JP4419477B2 - 印刷パターンの転写方法と液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
このフォトリソグラフィ法において、シート状のガラス板上にカラーフィルタ用フォトレジストを塗布する方法としては、上記のようにカラーフィルタ用フォトレジストをシート状のガラス板上の中央部に滴下する代わりに、スロット型塗布ヘッドによりガラス板上の全面に平面状に厚く塗布し、次に高速で回転させることによって均一な塗布膜を形成する方法もある。
なお、従来のカラーフィルタ印刷は、三色のインキの画像をブランケット胴に転写させ、さらに同画像を印刷定盤上のガラス基板に転写させて三色印刷を行うものである(例えば特許文献1参照)。
従来のカラーフィルタを形成する印刷方式において凸版に樹脂インクを供給する方式として、展色平版から凸版に転写するものが提案されている(例えば特許文献2参照)。
従来のカラーフィルタを形成する印刷方式において、ダイコータにてブランケット胴にインキを供給することが提案されている(例えば、特許文献3参照)。
従来のカラーフィルタを形成するのにダイコータを使用して金属ローラにインキを供給し、露光現像を行う方法が提案されている(例えば、特許文献4参照)。
従来のカラーフィルタを形成するに際して、インクジェットを使用することが提案されている(例えば、特許文献5参照)。
従来のカラーフィルタを形成するに際して、インクジェットを使用して転写を行なうようにしたものが提案されている(例えば、特許文献6参照)。
まず位置合せ精度に関して問題がある。ザンメル印刷機のように多色の版を一つのブランケットに転写して多色を同時に転写する印刷機では位置合せ精度が良好であり、その位置合せ精度は±10μm位となるが、一般的な印刷方法を応用した場合、従来の印刷機の位置合せ精度が±50μm位と粗いためにカラーフィルタを印刷するには適さない。特にカラーフィルタを印刷するにはその位置合せ精度が±3μm必要である。
そして、インキの均一供給に関しても問題がある。オフセット印刷の場合、インク着けローラから版へ、版からブランケットへ、そしてブランケットから紙へと供給され、その供給はインキ被膜の分裂により転写部位それぞれにおいて約50%前後で行われるものの、その時のインキ供給の全体的なバラツキを3%以下にする精度ではなかった。この点、ブランケットからガラス板ヘのインキの転写を100%を満足する技術が完成されているが、転写後のパターン表面が曲面になり、カラーフィルタの表面の平滑性を満足できるものではなかった。グラビア印刷のような凹版印刷の場合、ドクター等で不用部分のインキを掻き取るため凹版の中のインキの中心付近が凹んでしまい、パターンが中抜け状態で転写され、目的のパターンを作成できなかった。さらに印刷装置には、その装置及び装置回りでの生じる微小な異物を取り除く対策が施されておらず、カラーフィルタのパターンに異物が混入するなどの問題が多い。
そこで、本発明は液晶ディスプレイ用カラーフィルタの構成色であるRGBそれぞれの顔料インキを、一旦、各構成色の印刷パターンの粘着性半硬化薄膜とし、その粘着性半硬化薄膜を可撓性のある金属製平版状版で組み合わせてカラーフィルタパターンを形成し、この組み合わされたカラーフィルタパターンを被印刷体であるフィルタ用の透明板に転移させるようにすることを課題とし、高精度の液晶ディスプレイ用カラーフィルタを、前記顔料インキ転写による印刷手法を用いて効率よく製造することを目的とするものである。
また、もう一つの発明は、被印刷体であるフィルタ用の透明板にカラーフィルタの構成色のRGBの三色からなるカラーフィルタパターンを印刷してカラーフィルタを形成する液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造方法において、カラーフィルタの構成色ごとに対応した第一版のベタ部に、該第一版が対応するカラーフィルタの構成色である顔料インキを定厚で塗布し、該顔料インキのカラーフィルタでの印刷パターンとした凸部を有する第二版を前記第一版のベタ部に対応させて、前記ベタ部上に塗布膜厚を均一にして塗布された前記顔料インキの薄膜から前記第二版の凸部に前記顔料インキを印刷パターンで転写し、前記凸部上で印刷パターンの顔料インキを乾燥させることによって得られる半効果状態で粘着性を有する粘着性半硬化薄膜が形成された第二版を印刷平板状版に対応させて、前記粘着性半硬化薄膜の印刷平板状版のインキ受け面への転写を、カラーフィルタ構成色に対応した第二版ごとに順次行ない、前記第二版それぞれからのカラーフィルタ構成色ごとの粘着性半硬化薄膜の転写により組み合わされたカラーフィルタパターンを備えた前記印刷平板状版を、カラーフィルタ用の前記透明板に圧着して、前記カラーフィルタパターンを透明板に転移させることを特徴とする液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造方法であり、この製造方法を提供して上記課題を解消するものである。
そして本発明において、上記第二版は表面が樹脂薄膜(例えば、ポリビニルアルコールであれば、乾燥前のインキが塗布することができ、インキ乾燥後にはそのインキが剥がれるようになる。)で被覆されていることが良好である。
また、上記第一版のベタ部での第二版への転写前で、前記ベタ部で形成された顔料インキの薄膜に印刷パターンのネガパターンである除去版を接させ、該除去版により薄膜表面における印刷パターン以外の不要インキを除去することが良好である。
そして、この発明において、上記第二金属ローラは表面が樹脂薄膜で被覆されていることが良好である。
また、上記各印刷ユニットには、第一金属ローラのベタ部での第二金属ローラへの転写位置前で、該ベタ部で形成された顔料インキの薄膜に印刷パターンのネガパターンとして接して薄膜表面における印刷パターン以外の不要インキを除去する除去金属ローラを備えることが良好である。
また本発明の製造方法によれば、カラーフィルタ構成色ごとの第二版で、カラーフィルタ構成色の顔料インキからなる粘着性半硬化薄膜をその顔料インキが対応するカラーフィルタ構成色の印刷パターンにして形成しており、この粘着性半硬化薄膜を印刷平板状版に転写するので印刷パターンが確実に印刷平板状版に移るようになり、印刷平板状版では膜厚を均一にした印刷パターンからなるカラーフィルタパターンが形成され、そのカラーフィルタパターンを被印刷体である透明板に転移させるので、高品質のカラーフィルタが形成されるようになる。
そして、本発明の製造装置によれば、各印刷ユニットの第二金属ローラの凸部においてほぼ膜厚が均一化された状態の粘着性半硬化薄膜からなる印刷パターンが得られ、各構成色の印刷ユニットによって金属製印刷平板状版で組み合わされたカラーフィルタパターンが被印刷体である透明板に転移するようになるため、カラーフィルタでの膜厚のバラツキが極めて小さくなり、高品質のカラーフィルタが得られるようになるなど、実用性に優れた効果を奏するものである。
(印刷ユニット)
上記印刷版支持部2の金属製印刷平板状版に顔料インキを転写する上記各印刷ユニット3R、3G、3Bの動作を印刷ユニット3Rを例示して示す。まず、スロット型塗布ヘッド30Rから図2に示すように塗布厚を定厚にして顔料インキ34Rを第一金属ローラ31Rのベタ部35Rへ供給する。前記第一金属ローラ31Rはその周面を図3に示すようにインキ受け面を凹凸のないベタ部35Rとしている。そのため、第一金属ローラ31Rのベタ部35Rでは、供給された顔料インキ34Rによる均一な厚さの薄膜が形成される。また、第二金属ローラ33Rは周面にカラーフィルタパターンを構成するためのR色の印刷パターンが得られるように、その印刷パターンに対応した版となる凸部36を有し(図4参照)、除去金属ローラ32Rにあっては、印刷パターンのネガパターンに対応した版となる凸部37を有している(図5参照)。なお、除去金属ローラ32Rの前記凸部37の間に形成される凹部の幅は後述するように第二金属ローラ33Rの凸部36の幅より若干広くなるように調整されている。
上記除去金属ローラ32Rと第二金属ローラ33Rにおいては、図6に示すように第一金属ローラ31Rの回転方向の前位の位置で除去金属ローラ32Rがベタ部35Rに接するように回転し、後位の位置で第二金属ローラ33Rがベタ部35Rに接するようにして回転していて、第一金属ローラ31Rのベタ部35Rから除去金属ローラ32Rと第二金属ローラ33Rとに顔料インキ34Rの転写が行われる。
