を取り得る。そのため、第１判定部５６及び第２判定部５８における出力結果は、値算出部５４が複数回取得した出力信号２２の値のそれぞれで異なる結果となりうる。ジッタ算出部６２は、第１判定部５６において、出力信号２２の値が第１の基準値以上でなく、第２判定部５８において、出力信号２２の値が第２の基準値以上である判定回数をカウントするカウンタと、当該カウンタがカウントした判定回数に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する手段とを有してよい。

Ｔ１のタイミングで、値算出部５４が予め定められた回数、出力信号２２の値を算出した場合、タイミング発生器５２はＳＴＲＢ１としてＴ２のタイミングを発生する。Ｔ２のタイミングにおいても同様に、ジッタ算出部６２は、第１判定部において、出力信号２２の値が第１の基準値以上でなく、第２判定部５８において、出力信号２２の値が第２の基準値以上である判定結果をカウントする。以下同様に、タイミング発生器５２は、値算出部５４が予め定められた回数、出力信号２２の値を算出する毎に、異なるタイミングを発生する。本例においては、タイミング発生器５２は、図３（ａ）に示すように、Ｔ１・Ｔ２・Ｔ３・・・Ｔ１１・・・と異なるタイミングを発生し、それぞれのタイミングにおいて、ジッタ算出部６２は、第１の算出手段の判定条件を満たす第１判定部５６及び第２判定部５８の判定結果をカウントする。

図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す出力信号２２について、条件を満たす判定結果回数の分布の一例を示す。横軸は、タイミング発生器５２が発生したタイミングを示し、縦軸は、第１の算出手段の判定条件を満たした、判定結果の回数を示す。タイミング発生器５２は、値算出部５４が所定の回数、出力信号の値を算出する毎に、異なるタイミングを発生する。図３（ａ）において、出力信号２２が点線で示すような範囲でジッタを有する場合、図３（ｂ）に示すような分布が得られる。

ジッタ算出部６２は、タイミング発生器５２が発生したタイミング毎の判定結果の回数に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出し、出力信号が通過した電子デバイス２０の電気的な経路におけるジッタ量を算出する。ジッタ算出部６２は、タイミング発生器５２が発生したタイミング毎の、条件を満たす判定結果の回数が、予め与えられた第３の基準値以上となるタイミングに基づいて、当該ジッタ量を算出してよい。第３の基準値は、任意の整数をとってよい。

次に、第２の算出手段について説明する。第２の算出手段において、ジッタ算出部６２、値算出部５４、及びタイミング発生器５２は第１の算出手段において説明したものと同一又は同様の動作及び機能を有する。第２の算出手段は、第１判定部５６において、出力信号２２の値が第１の基準値以上である判定回数に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。第２の算出手段においても、第１の算出手段と同様に、タイミング発生器５２が発生する異なるタイミング毎の、第１判定部５６において、第２の算出手段の判定条件を満たす判定回数の分布に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。

次に、第３の算出手段について説明する。第３の算出手段において、ジッタ算出部６２、値算出部５４、及びタイミング発生器５２は第１の算出手段又は第２の算出手段において説明したものと同一又は同様の動作及び機能を有する。第３の算出手段は、第２判定部５８において、出力信号２２の値が第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。第３の算出手段においても、第１の算出手段又は第２の算出手段と同様に、タイミング発生器５２が発生する異なるタイミング毎の、第２判定部５８において第３の算出手段の判定条件を満たす判定回数の分布に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。

算出手段選択部６０は、上記説明した第１の算出手段、第２の算出手段、又は第３の算出手段のいずれかを選択し、出力信号２２のジッタ量を算出させる。上記説明したジッタ量算出装置５０によれば、複数のジッタ量算出手段を有し、複数のジッタ量算出手段を選択し、出力信号２２のジッタ量を算出させるので、出力信号２２及び電子デバイス２０の詳細な解析を行うことができる。また、オシロスコープ等の操作を行う必要がなく、精度よく、且つ高速に、出力信号２２のジッタ量を算出することができる。

