JP2005086017A - セラミック基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 拘束シートを用いた同時焼成工程によるセラミック基板の製造方法において、表面導体に不必要な凹凸をスタンプ(stamp)したり、異物付着を起こしたり、メッキ性や半田濡れ性の低下といった問題の発生を防ぎつつ、焼成ひずみをより小さくできる方法を提供する。
【解決手段】 未焼成セラミック基板30の表面導体32を形成した面に、同時焼成により一体化されるセラミックペースト70を塗布して、セラミックグリーン被覆層7を形成する。その後、未焼成セラミック基板30の焼成温度では焼結されない拘束シート9,9を積層して、該拘束シート9,9により未焼成セラミック基板30をセラミックグリーン被覆層7とともに拘束する。セラミックグリーン被覆層7および未焼成セラミック基板30を、それらが焼結および一体化され、且つ、拘束シート9,9が焼結されない範囲の温度で焼成してセラミック基板40を得る。拘束シート9,9と、表面導体32を被覆するセラミック層7aとを除去して表面導体層32を露出させ、メッキ層31を形成する。
【選択図】 図4
【解決手段】 未焼成セラミック基板30の表面導体32を形成した面に、同時焼成により一体化されるセラミックペースト70を塗布して、セラミックグリーン被覆層7を形成する。その後、未焼成セラミック基板30の焼成温度では焼結されない拘束シート9,9を積層して、該拘束シート9,9により未焼成セラミック基板30をセラミックグリーン被覆層7とともに拘束する。セラミックグリーン被覆層7および未焼成セラミック基板30を、それらが焼結および一体化され、且つ、拘束シート9,9が焼結されない範囲の温度で焼成してセラミック基板40を得る。拘束シート9,9と、表面導体32を被覆するセラミック層7aとを除去して表面導体層32を露出させ、メッキ層31を形成する。
【選択図】 図4
Description
本発明は、同時焼成工程(co-fire process)によって、表面導体層を有するセラミック基板を製造する方法に関する。特には、セラミック基板が、分割により複数のセラミック部品となるセラミック部品の集合体である場合において好適なものである。
セラミックグリーンシートと導体層とを積層してなる未焼成セラミック基板を作製し、次いで、セラミック体と導体とを同時焼成(co-fire)することによってセラミック基板を製造する方法は、同時焼成工程(co-fire process)と呼ばれている。焼成済みのセラミック基板上に導体ペーストを印刷し、次いで、導体ペーストをセラミック基板に焼き付ける工程(post-fire process)と比較すると、同時焼成工程は、実装パッドなどの表面導体をセラミック体と一括形成できる大きな利点がある。
しかしながら、同時焼成工程においては、グリーンシートと導体層との焼成収縮のタイミングが異なるため、できあがったセラミック基板に反り等の焼成ひずみが生じやすい。焼成ひずみが実装工程における実装不良等の不具合を招くことはよく知られている。
焼成ひずみの問題を解決するために、種々の方法が検討されている。代表的な方法としては、未焼成セラミック基板を上下から物理的に拘束しながら焼成することで厚さ方向(Z方向)への焼成収縮を優位的に生じさせ、これにより焼成ひずみの小さいセラミック基板を作製する方法が知られている。具体的には、未焼成セラミック基板に上下面から圧力を加えて拘束しながら焼成する方法(下記特許文献1)や、未焼成セラミック基板を焼成過程では収縮しない拘束シートで挟んだ状態で焼成した後、拘束シートを除去する方法(下記特許文献2)がある。
未焼成セラミック基板を拘束シートで上下から拘束しながら焼成する方法(上記特許文献2)においては、基板表面に形成された実装パッド等の表面導体に拘束シートが直接接することになる。そのため、表面導体層の表面に不必要な凹凸をスタンプ(stamp)したり、異物付着を起したり、メッキ性や半田濡れ性を低下させる可能性がある。また、未焼成セラミック基板を焼成過程では収縮しない拘束シートで挟んだ状態で焼成した後、拘束シートを除去する方法は、表面導体の密着強度や耐半田くわれ性を良好にするために表面導体層を厚く形成(焼成後の厚みで15μm以上50μm以下)した場合に問題がある。具体的には、厚く形成された表面導体層の凹凸によって拘束シートが部分的に密着し難くなり、拘束が不十分な部分に焼成ひずみが発生しやすい問題がある。
表面導体層をpost-fire processにより形成する方法もあるが、焼成回数が増える問題があるし、ファインパターンの形成にpost-fire processは不向きである。また、表面導体層をメッキで形成することは、セラミック体とメッキ層との密着性の問題や、フォトリソプロセスが必須になり工程が複雑化する問題がある。
本発明の課題は、拘束シートを用いた同時焼成工程によるセラミック基板の製造方法において、表面導体に不必要な凹凸をスタンプ(stamp)したり、異物付着を起こしたり、メッキ性や半田濡れ性の低下といった問題の発生を防ぎつつ、焼成ひずみをより小さくできる方法を提供することにある。
