JP2005115000A - 精細パターンの印刷方法と印刷装置およびカラーフィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】硬いもの、寸法精度の要求されるものへの印刷装置にて、インキのロスを少なくし、材料費を低減させ、フォトリソ工程に代わる省スペースの印刷方式により精細パターンを高精度に印刷可能とする印刷装置を提供する。
【解決手段】固化した構成色の各インキに対して離型性を有する表面に撥インキパターン部２３で囲まれた微細な凹部２４を形成して撥インキパターン部２３にスペーサ２６が突設されている可撓性平板状版２の凹部２４に、インキをインキ供給手段８により供給して、精細パターンを形成し、精細パターンのインキの溶剤が蒸発した後、可撓性平板状版２と透明基材９とを重ね合わせ、スペーサ２６を間にして撥インキパターン部２３と透明基材９とを非接触とした状態の下で可撓性平板状版２を透明基材９側に押圧して、固化した構成色のインキからなる精細パターンを透明基材９に転移する。
【選択図】 図２０

Description

本発明は、カラーフィルタパターンなどの精細パターンの印刷方法とその印刷装置、およびカラーフィルタに関し、さらに詳しくは、所定の色層（Ｒ（赤）／Ｇ（緑）／Ｂ（青））を同時にカラーフィルタ用ガラスなどの透明基材に印刷する方法、印刷装置およびこれらから得られるカラーフィルタに関するものである。

従来からカラー液晶ディスプレイ装置等に使用されているカラーフィルタの製造方法としては、印刷法、フォトリソグラフィ法、転写法等が提案されて使用されてきたが、現在は、ほとんど全てのカラーフィルタはフォトリソグラフィ法で作成されている。その理由は、カラーフィルタの仕様が、画素サイズ、寸法精度、色ムラ精度等について、カラーディスプレイの高精細化に伴なって厳しくなり、フォトリソグラフィ法以外では、対応することが難しくなったためである。

しかるに例えばカラー液晶テレビに対しては、低価格化が普及のために必須であり、カラーフィルタの低コスト化が必要である。しかし、フォトリソグラフィ法は、工程が長い上に使用する露光機等の装置が高額なため、低コスト化が限界に近く、他の低コストの製造方法が求められている。

勿論、このフォトリソグラフィ法においてもカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタを製造する上で低コスト化が試みられていて、シート状の印刷基材上にフォトレジストインクを塗布する方法として、従来からのフォトレジストインクをシート状のガラス板上の中央部に滴下する代わりに、先ずスロット型塗布ヘッドによりガラス板上の全面に平面状に厚く塗布し、次に高速で回転させることによって均一な塗布膜を形成することも行われている。
このような塗布手段によると、中央部に滴下する塗布手段に比してフォトレジストインクの消費量は少ないものの、これら何れの塗布手段も余分に投与したフォトレジストインクを高速回転による遠心力で除去することにより薄くて均一な塗布膜を形成することから、かなりの割合のフォトレジストインクが無駄になってしまう。

一方、精細パターンを効率よく製造する方法として、スロット型塗布ヘッドで精密にフォトレジストインクの塗膜を制御して硬い被印刷体の表面上に塗布し、露光し、現像してパターンを形成するものがある。
しかしながら、ガラス基板等の被印刷体の表面上にフォトレジストインクを塗布し、パターンを露光・現像するには高価な露光機及び現像機を必要として費用がかかるため、印刷方式により精細パターンを作成する方法が提案されている。

印刷方式で精細パターンのカラーフィルタを作成する従来技術としては、例えばＲ（赤）／Ｇ（緑）／Ｂ（青）三色のインクの画像をブランケット胴に転写し、この画像を印刷定盤上のガラス基板に転写して３色印刷を行う方法が特許文献１に開示されている。
また、展色平版を介してローラ表面の凸版にインクを転写し、このローラをガラス基板上を転動させることにより凸版のインクを印刷する方法が特許文献２に開示されている。
更に、シリコーンブランケット上に機能性樹脂の塗布面を形成し、凹版又は凸版を塗布面に押圧し、押圧部分の樹脂をシリコーンブランケット上から除去し、残った樹脂を被印刷体に転写する画像形成法が特許文献３に開示されている。
転写ロールの表面にスロットノズルを用いてフォトレジストの塗布膜を設け、乾燥した後レーザー光によってパターン描画し、これを現像して、転写ロール表面にレジストパターンを形成し、加熱加圧によってガラス基板に転写してレジストパターンを形成する方法が特許文献４に開示されている。
一方、カラーフィルタを形成するに際してインクジェット装置を使用する例は特許文献５に開示され、更にインクジェット装置を使用して転写する例は特許文献６に開示されている。
特開平６−９３９号公報 特開平６−２７３１６号公報 特開２０００−２８９３２０号公報 特開２００２−７１９３２号公報 特開２００２−３７２６１３号公報 特開平１１−３１１７０７号公報

上記インクジェット装置の利用はインクジェット装置自体の性能が向上してきたことから精細パターンを得る上で有効であるが、このインクジェット印刷法においては、カラーフィルタ基板に色材の液滴が衝突した際の広がりを所定範囲内に規定するための壁や固化したカラーフィルタ用インクに対して離型性を有する表面のパターンが必要となる。
しかし、壁や固化したカラーフィルタ用のインキに対して離型性を有する表面のパターンを形成する方法としてのフォトリソグラフィ法が使用されているので、低コスト化の妨げとなっている。さらに、インクジェットインキの着弾時には表面張力で丸くなるが、溶剤が飛ぶにつれて真ん中が凹んだり、出っ張ったりして平滑にコントロールするのが難しかった。
そこで、本発明は、インクジェット装置を使い、寸法精度の要求されるものへのパターンを作成する際に、インキのロスを少なく、有効に用いて材料費を低減させるとともに、インク膜厚の面内バラツキを少なくして歩留りを向上させることを課題とし、高品質の寸法精度の要求されるものへのパターンを廉価に製造することを可能にすることを目的とするものである。

上記の目的を達成するために、本発明は、複数の構成色からなる精細パターンをカラーフィルタ用ガラスなどの透明基材に印刷するに当たり、固化した構成色の各インキに対して離型性を有する表面に撥インキパターン部でそれぞれが囲まれた微細な凹部を形成して前記撥インキパターン部にスペーサが突設されている可撓性平板状版の前記凹部それぞれに、該凹部に対応する構成色のインキをインキ供給手段により供給して、可撓性平板状版に精細パターンを形成し、前記精細パターンのインキの溶剤が蒸発した後、前記可撓性平板状版と前記透明基材とを重ね合わせ、前記スペーサを間にして前記撥インキパターン部と透明基材とを非接触とした状態の下で可撓性平板状版を透明基材側に押圧して、構成色のインキからなる精細パターンを透明基材に転移することを特徴とする精細パターンの印刷方法を提供して、上記課題を解消するものである。なお、インキの溶剤が蒸発した後でもインキには光硬化性樹脂などが含まれており、完全には固化しない。

