JP2005166991A - アライメント装置及び加工装置 - Google Patents
アライメント装置及び加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005166991A JP2005166991A JP2003404310A JP2003404310A JP2005166991A JP 2005166991 A JP2005166991 A JP 2005166991A JP 2003404310 A JP2003404310 A JP 2003404310A JP 2003404310 A JP2003404310 A JP 2003404310A JP 2005166991 A JP2005166991 A JP 2005166991A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnification
- image
- low
- imaging
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 79
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 53
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 28
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】ウェーハWを撮像して加工すべき領域を検出するアライメント装置3において、ウェーハWの光学像を取得する光学系30と、光学像を撮像する第一の撮像手段310及び第二の撮像手段311と、第一の撮像手段310及び第二の撮像手段311が取得した画像に処理を施す画像処理手段32と、処理後の画像を表示する表示手段33とを備え、第一の撮像手段310の光軸310aと第二の撮像手段311の光軸311aとが光学系30の光軸30aに合流し、第一の撮像手段310は、第二の撮像手段311より低倍率の撮像を行って低倍率画像を取得し、第二の撮像手段311は、第一の撮像手段310より高倍率の撮像を行って高倍率画像を取得し、画像処理手段32は、低倍率画像と高倍率画像とを同時に表示手段33に表示させる。
【選択図】図2
Description
3:アライメント装置
30:光学系
30a:光軸 30b:アライメント基準線
31:撮像部
310:第一の撮像手段 311:第二の撮像手段
32:画像処理手段
320:アライメント情報記憶部 321:低倍率パターンマッチング部
322:高倍率パターンマッチング部 323:表示処理部
33:表示手段
33a:低倍率画像 33b:高倍率画像
330a、330b:カーソル
34、35:ハーフミラー 36:照明機器
4:切削手段
40:スピンドルハウジング 41:スピンドル 42:切削ブレード
5:切削送り部
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:パルスモータ 53:基台
54:回転駆動部
6:切り込み送り部
60:ガイドレール 61:パルスモータ 62:支持部
7:割り出し送り部
70:ボールネジ 71:ガイドレール 72:パルスモータ 73:基台
W:半導体ウェーハ
S:ストリート
S1:中心線
100:低倍率キーパターン 101:高倍率キーパターン
110:第一の検出領域 111:第二の検出領域
F:ダイシングフレーム T:ダイシングテープ
Claims (7)
- 複数の回路がストリートによって区画されて形成されたウェーハを撮像して加工すべき領域を検出するアライメント装置であって、
ウェーハの光学像を取得する光学系と、該光学像を撮像する第一の撮像手段及び第二の撮像手段と、該第一の撮像手段及び該第二の撮像手段が取得した画像に処理を施す画像処理手段と、該処理後の画像を表示する表示手段とを備え、
該第一の撮像手段の光軸と該第二の撮像手段の光軸とが該光学系の光軸に合流し、
該第一の撮像手段は、該第二の撮像手段より低倍率の撮像を行って低倍率画像を取得し、
該第二の撮像手段は、該第一の撮像手段より高倍率の撮像を行って高倍率画像を取得し、
該画像処理手段は、該低倍率画像と該高倍率画像とを同時に該表示手段に表示できる
アライメント装置。 - 前記画像処理手段には、
前記低倍率画像に対応する低倍率キーパターンの画像情報と、前記高倍率画像に対応する高倍率キーパターンの画像情報と、該低倍率キーパターンと該高倍率キーパターンとの所要の位置関係とを少なくとも記憶するアライメント情報記憶部と、
該低倍率キーパターンに基づく低倍率パターンマッチングを行う低倍率パターンマッチング部と、
該高倍率キーパターンに基づく高倍率パターンマッチングを行う高倍率パターンマッチング部と
を少なくとも備え、該低倍率パターンマッチングと該高倍率パターンマッチングとを連続的に遂行する
請求項1に記載のアライメント装置。 - 前記低倍率キーパターン及び前記高倍率キーパターンは、前記ウェーハの第一の検出領域及び該第一の検出領域から所定距離離れた第二の検出領域にそれぞれ形成されており、
該第一の検出領域から該所定間隔離れた該第二の検出領域に前記光学系を位置付ける駆動手段を備えた請求項2に記載のアライメント装置。 - 前記第一の検出領域の座標情報と前記第二の検出領域の座標情報とに基づいて、前記加工すべき領域の向きを調整する調整手段を備えた請求項3に記載のアライメント装置。
- 前記加工すべき領域を照明する照明機器を備え、前記光学系の光軸には、該照明機器の光軸が合流する請求項1、2、3または4に記載のアライメント装置。
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物の加工すべき領域を検出するアライメント装置と、該アライメント装置によって検出した該加工すべき領域に加工を施す加工手段とを少なくとも備えた加工装置であって、
該アライメント装置は、請求項1乃至5のいずれかに記載のアライメント装置である加工装置。 - 前記加工手段は、切削ブレードを備えた切削手段またはレーザー光を照射するレーザー光照射手段である請求項6に記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003404310A JP4697843B2 (ja) | 2003-12-03 | 2003-12-03 | アライメント装置及び加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003404310A JP4697843B2 (ja) | 2003-12-03 | 2003-12-03 | アライメント装置及び加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005166991A true JP2005166991A (ja) | 2005-06-23 |
JP4697843B2 JP4697843B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=34727329
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003404310A Expired - Lifetime JP4697843B2 (ja) | 2003-12-03 | 2003-12-03 | アライメント装置及び加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4697843B2 (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007128949A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置及びターゲットパターンの登録支援方法 |
