JPH1191230A - 凹版オフセット印刷法を用いた微小パターン形成方法と該方法による微小パターン形成物及び液晶パネル用カラーフィルタ - Google Patents

凹版オフセット印刷法を用いた微小パターン形成方法と該方法による微小パターン形成物及び液晶パネル用カラーフィルタ

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JPH1191230A
JPH1191230A JP25853697A JP25853697A JPH1191230A JP H1191230 A JPH1191230 A JP H1191230A JP 25853697 A JP25853697 A JP 25853697A JP 25853697 A JP25853697 A JP 25853697A JP H1191230 A JPH1191230 A JP H1191230A
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JP25853697A
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Koji Inoue
浩治 井上
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • H05K1/092Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
    • H05K1/095Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks for polymer thick films, i.e. having a permanent organic polymeric binder
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Inks, Pencil-Leads, Or Crayons (AREA)
  • Printing Methods (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被印刷体に形成された幅の狭いパターンの間
隙に樹脂のパターンを簡単,確実且つ高精度に形成で
き、しかも、製造原価が安くなる凹版オフセット印刷法
を用いた微小パターン形成方法と該方法による微小パタ
ーン形成物及び液晶パネル用カラーフィルタを提供す
る。 【解決手段】 被印刷体10に形成されたパターン11の間
隙12に、パターン11との間に若干隙間が生じ且つ山盛り
となる程度に、熱可塑性及び紫外線硬化性の樹脂を主成
分とする樹脂16を凹版オフセット印刷法で印刷する。次
に、被印刷体10ごと加熱炉17等で加熱して、樹脂16を間
隙12の中で融解させ且つ均一の厚さに拡散させた上、紫
外線18を照射して、樹脂16を硬化させる。なお、加熱時
の流動性が悪い樹脂16を使用するときは、被印刷体10ご
と加熱しながら、樹脂16をプレスローラ等で機械的に加
圧延伸してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被印刷体に形成し
た微細なパターンの間隙に樹脂の微小なパターンを凹版
オフセット印刷法を用いて形成する方法と、この方法に
よる微小パターン形成物及び液晶パネル用カラーフィル
タに関するものである。
【0002】
【従来の技術】印刷には、一般に、使用する版によって
凸版,平版,凹版,スクリーン等の印刷法があるが、凹
版印刷法は、約20μmの極めて細いパターンから1mm程
度の太いパターンまでを均一に、精度よく印刷できる
上、印刷直線性が約3〜5μm程度と、平版印刷法の約1
0μm程度よりも優れている。
【0003】図6は従来の凹版オフセット印刷法を用い
た微小パターン形成方法を簡略に示す斜視図、図7は凹
版オフセット印刷法において使用する凹版の製造工程を
簡略に示す断面図、図8は凹版オフセット印刷法を用い
た従来の微小パターン形成方法によって微細なパターン
の間隙に微小なパターンを形成したときの状況を示す図
である。
【0004】1は、ガラス,銅等の基材2〔図7(a)参
照〕の表面を金属,樹脂等のレジスト膜3で覆って〔図
7(b)参照〕、このレジスト膜3にフォトリソグラフ
ィ,レーザ加工法等で所望のパターン4を形成した〔図
7(c)参照〕上、エッチング液5に浸漬してパターン4
の部分の基材2の表面部をエッチングすることにより、