この発明において、上記透明基材はカラーフィルタ用ガラス板であり、上記可撓性平板状版の基板は、熱膨張率が前記カラーフィルタ用ガラス板の熱膨張率と同一、または近似するガラス、または鉄−ニッケル合金とすることが可能である。
また、上記可撓性平板状版は、スクリーン印刷用紗などの弾性変形可能なシート材に貼着され、上記透明基材への押圧後の可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の傾斜引き起こしにより可撓性平板状版を捲り上げ状に反らせて透明基材から分離させるものとすることが可能である。
さらに、上記可撓性平板状版は、インキ供給前に、上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持されて、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なうものとすることが可能である。
そして、上記インキ供給手段は平面内で移動可能に設けられたインクジェット装置であって、該インクジェット装置から、下向きに配置された上記可撓性平板状版の凹部に対してインキを噴射して供給して、凹部それぞれのインキの形状を、撥インキパターン部より下方に向けて盛り上がった形状とすることが可能である。
さらにまた、上記可撓性平板状版に形成された精細パターンのインキを、該インキに対して空気、熱、光などの溶剤蒸発条件を与えるインキ溶剤蒸発手段により、インキ粘性を保持した溶剤蒸発状態にすることが可能である。
さらに、上記透明基材を、上記可撓性平板状版の下方の高さ位置で移動可能に設け、該可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ前に、透明基材を可撓性平板状版に対して位置合わせを行なうものとすることが可能である。
さらに、上記可撓性平板状版の透明基材への押圧を、可撓性平板状版上を転動移動する胴体により行なって、可撓性平板状版の精細パターンのインキを透明基材に密着させ、可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ状態で紫外線照射を行なって前記インキを固化させた後、可撓性平板状版上を転動移動する胴体の移動方向後位側から可撓性平板状版を捲り上げて、透明基材から可撓性平板状版を分離するものとすることが可能である。
さらに、上記精細パターンを上記透明基材に転移した後、前記透明基材の前記精細パターンが転移された側に裏露光樹脂ブラックレジストを塗布し、前記透明基材の前記裏露光樹脂ブラックレジストが塗布されている側の反対側から紫外線を照射し、前記裏露光樹脂ブラックレジストを現像することにより、遮光パターンを位置精度よく形成することが可能である。

もう一つの発明は、複数の構成色からなる精細パターンをカラーフィルタ用ガラスなどの透明基材に印刷する印刷装置であって、固化した構成色の各インキに対して離型性を有する表面に撥インキパターン部でそれぞれが囲まれた微細な凹部を形成して前記撥インキパターン部にスペーサが突設されている可撓性平板状版と、前記可撓性平板状版の凹部それぞれに、該凹部に対応する構成色のインキを供給するインキ供給手段と、前記インキ供給手段により凹部それぞれに供給されたインキの溶剤が蒸発した後に前記透明基材に重ね合された可撓性平板状版を、前記スペーサを間にして前記撥インキパターン部と透明基材とを非接触とした状態の下で透明基材側に押圧して、精細パターンのインキを透明基材に密着させて透明基材に転移させるインキ転移手段とを備えることを特徴とする精細パターンの印刷装置であり、この精細パターンの印刷装置を提供して上記課題を解消するものである。

上記発明において、上記透明基材はカラーフィルタ用ガラス板であり、上記可撓性平板状版の基板は、熱膨張率が前記カラーフィルタ用ガラス板の熱膨張率と同一、または近似するガラス、または鉄−ニッケル合金とすることが可能である。
また、上記可撓性平板状版は、スクリーン印刷用紗などの弾性変形可能なシート材に貼着され、上記透明基材へのインキの転移における可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の弾性変形を伴った傾斜引き起こしによる可撓性平板状版の捲り上げが可能な構成とすることが可能である。
さらに、インキ供給前の上記可撓性平板状版を上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持して、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なう位置合わせ手段を備えるものとすることが可能である。
そして、上記インキ供給手段は、下向きに配置された上記可撓性平板状版の凹部に対してインキを噴射して供給して、凹部それぞれのインキの形状を、撥インキパターン部より下方に向けて盛り上がった形状に形成可能なインクジェット装置であり、該インクジェット装置が平面内で移動可能に設けられているものとすることが可能である。
さらにまた、上記可撓性平板状版に形成された精細パターンのインキに、空気、熱、光などの溶剤蒸発条件を与えて、インキ粘性を保持した溶剤蒸発状態にするインキ溶剤蒸発手段を備えるものとすることが可能である。
また、インキ供給後の上記可撓性平板状版の下方の高さ位置で上記透明基材を移動可能に支持する定盤を備え、該定盤が、前記可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ前に、透明基材を可撓性平板状版に対して位置合わせを行なう構成とすることが可能である。
そして、上記インキ転移手段は、上記透明基材に重ね合わせた可撓性平板状版上を転動移動して可撓性平板状版を透明基材に押圧して、可撓性平板状版の精細パターンのインキを透明基材に密着させる胴体と、可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ状態で紫外線照射を行なって前記インキを固化させるものとすることが可能である。
また、可撓性平板状版上を転動移動する胴体の移動方向後位側から可撓性平板状版を捲り上げて、透明基材から可撓性平板状版を分離することが可能である。
さらに、上記インキ転移手段により上記精細パターンが転移された上記透明基材上に裏露光樹脂ブラックレジストを塗布し、紫外線照射により露光し、現像して、遮光パターンを形成する手段を有することにより、遮光パターンを形成することが可能である。

さらにもう一つの発明は、透明基材上に、請求項１から９の何れか一項における精細パターンの印刷方法におけるインキ供給手段からの供給インキをカラーフィルタの構成色であるＲＧＢのインキとして転移した精細パターンを熱硬化させてなるカラーフィルタパターン部と、該カラーフィルタパターン部の面に塗布した裏露光樹脂ブラックレジストに対する透明基材のカラーフィルタパターン部の面とは反対側からの紫外線露光、加熱、現像により、カラーフィルタ画素パターン部を除いた部分に形成された遮光パターン部とを備えることを特徴とするカラーフィルタであり、このカラーフィルタを提供して上記課題を解消するものである。

上記請求項１の発明方法によれば、インキ供給手段により供給された精細パターンのインキの溶剤が蒸発した後、可撓性平板状版と透明基材とを重ね合わせ、可撓性平板状版の撥インキパターン部のスペーサを間にして撥インキパターン部と透明基材とを非接触とした状態の下で可撓性平板状版を透明基材側に押圧して、固化した構成色のインキからなる精細パターンを透明基材に転移するので、カラーフィルタなどにおける精細パターンを、遮光パターン部より先に透明基材上で膜厚均一にして形成することとなり、また、カラーフィルタを得る上で、遮光パターン部へのカラーフィルタ構成色のインキの付着が防止できるとともに、供給するインキを多少多めにすることが可能となって、印刷工程でのバラツキに対する許容範囲が広がり、安定した製造を行うことができる。

