JP2005132703A - 炭化珪素基板の製造方法および炭化珪素基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 SiCからなるインゴッドを形成する工程と、このインゴッドを加熱する工程と、インゴッドを冷却した後に所定の厚みに切断する工程とを含む、SiC基板の製造方法である。また、上記SiC基板の製造方法によって得られたSiC基板であって、半導体デバイス用の基板として用いられるSiC基板である。
【選択図】 図1
Description
図1に示す成長装置5を用いて、SiC種結晶基板1上にSiC結晶2をバルク成長させた。ここで、バルク成長は、坩堝7の内部を1.0×105PaのArガス雰囲気とし、ワークコイル10に高周波電流を流すことによって、SiC種結晶基板1の表面温度が粉末状のSiC結晶2aの温度よりも低くなるように温度勾配をつけて加熱することによって行われた。
インゴッド3を加熱炉内において2400℃の加熱温度で加熱したこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
インゴッド3を加熱炉内において700℃の加熱温度で加熱したこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
インゴッド3を加熱炉内において800℃の加熱温度で100時間加熱したこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
インゴッド3を加熱炉内において800℃の加熱温度で0.5時間加熱したこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
インゴッド3を加熱炉内において800℃の加熱温度で105時間加熱したこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
インゴッド3を加熱炉内において800℃の加熱温度まで5℃/分の速度で昇温させたこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
インゴッド3を加熱炉内において800℃の加熱温度まで4.5℃/分の速度で昇温させたこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
インゴッド3を室温まで10℃/時の速度で冷却したこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
インゴッド3を室温まで9.5℃/時の速度で冷却したこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
インゴッド3を加熱しなかったこと以外は、実施例1と同様にしてSiC基板(厚さ400μm、口径2インチ)の曲率半径(m)を調査した。この調査結果を表1に示す。
Claims (7)
- 炭化珪素からなるインゴッドを形成する工程と、前記インゴッドを加熱する工程と、前記インゴッドを冷却した後に所定の厚みに切断する工程と、を含む、炭化珪素基板の製造方法。
- 前記インゴッドの加熱時における前記インゴッドの表面の最高温度部分と最低温度部分との温度差が100℃以下であることを特徴とする、請求項1に記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 前記インゴッドの加熱温度が800℃以上2400℃以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 前記加熱温度における前記インゴッドの加熱時間が、1時間以上100時間以下であることを特徴とする、請求項3に記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 前記インゴッドの加熱温度までの昇温速度が、5℃/分以上50℃/分以下であることを特徴とする、請求項3または4に記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 前記インゴッドを冷却する際の冷却速度が、10℃/時以上1000℃/時以下であることを特徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の炭化珪素基板の製造方法。
- 請求項1から6のいずれかに記載の炭化珪素基板の製造方法によって得られた炭化珪素基板であって、半導体デバイス用の基板として用いられることを特徴とする、炭化珪素基板。
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