JP2005084684A - 減衰位相偏移マスク・ブランクおよびフォトマスク - Google Patents
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Abstract
【課題】 リソグラフィで使用するための減衰位相偏移(phase shift)マスク・ブランク、およびこうしたマスク・ブランクを製造する方法を提供する。
【解決手段】 基板と前記基板上の1つの表面上の薄膜システムとを有する、リソグラフィで使用するための減衰位相偏移マスクであって、前記薄膜システムは、 位相偏移制御副層(sublayer)および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能であり、前記薄膜システムは本質的に0.5μmまたはそれ以上の粒径を有する欠陥がないものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、200nmまたはそれ以下の露光波長のリソグラフィで使用するための減衰(attenuating)位相偏移(phase shift)マスク・ブランク、およびこうしたマスク・ブランクの製造方法に関する。
通常のバイナリ・マスク技術で達成できる範囲を超えて、リソグラフ・ツールの解像度、コントラスト、および焦点深度(depth focus)を延ばす道として、位相偏移マスクにかなりの関心が集まっている。いくつかの位相偏移方式の中でも、その教示が参照により本明細書に組み込まれている、ソリッド・ステート・テクノロジの1992年1月号43ページでバーン J.リンによって提案された(埋込み(embedded))減衰位相偏移マスクは、製造が容易であり関連するコストが節約できることから、幅広く受け入れられている。
減衰された位相偏移マスクのいくつかの技術的バリエーションが提案されてきている。第1のバリエーションでは、基板には、所望の位相偏移を生成するためにエッチングにより石英基板に結合された、わずかに透明な層、たとえば非常に薄いクロム層が提供される。この方法では、層蒸着(deposition)およびエッチング・プロセスの両方を高度に制御する必要がある。他のバリエーションでは、位相偏移マスクは、位相偏移および減衰特性を用いて1つまたは複数の層を基板上に印加することによって提供される。1つの層が180°の位相偏移ならびに入射光(incident light)の減衰を提供する、単層ソリューションが提案されている。こうした単層ソリューションは、たとえば米国特許第5942356号、米国特許第56353125号、米国特許第6503644号、米国特許第5939225号、米国特許第5477058号、および米国特許第2002/0119378 A1号である。単層ソリューションは、構造が単純であること、したがって準備が容易であることから選択されてきた。しかしながら、単層ソリューションは、伝達性(transmission)および位相偏移の独立した調整可能性に鑑みて制限がある。具体的に言えば、193nmの露光波長に対する高伝達減衰位相偏移マスク・ブランク、および157の露光波長に対する位相偏移マスク・ブランクが達成不可能である。単層ソリューションに加えて、2層および多層の減衰位相偏移マスク・ブランクについても記載されている。多層については、米国特許第5897977号および米国特許第6274280号に記載されている。米国特許第5897977号は、まったく異なる交互になった、金属酸化物(metal oxide)、金属窒化物(metal nitride)、またはアルカリ土類フッ化物(alkaline earth fluoride)などの光学的に透明な材料の層と、元素金属、金属酸化物、または金属窒化物などの光吸収材料の層とを有する、400nm未満の波長に対する埋込み減衰位相偏移マスク・ブランク(EAPSM)に関する。米国特許第6274280号は、まったく異なる交互の隣接する、AlおよびSiの酸化物からなるグループから選択された本質的に酸化物からなる光学的に透明な材料の層と、AlおよびSiの窒化物からなるグループから選択された本質的に窒化物からなる光吸収材料の層とを有する、200nm未満の露光波長に対するEAPSMについて記載している。160nm未満の露光波長に対する位相偏移マスク・ブランクに関する単層および多層ソリューションについては、米国特許第6395433号にも記載されている。位相偏移システムは、位相偏移マスク・ブランクの伝達特性を下げるために、少なくとも1つのケイ素、酸化ケイ素、または窒化ケイ素を備え、金属酸化物または窒化物を吸収する、少なくとも1つの材料を有する。本明細書は、多層のそれぞれの層を十分に薄くして、擬似単層として働く多層となるようにすることに重点を置いたものである。欠陥を修復することができないため、多層ソリューションの方が200mn未満の露光波長には好ましくない。