基材2の表面部に所望のパターンの凹溝状のセル6を形
成した〔図7(d)参照〕後、レジスト膜3を基材2から
剥離してなる凹版〔図7(e)参照〕で、この凹版1のセ
ル6の幅及び深さはレジスト膜3のパターン4の形状と
エッチング条件とによって容易に制御できる。なお、凹
溝状のセル6は基材2の表面部にレーザトリミング法等
で形成することもできる。
【0005】7は凹版1の表面に樹脂8を滴下するディ
スペンサ、9はステンレス鋼,スエーデン鋼,セラミッ
ク等からなる平板状のスキージ、10はガラス,シート,
フィルム等の各種材料,形状等からなる被印刷体、11は
被印刷体10の表面に形成したパターンで、このパターン
11は、例えばパターンの厚さが1〜3μm程度、パター
ンの幅が仕様に応じて数μm〜30μm程度の顔料分散樹脂
からなる液晶パネル用カラーフィルタのブラックマトリ
ックスである。12はパターン11の間隙、13はシリコンゴ
ム等の弾性層を表面に形成した転写ローラである。
【0006】このように構成された従来の凹版オフセッ
ト印刷法を用いた微小パターン形成方法による微小パタ
ーンの製造工程について、ガラスの被印刷体10の表面に
形成したブラックマトリックスのパターン11の間隙12
に、カラーフィルタとなる赤,緑,青の3色の樹脂8か
らなる微小パターンを形成してなる液晶パネル用カラー
フィルタを製造する例で説明する。
【0007】先ず、ディスペンサ7によって凹版1の表
面に樹脂8を滴下して、スキージ9で凹版1のセル6に
充填した上、この凹版1の表面に転写ローラ13を転がし
て、セル6に充填されている樹脂8を転写ローラ13の表
面に転写する。
【0008】次に、樹脂8が転写されているローラ13を
パターン11が形成されている被印刷体10に2〜5kg/cm
2の圧力で押圧しながら転がして、転写ローラ13の樹脂
8を被印刷体10に形成されたパターン11の間隙12に塗布
する。
【0009】そして、このような樹脂の塗布工程をカラ
ーフィルタとなる赤,緑,青の3色の樹脂8毎に繰り返
すことにより、パターン11の間隙12に樹脂8のパターン
を形成する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、被印刷体10
に形成したパターン11の幅が約20〜30μm程度の液晶パ
ネル用カラーフィルタのブラックマトリックスであれ
ば、印刷直線性が約10μm程度の従来の凹版オフセット
印刷法でも、図8(a)及び図8(b)に示すようなパター
ン越境部分14,パターン抜け部分15等を生じることな
く、樹脂8をパターン11の間隙12に塗布できる。
【0011】しかしながら、被印刷体10に形成したパタ
ーン11の幅が10μm以下、即ち5〜7μm程度の高開口液
晶パネル用カラーフィルタのブラックマトリックスであ
ると、印刷直線性が約10μm程度の従来の凹版オフセッ
ト印刷法で樹脂8をパターン11の間隙12に図8(a)及び
図8(b)に示すようなパターン越境部分14,パターン抜
け部分15等を生じることなく塗布するのは、印刷位置精
度,印刷直線性等の点から困難である。
【0012】そこで、現在、高開口液晶パネル用カラー
フィルタのブラックマトリックスとなるパターン11の間
隙12への赤,緑,青の3色のフィルタの形成は、直線性
が1μm程度のフォトリソグラフィで行われているが、
フォトリソグラフィによる高開口液晶パネル用カラーフ
ィルタの製造は、製造工程が複雑で、製造原価が高くな
るという問題があった。
【0013】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、被印刷体に形成された高開口液晶パ
ネル用カラーフィルタの幅の狭いブラックマトリックス
のパターンの間隙にフィルタになる樹脂のパターンを簡
単,確実且つ高精度に塗布でき、しかも、製造原価が安
くなる凹版オフセット印刷法を用いた微小パターン形成
方法と該方法による微小パターン形成物及び液晶パネル
用カラーフィルタを提供することを目的とするものであ
る。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、被印刷体の表
面に形成したパターンの間隙に熱可塑性の樹脂を凹版オ
フセット印刷法によって塗布する樹脂塗布工程と、樹脂
が間隙に印刷された被印刷体を加熱手段で加熱して、樹
脂を間隙の中で融解且つ拡散させることにより、樹脂の
パターンを間隙に形成するパターン形成工程とからなる
ものである。