また、請求項２の発明方法によれば、透明基材をカラーフィルタ用ガラス板とし、可撓性平板状版の基板を、熱膨張率が前記カラーフィルタ用ガラス板の熱膨張率と同一、または近似するガラス、または鉄−ニッケル合金とすることで、位置合わせ精度が向上し、印刷時の温度による影響が少なくなる。

請求項３の発明方法によれば、可撓性平板状版が、スクリーン印刷用紗などの弾性変形可能なシート材に貼着されることで、可撓性平板状版が持つ可撓性を発揮させ易くなり、透明基材への押圧後の可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の傾斜引き起こしにより可撓性平板状版を捲り上げ状に反らせて透明基材から分離させることで、インキの転移が確実になる。

請求項４の発明方法によれば、可撓性平板状版が、インキ供給前に、上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持されて、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なうでの、インキ供給手段との精密な位置決めが可能となり、かつ可撓性平板状版が下方に撓むのを防止し、これによりインキ供給手段との間隔を一定に保持してインキ供給を平らな可撓性平板状版に対して行なえるようになる。

請求項５の発明方法によれば、下から上に噴射してインキを可撓性平板状版にインキングすることにより、従来方法では凹部のインキ隔壁からインキが溢れたような低い隔壁であっても、可撓性平板状版の印刷面は下向きであるのでインクは溢れない効果がある。

請求項６の発明方法によれば、可撓性平板状版に形成された精細パターンのインキを、該インキに対して空気、熱、光などの溶剤蒸発条件を与えるインキ溶剤蒸発手段により、インキ粘性を保持した溶剤蒸発状態にするので、透明基材へのインキ転移が容易となり、かつ所定の押圧力、所定の印刷速度によりインキを転移することができ、インキの膜厚が均一になるとともに所望のインキ膜厚を得ることができる。

請求項７の発明方法によれば、透明基材を、可撓性平板状版の下方の高さ位置で移動可能に設け、該可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ前に、透明基材を可撓性平板状版に対して位置合わせを行なうので、透明基材の所定位置に精細パターンを転移させることができる。

請求項８の発明方法によれば、可撓性平板状版の透明基材への押圧を、可撓性平板状版上を転動移動する胴体により行なって、可撓性平板状版の精細パターンのインキを透明基材に密着させ、可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ状態で紫外線照射を行なって前記インキを固化させた後、可撓性平板状版上を転動移動する胴体の移動方向後位側から可撓性平板状版を捲り上げて、透明基材から可撓性平板状版を分離するので、透明基材に密着して固化したインキが、可撓性平板状版の捲り上げによりその可撓性平板状版の捲り端側から確実に剥離して透明基材に転移するようになる。

請求項９の発明方法によれば、精細パターンを透明基材に転移した後、前記透明基材の前記精細パターンが転移された側に裏露光樹脂ブラックレジストを塗布し、前記透明基材の前記裏露光樹脂ブラックレジストが塗布されている側の反対側から紫外線を照射し、前記裏露光樹脂ブラックレジストを現像することにより遮光パターンを位置精度よく形成することが可能になる。

請求項１０の発明装置によれば、カラーフィルタなどにおける精細パターンを、遮光パターン部より先に透明基材上で膜厚均一にして形成でき、また、供給するインキを多少多めにすることが可能となって、印刷工程でのバラツキに対する許容範囲が広がり、安定した製造を行うことができる。

請求項１１の発明装置によれば、可撓性平板状版が、透明基材との熱膨張率の近似するガラスまたは、鉄−ニッケル合金を基板としているため、位置合わせ精度が向上し、印刷時の温度による影響が少なくなる。

請求項１２の発明装置によれば、可撓性平板状版が、スクリーン印刷用紗などの弾性変形可能なシート材に貼着して支持されるので、可撓性平板状版が持つ可撓性を発揮し、透明基材への押圧後の可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の傾斜引き起こしにより可撓性平板状版を捲り上げ状に反らせて透明基材から分離させることで、インキの転移が確実になる。

請求項１３の発明装置によれば、定盤により可撓性平板状版が、インキ供給前に、上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持されて、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なうでの、インキ供給手段との精密な位置決めが可能となり、かつ可撓性平板状版が下方に撓むのを防止し、これによりインキ供給手段との間隔を一定に保持してインキ供給を平らな可撓性平板状版に対して行なえるようになる。

請求項１４の発明装置によれば、インクジェット装置により、下から上に噴射してインキを可撓性平板状版にインキングするので、従来方法ではインク隔壁からインクが溢れたような低い隔壁であっても、可撓性平板状版は下向きであるので、インキは溢れない効果がある。

請求項１５の発明装置によれば、インク乾燥手段が可撓性平板状版の凹部に供給されたインキの溶剤を飛ばし、かつインキ粘性を失わないように溶剤蒸発するため、透明基材へのインキ転移が容易となり、かつ所定の押圧力、所定の印刷速度によりインキを転移することができ、インキの膜厚が均一になるとともに所望のインク膜厚を得ることができる。

請求項１６の発明装置によれば、透明基材は、平面内を移動可能な定盤に支持されて可撓性平板状版と位置合わせするため、カラーフィルタ用ガラスの所定の位置にインキを転移させることができる。

請求項１７の発明装置によれば、インクジェット装置のインキは、版からガラスに密着するまでは、柔らかく、紫外線照射で硬化するようになる。そして胴体を転動しながら可撓性平板状版を押圧することで透明基材にインキを密着することができ、インキの膜厚が均一にした状態での固化した後に、可撓性平板状版を胴体で押さえて撓ませながらその可撓性平板状版の端から順次剥離することができる。

本発明のインクジェット装置を使用する可撓性平板状版を用いた印刷装置は、撥インキパターン部の厚さを小さくしてもインクジェット装置によりインキ供給をすることができ、パターンの膜厚が高精度に一定になる。印刷における位置精度を高度に改善し、透明基材上に形成された精細パターンの表面を平滑にすることが可能となる、そして、寸法精度の要求されるものへのパターン作成に適した印刷装置となる。さらに印刷した後で、請求項１８のように裏露光樹脂ブラックレジストを用いて精度の良好なブラックマトリクスを高価な露光機を使用しなくても作成でき、安価なカラーフィルタを作成できる。

請求項１９の発明によれば、上記発明方法で形成した三色ＲＧＢのカラーフィルタ画素パターン部の底部に仮にフリンジが形成されたとしても、所謂、裏露光法で形成した遮光パターン部を有しているので白抜けが発生しないようになり、高品質のカラーフィルタとすることができる。