本例において説明したタイミング発生器５２は、値算出部５４が予め与えられた回数、出力信号２２の値を算出する毎に、１つのタイミングを発生したが、他の例においては、タイミング発生器５２は、値算出部５４が予め与えられた回数、出力信号２２の値を算出する毎に、２つのタイミングを発生してよい。以下、タイミング発生器５２が２つのタイミングを発生する実施例について説明する。

タイミング発生器５２は、所定の位相間隔で２つのタイミングを発生し、第１判定部５６は、値算出部５４が当該２つのタイミングのうちの片方に基づいて複数回算出した出力信号２２の値が、第１の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力し、第２判定部５８は、値算出部５４が当該２つのタイミングのうちの他方に基づいて複数回算出した出力信号２２の値が、第２の基準値以下であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力し、タイミング発生器５２は、値算出部５４が予め与えられた回数、出力信号２２の値を算出する毎に、異なる２つのタイミングを発生する。

図３（ａ）に示すように、まず、タイミング発生器５２は、Ｔ１のタイミング（ＳＴＲＢ１）と、ＳＴＲＢ１から所定の時間遅延したタイミング（ＳＴＲＢ２）とを発生する。第１判定部５６は、値算出部５４がＳＴＲＢ１のタイミングで算出した出力信号２２の値が第１の基準値以上であるか否かを判定し、第２判定部５８は、値算出部５４がＳＴＲＢ２のタイミングで算出した出力信号２２の値が第２の基準値以上であるか否かを判定する。
ジッタ算出部６２は、上記説明した、タイミング発生器５２が１つのタイミングを発生する場合のジッタ算出部６２と同様の動作及び機能を有する。ジッタ算出部６２は、ジッタ量を算出する算出手段における判定条件を満たす第１判定部５６及び第２判定部５８の判定結果の回数に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。以下本例における第１の算出手段について説明する。

ＳＴＲＢ１（Ｔ１）及びＳＴＲＢ２のタイミングで、値算出部５４が予め定められた回数、出力信号２２の値を算出した後、タイミング発生器５２はＳＴＲＢ１としてＴ２のタイミングを発生し、ＳＴＲＢ２としてＴ２から所定の時間遅延したタイミングを発生する。当該ＳＴＲＢ１及び当該ＳＴＲＢ２においても同様に、ジッタ算出部６２は、第１判定部において、出力信号２２の値が第１の基準値以上であり、第２判定部５８において、出力信号２２の値が第２の基準値以上でない判定結果をカウントする。ジッタ算出部６２は、第１判定部において、出力信号２２の値が第１の基準値以上であり、第２判定部５８において、出力信号２２の値が第２の基準値以上でない判定結果をカウントするカウンタを有してよい。以下同様に、タイミング発生器５２は、値算出部５４が予め定められた回数、出力信号２２の値を算出する毎に、異なる２つのタイミングを発生する。本例においては、タイミング発生器５２は、図３（ａ）に示すように、ＳＴＲＢ１として、Ｔ１・Ｔ２・Ｔ３・・・Ｔ１１・・・と異なるタイミングを発生し、それぞれのＳＴＲＢ１に対して所定の時間遅延したＳＴＲＢ２を発生する。次に、ジッタ算出部６２は、それぞれの２つのタイミングにおいて、第１の算出手段の判定条件を満たす第１判定部５６及び第２判定部５８の判定結果をカウントする。

ジッタ算出部６２は、タイミング発生器５２が発生した異なる２つのタイミング毎の判定結果の回数に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。ジッタ算出部６２は、図３（ｂ）に関連して説明した算出方法と同一又は同様の方法で、出力信号２２のジッタ量を算出する。