【0015】又、樹脂は紫外線硬化性を有するものであ
る。
【0016】更に、複数の種類の樹脂を使用するときに
は、樹脂塗布工程を樹脂の種類毎に繰り返し行うもので
ある。
【0017】更に、パターン形成工程において樹脂を間
隙の中で融解したときには、樹脂を機械的手段で圧延す
るものである。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明によれば、被印刷体に形成
されたパターンの幅が狭くても、そのパターンの間隙に
樹脂のパターンを、パターン越境,パターン抜け等を生
じることなく、簡単,確実且つ高精度に形成できる上、
フォトリソグラフィに比較して製造工程が簡略化される
上、量産性に優れて、製造原価が安くなるものである。
【0019】以下、本発明の実施の形態について、図面
を参照しながら説明する。
【0020】(実施の形態1)図1は本発明の第1の実
施の形態による凹版オフセット印刷法を用いたパターン
形成の工程を示した断面図で、図6及び図8の参照符号
と同一符号のものは同一部分,同一機能を有し、又、1
は基材2の表面部にパターン4の凹溝状のセル6を、従
来と同様、エッチング,レーザトリミング法等で形成し
た凹版で、この凹版1のセル6の幅及び深さは、塗布す
る樹脂の量がパターン11の間隙12の容積とほぼ等しくな
るように、例えばセル6の幅がパターン11の間隙12の幅
よりも狭く、セル6の深さがパターン11の厚さよりも深
くなるように調整して形成する。16は赤,緑,青の3色
の顔料等を含有する熱可塑性及び紫外線硬化性の樹脂
で、この樹脂16は樹脂8の代わりに使用する。17は樹脂
16を加熱する加熱炉、18は樹脂16に照射する紫外線であ
る。
【0021】このように構成された本発明の凹版オフセ
ット印刷法を用いた微小パターン形成方法による微小パ
ターンの製造工程について、ガラスの被印刷体10の表面
に形成したパターンの厚さが1〜3μm程度、パターン
の幅が5〜7μm程度のブラックマトリックスのパター
ン11の間隙12に、カラーフィルタとなる赤,緑,青の3
色の樹脂16からなる微小パターンを形成してなる高開口
液晶パネル用カラーフィルタを製造する例で説明する。
【0022】先ず、ディスペンサ7によって凹版1の表
面に樹脂16を滴下して、スキージ9で凹版1のセル6に
充填した上、この凹版1の表面に転写ローラ13を転がし
て、セル6に充填されている樹脂16を転写ローラ13の表
面に転写する。
【0023】そして、樹脂16が転写されているローラ13
をパターン11が形成されている被印刷体10に2〜5kg/
cm2の圧力で押圧しながら転がして、転写ローラ13の樹
脂16を間隙12の中の被印刷体10の表面に、図1(a)及び
図2に示すようにパターン11との間に若干隙間を生じ且
つ山盛りとなる程度に塗布する。
【0024】なお、液晶パネル用カラーフィルタ等のよ
うに赤,緑,青の3色の樹脂16をパターン11の間隙12に
塗布するときには、この樹脂塗布工程を3回繰り返す。
【0025】次に、樹脂16を塗布した被印刷体10ごと図
1(b)に示すように加熱炉17の中で加熱することによ
り、間隙12の中で樹脂16を融解させて図1(c)及び図3
に示すように均一に拡散させた上、図1(d)に示すよう
に紫外線18を照射して、樹脂16を硬化させることによ
り、パターン11の間隙12に樹脂16の微小パターンを形成
する。
【0026】なお、樹脂16を塗布した被印刷体10は、図
1(b)に示す加熱炉17の中で加熱する代わりに、図4に
示すホットプレート19の上で加熱してもよい。
【0027】(実施の形態2)図5は本発明の第1の実
施の形態による凹版オフセット印刷法を用いたパターン
形成の工程を示した断面図で、図1,図2,図3,図
4,図6及び図8の参照符号と同一符号のものは同一部
分,同一機能を有し、又、20は表面に弾性膜を介して離
型処理膜を形成したプレスローラである。
【0028】このように構成された本発明の凹版オフセ
ット印刷法を用いた微小パターン形成方法による微小パ
ターンの製造工程について、ガラスの被印刷体10の表面
に形成したパターンの厚さが1〜3μm程度,パターン
の幅が5〜7μm程度のブラックマトリックスのパター
ン11の間隙12に、カラーフィルタとなる赤,緑,青の3
色の樹脂16からなる微小パターンを形成してなる高開口
液晶パネル用カラーフィルタを製造する例で説明する。
【0029】先ず、ディスペンサ7によって凹版1の表
面に樹脂16を滴下して、スキージ9で凹版1のセル6に