つぎに、本発明に係る精細パターンの印刷装置の実施の形態について説明する。
（支持手段）
図１と図２は精細パターンの印刷装置１における後述の可撓性平板状版２の支持手段３を示していて、金属等で形成された枠材４に外周部が固定されて緊張した紗構造のシート材５からなるものである。ここで紗構造とは、所謂紗織りに類似する細かい目を備えている構造であって、例えばスクリーン印刷用のスクリーン（紗）が前記シート材５として用いることができものである。この紗構造のシート材５は弾力性を備えていて弾性変形可能とされている。そして可撓性平板状版２はシート材５の下面にインキ受け面が下方となるようにしてインキ受け面の反対面全面が貼着され、シート材５の弾性変形によって可撓性平板状版２が撓み変形できるように設けられているものである。
なお、図１は支持手段３を印刷装置セット状態時の斜め上方から見た状態を示し、図２は同じく印刷装置セット状態時の斜め下方から見た状態を示している。

図３は精細パターンの印刷装置１を概略的に示していて、可撓性平板状版２を支持している上記支持手段３が取付けられる前の状態を表している。この印刷装置１はバキューム孔付き定盤６と、上方に図示しないインキヘッドを配して基台７に沿って移動可能に設けられているインキ供給手段８と、透明基材であるカラーフィルタ用ガラス板９を保持して同じように基台７に沿って移動可能に設けられた定盤１０と、胴体１１を備えて前記定盤１０とともに移動し、必要時に胴体１１が転動移動するインキ転移手段１２とからなるものである。
（バキューム孔付定盤）
上記バキューム孔付き定盤６はＸ方向（基台７の長さ方向）およびＹ方向（基台７の幅方向）の移動と、θ軸回転（垂直軸線回りの回転）とを可能にするため、図示しないコンピュータ装置などの制御部にてＸ・Ｙ・θ制御される。そして、上記支持手段３に固定されている可撓性平板状版２は、印刷工程の版セットに際して図４のようにバキューム孔付き定盤６に紗構造のシート材５を介して背面（平坦面）側が吸引固定される。
なお、このバキューム孔付き定盤６だけでななく、インキ供給手段８、定盤１０、インキ転移手段１２などのそれぞれの動作が上記制御部によって制御される。

（インキ供給手段）
上記インキ供給手段８はインクジェット装置から構成されており、図５のようにＸ方向に移動可能に制御され、複数回往復移動しながら前記可撓性平板状版２に対して下方から上向きにインキを噴射して供給する。可撓性平板状版２は、バキューム孔付き定盤６に固定されているため下方に撓むことはなく、インキ供給手段８との間に一定の間隔を保持することができる。
このため、インキの供給を均一な状態で行うことができる。このインキ供給の前に、前記バキューム孔付き定盤６を移動制御することにより、インキ供給手段８に対する可撓性平板状版２の位置合わせをして可撓性平板状版２の位置決めを正確に行って適正位置に定置する。なお、インキ供給手段８に図示しない位置検出手段を設けることができ、例えばＣＣＤカメラにより可撓性平板状版の位置合わせマークを読み込み、この位置情報を基にしてインキ供給手段８の位置が合っていることを確認するようにすると好ましく、位置が僅かにズレていると検出された場合には、検出量に基づいてバキューム孔付き定盤６を微調整して適正に位置決めを行うようにすることができる。

（インキ溶剤蒸発手段）
インキ供給手段８によるインキ供給が終了した後、図６のようにインキ供給手段８を原位置に退避させ、図示しない印刷版セットホルダにて支持手段３を支持するとともに、バキューム孔付き定盤６の吸引を解除する。そして、インキ供給手段８により可撓性平板状版２に形成された精細パターンのインキに対して、空気、熱、光などの溶剤蒸発条件を与えるインク溶剤蒸発手段１３により溶剤蒸発を行なう。
（定盤）
この溶剤蒸発工程中に上記定盤１０上にカラーフィルタ用ガラス板９を載置し、吸引バキュームによりそのカラーフィルタ用ガラス板９を固定する。定盤１０は、基台７上を移動でき、またＸ・Ｙ・θ制御されてカラーフィルタ用ガラス板９の位置を調整することができるように設けられている。

インキ溶剤蒸発後に、図７のように上記支持手段３を解放したバキューム孔付き定盤６を基台７の端部側（図上、左側）に移動して退避させ、定盤１０を、支持手段３の可撓性平板状版２の下まで移動させると共に、定盤１０をＸ・Ｙ・θ制御して可撓性平板状版２に対するカラーフィルタ用ガラス板９の位置合わせを行って位置決めし適正位置に定置する（可撓性平板状版２の下方に僅かな間隔を配した状態でカラーフィルタ用ガラス板９が対応位置するようにする）。

（インキ転移手段）
インク転移手段１２は、転動しながら可撓性平板状版をシート材５を介した状態で押圧してカラーフィルタ用ガラス板９にインクを密着させ、その後にカラーフィルタ用ガラス板９から可撓性平板状版２を剥離させるためのプレス・剥離胴とした胴体１１から構成されている。なお、プレス・剥離胴とする胴体１１はゴムロールであることが望ましい。
このインキ転移手段１２は上記定盤１０の上方に装着されていて、定盤１０の横移動とともに移動する。そして、上述のように定盤１０が適正位置に定置されると、インキ転移手段１２は支持手段３の上方において押圧待機として設定された所に位置決めされて待機するように設けられている。なお、インキ転移手段１２は定盤１０とは別個にＸ・Ｙ・θ制御するように構成しても良い。

このようにして、定盤１０上のカラーフィルタ用ガラス板９およびインキ転移手段１２を位置決めした後、図８のようにインキ転移手段１２、即ち胴体１１を前記シート材５を介して可撓性平板状版２に適圧で押圧すると共に、Ｘ方向に転動移動させながら可撓性平板状版２とカラーフィルタ用ガラス板９とを図の左の方から順次密着させる。
この押圧による密着時には、後述する可撓性平板状版２側の構成が作用する状態の下で、またインキは溶剤が揮発した後でも粘性を有してプレス変形するので、柔らかいインキが図１９のようにカラーフィルタ用ガラス板９上に押し付けられる。これにより、インキ膜厚が均一になる。この状態で、カラーフィルタ用ガラス板９側から図示しない紫外線照射装置から紫外線を照射して露光を行なって精細パターンのインキを固化させる。よって、従来の柔らかいレジストでのプレスした時の弊害であった膜厚のバラツキという問題が解決される。

インキが固化した状態で、図９のように図左に転動移動する胴体１１で押さえながら支持手段３における胴体移動方向後方側が上がる傾斜引き上げにて可撓性平板状版２を胴体移動方向後位となる部分から持ち上げて端から順次剥離する。この時、可撓性平板状版２は可撓性を有すると共に、前記紗構造のシート材５は弾力性を有して弾性変形するため、図１９のように可撓性平板状版２が撓みながらカラーフィルタ用ガラス板９から剥離を容易に行うことができる。以上のインキ転移手段１２の動作によって精細パターンである三色ＲＧＢカラーフィルタパターンがカラーフィルタ用ガラス板９に転移する。
なお、可撓性平板状版２とインキとの付着力は、カラーフィルタ用ガラス板９とインキとの付着力より弱く設定しておくと、剥離の際にインキの引き戻しがより確実に防止できて好ましい。図１０は剥離による分離工程が終了した後の状態を示している。