次に、本例におけるジッタ量を算出する第４の算出手段について説明する。第４の算出手段において、ジッタ算出部６２、値算出部５４、及びタイミング発生器５２は第１の算出手段において説明したものと同一又は同様の動作及び機能を有する。第４の算出手段は、第１判定部５６において、出力信号２２の値が第１の基準値以上であり、第２判定部５８において、出力信号２２の値が第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。第４の算出手段においても、第１の算出手段と同様に、ジッタ算出部６２は、タイミング発生器５２が発生する異なる２つのタイミング毎の、第１判定部５６及び第２判定部５８において第４の算出手段の判定条件を満たす判定回数の分布に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。

次に、本例におけるジッタ量を算出する第５の算出手段について説明する。第５の算出手段において、ジッタ算出部６２、値算出部５４、及びタイミング発生器５２は第１の算出手段又は第４の算出手段において説明したものと同一又は同様の動作及び機能を有する。第５の算出手段は、第１判定部５６において、出力信号２２の値が第１の基準値以上であり、第２判定部５８において、出力信号２２の値が第２の基準値以上である判定回数に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。第５の算出手段においても、第１の算出手段又は第４の算出手段と同様に、ジッタ算出部６２は、タイミング発生器５２が発生する異なる２つのタイミング毎の、第１判定部５６及び第２判定部５８において第５の算出手段の判定条件を満たす判定回数の分布に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。

次に、本例におけるジッタ量を算出する第６の算出手段について説明する。第６の算出手段において、ジッタ算出部６２、値算出部５４、及びタイミング発生器５２は第１の算出手段、第４の算出手段、又は第５の算出手段において説明したものと同一又は同様の動作及び機能を有する。第６の算出手段は、第１判定部５６において、出力信号２２の値が第１の基準値以上でなく、第２判定部５８において、出力信号２２の値が第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。第６の算出手段においても、第１の算出手段、第４の算出手段、又は第５の算出手段と同様に、ジッタ算出部６２は、タイミング発生器５２が発生する異なる２つのタイミング毎の、第１判定部５６及び第２判定部５８において、第６の算出手段の判定条件を満たす判定回数の分布に基づいて、出力信号２２のジッタ量を算出する。

算出手段選択部６０は、上記説明した第１の算出手段、第４の算出手段、第５の算出手段、又は第６の算出手段のいずれかを選択し、出力信号２２のジッタ量を算出させる。また、算出手段選択部６０は、上記説明した第１の算出手段、第２の算出手段、第３の算出手段、第４の算出手段、第５の算出手段又は第６の算出手段のいずれかを選択し、出力信号２２のジッタ量を算出させてよい。例えば、タイミング発生器５２が発生するＳＴＲＢ１のタイミングに基づいて、第１の算出手段により出力信号２２の立ち上がり及び立ち下がりを検出し、検出した立ち上がり及び立ち下がりのタイミングに基づいた２つのタイミング（ＳＴＲＢ１，ＳＴＲＢ２）をタイミング発生器５２が発生し、第１から第６の算出手段により、出力信号２２のジッタ量を算出し、出力信号２２の詳細な解析を行ってよい。

また、ジッタ算出部６２は、上記説明した第１から第６の算出手段のうち、複数の算出手段を備え、算出手段選択部６０は、ジッタ算出部６２が備える算出手段のいずれかを選択し、ジッタ量を算出させてよい。

上記説明したジッタ量算出装置５０によれば、複数のジッタ量算出手段を有し、複数のジッタ量算出手段を選択し、ジッタ量を算出させるので、出力信号２２の詳細な解析を行うことができる。また、オシロスコープ等の操作を行う必要がなく、精度よく、且つ高速に、出力信号２２のジッタ量を算出することができる。