上記課題を解決するために本発明にかかるセラミック基板の製造方法は、セラミックグリーンシートと導体層とを積層してなる積層体の主面上に表面導体が形成された未焼成セラミック基板を作製する基板作製工程と、未焼成セラミック基板の表面導体を形成した面に、同時焼成によりセラミックグリーンシートに一体化されるセラミックペーストを塗布して、表面導体および積層体の主面を被覆する被覆工程と、表面導体が被覆された未焼成セラミック基板の両面に、該未焼成セラミック基板の焼成温度では焼結されない難焼結性無機材料を主体として含む拘束シートを積層して、該拘束シートにより未焼成セラミック基板を拘束する拘束工程と、拘束された未焼成セラミック基板が焼結され、拘束シートが焼結されない範囲の温度で焼成して、拘束シートにより拘束されたセラミック基板を作製する焼成工程と、拘束シートにより拘束されたセラミック基板から拘束シートと、上記被覆工程において塗布したセラミックペーストに基づくセラミック層のうち、表面導体を被覆するセラミック被覆層とを除去し、表面導体を露出させる除去工程と、を備えることを主要な特徴とする。
上記本発明の方法においては、未焼成セラミック基板およびそれに塗布されたセラミックペースト塗布層を拘束シートで挟み込んだ状態で焼成するので、XY方向(面内方向)への焼成収縮が抑制され、Z方向(厚さ方向)への焼成収縮が優位となり、これにより焼成ひずみ(反り)を小さくできる。表面導体と拘束シートとの間には、セラミックペースト塗布層が介挿され、拘束シートの凹凸が表面導体にスタンプされることがない。また、セラミックペースト塗布層は、未焼成セラミック基板(基板本体ともいう)の主表面における表面導体の非形成領域を埋める作用を有する。これにより、焼成時において、面内に均一な拘束力が働くようになる。すると、面内方向における焼成ひずみの発生バラツキが小さくなり、全体的な焼成ひずみをいっそう小さくできる。また、セラミックペースト塗布層は、同時焼成により基板本体と一体化する。したがって、焼成後においては、拘束シートとともに表面導体を覆うセラミック被覆層が形成され、これを除去する必要性があるが、この際に、表面導体に付着した異物(具体的にはセラミック粒子等)をいっしょに除去することが可能である。このように、本発明の方法に拠れば、拘束シートを用いた同時焼成工程によるセラミック基板の製造方法において、表面導体に不必要な凹凸をスタンプ(stamp)したり、異物付着を起こしたり、メッキ性や半田濡れ性の低下といった問題の発生を防ぎつつ、焼成ひずみをより小さくできる。
上記したセラミックペーストは、未焼成セラミック基板を構成するセラミックグリーンシートと実質的に同一組成の無機材料と、溶媒や結合剤としての有機材料とを調製したものを好適に使用できる。この構成によれば、セラミックペーストが塗布されてなるセラミックペースト塗布層と、未焼成セラミック基板との焼成温度、すなわち焼成タイミングが一致するので、容易かつ確実に両者を一体化できる。なお「実質的に同一」とは、不可避不純物の混入については無視することを意味する。
被覆工程においては、未焼成セラミック基板の表面導体層が形成された面をプレス加工により平坦化したのち、セラミックペーストを厚さ1μm以上50μm以下の範囲で塗布することが望ましい。セラミックペーストの塗布厚さが1μm未満の場合、拘束力を面内で均一化する作用を十分に得られなくなる。他方、厚さが50μmを超えると、焼成後において表面導体上に分厚いセラミック被覆層が形成されることとなり、これを除去することが困難となったり、除去工程に費やされる時間が著しく増大したりする。その結果、生産性が犠牲になる恐れがある。
また、除去工程を経て露出された表面導体上に導電バンプを形成する工程をさらに行なうことができる。除去工程を経て露出された表面導体上にメッキ層を形成するメッキ工程を行なうようにしてもよい。セラミック誘電体層と面一となっている表面導体をメッキで嵩上げすることにより、緻密かつ嵩高い金属端子を形成できるようになる。嵩高い金属端子は、以下のような利点を持つので好適である。たとえば、当該セラミック基板をオーガニックパッケージ等に実装する場合において、熱膨張差を緩和するために両者の間に樹脂材料等からなるアンダーフィル材を充填する場合がある。このとき、セラミック基板が嵩高い金属端子を有していればオーガニックパッケージとの間隙を比較的大きくでき、アンダーフィル材の充填性が良好となる。また、アンダーフィル材の種類の選択幅も拡がる。
また、製造されるセラミック基板が、分割により複数のセラミック部品となるセラミック部品の集合体(多数個取りセラミック基板)である場合には、基板の反り問題がいっそう深刻となるので、本発明の製造方法を適用することが特に有効である。
以下、添付の図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明のセラミック基板の一実施形態である表面実装型積層セラミックコンデンサ40(以下、単にコンデンサ40ともいう)の断面構造を示すものである。コンデンサ40は、セラミック誘電体層5と配線パターン層6とが交互に積層されるとともに、セラミック誘電体層5を隔てて対向する配線パターン層6が、セラミック誘電体層5を貫くビア電極8,8’により電気的に接続された構造を有する。配線パターン層6は、セラミック誘電体層5を介して対向する第1および第2のコンデンサ電極6a,6bを含み、ビア電極8,8’が、第1のコンデンサ電極6aと電気的に導通し第2のコンデンサ電極6bとは導通しない第1のビア電極8と、第2のコンデンサ電極6bと電気的に導通し第1のコンデンサ電極6aとは導通しない第2のビア電極8’とを含む。そして、第1のビア電極8と第2のビア電極8’とには、それぞれ選択的に導通するフリップチップ接続用の金属端子33が、コンデンサ40の片面に形成されている。