そして、図8では、上記第一金属ローラ31Rと第二金属ローラ33Rとの接する部分を示していて、第二金属ローラ33Rの凸部36に顔料インキ34Rの薄膜での印刷パターンに対応した位置の盛り上がり部分が対応して接し、接した盛り上がり部分の薄膜の半分が、第一金属ローラ31Rと第二金属ローラ33Rの回転が進むことで第二金属ローラ33Rの凸部36に転写する。この後、第二金属ローラ33Rの凸部36に転写した顔料インキ34Rからなる薄膜を乾燥させ、顔料インキ34Rの薄膜からなる印刷パターンを第二金属ローラ33Rの凸部36の周面に得る。このとき第二金属ローラ33R上での乾燥によって顔料インキ34Rからの溶剤の揮発が進んで半硬化状態となるとともに、顔料インキ34Rは粘着性を有するものとなり、第二金属ローラ33Rの周面に粘着性半硬化薄膜が形成される。
このカラーフィルタの製造に用いる顔料インキ(RGBの三色とも)のウエット状態のときの定着性は、溶剤の揮発が進んで半硬化状態となると低下するようになり、その反面、上述のように粘着性が生じてきて転写が行ない易くなる。特に後述するように樹脂薄膜がローラを覆っている場合、ウエット状態の顔料インキの溶剤成分と樹脂薄膜の構成材料との関係で顔料インキが定着し易くなっているが、揮発により前記溶剤成分が減少すると、定着するための前記樹脂薄膜の構成材料との関係が断ち切られることとなり、よって顔料インキが剥がれ易くなる。
図10と図11とは印刷版支持部2を示していて、金属枠20にスクリーン印刷において用いられるスクリーン(紗)21を張設し、そのスクリーン21の下面に、可撓性のある金属製印刷平板状版6をその下面側がインキ受け面となるようにして取り付けられている。なお、印刷版支持部2は、後述する被印刷体へのカラーフィルタパターンの転移に際しての金属製印刷平板状版6の撓みを許容するようにこの金属製印刷平板状版6を支持すればよく、特に図示の構成に限定されるものではない。
上述のように印刷ユニット3R、3G、3Bの第二金属ローラ33R、33G、33B上でのフィルタ構成色での印刷パターンが形成され、膜厚が設定値となった時点で、待機位置の印刷版支持部2に近い側の印刷ユニット、例えば印刷ユニット3Rが前記印刷版支持部2の下に向けて移動する。そして、図12に示すように、印刷ユニット3Rの第二金属ローラ33Rの周面に形成された粘着性半硬化薄膜となった顔料インキ34Rを金属製印刷平板状版6に下面からそのインキ受け面に転写する。この転写に際しては、金属製印刷平板状版6を印刷版支持部2の上部に位置するプレス胴7と第二金属ローラ33Rとで挟むようにしており、移動する印刷ユニット3Rの第二金属ローラ33Rの回転移動に合わせてこのプレス胴7も回転移動するように設けられている(図13)。この転写に際しては、第二金属ローラ33Rの凸部36の顔料インキ34R(粘着性半硬化薄膜)による印刷パターンの位置と金属製印刷平板状版6で予め設定されているR色のパターンの位置とを合せて転写する(図14)。
上記印刷ユニット3Rでの転写が終了すれば、順次印刷ユニット3G、3Bからの転写が行なわれるものであり、印刷ユニット3Rの場合と同様に、第二金属ローラ33Gの凸部の顔料インキ(G色の粘着性半硬化薄膜)による印刷パターンの位置と金属製印刷平板状版6のG色のパターン位置とを合せて転写し、引き続き、第二金属ローラ33Bの凸部の顔料インキ(B色の粘着性半硬化薄膜)による印刷パターンの位置と金属製印刷平板状版6のB色のパターン位置とを合せて転写する(図15)。これによって金属製印刷平板状版6にRGB三色の印刷パターンを組み合わせた粘着性半硬化薄膜からなるカラーフィルタパターン8が形成される。
上記印刷ユニットによる金属製印刷平板状版6へのカラーフィルタパターン8の転写が終了すると、図16に示すように印刷版支持部2の下に被印刷体であるフィルタ用の透明板9を配置したX・Y・θ制御定盤10が配置され、上記プレス胴7とでカラーフィルタパターン8を透明板に転移させるように構成されている。