可撓性平板状版２の剥離後に、図１１のように定盤１０をインキ転移手段１２と共に基台７の端部（待機位地）まで移動させ、定盤１０の吸引バキュームを解除してブラックマトリクスのない三色ＲＧＢカラーフィルタパターンが形成されたカラーフィルタ用ガラス板９を定盤１０から取出す。この後、カラーフィルタ用ガラス板９上のカラーフィルタパターンに対して別途設けられた加熱オーブンで熱処理する。これにより、精細パターンであるカラーフィルタパターンは完全に硬化してカラーフィルタ用ガラス板９上に目的とする印刷パターン（図２１参照）が得られる。

つぎに、上記印刷装置を用いた本発明方法の好ましい実施形態について説明する。
（可撓性平板状版）
まず、本発明に用いる可撓性平板状版２を説明する。図１２はその可撓性平板状版２のインキ受け面側（即ち版面部分）の一部を平面で示していて、可撓性平板状版２の基材２０は可撓性を呈する厚さとしたガラスで、例えば液晶ディスプレイのカラーフィルタ用ガラス板が用いられるが、製品として得るカラーフィルタの熱膨張率と同一、または近似する熱膨張率のガラスや鉄−ニッケル合金が基材の素材として利用できる。
この可撓性平板状版２のインキ受け面は、図１３、図１４のように上記基材２０に樹脂材、例えばポリビニルアルコールを塗布して薄い樹脂薄膜２１を積層して、固化したカラーフィルタ用インキに対して離型性を有する表面２２を形成し、さらに、その表面２２（樹脂薄膜２１）の上に、フッソ樹脂または、シリコン樹脂等からなり、カラーフィルタ用インキに対して撥インキ性を有する撥インキパターン部２３を形成してなるものであり、カラーフィルタ構成色のインキを受けるべくカラーフィルタパターンで配列された複数の微細な凹部２４が、前記撥インキパターン部２３を隔壁とすることで設けられている。

（インキング）
上記可撓性平板状版２の凹部２４それぞれには、上記インク供給手段８によりその凹部２４が対応するカラーフィルタ構成色のインキが供給される。なお、上記印刷装置１のインキ供給手段８としてインクジェット装置を例示しているが、インクジェット装置に限定されない。
インキ２５（カラーフィルタ構成色のＲＧＢのインキ）としては例えば顔料インクを用いてインキ供給手段から噴射させて凹部２４それぞれに供給する。この時、図１５、図１６のようにインキ２５が凹部２４の上端縁、即ち撥インキパターン部２３の表面高さ位置より下方に向けて盛り上がるように供給する。インキ供給手段からのインキ２５の噴射は凹部２４に対して下方より噴射すれば、供給量が多い時でも凹部２４の内周面から撥インキパターン部２３側に溢れることがなくて好ましい。即ち、撥インキパターン部２３の表面には撥インキ性によってインキ２５が付着しない。なお、図においてＲＧＢのインキを断面表現で同一にしているが、Ｒインキ、Ｇインキ、Ｂインキはそれぞれパターンに応じた凹部に供給されている。
インクジェト装置ではインキの粘度を下げることが良い場合が多く、溶剤量を増やすため固形分が少なくなるので、その際は、供給するインク量が増える。従って、インクジェット装置のインキングを上向きに行うことが、凹部２４から撥インキパターン部２３の表面側にインキが溢れずに済み、良い結果となる場合が多い。そして、盛り量が全体的に多いと凹部２４におけるインキの盛り量の大小の差が表れ難くなり、インキ転移後のインキ膜厚を均一なものとすることができる。

（溶剤蒸発）
この後、印刷装置１における上記インク溶剤蒸発手段１３により可撓性平板状版２の凹部２４に供給されたインキ２５内の溶剤を飛ばして溶剤蒸発する。これにより、インキ２５の全体積は減少するが、この段階においても図１５のように凹部２４において盛り上がるようにしておき、かつインキ粘性を失わないようにする。

（位置合わせ）
インキ溶剤蒸発後に、上記印刷装置１において説明したようにして図５のごとく可撓性平板状版２の端部とカラーフィルタ用ガラス板９との端部との位置合わせを行う（図１７、図１８）。
なお、上記インキ供給、この可撓性平板状版２とカラーフィルタ用ガラス板９との位置合わせ、後述のインキ転移のこの印刷方法に係る各工程は上述した印刷装置１を用いて行われるものであり、各工程での動作制御は印刷装置で説明した動作制御に従うものである。

（インキ転移）
上記可撓性平板状版２における撥インキパターン部２３の所要位置には、図示するようにフッソ樹脂または、シリコン樹脂等からなり、撥インキ性を有するスペーサ２６が同一高さにして突設されている。そして上記位置合わせ後に、前記スペーサ２６を介してカラーフィルタ用ガラス板９と撥インキパターン部２３とを非接触状態として可撓性平板状版２とカラーフィルタ用ガラス板９とを重ね合せて、上記印刷装置１のインク転移手段１２により可撓性平板状版２をカラーフィルタ用ガラス板９側を押圧し、凹部２４内のインキ２５を前記カラーフィルタ用ガラス板９に密着させ、そして重ね合わせ状態を保ったままカラーフィルタ用ガラス板９側から紫外線を照射して、インキ２５を固化させてカラーフィルタ用ガラス板９に対するインキ付着力を大きくする。
この後、図１９、図２０のように可撓性平板状版２を一端側（上述した胴体１１の移動方向後位側）から撓ませながらカラーフィルタ用ガラス板９から剥離する。これによって図２１、図２２、図２３に示すようにカラーフィルタ用ガラス板９に所定の精細パターンであるカラーフィルタパターン２７が形成される。そして、カラーフィルタパターン２７を２３０℃で加熱することによって、前記カラーフィルタパターン２７が完全にカラーフィルタ用ガラス板９に硬化した状態で固着したものが得られる。