いくつかの公告(publication)で、2層位相偏移マスク・ブランクについて述べており、JP 04−068352 Aは、容易に検査および修正が可能な高精度を有する位相偏移マスクに関する。米国特許第2002/0122991 A1号は、ケイ素、酸素、および窒素で構成される位相偏移層を有する、単層および2層のハーフトーン(halftone)位相偏移マスク・ブランクについて記載している。オプションとして、基板と位相偏移層との間にエッチング・ストップ層が提供される。位相偏移層における酸素と窒素の割合を変えることによって、位相偏移層の伝達性が調整される。本明細書によれば、位相偏移層における窒素のレンジが5原子%(atomic%)未満であるか、または酸素のレンジが60原子%を超えると、薄膜の伝達性が高くなり過ぎるためにハーフトーン位相遷移層の機能は失われる。米国特許第5482799号は、位相偏移層が、ほぼ均一の材料で形成された単一層と、前記単一層薄膜との組合せで使用される場合はその伝達性がそれほど波長に依存しない伝達薄膜とを含む、2層位相偏移マスク・ブランクに関する。位相偏移システムの1つの層の位相偏移システムの他の層からの光学特性に対するこうした依存性は、位相偏移および伝達性が別個に調整可能であるという点で、位相偏移システムの欠点である。米国特許第6458496号は、2層位相偏移システムを有する位相偏移マスク・ブランクについて記載したものである。マスク・ブランクは、基板に対する改善されたエッチングの選択的割合を有する。TaSiOが、位相偏移マスク・ブランクに位相偏移を課すための好ましい材料として記載されている。
2進ソリューションに関して記載された文書のうちのいずれも、蒸着層における欠陥の問題、あるいは200nmまたはそれ以下の露光波長に関する位相偏移マスク・ブランクにおける層の不均一性に対処するものではない。
フォトマスクのフィーチャ・サイズを小さくするための要件が増えるにつれて、ほとんど欠陥のないフォトマスク・ブランクがより重要になってくる。フォトマスク・ブランク上の欠陥は、IC素子に欠陥を発生させることになるフォトマスク内のピンホールなどの欠陥につながる可能性がある。マスク・ブランク上の欠陥を避けるためのタスクは、フィーチャ・サイズが小さくなることでより厳しいものになってくる。たとえば65nmおよび45nmのノード(すなわち、それぞれウェーハ上の65nmおよび45nmのフィーチャ・サイズ)の場合、フォトマスクは100nmのフィーチャ・サイズを有する構造体でパターン形成(pattern)されるため、0.5μmより大きい粒径(particle size)を有する表面欠陥があってはならない。
米国特許第5942356号
米国特許第56353125号
米国特許第6503644号
米国特許第5939225号
米国特許第5477058号
米国特許第2002/0119378 A1号
米国特許第5897977号
米国特許第6274280号
JP 04−068352 A
米国特許第2002/0122991 A1号
米国特許第6395433号
米国特許第5482799号
米国特許第6458496号
バーンJ.リンによるソリッド・ステート・テクノロジの1992年1月号43ページ、減衰位相偏移マスク
A.マクラウドによる「薄膜光学式フィルタ」第2版、1986年、ブリストル、アダム・ヒルガー社
したがって、本発明の目的は、容易かつ安定した製造の可能性と、必要な光学特性、化学的安定性、ならびに欠陥のない表面および均一に蒸着された層とを組み合わせる、200nmまたはそれ以下の露光波長に対する新しい位相偏移マスク・ブランクを提供することである。
本発明の第1の態様は、基板と前記基板上の1つの表面上の薄膜システムとを有する、リソグラフィで使用するための減衰位相偏移マスクであって、前記薄膜システムは、
位相偏移制御副層(sublayer)および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、