図1は、本発明のセラミック基板の一実施形態である表面実装型積層セラミックコンデンサ40(以下、単にコンデンサ40ともいう)の断面構造を示すものである。コンデンサ40は、セラミック誘電体層5と配線パターン層6とが交互に積層されるとともに、セラミック誘電体層5を隔てて対向する配線パターン層6が、セラミック誘電体層5を貫くビア電極8,8’により電気的に接続された構造を有する。配線パターン層6は、セラミック誘電体層5を介して対向する第1および第2のコンデンサ電極6a,6bを含み、ビア電極8,8’が、第1のコンデンサ電極6aと電気的に導通し第2のコンデンサ電極6bとは導通しない第1のビア電極8と、第2のコンデンサ電極6bと電気的に導通し第1のコンデンサ電極6aとは導通しない第2のビア電極8’とを含む。そして、第1のビア電極8と第2のビア電極8’とには、それぞれ選択的に導通するフリップチップ接続用の金属端子33が、コンデンサ40の片面に形成されている。
図1に示すように、金属端子33はビア電極8,8’よりも径大に形成されるとともに、それらビア電極8,8’に同心状に配置されて内層の導体パターン層6に導通する表面導体32と、該表面導体32上に設けられたメッキ層31とから構成されている。表面導体32は、コンデンサ40の主表面CPを構成するセラミック誘電体層7bに埋設される形となっている。また、表面導体32とメッキ層31との境界は、セラミック誘電体層7bの主表面CPに略一致し、これによりメッキ層31が主表面CPより突出している。メッキ層31は、表面導体32と同種金属(たとえばCu、Ag)によるメッキ層と、該メッキ層上に形成されるNi/Auメッキ層とにより構成されるものであり、セラミック誘電体層7bの主表面CPからの高さが、たとえば1μm以上100μm以下に調整される。一方、表面導体32は、メッキ層31の下地となるものであり、配線パターン層6やビア導体8,8’と同種の金属により構成されている。メッキ層31上にはSn−Pb共晶半田や、Sn−Ag−Cu半田、Sn−Ag半田などPbを含有しない半田による半田バンプを形成してもよい(図示省略)。また、表面導体32上にメッキ等により直接半田バンプを形成するようにしてもよい。
以下、上記コンデンサ40の製造工程について説明する。
コンデンサ40はセラミックグリーンシートを用いて製造される。該セラミックグリーンシートは、以下のようなドクターブレード法により製造することができる。まず、誘電体セラミックからなる原料セラミック粉末(たとえば、ガラスセラミック粉末の場合、ホウケイ酸ガラス粉末とBaTiO3等のセラミックフィラー粉末との混合粉末:平均粒径は0.3〜1μm程度)に溶剤(アセトン、メチルエチルケトン、ジアセトン、メチルイソブチルケトン、ベンゼン、ブロムクロロメタン、エタノール、ブタノール、プロパノール、トルエン、キシレンなど)、結合剤(アクリル系樹脂(たとえば、ポリアクリル酸エステル、ポリメチルメタクリレート)、セルロースアセテートブチレート、ポリエチレン、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラールなど)、可塑剤(ブチルベンジルフタレート、ジブチルフタレート、ジメチルフタレート、フタル酸エステル、ポリエチレングリコール誘導体、トリクレゾールホスフェートなど)、解膠剤(脂肪酸(グリセリントリオレートなど)、界面活性剤(ベンゼンスルホン酸など)、湿潤剤(アルキルアリルポリエーテルアルコール、ポチエチレングリコールエチルエーテル、ニチルフェニルグリコール、ポリオキシエチレンエステルなど)などの添加剤を配合して混練し、スラリーを作る。
コンデンサ40はセラミックグリーンシートを用いて製造される。該セラミックグリーンシートは、以下のようなドクターブレード法により製造することができる。まず、誘電体セラミックからなる原料セラミック粉末(たとえば、ガラスセラミック粉末の場合、ホウケイ酸ガラス粉末とBaTiO3等のセラミックフィラー粉末との混合粉末:平均粒径は0.3〜1μm程度)に溶剤(アセトン、メチルエチルケトン、ジアセトン、メチルイソブチルケトン、ベンゼン、ブロムクロロメタン、エタノール、ブタノール、プロパノール、トルエン、キシレンなど)、結合剤(アクリル系樹脂(たとえば、ポリアクリル酸エステル、ポリメチルメタクリレート)、セルロースアセテートブチレート、ポリエチレン、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラールなど)、可塑剤(ブチルベンジルフタレート、ジブチルフタレート、ジメチルフタレート、フタル酸エステル、ポリエチレングリコール誘導体、トリクレゾールホスフェートなど)、解膠剤(脂肪酸(グリセリントリオレートなど)、界面活性剤(ベンゼンスルホン酸など)、湿潤剤(アルキルアリルポリエーテルアルコール、ポチエチレングリコールエチルエーテル、ニチルフェニルグリコール、ポリオキシエチレンエステルなど)などの添加剤を配合して混練し、スラリーを作る。