（ブラックマトリクスの形成）
カラーフィルタパターン２７を有したカラーフィルタ用ガラス板９に対して遮光パターン部であるブラックマトリクス２８を形成するにあたっては、まず、カラーフィルタ用ガラス板９のカラーフィルタパターン２７の形成面側全面に黒色感光性樹脂組成物（裏露光樹脂ブラックレジスト）２９を塗布する（図２４）。
そして、カラーフィルタ用ガラス板９のカラーフィルタパターン形成面とは反対側の面においてカラーフィルタとしてのブラック額縁となる領域に遮光マスク３０を配した状態で、カラーフィルタパターン形成面とは反対側から紫外線の照射による露光（図において↑にて露光を示した）を行なう（図２５）。この後、加熱、現像を行なってカラーフィルタパターン２７上と非露光部にあった黒色感光性樹脂組成物を除去し、さらにこのカラーフィルタ用ガラス板９上に残った現像済みの黒色感光性樹脂組成物に対して熱フローによる加熱を行ない、これによってカラーフィルタパターン２７の各隙間、およびカラーフィルタパターン２７の外周に黒色感光性樹脂組成物が密に入り込んでなるブラックマトリクス２８が得られ、ブラックマトリクス２８を備えるカラーフィルタとなる（図２６）。
上記黒色感光性樹脂組成物に対して熱フローによる加熱によって遮光パターン部を密に入り込ませたものとすることは有用である。例えば図２７（Ａ）で示すように、ＲＧＢのカラーフィルタパターンを形成した場合にそのカラーフィルタ画素パターン部の底部にフリンジ３１が形成される可能性がある。そして、この状態で黒色感光性樹脂組成物を塗布し、裏露光・現像を行なっただけとした場合にはフリンジ３１の存在により画素パターン部の周りに白抜け３２が生じてしまう。しかしながら本実施の形態では、この後に熱フローによる加熱を行なっていて、図２７（Ｂ）に示すように黒色感光性樹脂組成物が画素パターン部の周りに密に入り込むようになり、白抜けを無くすようにしているものである。

カラーフィルタの作成を以下の通り具体的に行ないその検討を行なった。
＜実施例１＞
（樹脂薄膜の作製）
樹脂薄膜用塗工液は、ケン化度９９、重合度５００のポリビニルアルコール「ＰＶＡ５００Ｎ」（ユニオン化学工業社製）１５％水溶液１００ｇに、重クロム酸アンモニウム０．９ｇを加えて塗工液を調整した。サイズを縦１５００ｍｍ、横１８００ｍｍ、厚さ０．７ｍｍとしたガラス板（基材）上に、樹脂塗工液をスピンレスコータにて厚さ１０μｍに形成し、９０℃・３０分の乾燥を行なった後，紫外線光を１０００ｍＪ／ｃｍ²照射して光硬化させた。この光硬化した膜を無水クロム酸の４%水溶液に９０秒間浸漬し、１５０℃・１０分間加熱乾燥し、樹脂薄膜を得た。

（スペーサの作製）
上記樹脂薄膜を形成したガラス板に、スペーサ用レジストをスピンレスコータで塗布した。紫外線露光によるパターン露光・現像後、１１０℃・５分間乾燥を行ない厚さ１．５μｍのスペーサ用パターンを得た。
（撥インキパターン部の作製）
上記スペーサを形成したガラス板に、撥インキレジストをスピンレスコータで塗布した。紫外線露光によるパターン露光・現像後、１１０℃・５分間乾燥し厚さ１μｍの撥インキパターン部を得た。撥インキパターン部はスペーサ形成位置に設けない。
（可撓性平板状版の作製）
上記スペーサを形成したガラス板を金属枠に紗を取り付けたスクリーン版の中央に接着剤で貼着した。
（ＲＧＢカラーフィルタの作製）
上記可撓性平板状版に、下側からＲインキジェットノズル、Ｇインキジェットノズル、Ｂインキジェットノズルを２００ｍｍ／秒の速度で移動させ、撥インキパターン部のＲ・Ｇ・Ｂの所定位置に溶剤蒸発前の厚さ１０μｍになるようにＲインキ・Ｇインキ・Ｂインキを噴射し、付着させた。可撓性平板状版の凹部は下向きであるので、Ｒインキ・Ｇインキ・Ｂインキは、撥インキパターン部の厚さが１μｍであっても溢れることはなかった。約一分間放置し、溶剤分を揮発させ、厚さ１．５μｍのＲＧＢカラーフィルタパターンになった。
ＲＧＢカラーフィルタパターンを作製した可撓性平板状版を、カラーフィルタ用ガラス板の所定位置に位置合わせし、プレス・剥離胴（胴体）で、線圧２００ｋｇ／ｃｍで押圧密着させた。密着させた状態で、カラーフィルタ用ガラス板側から紫外線露光した。ＲＧＢインキはレジストであって感光性があり、紫外線露光によりガラス板との接着力がポリビニルアルコールの樹脂薄膜との接着力より強くなる。可撓性平板状版を押さえたプレス・剥離胴を移動させ、そのプレス・剥離胴で押さえながら可撓性平板状版を端からスクリーン版による支持手段を傾斜させて徐々に持ち上げて端から順次剥離した。これによってブラックマトリクスのない三色ＲＧＢカラーフィルタが完成した。

（黒色感光性樹脂組成物の作製）
酸により架橋するヒドロキシスチレン系高分子化合物樹脂（共重合体：共重合比はｐ−ヒドロキシスチレン／メタクリル酸ｎ−ブチル／アクリル酸＝３９／４９／１２）１２ｇをバインダー樹脂に用いて、架橋剤としてヘキサ（Ｎ−メトキジメチル）−メラミン（三和ケミカル社製：ニッカラックＭＷ−３０Ｍ）を５ｇ、光酸発生剤として、みどり化学社製「ＴＡＺ−１０４」を５ｇ、顔料（カーボンブラックが高分子化合物によりグラフト化されているグラフト化カーボン分散溶液）を３００ｇ、溶剤としてＰＧＭ−Ａｃを１７２ｇ、さらにガラスビーズを５００ｇをガラス瓶に入れ、ペイントシェーカーにより２時間分散し黒色感光性樹脂組成物（裏露光樹脂ブラックレジスト）を作製した。

（遮光パターン部の形成）
図２１に示すブラックマトリクスのない三色ＲＧＢカラーフィルタの複数色の着色画素の膜厚は１．３μｍであった。この複数色の着色画素上に、この黒色感光性樹脂組成物をスピンナーにより６００ｒｐｍ、５秒で塗布、乾燥し、図２４に示すように黒色感光性樹脂組成物の層を形成した。次に、図２５に示すように、３ｋＷ超高圧水銀灯により２００ｍＪ／ｃｍ²の露光量で前記着色画素をマスクとしてガラス板の裏面側より所定の遮光マスクを介して全面露光した。露光後、ホットプレートを用いて１００℃で１分間加熱した。続いて、１％水酸化ナトリウム水溶液を用いて、ガラス板をコンベアーで搬送させながらシャワーを噴霧する方式で９０秒間現像し、複数色の着色画素上、および非露光部の黒色感光性樹脂組成物を剥離除去した。最後にオーブン中にて２３０℃で１時間加熱し、複数色の印刷パターン間にブラックマトリックスを有するカラーフィルタを得た。

