JP4101740B2 - 塗布・現像装置及びレジストパターンの形成方法 - Google Patents
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Description
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持され、レジスト塗布後の基板を回転させながら当該基板に、露光時に液層を形成する液がレジストにしみこまないようにするための撥水性膜を形成するための塗布液を供給して、基板の表面側全体と周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る部位とに撥水性膜を形成する塗布液供給部と、
前記撥水性膜を形成する前に基板表面上における周縁部のレジストを除去するための手段と、を備えたことを特徴とする。
他の発明の塗布・現像装置は、基板の表面にレジストを塗布するレジスト塗布ユニットと、露光後の基板を現像する現像ユニットとを備えた塗布、現像装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持され、レジスト塗布後の基板を回転させながら当該基板に撥水性膜を形成するための塗布液を供給して、基板の表面側全体と周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る部位とに撥水性膜を形成する塗布液供給部と、を備え、
前記塗布液供給部は、基板保持部に保持された基板の表面側の中央部に塗布液を供給する上側ノズルと、当該基板の裏面側の周縁部に塗布液を供給する下側ノズルと、を備え、
前記現像ユニットは撥水性膜が形成された前記基板の表面に光を透過する液層を形成した状態で露光した後の当該基板を現像処理することを特徴とする。
更に他の発明にかかる塗布・現像装置は、基板の表面にレジストを塗布するレジスト塗布ユニットと、基板の表面に光を透過する液層を形成した状態で露光した後の当該基板を現像処理する現像ユニットとを備えた塗布、現像装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持され、レジスト塗布後の基板を回転させながら当該基板に撥水性膜を形成するための塗布液を供給して、基板の表面側の少なくとも周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る撥水性膜を形成する塗布液供給部と、を備え、
前記塗布液供給部は、基板の周縁部がその空間に挿入される位置と基板の周縁部が前記空間から離れる位置との間で水平移動可能なコ字型部材と、このコ字型部材において前記空間に開口し、基板の中心側とは反対側に吸引排気するための排気口と、を備え、基板の表面側の周縁部に塗布液を供給する上側ノズル及び当該基板の裏面側の周縁部に塗布液を供給する下側ノズルは、前記コ字型部材に設けられたことを特徴とする。
基板の表面にレジストを塗布する工程と、
次いで基板を基板保持部に水平に保持した状態で当該基板保持部を回転させながら基板に塗布液を供給して、基板の表面側全体と周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る部位とに撥水性膜を形成する工程と、
前記レジストを塗布する工程の後、撥水性膜を形成する工程の前に行われ、基板表面上における周縁部のレジストを除去する工程と、
その後、基板の表面に液層が形成された状態で基板の表面を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、有し、
前記撥水性膜は、露光時に液層を形成する液がレジストにしみこまないようにするためのものであることを特徴とする。
他の発明のレジストパターン形成方法は、基板の表面にレジストを塗布する工程と、
次いで基板を基板保持部に水平に保持した状態で当該基板保持部を回転させながら基板に塗布液を供給して、基板の表面側全体と周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る部位とに撥水性膜を形成する工程と、
その後、基板の表面に液層が形成された状態で基板の表面を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、有し、
前記撥水性膜を形成する工程は、基板保持部に保持された基板の表面側の中央部に塗布液を供給する上側ノズルと、当該基板の裏面側の周縁部に塗布液を供給する下側ノズルとから塗布液を吐出させて行われ、
前記撥水性膜は、露光時に液層を形成する液がレジストにしみこまないようにするためのものであることを特徴とする。
4 カップ体
5 レジスト供給ノズル
6 第1の液供給ノズル
60 第2の液供給ノズル
8 液供給部
Claims (7)
