JP2005183709A - 現像装置及び現像方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板保持部に保持された液浸露光後の基板の表面に撥水性膜を溶解するための処理液を供給して除去した後、この基板に現像液を供給する。このとき現像液と保護膜溶解成分を含む廃液とを分別回収手段により分離して回収する構成とする。この場合、廃液処理手法の異なる廃液を簡単に分別回収することができ、廃液処理に支障が生じることが少ない。
【選択図】 図3
Description
露光後の基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板の表面に現像液を供給する現像液ノズルと、
前記現像液を基板に供給する前に、この基板の表面に撥水性膜を溶解するための処理液を供給する処理液供給手段と、
前記基板に供給された現像液と撥水性膜溶解成分を含む廃液とを分離して回収するための分別回収手段と、を備えたことを特徴とする。
前記基板を基板保持部で水平に保持する工程と、
この基板の表面に処理液を供給して撥水性膜を溶解する工程と、
この基板の表面から除去された撥水性膜溶解成分を含む廃液を回収する工程と、
この基板の表面に現像液を現像液ノズルにより供給して現像する工程と、
現像液ノズルから供給された現像液を前記廃液とは分別して回収する工程と、を含むことを特徴とする。
4 カップ体
5 現像液ノズル
6 リンスノズル
60 バックリンスノズル
7 上側溶解液ノズル
70 下側溶解液ノズル
8 液受け手段
83 環状部材
84 起立面部
9 エジェクタ
100 液受けカップ
200 液受け手段
Claims (11)
- その表面にレジストが塗布され、更に少なくともその表面の周縁部に撥水性膜が形成された基板を液浸露光した後の当該基板を現像する現像装置において、
露光後の基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板の表面に現像液を供給する現像液ノズルと、
前記現像液を基板に供給する前に、この基板の表面に撥水性膜を溶解するための処理液を供給する処理液供給手段と、
前記基板に供給された現像液と撥水性膜溶解成分を含む廃液とを分離して回収するための分別回収手段と、を備えたことを特徴とする現像装置。 - 分別回収は、撥水性膜溶解成分を含む廃液を受け止めて回収するための第1の回収手段と、現像液を受け止めて回収するための第2の回収手段と、前記廃液及び現像液を分別して回収するために、第1の回収手段及び第2の回収手段の少なくとも一方の高さ位置を調整する手段と、を備えたことを特徴とする請求項1記載の現像装置。
- 第1の回収手段は、基板の裏面側と対向して設けられ、基板からこぼれ落ちた液を受け止める環状部材と、この環状部材の外周縁に基板の側端面と対向して設けられ、基板から振り飛ばされた液を受け止めるための起立面部と、を備えたことを特徴とする請求項2記載の現像装置。
- 第1の回収手段には、現像液及び撥水性膜溶解成分を含む廃液の一方を受け止めるときには吸引し、現像液及び撥水性膜溶解成分を含む廃液の他方を受け止めるときには吸引を停止する吸引孔が設けられたことを特徴とする請求項2又は3記載の現像装置。
- 第1の回収手段及び第2の回収手段は、互いに上端部の高さが異なりかつ基板保持部に対して相対的に昇降自在な第1のカップ部材及び第2のカップ部材を夫々備え、基板保持部を回転させて基板上の撥水性膜溶解成分を含む廃液を振り切るときには第1のカップ部材により回収するように第1のカップ部材の高さ位置を設定し、基板保持部を回転させて基板上の現像液を振り切るときには第2のカップ部材により回収するように第2のカップ部材の高さ位置を設定することを特徴とする請求項2記載の現像装置。
- 第1の回収手段は、基板の表面側周縁部から側端面を介して裏面側周縁部を隙間をあけて囲む液受け部と、この液受け部で現像液及び撥水性膜溶解成分を含む廃液の一方を受け止めたときに吸引する吸引孔と、を備えたことを特徴とする請求項2記載の現像装置。
- 分別回収手段は、基板から落下した現像液及び廃液を受ける液受け部と、現像液を回収する第1の回収部と、撥水性膜溶解成分を含む廃液を回収する第2の回収部と、この液受け部と第1の回収部とが連通する状態と、液受け部と第2の回収部とが連通する状態とを切り替える切り替え手段と、を備えたことを特徴とする請求項1記載の現像装置。
- その表面にレジストが塗布され、更に少なくともその表面の周縁部に撥水性膜が形成された基板を液浸露光した後の当該基板を現像する現像装置において、
前記基板を基板保持部で水平に保持する工程と、
この基板の表面に処理液を供給して撥水性膜を溶解する工程と、
この基板の表面から除去された撥水性膜溶解成分を含む廃液を回収する工程と、
この基板の表面に現像液を現像液ノズルにより供給して現像する工程と、
現像液ノズルから供給された現像液を前記廃液とは分別して回収する工程と、を含むことを特徴とする現像方法。 - 前記撥水性膜溶解成分を含む廃液を回収する工程は、基板の裏面側と対向する環状部材と、この環状部材の外周縁に設けられた起立面部と、を有する第1の液受け手段で基板からの廃液を受け止めて回収する工程であり、現像液を回収する工程は第2の回収手段で液を受け止めて回収する工程であることを特徴とする請求項8記載の現像方法。
- 現像液及び撥水性膜溶解成分を含む廃液の一方を受け止めるときには吸引孔から液を吸引して回収し、現像液及び撥水性膜溶解成分を含む廃液の他方を受け止めるときには吸引を停止することを特徴とする請求項9記載の現像方法。
- 前記廃液を回収する工程は、現像液及び撥水性膜溶解成分を含む廃液の一方を基板の表面側周縁部から側端面を介して裏面側周縁部を隙間をあけて囲む液受け部で受け止め、吸引孔から吸引して回収する工程であることを特徴とする請求項8記載の現像方法。
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