次に、ビア電極形成用のメタライズペースト(以下、ビア電極用ペーストという)を調製する。使用する金属粉末は、たとえばAg、AgPt、AgPd、Au、NiおよびCuのいずれかにより構成され、平均粒径が2〜20μmの範囲で調整されたものである。この金属粉末に、ブチルカルビトール等の有機溶剤を、適度な粘度が得られるように配合・調製することによりビア電極用ペーストが得られる。他方、配線パターン層形成用のメタライズペースト(以下、配線パターン層用ペーストという)を調製する。使用する金属粉末は、ビア電極用ペーストで用いたものと同種類、かつ平均粒径が0.1〜3μmと小さく調整されたものが好適である。この金属粉末に、平均粒径500nm以下(望ましくは100nm以下、さらに望ましくは50nm以下)の無機化合物粉末を0.5〜30重量%の範囲にて配合し、さらに、エチルセルロース等の有機バインダと、ブチルカルビトール等の有機溶剤を、適度な粘度が得られるように配合・調製することにより配線パターン層形成用のメタライズペーストが得られる。なお、上記の無機化合物粉末には、セラミックグリーンシートの原料セラミック粉末を使用してもよいし、酸化アルミニウム(Al2O3)、二酸化珪素(SiO2)および酸化チタン(TiO2)の少なくとも1種からなる無機化合物粉末(平均粒径100nm以下、望ましくは50nm以下)を配合して使用してもよい。
上記のようにして作製したセラミックグリーンシートおよびメタライズペーストを用い、以下のようにして未焼成セラミック基板を作製する。なお、以下の説明においては理解を容易にするため、焼成前の各部の符号および名称を、焼成後のコンデンサ40の各部の符号ないし名称にて代用する。まず図3(a)に示すように、第2のベース部用セラミックグリーンシート21を用意する一方、それよりも薄い積層用セラミックグリーンシート5を別途用意し、それぞれ複数のビアホール4を同じ位置に形成するとともに、各ビアホール4内にビア電極用ペーストを充填してビア電極8を形成しておく。また、セラミックグリーンシート5の片面には、各ビア電極8に導通する形で、配線パターン層6としての第1および第2のコンデンサ電極6a,6bを、配線パターン層用ペーストを用いて印刷形成しておく。
次に、図3(b)に示すように、これら積層用セラミックグリーンシート5を第2のベース部用セラミックグリーンシート21上に順次積層する。図3(c)に示すように、同様の手順にてビアホール4内にビア電極8を形成した第1のベース部用セラミックグリーンシート1を重ね合わせて圧着し、最終的に必要とする所定数Nのセラミックグリーンシート5(これにベース部用のセラミックグリーンシート1および21が加わる)と所定数の配線パターン層とを交互に積層することにより、積層体30’を作製する。この積層体30’の主面30p上に、メタライズペーストを印刷により形成して未焼成セラミック基板30を得る(図3(d)参照)。
次に、図4に示すように、未焼成セラミック基板30の表面導体32を形成した面に、当該未焼成セラミック基板30(表面導体32とセラミックグリーンシート1との両者)と同時焼成により一体化するセラミックグリーン被覆層7を設ける(図4:被覆工程)。セラミックグリーン被覆層7との密着性を高めるために、表面導体32を形成した面を予めプレス加工により平坦化するようにしてもよい。セラミックグリーン被覆層7を形成する方法としては、いくつか示すことができる。
まず、図5に示すように、未焼成セラミック基板30とは別に予め成形した第2のセラミックグリーンシート7を積層および圧着させる方法である。シート積層による方法は、手順としても比較的簡単なので好適である。第2のセラミックグリーンシート7は、未焼成セラミック基板30を構成するセラミックグリーンシート1,5,21と実質的に同一組成、すなわち同一のスラリーを用いて成形することができ、そのようにした場合に最も低コストを期待できる。ただし、焼成タイミングがほぼ一致する範囲内であれば、セラミックグリーンシート1,5,21と第2のセラミックグリーンシート7とは、使用する無機材料については同一のまま組成を異ならせて作製してもよい。さらには、別材料を用いて作製してもよい。たとえば、第2のセラミックグリーンシート7に基づくセラミック誘電体層7bを、回路素子として機能させる場合には、積極的な誘電率調整等が必要となる場合も考え得るからである。
また、第2のセラミックグリーンシート7は、1μm以上50μm以下の厚さに成形されていることが望ましい。第2のセラミックグリーンシート7の厚さが1μm未満の場合、拘束力を面内で均一化する作用を十分に得られなくなる。他方、厚さが50μmを超えると、焼成後において表面導体32上に分厚いセラミック被覆層7aが形成されることとなり、これを除去することが困難となったり、除去工程に費やされる時間が著しく増大したりして、生産性が大きく犠牲になる恐れがある。第2のセラミックグリーンシート7は、公知のドクターブレード法により成形することができる。
別の方法としては、図6に示すようにスクリーン印刷法等の印刷法により、セラミックペースト70を表面導体32がうっすら被覆される程度の厚さに印刷する方法である。金属端子33として複数の表面導体32が配列形成されている場合にこの方法を採用すると、隣り合う表面導体層32,32間にセラミックペースト70が容易に行きわたり、表面凹凸の小さいセラミックグリーン被覆層7を形成できる。すると、後述する拘束シート9の拘束力が面内で均一に作用するようになるので、焼成ひずみの低減効果を十分期待できる。なお、セラミックペースト70は、図5で示した第2のセラミックグリーンシート7と同一組成の無機材料と、溶媒、結合剤等の有機材料とを調製したものを好適に使用できる。有機溶媒等の種類や、有機材料と無機材料との配合比率については、印刷容易性を高めるためにグリーンシート成形用スラリーとは異ならせることができる。なお、セラミックペースト70の印刷工程が終了したら、セラミックペースト70に含有される有機溶媒等を適度に除去するために、未焼成セラミック基板30を乾燥炉で乾燥させるとよい。