前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能であり、
前記薄膜システムは本質的に0.5μmまたはそれ以上の粒径を有する欠陥がないものである。
位相偏移制御副層(sublayer)および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、
前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能であり、
前記薄膜システムは本質的に0.5μmまたはそれ以上の粒径を有する欠陥がないものである。
好ましいことに薄膜システムは、0.3から0.5μmの粒径を有する、多くとも50の欠陥、より好ましくは多くとも20の欠陥を有するものである。
好ましいことに、位相偏移制御副層は位相偏移層の伝達性をほとんど低下させることがなく、さらに好ましいことに、Siの酸化物および酸窒化物の混合からなるグループから選択された材料を有する。より好ましいことに、前記位相偏移制御層は本質的にSiO2からなる。
好ましいことに、伝達制御副層は位相偏移層の位相偏移をほとんど変化させず、好ましいことに、Mg、Si、Y、La、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Ge、Sn、Pb、その窒化物、ならびにこれらの金属または窒化物のうちの2つまたはそれ以上の混合物、からなるグループから選択された金属を有する。本発明の一実施形態によれば、前記伝達制御副層は、本質的にTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、またはそれらの窒化物からなる。
本発明の第2の態様は、リソグラフィで使用するための減衰位相偏移マスクを製造する方法であって、前記位相偏移マスクは基板と前記基板上の1つの表面上の薄膜システムとを有するものであり、前記薄膜システムは位相偏移制御副層および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、前記薄膜システムは本質的に0.5μmまたはそれ以上の粒径を有する欠陥がなく、前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能である。この方法は、基板を提供するステップと、薄膜システムを提供するステップと、を有し、薄膜システムを提供するステップは、前記基板上に伝達制御副層を形成するステップと、前記基板上に位相偏移制御副層を形成するステップとを有するものである。
好ましいことに、伝達制御副層および/または位相制御副層は、重イオン・ビーム・スパッタリング、イオン・ビーム補助蒸着、イオン・ビーム・スパッタ蒸着、RFマッチング・ネットワーク、DCマグネトロン、ACマグネトロン、およびRFダイオードからなる、グループから選択された技法を使用して、スパッタ蒸着によって形成される。好ましいことに、スパッタリング・ガスとしてキセノンが使用される。
本発明の第3の態様は、基板と前記基板上の1つの表面上の薄膜システムとを有する、リソグラフィで使用するための減衰位相偏移マスクであって、前記薄膜システムは、位相偏移制御副層(sublayer)および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能であり、
前記薄膜システムは本質的に0.5μmまたはそれ以上の粒径を有する欠陥がないものであって、前記位相偏移マスクの位相偏移は平均値からの偏差が多くとも約±5°であり、前記位相偏移マスクの伝達性は平均伝達値からの偏差が多くとも約±5°である。
前記薄膜システムは本質的に0.5μmまたはそれ以上の粒径を有する欠陥がないものであって、前記位相偏移マスクの位相偏移は平均値からの偏差が多くとも約±5°であり、前記位相偏移マスクの伝達性は平均伝達値からの偏差が多くとも約±5°である。
好ましいことに、位相偏移制御副層は位相偏移層の伝達性をほとんど低下させることがなく、さらに好ましいことに、酸化物とそのSi混合物の酸窒化物からなるグループから選択された材料を有する。より好ましいことに、前記位相偏移制御層は本質的にSiO2からなる。