また、本例においては、第１判定部５６は、ＳＴＲＢ１のタイミングにおける出力信号２２の値が第１の基準値以上であるか否かを判定し、第２判定部５８は、ＳＴＲＢ１から所定の時間遅延したＳＴＲＢ２のタイミングにおける出力信号２２の値が第２の基準値以下であるか否かを判定したが、他の例においては、第２判定部５８は、値算出部５４がＳＴＲＢ１のタイミングで算出した出力信号２２の値が第２の基準値以上であるか否かを判定し、第１判定部５６は、値算出部５４がＳＴＲＢ１より所定の時間遅延したＳＴＲＢ２のタイミングで算出した出力信号２２の値が第１の基準値以下であるか否かを判定してよい。

図４は、ジッタ量算出装置５０の回路構成の一例を示す。図４において、図２と同一の符号を付したものは、図２及び図３に関連して説明したものと同一又は同様の動作及び機能を有する。電子デバイス２０から出力された出力信号は、レベル比較回路（ＣＭＰ１、ＣＭＰ２）を介して値算出部５４に入力される。値算出部５４には、タイミング発生器５２からタイミングが入力される。タイミング発生器５２は、タイミング生成部及び可変遅延回路を有し、所望のタイミングを生成し、値算出部５４に入力する。

値算出部５４は、入力されたタイミングに基づいて、出力信号の値を複数回取得する。タイミング発生器５２は、値算出部５４が所定の回数出力信号の値を取得する毎に、異なるタイミングを発生する。値算出部５４は取得した出力信号の値を第１判定部５６及び第２判定部５８に与える。第１判定部５６にはＳＴＲＢ１のタイミングで取得された値が与えられ、第２判定部５８にはＳＴＲＢ２のタイミングで取得された値が与えられる。第１判定部５６は例えば論理排他和を算出するＥＯＲ１回路と、論理積を算出するＡＮＤ１回路を有する。ＥＯＲ１には、値算出部５４が取得した値と、ＥＯＲ１を制御する信号であるＥＸＰ１信号が入力される。ＥＯＲ１は、ＥＸＰ１信号に基づいて、値算出部５４が取得した値が第１の基準値以上であるか否かを判定する。例えば、ＥＯＲ１において、第１の基準値以上である場合にパス信号（１）を出力し、第１の基準値以上でない場合にはフェイル信号（０）を出力する。例えば、第１の基準値が前述したＶＯＨ（論理値１）である場合には、ＥＸＰ１には０が設定される。ＥＯＲ１から出力される判定結果は、ＡＮＤ１に入力される。ＡＮＤ１には、ＥＯＲ１における判定結果と、ＣＰＥ１信号が入力される。ＡＮＤ１は、ＥＯＲ１の判定結果の情報をジッタ算出部６２に送るか否かを決定する。ＣＰＥ１に０が設定されている場合、ＥＯＲ１の判定結果は、ＣＰＥ１により０にマスクされる。

第２判定部５８は、例えば論理排他和を算出するＥＯＲ２回路と、論理積を算出するＡＮＤ２回路を有する。ＥＯＲ２及びＡＮＤ２は、第１判定部５６におけるＥＯＲ１及びＡＮＤ１と同様の機能を有する。ＥＯＲ２は、ＣＭＰ４において取得された値が第２の基準値以上であるか否かを判定する。例えば、第２の基準値が前述したＶＯＬ（論理値０）である場合、ＣＰＥ２には１が設定される。ＡＮＤ２は、ＥＯＲ２における判定結果をジッタ算出部６２に送るか否かを決定する。

フェイルメモリ６４は、第１判定部５６及び第２判定部５８における判定結果を記憶し、電子デバイス２０の詳細な解析に使用される。ジッタ算出部６２は、第１判定部５６及び第２判定部５８の判定結果に基づいて出力信号のジッタ量を算出する。ジッタ算出装置５０は、電子デバイス２０の異なる出力ピンから出力される異なる出力信号のジッタ量を算出するために、複数の値算出部５４、第１判定部５６、第２判定部５８、ジッタ算出部６２を備え、タイミング発生器５２は、複数の値算出部５４のそれぞれに独立したタイミングを与えてよい。