- 基板の表面にレジストを塗布するレジスト塗布ユニットと、基板の表面に光を透過する液層を形成した状態で露光した後の当該基板を現像処理する現像ユニットとを備えた塗布、現像装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持され、レジスト塗布後の基板を回転させながら当該基板に、露光時に液層を形成する液がレジストにしみこまないようにするための撥水性膜を形成するための塗布液を供給して、基板の表面側全体と周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る部位とに撥水性膜を形成する塗布液供給部と、
前記撥水性膜を形成する前に基板表面上における周縁部のレジストを除去するための手段と、を備えたことを特徴とする塗布・現像装置。 - 基板の表面にレジストを塗布するレジスト塗布ユニットと、基板の表面に光を透過する液層を形成した状態で露光した後の当該基板を現像処理する現像ユニットとを備えた塗布、現像装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持され、レジスト塗布後の基板を回転させながら当該基板に、露光時に液層を形成する液がレジストにしみこまないようにするための撥水性膜を形成するための塗布液を供給して、基板の表面側全体と周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る部位とに撥水性膜を形成する塗布液供給部と、を備え、
前記塗布液供給部は、基板保持部に保持された基板の表面側の中央部に塗布液を供給する上側ノズルと、当該基板の裏面側の周縁部に塗布液を供給する下側ノズルと、を備えたことを特徴とする塗布・現像装置。 - 基板の表面にレジストを塗布するレジスト塗布ユニットと、基板の表面に光を透過する液層を形成した状態で露光した後の当該基板を現像処理する現像ユニットとを備えた塗布、現像装置において、
前記基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持され、レジスト塗布後の基板を回転させながら当該基板に撥水性膜を形成するための塗布液を供給して、基板の表面側の少なくとも周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る撥水性膜を形成する塗布液供給部と、を備え、
前記塗布液供給部は、基板の周縁部がその空間に挿入される位置と基板の周縁部が前記空間から離れる位置との間で水平移動可能なコ字型部材と、このコ字型部材において前記空間に開口し、基板の中心側とは反対側に吸引排気するための排気口と、を備え、基板の表面側の周縁部に塗布液を供給する上側ノズル及び当該基板の裏面側の周縁部に塗布液を供給する下側ノズルは、前記コ字型部材に設けられたことを特徴とする塗布・現像装置。 - 塗布液供給部は、レジスト塗布ユニットに設けられ、前記基板保持部は、レジストを基板に塗布するときに使用される基板保持部を兼用していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の塗布・現像装置。
- 基板の表面にレジストを塗布する工程と、
次いで基板を基板保持部に水平に保持した状態で当該基板保持部を回転させながら基板に塗布液を供給して、基板の表面側全体と周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る部位とに撥水性膜を形成する工程と、
前記レジストを塗布する工程の後、撥水性膜を形成する工程の前に行われ、基板表面上における周縁部のレジストを除去する工程と、
その後、基板の表面に液層が形成された状態で基板の表面を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、有し、
前記撥水性膜は、露光時に液層を形成する液がレジストにしみこまないようにするためのものであることを特徴とするレジストパターンの形成方法。 - 基板の表面にレジストを塗布する工程と、
次いで基板を基板保持部に水平に保持した状態で当該基板保持部を回転させながら基板に塗布液を供給して、基板の表面側全体と周縁部から側端面を介して裏面側の周縁部に跨る部位とに撥水性膜を形成する工程と、
その後、基板の表面に液層が形成された状態で基板の表面を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、有し、
前記撥水性膜を形成する工程は、基板保持部に保持された基板の表面側の中央部に塗布液を供給する上側ノズルと、当該基板の裏面側の周縁部に塗布液を供給する下側ノズルとから塗布液を吐出させて行われ、
前記撥水性膜は、露光時に液層を形成する液がレジストにしみこまないようにするためのものであることを特徴とするレジストパターンの形成方法。 - 基板にレジストを塗布する工程は、基板を基板保持部に水平に保持させた状態で行われ、撥水性膜を形成する工程は、基板を当該基板保持部に保持させたまま行われることを特徴とする請求項5または6記載のレジストパターンの形成方法。
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