好ましいことに、伝達制御副層は位相偏移層の位相偏移をほとんど変化させず、好ましいことに、Mg、Si、Y、La、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Ge、Sn、Pb、その窒化物、ならびにこれらの金属または窒化物のうちの2つまたはそれ以上の混合物、からなるグループから選択された金属を有する。本発明の一実施形態によれば、前記伝達制御副層は、本質的にTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、またはそれらの窒化物からなる。
本発明の第2の態様は、リソグラフィで使用するための減衰位相偏移マスクを製造する方法であって、前記位相偏移マスクは基板と前記基板上の1つの表面上の薄膜システムとを有するものであり、前記薄膜システムは位相偏移制御副層および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、前記位相偏移マスクの位相偏移は平均値からの偏差が多くとも約±5°であり、前記位相偏移マスクの伝達性は平均伝達値からの偏差が多くとも約±5°であって、前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能である。この方法は、基板を提供するステップと、薄膜システムを提供するステップと、を有し、薄膜システムを提供するステップは、前記基板上に伝達制御副層を形成するステップと、 前記基板上に位相偏移制御副層を形成するステップとを有するものである。
好ましいことに、伝達制御副層および/または位相制御副層は、重イオン・ビーム・スパッタリング、イオン・ビーム支援蒸着、イオン・ビーム・スパッタ蒸着、RFマッチング・ネットワーク、DCマグネトロン、ACマグネトロン、およびRFダイオードからなる、グループから選択された技法を使用して、スパッタ蒸着によって形成される。好ましいことに、スパッタリング・ガスとしてキセノンが使用される。
本発明のこれらおよび他の目的、特徴、および利点は、以下の詳細な説明および発明を図面と共に読みながら考慮することで明らかになるであろう。
前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は、どちらも本発明の単なる例であって、請求された本発明の性質および特徴を理解するための概要または枠組みを提供することを意図するものであることを理解されたい。
当分野で知られているように、「フォトマスク・ブランク」または「マスク・ブランク」は「フォトマスク」または「マスク」とは異なり、後者は、構造化またはパターン形成、あるいはイメージ化された後のフォトマスク・ブランクを言い表す際に使用される。すべては本明細書のこの規則に従って試行されたが、当業者であれば、本発明の材料面にはこの区別がないことを理解されよう。したがって、「フォトマスク・ブランク」または「マスク・ブランク」という用語は、本明細書では最も広義に使用され、フォトマスク・ブランクのイメージ化されたものとイメージ化されていないものを両方とも含んでいる。
「ほぼ180°の位相偏移を有する」という表現は、位相偏移マスク・ブランクが構造体の境界部分で光を打ち消し、その結果境界部分でのコントラストを強くするのに十分な、入射光の位相偏移を提供するという意味である。好ましくは160°から190°、より好ましくは170°から185°の、位相偏移が提供される。
本発明のマスク・ブランクは、200nm未満の波長を有する露光で、少なくとも0.001%の、好ましくは少なくとも0.5%の伝達性を有する。
本発明の位相偏移マスクまたはマスク・ブランクは、基板と基板の一表面上に提供された薄膜システムとを有する。前記薄膜システムは、本明細書で下記に記載するような少なくとも1つの位相偏移層を有するが、反射防止層または吸収層などの他の層を有する場合もある。したがって、本発明の位相偏移マスク・ブランクの位相偏移層上に、たとえばクロムまたはTaN層などの吸収層を提供することができる。