図５は、ジッタ算出部６２の回路構成の一例を示す。ジッタ算出部６２は、図３に関連して説明した複数の算出手段を有する。算出手段選択部６０は、当該複数の算出手段のいずれかを選択し、ジッタ量を算出させる。第１判定部５６から出力された判定結果（ＯＵＴ１）は、ＥＯＲ３に入力され、第２判定部５８から出力された判定結果（ＯＵＴ２）は、ＥＯＲ４に入力される。ＥＯＲ３及びＥＯＲ４には、算出手段を切り替えるための信号ＩＮＶ１、ＩＮＶ２がそれぞれ入力される。算出手段選択部６０は、選択した算出手段に基づいて、ＩＮＶ１、ＩＮＶ２、ＣＰＥ１、ＣＰＥ２を設定してよい。ＥＯＲ３及びＥＯＲ４は、選択された算出手段の判定条件に基づいて、信号をＮＯＲ１に入力する。例えば、算出手段選択部６０が、図３に関連して説明した第４の算出手段を選択した場合、ＣＰＥ１、ＣＰＥ２、ＩＮＶ１には１が設定され、ＩＮＶ２には０が設定される。この場合、ＥＯＲ３及びＥＯＲ４からは、選択された算出手段の判定条件を満たす場合、０が出力され、判定条件を満たさない場合１が出力される。

ＮＯＲ１は、ＥＯＲ３及びＥＯＲ４から出力された信号に基づいて、ＡＮＤ５に信号を出力する。例えば、ＥＯＲ３及びＥＯＲ４からの信号が共に０、即ち、選択された算出手段の判定条件が共に満たされている場合、１をＡＮＤ５に出力する。ＡＮＤ５は、ＮＯＲ１から入力された信号をカウンタ６６に与えるか否かを定める。ＡＮＤ５には、ＯＲ１から信号が入力される。ＯＲ１から入力される信号は、ＣＰＥ１、ＣＰＥ２、ＣＰＥＳＬ１、ＣＰＥＳＬ２により定まり、これらの信号は、算出手段選択部６０が設定してよい。ＯＲ１が出力する信号は、ＮＯＲ１から出力される信号と同期している。

カウンタ６６は、入力された信号が所定の信号である回数をカウントする。例えば、算出手段の判定条件が満たされている場合をカウントする場合１をカウントしてよい。記憶部６８は、カウンタ６６がカウントした回数を記憶する。記憶部６８には、タイミング発生器５２が異なるタイミングを発生する毎にアドレス信号が入力され、タイミング発生器５２が異なるタイミングを発生する毎に、カウンタ６６が所定の信号をカウントした回数を異なるアドレスに格納する。ジッタ算出部６２は、記憶部６８が記憶した異なるタイミング毎の判定回数に基づいて電子デバイス２０の出力信号のジッタ量を算出する。

図４及び図５において説明した論理回路素子及び、ＣＰＥ１、ＣＰＥ２、ＩＮＶ１、ＩＮＶ２等の設定は、他の素子及び設定を取りうることは明らかである。例えば、本例においては、ＣＰＥ２には、第２の基準値が前述したＶＯＬ（論理値０）である場合、１が設定されていたが、他の例においては、０を設定した場合であっても、論理回路素子の配置及びＩＮＶ１、ＩＮＶ２の設定によって、本例において説明したジッタ算出装置５０と同一又は同様の機能を得ることができることは明らかである。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
産業上の利用可能性

上記説明から明らかなように、本発明によれば、電子デバイスの出力信号のジッタ量を精
度よく、且つ高速に算出することができる。また、算出手段を複数備え、算出手段を切り
替えることにより、電子デバイスの詳細な解析を行うことが可能となる。