カラーフィルタパターン8を透明板9に転移するに際しては 金属製印刷平板状版6を透明板9に重ねる前に、金属製印刷平板状版6に形成したRGB三色のカラーフィルタパターン8を透明板9上の転移すべき位置に位置合わせをするものであって、X・Y・θ制御定盤10を調整して透明板9のアライメントマーク(図示せず)と金属製印刷平板状版6上の位置合わせマーク(図示せず)を使って位置合わせを行う。
位置合わせ終了後、図17のように金属製印刷平板状版6に形成したカラーフィルタパターン8を透明板9にプレス胴7で押圧しながら、そのプレス胴7が金属製印刷平板状版6の一辺方向に沿って移動することにより転移が行われる。
この後、図18のように金属製印刷平板状版6に密着した透明板9側から紫外線を紫外線照射装置11により照射する。これによってカラーフィルタパターン8の透明板9に対する密着力が、カラーフィルタパターン8の金属製印刷平板状版6に対する密着力より強くなるようにしている。
そして、透明板9が密着した状態で印刷版支持部を金属製印刷平板状版剥がし台14と剥離胴15との間に移送配置し、図19のように剥離胴15の押圧移動に伴いながら、その剥離胴15の移動方向後位側から離れるように上記印刷版支持部2が持ち上げられて、透明板9の端の方から徐々に金属製印刷平板状版6が剥がされ、RGB三色の顔料インキからなるカラーフィルタパターンを印刷した液晶ディスプレイ用カラーフィルタが完成する。
この実施の例において転移手段は、金属製印刷平板状版6と透明板9との重ね合せを行なうプレス胴7とX・Y・θ制御定盤10、紫外線を照射する紫外線照射装置11、金属製印刷平板状版6と透明板9とを別ける金属製印刷平板状版剥がし台14と剥離胴15から構成されているが、金属製印刷平板状版6と透明板9とを重ね合わせてから別けることで、金属製印刷平板状版6から透明板9にカラーフィルタパターンが転移すればよく、転移手段は上記実施の例の構成に限定されるものではない。
まず、ガラス板にフォトリソ法でカラーフィルタ用樹脂ブラックマトリクスを形成し、樹脂ブラックマトリクス付ガラス板(被印刷体)を準備した。樹脂ブラックマトリクスの線幅は20μmにした。スロット型塗布ヘッドを使用するRGB三色の印刷ユニットの部品として、表面をポリビニルアルコールで被覆し、表面に凸部のある第二金属ローラ(33R,33G,33B)、表面に凹部のある除去金属ローラ(32R,32G,32B)、金属製印刷平板状版などを準備した。
表面をポリビニルアルコールで被覆し、表面に凸部のある第二金属ローラ(33R,33G,33B)は、図4に示すように凸部(36)の上面の幅W92μm、凹部の深さDは100μm、凸部のピッチPは300μmで作成した。
表面に凹部のある除去金属ローラ(32R,32G,32B)は、図5に示す構造で、凹部の底面幅W100μm、凹部の深さDは100μm、凹部のピッチPは300μmで作成した。
第一金属ローラ、表面をポリビニルアルコールで被覆し、表面に凸部のある第二金属ローラ、表面に凹部のある除去金属ローラ、プレス胴の全てのローラの周長は同じ長さのものとした。
金属印刷平板状版は印刷版支持部においてX・Y・θの調整ができるようにした。プレス胴は、R色の印刷ユニットにおける第一金属ローラと同期をとって移動できるようにした。同様に、G色の印刷ユニットにおける第一金属ローラと同期をとって移動でき、そして、B色の印刷ユニットにおける第一金属ローラとも同期をとって移動できるようにした。
樹脂ブラックマトリクスBM付きの上記ガラス板は、X・Y・θ制御定盤上の所定の位置にセットするようにした。X・Y・θ制御定盤は、固定された金属製印刷平板状版の下まで移動できるようにした。
図19に示すように金属製印刷平板状版をガラス板から剥がすに際して、金属製印刷平板状版剥がし台と剥離胴とからなる剥離機構を利用する構成とした。
まず、R色の顔料インキにおいて、図2に示すように、第一金属ローラのベタ部の表面にスロット型塗布ヘッドを用いて顔料インキを塗布して塗布膜を設けた。このようにスロット型塗布ヘッドを用いることによって、RGB三色の顔料インキそれぞれにいて、ローラ幅2m程度の第一金属ローラのベタ部の表面に精度良く塗布膜を設けることができ、第一金属ローラのベタ部の表面にウェット状態で約20μmの塗布膜である薄膜を塗布面内バラツキ3%以内で作成した。