本発明は、少なくとも1つの2層位相偏移層を有する減衰位相偏移マスク・ブランクに関する。位相偏移層は、基本的に少なくとも1つの伝達制御副層および位相偏移制御副層に分けられる。当分野の状況では、たとえ2層および多層システムであっても、少なくとも1つの層が、位相偏移層の位相偏移機能および減衰機能の両方に大きく寄与していた。しかしながら、本発明の発明者は、実際に位相偏移機能および減衰機能を少なくとも2つの別個の副層に分けることが、露光波長が200mn未満の場合の減衰位相偏移マスク・ブランクにとって特に有利であることを発見した。こうした減衰位相偏移マスク・ブランクは、副層の組成を変更する必要なしに、単に伝達制御副層の厚さを変えるだけで、マスク・ブランクの伝達性に関して容易に調整することができる。マスク・ブランクの位相偏移は、マスク・ブランクの伝達性を大幅に変更することなく、位相偏移副層の厚さを変えるだけで容易に調整することができる。マスク・ブランクの位相偏移の調整は、マスク・ブランクをエッチング・プロセスに適合させる際に必要となる場合が多い。こうしたエッチング・プロセス時には、基板を定義された深さまでエッチングすることが多いため、位相偏移システムに追加の位相偏移を加えることになる。マスク・ブランクへのエッチングにこのマスク・ブランクを適合させるために、位相偏移を正確に180°ではなく、エッチング・プロセスに応じておよそ175°から180°の値に設定することが必要となる場合がある。
当分野の状況によって、たとえばマスク・ブランクの伝達性、装置へのガス・フローなどの製造パラメータ、および/またはイベントなどを調整するために、層の組成を変更しなければならない場合、層蒸着時のターゲットは蒸着プロセスの最適化を反復する必要があるため、追加の経費が生じる。
したがって、本発明の減衰位相偏移マスク・ブランクは基板および位相偏移層を有し、当該位相偏移層は、マスク・ブランクの伝達性をほとんど低下させることのない位相偏移制御副層と、マスク・ブランクの位相偏移をほとんど変化させることのない伝達制御副層からなる。
「マスク・ブランクの位相偏移をほとんど変化させることのない」という表現は、マスク・ブランクの位相偏移が、位相偏移全体の多くとも15°、好ましくは多くとも約10°、最も好ましくは最大約5°の量に変更されることを意味するものである。
当分野の状況では、位相偏移機能を備えたほとんどの層がかなりの量の吸収元素(element)を含むため、これらの層は位相偏移マスク・ブランクの伝達性も大幅に低下させる。本発明によれば、「マスク・ブランクの伝達性をほとんど低下させることのない」という表現は、位相偏移制御副層が、マスク・ブランクの伝達性を多くとも約10%の値まで、好ましくは多くとも伝達性の約5%まで低下させることを意味するものである。
以下で、本発明に従った減衰位相偏移マスク・ブランクおよび減衰位相偏移マスクの好ましい構造について説明する。
図1を参照すると、本発明の好ましい実施形態に従ったマスク・ブランクは基板1を有し、その上に位相偏移層2が提供される。位相偏移層2は、伝達制御副層3および位相偏移制御副層4からなる。好ましくは、同じく図1に示されるように、伝達制御副層3は基板1の上に位相偏移層の第1の副層として提供され、位相偏移制御副層4は当該伝達制御副層の上に位相偏移層の第2の副層として提供される。しかし、本発明の他の実施形態によれば、位相偏移制御副層を基板の上に位相偏移層の第1の副層として提供し、伝達制御副層を当該位相偏移制御副層の上に当該位相偏移層の第2の副層として提供することができる。
図1に示されるような位相偏移マスク・ブランクを、図3に示されるようなイメージ化またはパターン形成、あるいは構造化されたフォトマスクに変形させるために、好ましくは、2段階のプロセスが好ましい。
マスク・ブランク上にフォトレジストを提供することおよび前記フォトレジストを構造化することなどによる、当分野の状況で知られているイメージング技法を使用して、第1に位相偏移層の第1の副層、好ましくは位相偏移制御副層が、第1のエッチング剤を使用してパターン形成される。第2のステップでは、位相偏移層の第2の副層、好ましくは伝達制御副層が、好ましくは第2のエッチング剤を使用してパターン形成される。
マスク・ブランク上にフォトレジストを提供することおよび前記フォトレジストを構造化することなどによる、当分野の状況で知られているイメージング技法を使用して、第1に位相偏移層の第1の副層、好ましくは位相偏移制御副層が、第1のエッチング剤を使用してパターン形成される。第2のステップでは、位相偏移層の第2の副層、好ましくは伝達制御副層が、好ましくは第2のエッチング剤を使用してパターン形成される。
位相偏移制御副層は、好ましくは、Siの酸化物および酸窒化物ならびにそれらの混合物からなるグループから選択された材料を有する。