さらに別の方法としては、図7に示すように、上記したセラミックペースト70を薄く印刷したのちに、別途準備した第2のセラミックグリーンシート7pを積層・圧着させる方法、すなわち図5と図6の方法を併用する方法である。図6に示したペースト印刷による方法は、セラミックペースト70に含有される有機溶媒等が表面導体32に染み込んで、表面導体32が膨潤し、形状鈍りを招く可能性がある。一方、予め成形されたグリーンシートを積層させる方法では、表面導体32の膨潤の問題は生じないが、密着性という観点ではペースト印刷による方法に分がある。
そこで、図7に示すように、まず表面導体32の高さを超えない厚さでセラミックペースト70の印刷を行なってペースト塗布層7qを形成し、その後、予め成形した第2のセラミックグリーンシート7pを積層・圧着させてセラミックグリーン被覆層7を形成する。このときのセラミックペースト70の印刷は、未焼成セラミック基板30の表面全体に行なってもよいし、表面導体32の非形成面にのみ選択的にセラミックペーストが載るようにパターン印刷を行なってもよい。以上のような方法によれば、流動性を有するセラミックペースト70の塗布量を比較的少量で済ませつつ、第2のセラミックグリーンシート7pを積層することから、有機溶媒の染み込みによる表面導体32の膨潤が起こりにくくなる。なお、2つの工程(ペースト印刷、シート貼)の間に、乾燥工程を挟んでもよい。
次に、図4に戻り、未焼成セラミック基板30の両面に、該未焼成セラミック基板30の焼成温度では焼結されない難焼結性無機材料を主体として含む拘束シート9,9を積層する。拘束シート9,9は、未焼成セラミック基板30をセラミックグリーン被覆層7とともに拘束することとなる(図4:拘束工程)。本実施形態のように、セラミック基板を低温焼成セラミック(ガラスセラミック)で構成する場合には、拘束シート9,9は、たとえばAl2O3、ZrO2およびBNから選択される1種以上の難焼結性無機材料を主体とするセラミックグリーンシート9,9により構成することができる。すなわち、この拘束シート9,9は、未焼成セラミック基板30の焼成温度では焼結されない組成のものであればよい。なお、「主体とする」若しくは「主体として含む」とは、質量%で最も多く含有することを意味する。
次に、拘束された未焼成セラミック基板30を、それらが焼結および一体化され、且つ、拘束シート9,9が焼結されない範囲の温度で焼成して、拘束されたセラミック基板40を作製する(図4:焼成工程)。セラミック基板40は、セラミックグリーン被覆層7に由来するセラミック層7を有する。セラミック層7は、表面導体32を被覆するセラミック被覆層7aと、隣り合う表面導体間を占有するセラミック誘電体層7bとで構成される。なお、上記の焼成温度は、低温焼成セラミックで一般的な800℃以上1000℃以下(たとえば950℃)とすることができる。また、大気圧よりも加圧した雰囲気で焼成したり、拘束シート9,9をさらに機械的に加圧しながら焼成したりしてもよい。また、セラミック基板40をアルミナ主体で構成し、拘束シート9をBNなどで構成する場合、上記焼成温度は、たとえば1200℃以上1900℃以下とすることができる。
次に、セラミック基板40から拘束シート9,9と、表面導体32を被覆するセラミック被覆層7aとを湿式サンドブラストや研磨により除去し、表面導体32を露出させる(図4:除去工程)。拘束シート9,9とセラミック被覆層7aの両者の除去容易性は互いに異なるので、それらの除去手法を互いに異ならせてもよい。具体的には、拘束シート9,9を湿式サンドブラストにより除去し、セラミック被覆層7aについては機械研磨や化学エッチング若しくはそれらの組み合わせにより除去するといった手順を示せる。また、表面導体32の上に位置するセラミック被覆層7aと、表面導体32と同じ高さ(厚さ)となるように形成されているセラミック誘電体層7bは、ともにセラミックグリーン被覆層7が焼成されたものである。表面導体32とセラミック被覆層7aとは一体化しているものの、セラミック被覆層7aの厚さdが十分に小さければ(たとえば50μm以下)、その除去は比較的容易であり、異物もほとんど残留しない。
表面導体32を被覆するセラミック被覆層7aを除去したのち、露出した表面導体32上にメッキ層31を形成する(図4:メッキ工程)。具体的には、通電用の下地メッキ層を無電解メッキで形成したのちにレジストを塗布し、表面導体32に沿う形でレジストをパターニングする。次いで電解メッキにより、表面導体32上にメッキ層31を形成する。レジストと下地メッキ層とを除去して、メッキ層31を有する面実装型コンデンサとしてのセラミック基板40を得る。このメッキ工程は、表面導体32と同種金属を用いたメッキ(たとえばCuメッキ)工程とすることができる。また、メッキ層31の高さを十分に増したのち、無電解Ni/Auメッキ層を形成するとよい。このようにすれば、極めて嵩高い端子を形成することができるようになり、当該セラミック基板40(コンデンサ40)をオーガニックパッケージ等に搭載する場合において、両者の間隙を大きくすることができるため、アンダーフィル材の充填がしやすくなる。