充填した上、この凹版1の表面に転写ローラ13を転がし
て、セル6に充填されている樹脂16を転写ローラ13の表
面に転写する。
【0030】そして、樹脂16が転写されているローラ13
をパターン11が形成されている被印刷体10に2〜5kg/
cm2の圧力で押圧しながら転がして、転写ローラ13の樹
脂16を間隙12の中の被印刷体10の表面に、図5(a)及び
図2に示すようにパターン11との間に若干隙間を生じ且
つ山盛りとなる程度に塗布する。
【0031】なお、液晶パネル用カラーフィルタ等のよ
うに赤,緑,青の3色の樹脂16をパターン11の間隙12に
塗布するときには、この樹脂塗布工程を3回繰り返す。
【0032】次に、樹脂16を転写した被印刷体10ごと図
5(b)に示すようにホットプレート19に載置して加熱す
ると共に、プレスローラ20をパターン11が形成されてい
る被印刷体10に押圧しながら転がして、間隙12の中で融
解した樹脂16を図5(c)及び図3に示すように一様な厚
さに機械的に圧延した上、図5(d)に示すように紫外線
18を照射して、樹脂16を硬化させることにより、パター
ン11の間隙12に樹脂16の微小パターンを形成する。
【0033】なお、本発明における凹版オフセット印刷
法を用いたパターン形成方法によるパターン形成物は、
被印刷体10に形成されたパターン11の間隙12に樹脂16の
微小パターンを形成するものであれば、液晶パネル用カ
ラーフィルタに限定されるものではない。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被印刷体に形成されたパターンの幅が狭くても、そのパ
ターンの間隙に樹脂のパターンを、パターン越境,パタ
ーン抜け等を生じることなく、簡単,確実且つ高精度に
形成できる上、フォトリソグラフィに比較して製造工程
が簡略化される上、量産性に優れて、製造原価が安くな
るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)乃至(d)はそれぞれ本発明の凹版オフセッ
ト印刷法を用いた微小パターン形成方法による微小パタ
ーンの製造工程を示す断面図である。
【図2】本発明の凹版オフセット印刷法を用いた微小パ
ターン形成方法の樹脂塗布工程における微細なパターン
の間隙への樹脂の塗布状況を示す平面図である。
【図3】本発明の凹版オフセット印刷法を用いた微小パ
ターン形成方法のパターン形成工程における微細なパタ
ーンの間隙への樹脂パターンの形成状況を示す平面図で
ある。
【図4】本発明の凹版オフセット印刷法を用いた微小パ
ターン形成方法のパターン形成工程での他の加熱手段に
よる加熱状況を示す断面図である。
【図5】(a)乃至(d)はそれぞれ本発明の他の凹版オフ
セット印刷法を用いた微小パターン形成方法による微小
パターンの製造工程を示す断面図である。
【図6】従来の凹版オフセット印刷法を用いた微小パタ
ーン形成方法を簡略に示す斜視図である。
【図7】(a)乃至(e)はそれぞれ凹版オフセット印刷法
で用いる凹版の製造工程を簡略に示す断面図である。
【図8】(a)は凹版オフセット印刷法を用いた従来の微
小パターン形成方法によって微細なパターンの間隙に樹
脂を塗布したときの状況を示す断面図、(b)は(a)の平
面図である。
【符号の説明】
1…凹版、 2…基材、 3…レジスト膜、 4…パタ
ーン、 5…エッチング液、 6…セル、 7…ディス
ペンサ、 8,16…樹脂、 9…スキージ、 10…被印
刷体(ガラス基板)、 11…パターン(ブラックマトリッ
クス)、 12…間隙、 13…転写ローラ、 14…パター
ン越境部分、 15…パターン抜け部分、 17…加熱炉、
18…紫外線、 19…ホットプレート、 20…プレスロ
ーラ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C09D 11/10 C09D 11/10

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被印刷体の表面に形成したパターンの間
    隙に熱可塑性の樹脂を凹版オフセット印刷法によって塗
    布する樹脂塗布工程と、 前記樹脂が前記間隙に印刷された前記被印刷体を加熱手
    段で加熱して、前記樹脂を前記間隙の中で融解且つ拡散
    させることにより、前記樹脂のパターンを前記間隙に形
    成するパターン形成工程とを有することを特徴とする微
    小パターン形成方法。