図１は、本発明に係る試験装置１００の構成の一例を示す。 図２は、本発明に係るジッタ算出装置５０の構成の一例を示すブロック図である。 図３は、ジッタ算出部６２において、電子デバイス２０の出力信号のジッタ量を算出する手段の説明図である。 図４は、ジッタ量算出装置５０の回路構成の一例を示す。 図５は、ジッタ算出部６２の回路構成の一例を示す。

Claims (11)

1. 電子デバイスから出力される出力信号のジッタ量を算出するジッタ量算出装置であって、
   所定の位相間隔で２つのタイミングを発生するタイミング発生器と、
   前記タイミング発生器が発生した前記タイミングに基づいて、前記出力信号の値を複数回算出する値算出部と、
   前記値算出部が前記２つのタイミングのうちの片方に基づいて複数回算出した前記出力信号の値が、第１の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力する第１判定部と、
   前記値算出部が前記２つのタイミングのうちの他方に基づいて複数回算出した前記出力信号の値が、第２の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力する第２判定部と、
   前記第１判定部において、前記出力信号の値が前記第１の基準値以上であり、前記第２判定部において、前記出力信号の値が前記第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出する第４の算出手段を有するジッタ算出部と
   を備え、
   前記タイミング発生器は、前記値算出部が予め与えられた回数、前記出力信号の値を算出する毎に、異なる２つのタイミングを発生し、
   前記第４の算出手段は、前記異なる２つのタイミング毎の、前記判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出することを特徴とするジッタ量算出装置。
2. 前記ジッタ算出部は、前記第１判定部において、前記出力信号の値が前記第１の基準値以上であり、前記第２判定部において、前記出力信号の値が前記第２の基準値以上である判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出する第５の算出手段を更に有し、
   前記第５の算出手段は、前記異なる２つのタイミング毎の、前記判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出することを特徴とする請求項１に記載のジッタ量算出装置。
3. 前記ジッタ算出部は、前記第１判定部において、前記出力信号の値が前記第１の基準値以上でなく、前記第２判定部において、前記出力信号の値が前記第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出する第６の算出手段を更に有し、
   前記第６の算出手段は、前記異なる２つのタイミング毎の、前記判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出することを特徴とする請求項１または２に記載のジッタ量算出装置。
4. 前記ジッタ算出部は、
   前記第１判定部において、前記出力信号の値が前記第１の基準値以上であり、前記第２判定部において、前記出力信号の値が前記第２の基準値以上である判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出する第５の算出手段と、
   前記第１判定部において、前記出力信号の値が前記第１の基準値以上でなく、前記第２判定部において、前記出力信号の値が前記第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出する第６の算出手段と
   を更に有し、
   前記第５の算出手段及び前記第６の算出手段は、前記異なる２つのタイミング毎の、前記判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出し、
   前記第４の算出手段、前記第５の算出手段又は前記第６の算出手段のいずれかを選択し、前記出力信号のジッタ量を算出させる算出手段選択部を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のジッタ量算出装置。
5. 前記ジッタ算出部は、前記タイミング発生器が、前記値算出部が予め与えられた回数、前記出力信号の値を算出する毎に発生する、異なるタイミング毎の前記判定回数を記憶する記憶部を更に備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のジッタ量算出装置。
6. 電子デバイスの良否を判定する試験装置であって、