また、表面導体32をメッキ層31で嵩上げしたのち、Ni/Auメッキ層を形成する場合には、ピット等の少ないメッキ金属層上にNi/Auメッキ層を形成することになる。この手順によれば、より緻密なNi/Auメッキ層を形成できることになり、金属端子33の半田ぬれ性の向上に寄与する。ただし、表面導体32上に無電解Ni/Auメッキを直接行なってもよい。その場合には、レジストのパターニング等の工程を省けるので生産コストの観点からは有利である。また、表面導体32の上に半田バンプを直接形成することも可能である。
なお、本実施形態で示したコンデンサ40のようなセラミック電子回路部品は、一般には図2に示すように、多数個取りセラミック基板85の形で製造される。個々の部品40(コンデンサ)は、分割溝112に沿って折り取りされる。製造されるセラミック基板が、分割により複数の部品となる多数個取りセラミック基板85である場合には、反り問題がいっそう深刻となるので、本発明の製造方法を適用することが特に有効である。
また、本実施形態においては一方の主面にのみ金属端子が形成されたセラミック基板の例を示したが、たとえばICパッケージのように基板の両面に金属端子等の表面導体が形成されるものであっても、本発明が適用できることはもちろんである。また、本実施形態においては、表面導体32が金属端子である例を示しているが、本発明の方法は、表面導体で回路パターンを構成する場合にも、極めて好適である。
(1)ガラス粉末の調製
表1に示す割合で、SiO2粉末、B2O3粉末、Al2O3粉末、CaO粉末、ZnO粉末、Na2CO3粉末、K2CO3粉末等の他、MgO粉末、BaO粉末、SrO粉末およびZrO粉末を混合して原料粉末を調合した。得られた原料粉末を加熱溶融させた後、水に投入して急冷すると共に水砕させてガラスフリットを得た。このガラスフリットをボールミルにて更に粉砕して、平均粒径3μmのガラス粉末7種(ガラスNo1〜7)を得た。
表1に示す割合で、SiO2粉末、B2O3粉末、Al2O3粉末、CaO粉末、ZnO粉末、Na2CO3粉末、K2CO3粉末等の他、MgO粉末、BaO粉末、SrO粉末およびZrO粉末を混合して原料粉末を調合した。得られた原料粉末を加熱溶融させた後、水に投入して急冷すると共に水砕させてガラスフリットを得た。このガラスフリットをボールミルにて更に粉砕して、平均粒径3μmのガラス粉末7種(ガラスNo1〜7)を得た。
(2)セラミックグリーンシートの製造
得られたガラス粉末7種の各々と、無機フィラー粉末であるアルミナ粉末とを、表1に示すように各々50質量%の割合となるように秤量し、ボールミルにて混合して混合粉末を得た。得られた混合粉末に、バインダ(アクリル樹脂)、可塑剤{ジブチルフタレート(DBP)}および溶剤(トルエン)を添加し、混練してスラリー7種を調合した。得られた各スラリーをドクターブレード法により、焼成後の厚さが100μmになるようにシート状に成形して7種類のセラミックグリーンシートを得た。また、厚さが1〜50μmの薄いセラミックグリーンシートは、別途市販のロールコーターを用いてPET樹脂製テープの上に印刷塗布して形成した。
得られたガラス粉末7種の各々と、無機フィラー粉末であるアルミナ粉末とを、表1に示すように各々50質量%の割合となるように秤量し、ボールミルにて混合して混合粉末を得た。得られた混合粉末に、バインダ(アクリル樹脂)、可塑剤{ジブチルフタレート(DBP)}および溶剤(トルエン)を添加し、混練してスラリー7種を調合した。得られた各スラリーをドクターブレード法により、焼成後の厚さが100μmになるようにシート状に成形して7種類のセラミックグリーンシートを得た。また、厚さが1〜50μmの薄いセラミックグリーンシートは、別途市販のロールコーターを用いてPET樹脂製テープの上に印刷塗布して形成した。
(3)セラミックペーストの製造
上記(2)と同様に、ガラス粉末7種の各々と、無機フィラー粉末であるアルミナ粉末とを、表1に示すように各々50質量%の割合となるように秤量し、ボールミルにて混合して混合粉末を得た。得られた混合粉末に、バインダ(エチルセルロース樹脂)、可塑剤{ジブチルフタレート(DBP)}および溶剤(ブチルカルビトールアセテート)を添加し、混練してセラミックペースト7種を得た。
上記(2)と同様に、ガラス粉末7種の各々と、無機フィラー粉末であるアルミナ粉末とを、表1に示すように各々50質量%の割合となるように秤量し、ボールミルにて混合して混合粉末を得た。得られた混合粉末に、バインダ(エチルセルロース樹脂)、可塑剤{ジブチルフタレート(DBP)}および溶剤(ブチルカルビトールアセテート)を添加し、混練してセラミックペースト7種を得た。
(4)拘束用セラミックグリーンシートの製造
未焼成セラミック基板を焼成する温度では焼結されない難焼結性無機材料として、アルミナ(平均粒径3μm)粉末を用い、上記したセラミックグリーンシートと同様の方法で厚さ500μmのシート状に成形した。
未焼成セラミック基板を焼成する温度では焼結されない難焼結性無機材料として、アルミナ(平均粒径3μm)粉末を用い、上記したセラミックグリーンシートと同様の方法で厚さ500μmのシート状に成形した。
(5)熱膨張係数測定用誘電体磁器の製造および熱膨張係数の測定
拘束用シートを用いることなく、従来方法によって誘電体磁器(100mm×100mm)を製造した。上記7種のグリーンシートを所定形状に打ち抜いたシート片を20枚づつ熱圧着により積層し、次いで、900℃において15分間焼成して磁器を得た。得られた磁器を縦3mm、横3mm、高さ1.6mmの柱状に研磨加工して、第2測定用磁器7種を得た。この第2測定用磁器を用い、25℃から400℃まで昇温させた時の熱膨張係数を示差膨張式熱機械分析装置(株式会社リガク社製、型式「TMA8140C」)を用いて測定した。その結果を表2に併記する。