つぎに図8に示すように、第一金属ローラが回転し、表面をポリビニルアルコールで被覆して表面にストライプ状の凸部のある第二金属ローラの前記凸部が、第一金属ローラのベタ部の表面のウエット状態の薄膜の凸部と接し、ウエット状態の膜厚の半分の厚みである約10μmの顔料インキが第二金属ローラの凸部に転写する。
転写終了後、第二金属ローラは、第一金属ローラから離れる。図9に示すように、余分な顔料インキが除去金属ローラの凸部に転写して取り除かれているので、第二金属ローラの凸部に転写した約10μmの顔料インキのエッジの切れは良好であり、乾燥させて顔料インキのカラーフィルタ用の粘着性半硬化薄膜を得た。
顔料インキのカラーフィルタ用の粘着性半硬化薄膜の膜厚は膜厚計で測定したところ、第二金属ローラの凸部に形成した測定した顔料インキのカラーフィルタ用の粘着性半硬化薄膜の膜厚は、約2μmであった。
同様に、B色の顔料インキとして、UV硬化アクリル樹脂系カラーフィルタ用顔料インキを用いて、顔料インキのカラーフィルタ用の粘着性半硬化薄膜を得る。顔料インキのカラーフィルタ用の粘着性半硬化薄膜の膜厚は膜厚計で測定した。第二金属ローラの凸部に形成した測定した顔料インキのカラーフィルタ用の粘着性半硬化薄膜の膜厚は、約2μmであった。
図13に示すように、金属製印刷平板状版を第二金属ローラとプレス胴とで挟み、約10kg/cm2の圧力をかけた。プレス胴の重量は、約2000kgの重さで作製した。
金属製印刷平板状版を固定した状態で、第二金属ローラとプレス胴との同期をとり移動させる。図13に示すように第二金属ローラ上の粘着性半硬化薄膜を金属製印刷平板状版の下面へ転写するようにして、第二金属ローラ上の粘着性半硬化薄膜を金属製印刷平板状版に転写する。図14に示すように金属製印刷平板状版の下面から第二金属ローラ上の粘着性半硬化薄膜を所定の位置に合わせて転写した。
同様に、B色の印刷ユニットにおいて、表面をポリビニルアルコールで被覆した第二金属ローラもベースとともにガイドレール上を移動して、金属型平版印刷版の下部の所定の位置まで移動させ、金属製印刷平板状版を固定した状態で、第二金属ローラとプレス胴との同期をとり移動させる。第二金属ローラ上の粘着性半硬化薄膜を金属製印刷平板状版に転写した。
このようにして金属製印刷平板状版に位置合せしながら各印刷ユニットの第二金属ローラ上の粘着性半硬化薄膜を順次転写して、三色転写によるカラーフィルタパターンを形成した。
図18に示すようにガラス板と金属製印刷平板状版が密着した状態で、紫外線露光装置上に移動し全面露光した。ガラス板と粘着性半硬化薄膜三色との密着力が強力になるのが確認された。
図19に示すように。紫外線露光したガラス板と金属製印刷平板状版が密着した状態のものを金属製印刷平板状版剥がし台に固定する。剥離胴で金属製印刷平板状版を押さえながら序々に剥がした。これによりガラス板に粘着性半硬化薄膜三色が転写し、カラーフィルタが完成した。
2…印刷版支持部
3R、3G、3B…印刷ユニット
30R、30G、30B…スロット型塗布ヘッド
31R、31G、31B…第一金属ローラ
32R、32G、32B…除去金属ローラ
33R、33G、33B…第二金属ローラ
34R、34G、34B…顔料インキ
35R、35G、35B…ベタ部
36…凸部
37…凸部
38R、38G、38B…膜厚計
4…転移手段
5…架台
6…金属製印刷平板状版
7…プレス胴
8…カラーフィルタパターン
9…透明板
Claims (7)
- ベタ版の凹凸のないベタ部に顔料インキを塗膜厚を定厚にして塗布し、該顔料インキの印刷パターンを凸部として有する版を前記ベタ版のベタ部に対応させて、前記ベタ部上の塗布膜厚を均一となる前記顔料インキの薄膜から前記版の凸部に前記顔料インキを印刷パターンで転写し、
前記凸部上で印刷パターンの顔料インキを乾燥させることによって得られる半硬化状態で粘着性を有する粘着性半硬化薄膜を形成し、
粘着性半硬化薄膜が形成された前記版を印刷平板状版に対応させて、前記粘着性半硬化薄膜を印刷平板状版に転写し、
前記印刷平板状版を透明板に圧着して、印刷平板状版の前記粘着性半硬化薄膜を前記透明板に転移させることを特徴とする印刷パターンの転写方法。 - 被印刷体であるフィルタ用の透明板にカラーフィルタの構成色のRGBの三色からなるカラーフィルタパターンを印刷してカラーフィルタを形成する液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造方法において、