   試験用の試験信号を生成し、前記電子デバイスに入力する信号発生器と、
   入力された前記試験信号に基づいて、前記電子デバイスが出力する出力信号のジッタ量を算出するジッタ量算出装置と、
   前記ジッタ量算出装置が算出したジッタ量に基づいて、前記電子デバイスの良否を判定する良否判定部と
   を備え、
   前記ジッタ量算出装置は、
   所定の位相間隔で２つのタイミングを発生するタイミング発生器と、
   前記タイミング発生器が発生した前記タイミングに基づいて、前記出力信号の値を複数回算出する値算出部と、
   前記値算出部が前記２つのタイミングのうちの片方に基づいて複数回算出した前記出力信号の値が、第１の基準値以上であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力する第１判定部と、
   前記値算出部が前記２つのタイミングのうちの他方に基づいて複数回算出した前記出力信号の値が、第２の基準値以下であるか否かをそれぞれ判定し、判定結果を出力する第２判定部と、
   前記第１判定部において、前記出力信号の値が前記第１の基準値以上であり、前記第２判定部において、前記出力信号の値が前記第２の基準値以上でない判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出する第４の算出手段を含むジッタ算出部と
   を有し、
   前記タイミング発生器は、前記値算出部が予め与えられた回数、前記出力信号の値を算出する毎に、異なる２つのタイミングを発生し、
   前記第４の算出手段は、前記異なる２つのタイミング毎の、前記判定回数に基づいて、前記出力信号のジッタ量を算出することを特徴とする試験装置。
7. 前記算出手段選択部は、選択するべき前記第４の算出手段、前記第５の算出手段、又は前記第６の算出手段のいずれかを示す選択情報を、前記ジッタ算出部に供給し、
   前記ジッタ算出部は、前記選択情報と、前記第１判定部及び前記第２判定部における判定結果とを受け取り、それぞれの前記判定結果が、前記選択された算出手段の判定条件を満たすか否かを判定し、前記判定結果が前記判定条件を満たした回数を、前記判定回数として計数することを特徴とする請求項４に記載のジッタ量算出装置。
8. 前記算出手段選択部は、選択するべき算出手段の前記判定条件を示す、切替信号ＩＮＶ１と切替信号ＩＮＶ２とを、前記選択情報として前記ジッタ算出部に供給し、
   前記ジッタ算出部は、
   前記切替信号ＩＮＶ１と、前記第１判定部における判定結果とを受け取り、前記第１判定部における前記判定結果が、前記選択された算出手段の前記判定条件を満たすか否かを判定する第１判定基準比較部と、
   前記切替信号ＩＮＶ２と、前記第２判定部における前記判定結果とを受け取り、前記第２判定部における前記判定結果が、前記選択された算出手段の前記判定条件を満たすか否かを判定する第２判定基準比較部と、
   前記第１判定基準比較部及び前記第２判定基準比較部における判定結果に基づいて、前記第１判定部及び前記第２判定部における判定結果が、前記選択された算出手段の前記判定条件を共に満たすか否かを判定する第３判定基準比較部と、
   前記第３判定基準比較部において、前記選択された算出手段の前記判定条件を共に満たす回数を、前記判定回数として計数するカウンタと
   を有することを特徴とする請求項７に記載のジッタ量算出装置。
9. 前記第１判定基準比較部は、前記第１判定部における判定結果と、前記切替信号ＩＮＶ１との排他的論理和を出力する第１排他論理和回路であり、
   前記第２判定基準比較部は、前記第２判定部における判定結果と、前記切替信号ＩＮＶ２との排他的論理和を出力する第２排他論理和回路であり、
   前記第３判定基準比較部は、前記第１排他論理和回路の出力の否定論理と、第２排他論理和回路の出力の否定論理との論理積を出力する論理積回路であることを特徴とする請求項８に記載のジッタ量算出装置。
10. 前記第１判定部は、前記第１判定部における前記判定結果を、前記ジッタ算出部に供給するか否かを切り替える第１切替部を有し、
    前記第２判定部は、前記第２判定部における前記判定結果を、前記ジッタ算出部に供給するか否かを切り替える第２切替部を有し、
    前記算出手段選択部は、前記第１切替部及び前記第２切替部を制御する制御信号ＣＰＥを前記第１切替部及び第２切替部に供給することを特徴とする請求項９に記載のジッタ量算出装置。
11. 前記ジッタ算出部は、前記制御信号ＣＰＥに基づいて、前記カウンタに、前記第３判定基準比較部における判定結果を供給するか否かを切り替える第３切替部を更に有することを特徴とする請求項１０に記載のジッタ量算出装置。

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