このようにして作製したカラーフィルタは、その着色画素上には黒色感光性樹脂組成物の残留は見られず、ブラックマトリックスと複数色の着色画素との重なりによる突起のないものであった。また、このカラーフィルタをプレッシャークッカー試験器に入れ、１２０℃、１００％ＲＨ、２気圧の条件にて５０時間放置後、「ＪＩＳ−Ｋ５４００」記載の碁盤目付着性試験法にて密着性の評価を行った結果、ブラックマトリクスの剥離個数は０／１００であり密着性に全く問題ないものであった。

＜実施例２＞
樹脂薄膜の作製と撥インキパターン部の作製とスペーサの作製とＲＧＢカラーフィルタの作製は上記実施例１と同じとした。
（黒色樹脂層の形成）
カラーフィルタ用ガラス板上のブラックマトリクスのない三色ＲＧＢカラーフィルタの複数色の着色画素の膜厚は１．３μｍであった。この複数色の着色画素上に、実施例１で用いた黒色感光性樹脂組成物をスピンナーにより６００ｒｐｍ、５秒で塗布、乾燥し、図２４に示すように黒色感光性樹脂組成物の層を形成した。

次に、図２５に示すように、３ｋＷ超高圧水銀灯により２００ｍＪ／ｃｍ²の露光量で前記着色画素をマスクとしてガラスの裏面側より所定の遮光マスクを介して全面露光した。露光後、ホットプレートを用いて１００℃で１分間加熱した。続いて、１％水酸化ナトリウム水溶液を用いて、ガラス板をコンベアーで搬送させながらシャワーを噴霧する方式で１８０秒間現像し、複数色の着色画素上、および非露光部の黒色樹脂層を剥離除去した。最後にオーブン中にて２３０℃で１時間加熱し、図２６のブラックマトリクス熱フロー後に示すように複数色の印刷パターン間にブラックマトリクス（２８）を有するカラーフィルタを得た。

このようにして作製したカラーフィルタは、１％水酸化ナトリウム水溶液を用いた約２倍のシャワー現像において、現像オーバーであっても、カラーフィルター額縁部の端部の黒色感光性樹脂組成物が溶解することなく十分な遮光性が得られた。また、その着色画素上には黒色感光性樹脂組成物の層の残留は見られず、ブラックマトリクスと複数色の着色画素との重なりによる突起のないものであった。また、このカラーフィルタをプレッシャークッカー試験器に入れ、１２０℃、１００％ＲＨ、２気圧の条件にて５０時間放置後、「ＪＩＳ−Ｋ５４００」記載の碁盤目付着性試験法にて密着性の評価を行った結果、ブラックマトリックスの剥離個数は０／１００であり密着性に全く問題ないものであった。

本発明は、ガラス板等の硬質材からなる被印刷体に印刷パターンを精密に形成するためのパターン印刷装置として利用可能なものである。液晶ディスプレイのカラーフィルタを作成する用途にも適用することができる。

本発明の精細パターンの印刷装置における支持手段を上方から見た状態で示す説明図である。 同じく支持手段を下方から見た状態で示す説明図である。 支持手段をセットする前の状態を示す説明図である。 支持手段をセットした状態を示す説明図である。 インキ供給装置によるインキ供給を示す説明図である。 カラーフィルタ用ガラス板を定盤にセットした状態を示す説明図である。 カラーフィルタ用ガラス板と可撓性平板状版を位置合わせする状態を示す説明図である。 可撓性平板状版をカラーフィルタ用ガラス板に押圧する状態を示す説明図である。 可撓性平板状版のカラーフィルタ用ガラス板からの剥離を示す説明図である。 可撓性平板状版をカラーフィルタ用ガラス板から分離した状態を示す説明図である。 定盤とインキ転移手段が待機位置に戻った状態を示す説明図である。 可撓性平板状版のインキ受け面側の一部を平面で示す説明図である。 図１２におけるＡ−Ａ線部での断面を示す説明図である。 図１２におけるＢ−Ｂ線部での断面を示す説明図である。 インキ供給された状態を図１２におけるＡ−Ａ線部と同部の断面で示す説明図である。 インキ供給された状態を図１２におけるＢ−Ｂ線部と同部の断面で示す説明図である。 可撓性平板状版とカラーフィルタ用ガラス板との位置合わせを図１２におけるＡ−Ａ線部と同部の断面で示す説明図である。 可撓性平板状版とカラーフィルタ用ガラス板との位置合わせを図１２におけるＢ−Ｂ線部と同部の断面で示す説明図である。 可撓性平板状版のカラーフィルタ用ガラス板からの剥離を図１２におけるＡ−Ａ線部と同部の断面で示す説明図である。 可撓性平板状版のカラーフィルタ用ガラス板からの剥離を図１２におけるＢ−Ｂ線部と同部の断面で示す説明図である。 カラーフィルタパターンが形成されたカラーフィルタ用ガラス板の一部の平面を示す説明図である。 図２１のＡ−Ａ線部での断面を示す説明図である。 図２１のＢ−Ｂ線部での断面を示す説明図である。 カラーフィルタ用ガラス板のカラーフィルタパターン形成面側に黒色感光性樹脂組成物を塗布した状態を断面で示す説明図である。 黒色感光性樹脂組成物に対する紫外線露光を示す説明図である。 ブラックマトリクスが形成された状態を示すもので、（Ａ）は平面を示す説明図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線部の断面を示す説明図である。 ブラックマトリクス形成における加熱効果を示すもので、（Ａ）はカラーフィルタ画素パターン部周りに白抜けが生じた状態を断面で示す説明図、（Ｂ）はカラーフィルタ画素パターン部周りの白抜けが加熱により解消された状態を断面を示す説明図である。

符号の説明

１…精細パターンの印刷装置
２…可撓性平板状版
３…支持手段
６…バキューム孔付き定盤
８…インキ供給手段
９…カラーフィルタ用ガラス板
１０…定盤
１２…インキ転移手段
１３…インキ乾燥手段
２１…樹脂層
２３…撥インキパターン部
２４…凹部
２５…インキ
２６…スペーサ
２７…カラーフィルタパターン
２８…ブラックマトリクス
２９…黒色感光性樹脂組成物

Claims (19)