JP2008100258A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP2009064828A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2009124034A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置、及びダイシング方法 |
JP2010082644A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2010267970A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Asm Assembly Automation Ltd | シンギュレーションシステムのためのアラインメント方法 |
JP2010539481A (ja) * | 2007-09-17 | 2010-12-16 | クオリティー ヴィジョン インターナショナル インコーポレイテッド | 二分解能,二距離センサのシステムおよび方法 |
JP2012023256A (ja) * | 2010-07-16 | 2012-02-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 分割予定ラインの検出方法 |
KR101223203B1 (ko) * | 2005-06-28 | 2013-01-17 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공방법 |
KR101243821B1 (ko) | 2006-12-28 | 2013-03-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 섀도우 마스크와 기판의 얼라인 장치 및 이를 이용한얼라인 방법 |
JP2014220417A (ja) * | 2013-05-09 | 2014-11-20 | 株式会社ディスコ | レーザー加工方法 |
CN105914174A (zh) * | 2015-02-25 | 2016-08-31 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
JP2019197775A (ja) * | 2018-05-08 | 2019-11-14 | 株式会社東京精密 | 補助方法及び補助装置 |
KR20200052157A (ko) * | 2018-11-06 | 2020-05-14 | (주) 솔 | 고배율 이미지가 저배율 이미지에 의해 가이드되는 디지털 현미경 및 디지털 현미경 시스템 |
KR20200094078A (ko) | 2019-01-29 | 2020-08-06 | 가부시기가이샤 디스코 | 키 패턴의 검출 방법, 및 장치 |
JP2021068777A (ja) * | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 株式会社ディスコ | ワークのストリート位置の検出方法 |
DE102022210511A1 (de) | 2021-10-12 | 2023-04-13 | Disco Corporation | Bearbeitungsvorrichtung |
JP7455014B2 (ja) | 2020-07-10 | 2024-03-25 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP7462497B2 (ja) | 2020-07-10 | 2024-04-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0688707A (ja) * | 1991-10-21 | 1994-03-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検出方法及びその装置 |
JPH07106405A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-04-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | アライメント方法 |
JPH1083944A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-31 | Canon Inc | 画像表示方法および半導体製造装置 |
JP2000088563A (ja) * | 1998-09-08 | 2000-03-31 | Hitachi Ltd | 外観検査方法および外観検査装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60244803A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Disco Abrasive Sys Ltd | 自動精密位置合せシステム |
-
2003
- 2003-12-03 JP JP2003404310A patent/JP4697843B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0688707A (ja) * | 1991-10-21 | 1994-03-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検出方法及びその装置 |
JPH07106405A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-04-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | アライメント方法 |
JPH1083944A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-31 | Canon Inc | 画像表示方法および半導体製造装置 |
JP2000088563A (ja) * | 1998-09-08 | 2000-03-31 | Hitachi Ltd | 外観検査方法および外観検査装置 |
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101223203B1 (ko) * | 2005-06-28 | 2013-01-17 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공방법 |
JP2007128949A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置及びターゲットパターンの登録支援方法 |
JP2008100258A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
KR101243821B1 (ko) | 2006-12-28 | 2013-03-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 섀도우 마스크와 기판의 얼라인 장치 및 이를 이용한얼라인 방법 |