拘束用シートを用いることなく、従来方法によって誘電体磁器(100mm×100mm)を製造した。上記7種のグリーンシートを所定形状に打ち抜いたシート片を20枚づつ熱圧着により積層し、次いで、900℃において15分間焼成して磁器を得た。得られた磁器を縦3mm、横3mm、高さ1.6mmの柱状に研磨加工して、第2測定用磁器7種を得た。この第2測定用磁器を用い、25℃から400℃まで昇温させた時の熱膨張係数を示差膨張式熱機械分析装置(株式会社リガク社製、型式「TMA8140C」)を用いて測定した。その結果を表2に併記する。
(6)同時焼結性測定用誘電体磁器の製造および同時焼結性の評価
次いで、拘束用シートを用いて誘電体磁器を製造した。上記した7種のグリーンシートの所定位置にAgペーストをスクリーン印刷法により15μmの厚さで印刷した。これらのセラミックグリーンシートを順次熱圧着により積層した。同様な作業を繰り返してグリーンシート5枚が積層され、各層間にAgペーストが所定のパターン形状で印刷された未焼成セラミック基板を得た。そして、未焼成セラミック基板の表裏面の所定の位置にAgペーストをスクリーン印刷法により20μmの厚さで印刷した。ただし、表3に示すように、一部のものについては表層の配線層に対して予めプレス工程を加えて平坦化した。この未焼成セラミック基板の表裏面に、表3に示す厚さで、同じ誘電体材料を含むセラミックペーストを公知のスクリーン印刷法により塗布して、表面導体層が被覆された未焼成セラミック基板を得た。なお、1回の印刷で所定の厚さに塗布できなかった場合は、所定の厚さになるように乾燥後繰り返し印刷を行った。この未焼成セラミック基板の所定の位置にAgペーストをスクリーン印刷法により、直径100μmの円状のマークを3cm間隔で格子状に印刷形成して、焼成前後の面方向(水平方向)における焼成収縮率を測定するための目印とした。この表面導体層が被覆された未焼成セラミック基板の両面に、上記(4)で作成済みのアルミナ拘束シートを積層して、拘束された未焼成セラミック基板を得た。次に、この拘束された未焼成セラミック基板を900℃に設定したメッシュベルト炉を通して焼成し、拘束されたセラミック基板を得た。湿式サンドブラストにより、拘束シートと、表面導体を被覆するセラミック被覆層とを除去して表面導体を露出させて、目的とするセラミック基板を得た。
次いで、拘束用シートを用いて誘電体磁器を製造した。上記した7種のグリーンシートの所定位置にAgペーストをスクリーン印刷法により15μmの厚さで印刷した。これらのセラミックグリーンシートを順次熱圧着により積層した。同様な作業を繰り返してグリーンシート5枚が積層され、各層間にAgペーストが所定のパターン形状で印刷された未焼成セラミック基板を得た。そして、未焼成セラミック基板の表裏面の所定の位置にAgペーストをスクリーン印刷法により20μmの厚さで印刷した。ただし、表3に示すように、一部のものについては表層の配線層に対して予めプレス工程を加えて平坦化した。この未焼成セラミック基板の表裏面に、表3に示す厚さで、同じ誘電体材料を含むセラミックペーストを公知のスクリーン印刷法により塗布して、表面導体層が被覆された未焼成セラミック基板を得た。なお、1回の印刷で所定の厚さに塗布できなかった場合は、所定の厚さになるように乾燥後繰り返し印刷を行った。この未焼成セラミック基板の所定の位置にAgペーストをスクリーン印刷法により、直径100μmの円状のマークを3cm間隔で格子状に印刷形成して、焼成前後の面方向(水平方向)における焼成収縮率を測定するための目印とした。この表面導体層が被覆された未焼成セラミック基板の両面に、上記(4)で作成済みのアルミナ拘束シートを積層して、拘束された未焼成セラミック基板を得た。次に、この拘束された未焼成セラミック基板を900℃に設定したメッシュベルト炉を通して焼成し、拘束されたセラミック基板を得た。湿式サンドブラストにより、拘束シートと、表面導体を被覆するセラミック被覆層とを除去して表面導体を露出させて、目的とするセラミック基板を得た。
(7)焼成による反りの評価
得られた磁器を平面上に静置し、平面からの最高位置と最低位置(平面との接触位置)との差を計測した。結果を表3に示す。
得られた磁器を平面上に静置し、平面からの最高位置と最低位置(平面との接触位置)との差を計測した。結果を表3に示す。
表3に示すように、拘束シートを使用しない場合(表2参照)に比べて、磁器の反りが全体的に小さくなっていることが分かる。また、セラミックペーストを厚く塗布しすぎると、図4に示した除去工程に費やされる時間が激増して、生産性の観点より好ましくないことが判明した。
1,5,21 セラミック誘電体層(第1のセラミックグリーンシート)
6 導体パターン層(導体層)
7 セラミックグリーン被覆層
7a セラミック被覆層
7b セラミック誘電体層
8,8’ ビア電極(ビア導体)
30’ 積層体
30 未焼成セラミック基板
31 メッキ層
32 表面導体(下地金属層)
33 金属端子
40 コンデンサ(セラミック基板)
70 セラミックペースト
85 多数個取りセラミック基板
6 導体パターン層(導体層)
7 セラミックグリーン被覆層
7a セラミック被覆層
7b セラミック誘電体層
8,8’ ビア電極(ビア導体)
30’ 積層体
30 未焼成セラミック基板
31 メッキ層
32 表面導体(下地金属層)
33 金属端子