1. 複数の構成色からなる精細パターンをカラーフィルタ用ガラスなどの透明基材に印刷するに当たり、
   固化した構成色の各インキに対して離型性を有する表面に撥インキパターン部でそれぞれが囲まれた微細な凹部を形成して前記撥インキパターン部にスペーサが突設されている可撓性平板状版の前記凹部それぞれに、該凹部に対応する構成色のインキをインキ供給手段により供給して、可撓性平板状版に精細パターンを形成し、
   前記精細パターンのインキの溶剤が蒸発した後、前記可撓性平板状版と前記透明基材とを重ね合わせ、前記スペーサを間にして前記撥インキパターン部と透明基材とを非接触とした状態の下で可撓性平板状版を透明基材側に押圧して、構成色のインキからなる精細パターンを透明基材に転移することを特徴とする精細パターンの印刷方法。
2. 上記透明基材はカラーフィルタ用ガラス板であり、上記可撓性平板状版の基板は、熱膨張率が前記カラーフィルタ用ガラス板の熱膨張率と同一、または近似するガラス、または鉄−ニッケル合金である請求項１に記載の精細パターンの印刷方法。
3. 上記可撓性平板状版は、スクリーン印刷用紗などの弾性変形可能なシート材に貼着され、上記透明基材への押圧後の可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の傾斜引き起こしにより可撓性平板状版を捲り上げ状に反らせて透明基材から分離させることを特徴とする請求項１または２に記載の精細パターンの印刷方法。
4. 上記可撓性平板状版は、インキ供給前に、上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持されて、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なう請求項１から３の何れか一項に記載の精細パターンの印刷方法。
5. 上記インキ供給手段は平面内で移動可能に設けられたインクジェット装置であって、該インクジェット装置から、下向きに配置された上記可撓性平板状版の凹部に対してインキを噴射して供給して、凹部それぞれのインキの形状を、撥インキパターン部より下方に向けて盛り上がった形状とする請求項１から４の何れか一項に記載の精細パターンの印刷方法。
6. 上記可撓性平板状版に形成された精細パターンのインキを、該インキに対して空気、熱、光などの溶剤蒸発条件を与えるインキ溶剤蒸発手段により、インキ粘性を保持した溶剤蒸発状態にする請求項１から５の何れか一項に記載の精細パターンの印刷方法。
7. 上記透明基材を、上記可撓性平板状版の下方の高さ位置で移動可能に設け、該可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ前に、透明基材を可撓性平板状版に対して位置合わせを行なう請求項１から６の何れか一項に記載の精細パターンの印刷方法。
8. 上記可撓性平板状版の透明基材への押圧を、可撓性平板状版上を転動移動する胴体により行なって、可撓性平板状版の精細パターンのインキを透明基材に密着させ、可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ状態で紫外線照射を行なって前記インキを固化させた後、可撓性平板状版上を転動移動する胴体の移動方向後位側から可撓性平板状版を捲り上げて、透明基材から可撓性平板状版を分離する請求項１から７の何れか一項に記載の精細パターンの印刷方法。
9. 上記精細パターンを上記透明基材に転移した後、前記透明基材の前記精細パターンが転移された側に裏露光樹脂ブラックレジストを塗布し、前記透明基材の前記裏露光樹脂ブラックレジストが塗布されている側の反対側から紫外線を照射し、前記裏露光樹脂ブラックレジストを現像する請求項１から８の何れか一項に記載の精細パターンの印刷方法。
10. 複数の構成色からなる精細パターンをカラーフィルタ用ガラスなどの透明基材に印刷する印刷装置であって、
    固化した構成色の各インキに対して離型性を有する表面に撥インキパターン部でそれぞれが囲まれた微細な凹部を形成して前記撥インキパターン部にスペーサが突設されている可撓性平板状版と、
    前記可撓性平板状版の凹部それぞれに、該凹部に対応する構成色のインキを供給するインキ供給手段と、
    前記インキ供給手段により凹部それぞれに供給されたインキの溶剤が蒸発した後に前記透明基材に重ね合された可撓性平板状版を、前記スペーサを間にして前記撥インキパターン部と透明基材とを非接触とした状態の下で透明基材側に押圧して、精細パターンのインキを透明基材に密着させて透明基材に転移させるインキ転移手段とを
    備えることを特徴とする精細パターンの印刷装置。
11. 上記透明基材はカラーフィルタ用ガラス板であり、上記可撓性平板状版の基板は、熱膨張率が前記カラーフィルタ用ガラス板の熱膨張率と同一、または近似するガラス、または鉄−ニッケル合金である請求項１０に記載の精細パターンの印刷装置。
12. 上記可撓性平板状版は、スクリーン印刷用紗などの弾性変形可能なシート材に貼着され、上記透明基材へのインキの転移における可撓性平板状版の分離に際し、前記シート材の弾性変形を伴った傾斜引き起こしによる可撓性平板状版の捲り上げが可能な構成とした請求項１０または１１に記載の精細パターンの印刷装置。
13. インキ供給前の上記可撓性平板状版を上記インキ供給手段の上方となる高さ位置での平面内で位置調整可能に支持して、インキ供給手段に対しての位置合わせを行なう位置合わせ手段を備える請求項１０から１２の何れか一項に記載の精細パターンの印刷装置。
14. 上記インキ供給手段は、下向きに配置された上記可撓性平板状版の凹部に対してインキを噴射して供給して、凹部それぞれのインキの形状を、撥インキパターン部より下方に向けて盛り上がった形状に形成可能なインクジェット装置であり、該インクジェット装置が平面内で移動可能に設けられている請求項１０から１３の何れか一項に記載の精細パターンの印刷装置。
15. 上記可撓性平板状版に形成された精細パターンのインキに、空気、熱、光などの溶剤蒸発条件を与えて、インキ粘性を保持した溶剤蒸発状態にするインキ溶剤蒸発手段を備える請求項１０から１４の何れか一項に記載の精細パターンの印刷装置。
16. インキ供給後の上記可撓性平板状版の下方の高さ位置で上記透明基材を移動可能に支持する定盤を備え、該定盤が、前記可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ前に、透明基材を可撓性平板状版に対して位置合わせを行なう構成とした請求項１０から１５の何れか一項に記載の精細パターンの印刷装置。
17. 上記インキ転移手段は、上記透明基材に重ね合わせた可撓性平板状版上を転動移動して可撓性平板状版を透明基材に押圧して、可撓性平板状版の精細パターンのインキを透明基材に密着させる胴体と、可撓性平板状版と透明基材との重ね合わせ状態で紫外線照射を行なって前記インキを固化させる紫外線照射装置とを備え
    可撓性平板状版上を転動移動する胴体の移動方向後位側から可撓性平板状版を捲り上げて、透明基材から可撓性平板状版を分離する構成とした請求項１０から１６の何れか一項に記載の精細パターンの印刷装置。
18. 上記インキ転移手段により上記精細パターンが転移された上記透明基材上に裏露光樹脂ブラックレジストを塗布し、紫外線照射により露光し、現像して、遮光パターンを形成する手段を有する請求項１０から１７の何れか一項に記載の精細パターン印刷装置。
19. 透明基材上に、
    請求項１から９の何れか一項における精細パターンの印刷方法におけるインキ供給手段からの供給インキをカラーフィルタの構成色であるＲＧＢのインキとして転移した精細パターンを熱硬化させてなるカラーフィルタパターン部と、
    該カラーフィルタパターン部の面に塗布した裏露光樹脂ブラックレジストに対する透明基材のカラーフィルタパターン部の面とは反対側からの紫外線露光、加熱、現像とにより、カラーフィルタ画素パターン部を除いた部分に形成された遮光パターン部とを
    備えることを特徴とするカラーフィルタ。
    

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