  2. 【請求項2】 前記樹脂は紫外線硬化性を有することを
    特徴とする請求項1記載の微小パターン形成方法。
  3. 【請求項3】 複数の種類の前記樹脂を使用するときに
    は、前記樹脂塗布工程を前記樹脂の種類毎に繰り返し行
    うことを特徴とする請求項1記載のパターン形成方法。
  4. 【請求項4】 前記パターン形成工程において前記樹脂
    を前記間隙の中で融解したときには、前記樹脂を機械的
    手段で圧延することを特徴とする請求項1記載のパター
    ン形成方法。
  5. 【請求項5】 被印刷体の表面に形成したパターンの間
    隙に熱可塑性の樹脂を凹版オフセット印刷法によって塗
    布した上、前記樹脂が前記間隙に印刷された前記被印刷
    体を加熱手段で加熱して、前記樹脂を前記間隙の中で融
    解且つ拡散させることにより、前記樹脂のパターンを前
    記間隙に形成したことを特徴とする微小パターン形成
    物。
  6. 【請求項6】 前記樹脂は紫外線硬化性を有することを
    特徴とする請求項5記載の微小パターン形成物。
  7. 【請求項7】 複数の種類の前記樹脂を使用するときに
    は、前記凹版オフセット印刷法による前記樹脂の塗布を
    前記樹脂の種類毎に繰り返し行うことを特徴とする請求
    項5記載の微小パターン形成物。
  8. 【請求項8】 前記樹脂を前記間隙の中で融解したとき
    には、前記樹脂を機械的手段で圧延することを特徴とす
    る請求項5記載の微小パターン形成物。
  9. 【請求項9】 ガラス基板の表面に形成したブラックマ
    トリックスのパターンの間隙に、赤,緑,青の3色の熱
    可塑性の樹脂を凹版オフセット印刷法によって繰り返し
    塗布した上、前記樹脂が前記間隙に印刷された前記ガラ
    ス基板を加熱手段で加熱して、前記樹脂を前記間隙の中
    で融解且つ拡散させることにより、前記樹脂のパターン
    を前記間隙に形成したことを特徴とする液晶パネル用カ
    ラーフィルタ。
  10. 【請求項10】 前記樹脂は紫外線硬化性を有すること
    を特徴とする請求項9記載の液晶パネル用カラーフィル
    タ。
  11. 【請求項11】 前記樹脂を前記間隙の中で融解したと
    きには、前記樹脂を機械的手段で圧延することを特徴と
    する請求項9記載の液晶パネル用カラーフィルタ。
JP25853697A 1997-09-24 1997-09-24 凹版オフセット印刷法を用いた微小パターン形成方法と該方法による微小パターン形成物及び液晶パネル用カラーフィルタ Pending JPH1191230A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007206701A (ja) * 2006-02-03 2007-08-16 Samsung Electronics Co Ltd 印刷装置ならびにこれを用いたグラビア印刷法および表示装置の製造方法
KR100807584B1 (ko) * 2001-10-04 2008-02-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시 장치용 인쇄 장비 및 인쇄방법
JP2010145460A (ja) * 2008-12-16 2010-07-01 Toppan Printing Co Ltd 精密パターンの印刷方法
CN109270715A (zh) * 2018-11-13 2019-01-25 成都中电熊猫显示科技有限公司 液晶显示器中白缺陷的修正方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100807584B1 (ko) * 2001-10-04 2008-02-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시 장치용 인쇄 장비 및 인쇄방법
JP2007206701A (ja) * 2006-02-03 2007-08-16 Samsung Electronics Co Ltd 印刷装置ならびにこれを用いたグラビア印刷法および表示装置の製造方法
JP2010145460A (ja) * 2008-12-16 2010-07-01 Toppan Printing Co Ltd 精密パターンの印刷方法
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