カラーフィルタの構成色ごとに対応した第一版のベタ部に、該第一版が対応するカラーフィルタの構成色である顔料インキを定厚で塗布し、該顔料インキのカラーフィルタでの印刷パターンとした凸部を有する第二版を前記第一版のベタ部に対応させて、前記ベタ部上に塗布膜厚を均一にして塗布された前記顔料インキの薄膜から前記第二版の凸部に前記顔料インキを印刷パターンで転写し、
前記凸部上で印刷パターンの顔料インキを乾燥させることによって得られる半硬化状態で粘着性を有する粘着性半硬化薄膜が形成された第二版を印刷平板状版に対応させて、前記粘着性半硬化薄膜の印刷平板状版のインキ受け面への転写を、カラーフィルタ構成色に対応した第二版ごとに順次行ない、
前記第二版それぞれからのカラーフィルタ構成色ごとの粘着性半硬化薄膜の転写により組み合わされたカラーフィルタパターンを備えた前記印刷平板状版を、カラーフィルタ用の前記透明板に圧着して、前記カラーフィルタパターンを透明板に転移させることを特徴とする液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造方法。 - 上記第二版は表面が樹脂薄膜で被覆されている請求項2に記載の液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造方法。
- 上記第一版のベタ部での第二版への転写前で、前記ベタ部で形成された顔料インキの薄膜に印刷パターンのネガパターンである除去版を接させ、該除去版により薄膜表面における印刷パターン以外の不要インキを除去する請求項2または3に記載の液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造方法。
- 被印刷体であるフィルタ用の透明板にカラーフィルタの構成色のRGBの三色からなるカラーフィルタパターンを印刷してカラーフィルタを形成する液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造装置において、
可撓性の金属製印刷平板状版のインキ受け面を下にしてこの金属製印刷平板状版を支持する印刷版支持部を備えるとともに、
スロット型塗布ヘッドから第一金属ローラのベタ部にカラーフィルタの構成色である顔料インキが定厚で塗布され、前記ベタ部に塗布膜厚を均一にして供給してなる前記顔料インキの薄膜から、カラーフィルタ構成色ごとの印刷パターンに対応した凸部を有する第二金属ローラの前記凸部に前記顔料インキを印刷パターンで転写し、前記凸部上で形成された印刷パターンでの前記顔料インキを乾燥させることによって得られる半硬化状態で粘着性を有する粘着性半硬化薄膜を第二金属ローラから印刷版支持部の金属製印刷平板状版のインキ受け面に下方から転写する印刷ユニットを、カラーフィルタ構成色ごとに備え、
前記印刷ユニットそれぞれからのカラーフィルタ構成色ごとの粘着性半硬化薄膜の転写を受けて組み合わされたカラーフィルタパターンを備えた金属製印刷平板状版を、フィルタ用の前記透明板に圧着して、前記カラーフィルタパターンを透明板に転移させる転移手段を備えることを特徴とする液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造装置。 - 上記第二金属ローラは表面が樹脂薄膜で被覆されている請求項5に記載の液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造装置。
- 上記各印刷ユニットには、第一金属ローラのベタ部での第二金属ローラへの転写位置前で、該ベタ部で形成された顔料インキの薄膜に印刷パターンのネガパターンとして接して薄膜表面における印刷パターン以外の不要インキを除去する除去金属ローラを備える請求項5または6に記載の液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造装置。
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