40 コンデンサ(セラミック基板)
70 セラミックペースト
85 多数個取りセラミック基板
Claims (6)
- セラミックグリーンシートと導体層とを積層してなる積層体の主面上に表面導体が形成された未焼成セラミック基板を作製する基板作製工程と、
前記未焼成セラミック基板の前記表面導体を形成した面に、同時焼成により前記セラミックグリーンシートに一体化されるセラミックペーストを塗布して、前記表面導体および前記積層体の主面を被覆する被覆工程と、
前記表面導体が被覆された前記未焼成セラミック基板の両面に、該未焼成セラミック基板の焼成温度では焼結されない難焼結性無機材料を主体として含む拘束シートを積層して、該拘束シートにより前記未焼成セラミック基板を拘束する拘束工程と、
拘束された前記未焼成セラミック基板が焼結され、前記拘束シートが焼結されない範囲の温度で焼成して、前記拘束シートにより拘束されたセラミック基板を作製する焼成工程と、
前記拘束シートにより拘束された前記セラミック基板から前記拘束シートと、前記被覆工程において塗布した前記セラミックペーストに基づくセラミック層のうち、前記表面導体を被覆するセラミック被覆層とを除去し、前記表面導体を露出させる除去工程と、
を備えることを特徴とするセラミック基板の製造方法。 - 前記セラミックペーストは、前記セラミックグリーンシートと実質的に同一組成の無機材料と、溶媒や結合剤としての有機材料とを調製したものであることを特徴とする請求項1記載のセラミック基板の製造方法。
- 前記被覆工程においては、前記未焼成セラミック基板の前記表面導体層が形成された面をプレス加工により平坦化したのち、前記セラミックペーストを厚さ1μm以上50μm以下の範囲で塗布することを特徴とする請求項1または2記載のセラミック基板の製造方法。
- 前記除去工程を経て露出された前記表面導体上に導電バンプを形成する工程をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のセラミック基板の製造方法。
- 前記除去工程を経て露出された前記表面導体上にメッキ層を形成するメッキ工程をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のセラミック基板の製造方法。
- 前記セラミック基板が、分割により複数のセラミック部品となるセラミック部品の集合体であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のセラミック基板の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE102004043273A DE102004043273A1 (de) | 2003-09-09 | 2004-09-07 | Verfahren zur Herstellung eines Keramiksubstrats und Keramiksubstrat |
US10/935,164 US7105070B2 (en) | 2003-09-09 | 2004-09-08 | Method for producing ceramic substrate, and ceramic substrate |
KR1020040072126A KR20050026369A (ko) | 2003-09-09 | 2004-09-09 | 세라믹 기판의 제조방법 및 세라믹 기판 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2003317145A JP2005086017A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | セラミック基板の製造方法 |
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JP2005086017A true JP2005086017A (ja) | 2005-03-31 |
Family
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JP2003317145A Pending JP2005086017A (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | セラミック基板の製造方法 |
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JP2006344582A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-12-21 | E I Du Pont De Nemours & Co | マイクロ波用途におけるltccテープ用厚膜導体ペースト組成物 |
JP2010245393A (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 多層セラミック基板の製造方法 |
JP2011151052A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
-
2003
- 2003-09-09 JP JP2003317145A patent/JP2005086017A/ja active Pending
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