JP2009064828A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2010539481A (ja) * | 2007-09-17 | 2010-12-16 | クオリティー ヴィジョン インターナショナル インコーポレイテッド | 二分解能,二距離センサのシステムおよび方法 |
JP2009124034A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置、及びダイシング方法 |
JP2010082644A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2010267970A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Asm Assembly Automation Ltd | シンギュレーションシステムのためのアラインメント方法 |
JP2012023256A (ja) * | 2010-07-16 | 2012-02-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 分割予定ラインの検出方法 |
JP2014220417A (ja) * | 2013-05-09 | 2014-11-20 | 株式会社ディスコ | レーザー加工方法 |
JP2016157870A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
KR20160103921A (ko) | 2015-02-25 | 2016-09-02 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
CN105914174A (zh) * | 2015-02-25 | 2016-08-31 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
JP2019197775A (ja) * | 2018-05-08 | 2019-11-14 | 株式会社東京精密 | 補助方法及び補助装置 |
JP7087264B2 (ja) | 2018-05-08 | 2022-06-21 | 株式会社東京精密 | 補助方法及び補助装置 |
KR102259841B1 (ko) | 2018-11-06 | 2021-06-02 | (주) 솔 | 고배율 이미지가 저배율 이미지에 의해 가이드되는 디지털 현미경 및 디지털 현미경 시스템 |
KR20200052157A (ko) * | 2018-11-06 | 2020-05-14 | (주) 솔 | 고배율 이미지가 저배율 이미지에 의해 가이드되는 디지털 현미경 및 디지털 현미경 시스템 |
JP7191473B2 (ja) | 2019-01-29 | 2022-12-19 | 株式会社ディスコ | キーパターンの検出方法、及び装置 |
JP2020123622A (ja) * | 2019-01-29 | 2020-08-13 | 株式会社ディスコ | キーパターンの検出方法、及び装置 |
KR20200094078A (ko) | 2019-01-29 | 2020-08-06 | 가부시기가이샤 디스코 | 키 패턴의 검출 방법, 및 장치 |
JP2021068777A (ja) * | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 株式会社ディスコ | ワークのストリート位置の検出方法 |
JP7368177B2 (ja) | 2019-10-21 | 2023-10-24 | 株式会社ディスコ | ワークのストリート位置の検出方法 |
JP7455014B2 (ja) | 2020-07-10 | 2024-03-25 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP7462497B2 (ja) | 2020-07-10 | 2024-04-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
DE102022210511A1 (de) | 2021-10-12 | 2023-04-13 | Disco Corporation | Bearbeitungsvorrichtung |
KR20230052221A (ko) | 2021-10-12 | 2023-04-19 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4697843B2 (ja) | 2011-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4697843B2 (ja) | アライメント装置及び加工装置 | |
JP5198203B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5122378B2 (ja) | 板状物の分割方法 | |
KR102240331B1 (ko) | 가공 장치 | |
TW201639054A (zh) | 加工裝置 | |
TW201641204A (zh) | 雷射加工裝置 | |
US11633872B2 (en) | Processing apparatus | |
KR20100118560A (ko) | 다이싱 장치 및 다이싱 방법 | |
JP2009012127A (ja) | 切削装置 | |
KR101886357B1 (ko) | 레이저 광선의 스폿 형상 검출 방법 및 스폿 형상 검출 장치 | |
CN110783245A (zh) | 对准方法 | |
CN110783246B (zh) | 对准方法 | |
TW202016532A (zh) | 切晶晶片檢查裝置 | |
JP2000074644A (ja) | 棒状切削工具の測定装置並びに該測定装置を使用したドリルの測定方法 | |
JP2009064828A (ja) | 加工装置 | |
JP5372429B2 (ja) | 板状物の分割方法 | |
JP2011142126A (ja) | 分割方法 | |
JP5011003B2 (ja) | 位置合わせ方法 | |
CN112908891A (zh) | 加工装置 | |
KR20190100022A (ko) | 가공 장치 | |
JP7087264B2 (ja) | 補助方法及び補助装置 | |
JP7308394B2 (ja) | 補助方法及び補助装置 | |
CN111515915B (zh) | 对准方法 | |
TWI761609B (zh) | 晶圓的加工方法 | |
JP2023112771A (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090903 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100506 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100701 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4697843 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140311 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |