JP2010245393A - 多層セラミック基板の製造方法 - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 139
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 142
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 96
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 63
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 46
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 17
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 15
- 239000011174 green composite Substances 0.000 claims description 11
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 30
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 12
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 10
- 239000000047 product Substances 0.000 description 10
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 8
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 8
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005407 aluminoborosilicate glass Substances 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 229910020599 Co 3 O 4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000005385 borate glass Substances 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 2
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 2
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005822 acrylic binder Polymers 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Abstract
【解決手段】収縮抑制シート31との間に、最外層のセラミックグリーンシート11の層間導体形成部15の表面を覆うように、セラミックグリーンシート11と同じ組成の中間グリーンシート23を形成する。従って、焼成の際には、中間グリーンシート23のガラス成分の存在によって、層間導体形成部(焼成前のビア導体)15周囲のガラス成分が収縮抑制シート31側に移動することを抑制できるので、焼成後のビア導体周囲に欠陥や不具合が発生することを防止できる。
【選択図】図5
Description
しかし、本発明では、図2に例示する様に、中間導体形成部又は開口部を層間導体形成部の外周から50μmより離れて形成することにより、その様な不具合の発生を防止できる。
中間グリーン層の厚みが20μm未満の場合には、その厚みが薄すぎることにより、グリーンシート積層体側(詳しくはその最外層の層間導体形成部の外周)から収縮抑制シート側にガラス成分が移動して、ビア導体周囲に欠陥が生じる恐れがある。しかし、本発明では、中間グリーン層の厚みが20μm以上であるので、その恐れはない。
図4に示す様に、多層セラミック基板1は、主として複数のセラミック層3A〜3C(3と総称する)を積層したセラミック積層体5から構成されており、各セラミック層3の表面には配線層7が形成されるとともに、異なるセラミック層3の配線層7同士を接続するように層間接続導体部(ビア導体)9が形成されている。
これに、前記アクリル樹脂(バインダ)を120gと、適当な粘度とシート強度を持たせるのに必要な溶剤(MEK:メチルエチルケトン)及び可塑剤(DOP)の適量を、前記ポットに入れ、5時間混合することにより、セラミックスラリーを得た。
尚、前記低温焼成用のセラミックグリーンシート11を形成する際に、スラリーを作成する段階で、ガラス粉末とムライト粉末の総量を100質量%とした場合に、遷移金属酸化物(例えばCo3O4)を、1質量%(外質量%)添加することで、多層セラミック基板1を着色してもよい。
・次に、図5(c)に示す様に、前記スルーホール13に、導電ペーストを充填して(焼成後の層間接続導体部9となる)層間導体形成部15を形成した。
・次に、図5(f)に示す様に、グリーンシート積層体21の上下両面に、グリーンシート積層体21と同様な縦横の寸法で、厚みが0.15mmの中間グリーン層(中間グリーンシート)23を積層して、第1グリーン複合積層体25を形成した。
・次に、図5(g)に示す様に、第1グリーン複合積層体25の上下両面に、グリーンシート積層体21と同様な縦横の寸法で、厚みが0.30mmの収縮抑制シート31を積層して、第2グリーン複合積層体33を形成した。
・次に、図5(h)に示す様に、第2グリーン複合積層体33を、焼成炉内に配置し、0.2MPaの荷重を加えながら、850℃の温度で30分焼成するという焼成条件で焼成した。
従って、この前製品37の段階で、中間導体部39を介して、多層セラミック基板1の電気検査を行うことができる。
・その後、図5(j)に示す様に、多層セラミック基板1の表面に、周知の蒸着、現像、メッキ等の工程により、表面導体(薄膜導体)43を形成した。
・本実施例では、グリーンシート積層体21の最外層のセラミックグリーンシート11と収縮抑制シート31との間に、最外層のセラミックグリーンシート11の層間導体形成部15の表面を覆うように、セラミックグリーンシート11と同じ組成の中間グリーンシート23を形成する。従って、焼成の際には、中間グリーンシート23のガラス成分の存在によって、層間導体形成部(焼成前のビア導体)15周囲のガラス成分が収縮抑制シート31側に移動することを抑制できるので、焼成後のビア導体周囲に欠陥や不具合が発生することを防止できる。
・本実施例では、中間導体形成部29は、最外層のセラミックグリーンシート11の層間導体形成部15の外周から、平面方向において50μmより離れているので、焼成の際に、層間導体形成部15周囲のガラス成分が中間導体形成部29の周囲を経由して収縮抑制シート31側に移動しない。よって、(焼成後の)ビア導体の周囲で不必要な結晶化やクラック等の不具合が生じることがない。なお、中間導体形成部29に代えて開口部を設けた場合でも同様な効果が得られる。
次に、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
まず、前記実施例に示した製造方法において、下記表1に示す条件を満たすように、実験に使用する試料(本発明の試料:No.2〜15、比較例の試料:No.1、16)を製造した。
(1)層間接続導体部(ビア導体)周辺の欠陥
研磨後の表面に、蛍光液を塗布した後に、30分放置してから蛍光液を拭き取った。その後、UVライトのもと、ビア導体周囲の欠陥の有無を確認した。なお、欠陥がある場合には、蛍光液が欠陥(間隙)浸透するので、UVライトにより発光する。その結果を、下記表3に記す。
(2)層間接続導体部周辺の組織
各試料に対して、SEMにより断面観察を行い、ビア導体周囲のセラミック組織を観察し、結晶化状態を確認した。その結果を下記表3に記す。
各試料に対して、研磨を実施した後に、前記図3に示す様な過剰研磨(最外層より内側のセラミック層まで研磨された状態)が発生した否かを確認した。その結果を下記表3に記す。
各試料の研磨(鏡面研磨Ra<0.1μm)後の表面に、スパッタ法により、Ti/CUの薄膜(0.3μm/0.6μm)を形成した後、メッキにて、Cu/Ni/AU膜(4μm/2μm/1μm)を形成した。その後、加熱処理(350℃、30分)を実施し、ビア導体上及びその周囲における表面導体のフクレの発生状態を確認した。その結果を下記表3に記す。
(1)例えば前記実施例では、中間グリーン層に中間導体形成部を設けたが、中間導体形成部に代えて開口部(スルーホール)を設けてもよい。このスルーホールを介して、多層セラミック基板の電気検査を行うことができる。
3、3A、3B、3C…セラミック層
5…セラミック積層体
7…配線層
9…層間接続導体部
11、11A、11B、11C…セラミックグリーンシート
15…層間導体形成部
21…グリーンシート積層体
23…中間グリーン層
25、33…グリーン複合積層体
29…中間導体形成部
31…収縮抑制シート
35…中間セラミック層
39…中間導体部
43…表面導体
Claims (6)
- 複数のセラミック層が積層されるとともに、前記セラミック層間を電気的に接続する層間接続導体部を備えた多層セラミック基板の製造方法において、
焼成後に前記層間接続導体部となる層間導体形成部を有するグリーンシートを複数積層して、グリーンシート積層体を形成する工程と、
前記グリーンシート積層体の少なくとも一方の表面に、該グリーンシート積層体が焼結する温度では焼結しない収縮抑制シートを積層して、グリーン複合積層体を形成する工程と、
前記グリーン複合積層体を焼成して、セラミック積層体を形成する工程と、
前記焼成後に、前記セラミック積層体の表面に残留する前記収縮抑制シートの未焼結層を除去する工程と、
前記未焼結層を除去したセラミック積層体の表面を研磨する工程と、
前記研磨後のセラミック積層体の表面に、表面導体を形成する工程と、
を備え、
前記グリーン複合積層体を形成する際には、前記グリーンシート積層体の最外層のグリーンシートと前記収縮抑制シートとの間に、前記最外層のグリーンシートの層間導体形成部の表面を覆うように、前記グリーンシートを構成する成分の少なくともガラス成分を含む中間グリーン層を形成するとともに、
前記中間グリーン層には、焼成後に前記中間グリーン層の厚み方向における電気的接続を可能にする中間導体形成部又は開口部を設けることを特徴とする多層セラミック基板の製造方法。 - 前記中間導体形成部又は開口部を、前記グリーンシート積層体の最外層のグリーンシートの層間導体形成部の外周から、50μmより離れて形成することを特徴とする前記請求項1に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記中間グリーン層の厚みは、20〜200μmであることを特徴とする前記請求項1又は2に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記中間グリーン層を、前記グリーンシート積層体を構成するグリーンシートと同じ組成の材料からなるグリーンシート又はペーストによって形成することを特徴とする前記請求項1〜3のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記中間グリーン層を、前記グリーンシート積層体を構成するグリーンシートに含まれるガラスよりガラスの含有率が多い材料からなるグリーンシート又はペーストによって形成することを特徴とする前記請求項1〜3のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記中間グリーン層を、前記グリーンシート積層体を構成するグリーンシートに含まれるガラスからなるグリーンシート又はペーストによって形成することを特徴とする前記請求項1〜3のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009094113A JP5209563B2 (ja) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 多層セラミック基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009094113A JP5209563B2 (ja) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 多層セラミック基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010245393A true JP2010245393A (ja) | 2010-10-28 |
JP5209563B2 JP5209563B2 (ja) | 2013-06-12 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009094113A Active JP5209563B2 (ja) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 多層セラミック基板の製造方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP5209563B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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