位相偏移制御副層に窒素を加えることによって、位相偏移制御副層の屈折率は純粋な二酸化ケイ素層の場合よりも高くなる。しかしながら、二酸化ケイ素層に窒素を加えることによって、位相偏移制御副層の化学的安定性を損なう可能性があるため、窒素は好ましくは多くとも約10原子%、より好ましくは多くとも約5原子%の量で追加される。
位相偏移制御副層は、Mg、Y、La、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Ge、Sn、Pb、およびそれらの混合物からなるグループから選択された、少量の金属も含むことができる。しかしながら、これらの金属を混入することによって位相偏移制御副層の伝達性を低下させる傾向にあるため、これらの金属は多くとも5原子%の量だけ混入されることが好ましい。さらに好ましいことに、位相偏移制御副層はこうした金属が含まれないことが好ましい。さらに、前述のような金属の、特に5原子%より多くの量の金属を含む位相偏移制御副層は、結果としてより高い欠陥レベルを有するマスク・ブランクを生じさせる傾向がある。したがって、こうした金属の、特に5原子%より多くの量の混入は、位相偏移マスク・ブランクの薄膜システムの低い欠陥レベルという見地からも好ましくない。
本発明の一実施形態によれば、位相偏移制御副層は本質的にSiO2からなるものである。
位相偏移制御副層は、200nmまたはそれ以下のレンジの露光波長で約180°の位相偏移を提供するように調整された厚さを有する。
所定の位相偏移を達成するのに必要な位相偏移制御副層の厚さは、位相偏移副層が形成される材料の屈折率nおよび吸光係数kに依存する。一般的な規則として、屈折率の高い材料ほど、屈折率の低い材料よりも位相偏移副層の蒸着厚さあたりの位相偏移が大きくなる傾向にある。
位相偏移制御副層が本質的にSiO2からなる場合、高伝達性の減衰された193nmの位相偏移マスク・ブランクを生成するには、位相偏移制御層は少なくとも約130nm、より好ましくは少なくとも約145nmおよび多くとも約180nm、より好ましくは多くとも約160nmの厚さを有することが好ましい。減衰された157nmの位相偏移マスク・ブランクを生成するには、位相偏移制御層は少なくとも約90nm、より好ましくは少なくとも100nmおよび多くとも120nm、より好ましくは多くとも約110nmの厚さを有することが好ましい。
伝達制御副層は、高不透明度を有する少なくとも1つの材料で形成され、好ましくは、Mg、Si、Y、La、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Ge、Sn、Pb、それらの窒化物、およびこれら金属または窒化物のうちの2つまたはそれ以上の混合物からなるグループから選択された材料を有する。より好ましくは、伝達制御層は、Ta、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mo、およびWからなるグループから選択された材料を有する。本発明の一実施形態によれば、伝達制御副層は、好ましくはNb、Ta、Ti、Cr、Mo、W、V、Nb、Zn、Zr、Hf、Si、Ge、Sn、Pb、Mn、Fe、Co、Ni、La、Mg、および窒化物、ならびにこれら金属またはそれらの窒化物のうちの2つまたはそれ以上の混合物からなるグループから選択された、少なくとも1つの材料からなるものである。この文脈では、1つの材料とは、たとえばTi、Ta、またはHfの層などの1つの元素金属、あるいはTaN、TiN、またはHfNなどの1つの金属窒化物を意味する。
伝達制御層は、位相偏移層の伝達性を所望の値まで調整するのに十分な厚さを有し、その厚さは本質的に伝達制御層の材料に依存する。厚さは以下の式によって計算することが可能であり、
dTc=−1/α×In(T/100)
上式で、Tは所望の伝達性の%、αは露光波長λでの吸収係数、dTcは伝達制御層の計算された厚さである。吸収係数αは、以下の式に従った吸光係数kに関する。
α=4πkλ/λ
dTc=−1/α×In(T/100)
上式で、Tは所望の伝達性の%、αは露光波長λでの吸収係数、dTcは伝達制御層の計算された厚さである。吸収係数αは、以下の式に従った吸光係数kに関する。
α=4πkλ/λ
本発明の好ましい実施形態によれば、伝達制御層は基板上に直接提供され、エッチング・ストップ機能も提供する、すなわち、石英基板とは異なるエッチング選択性を有する。したがって、位相偏移マスクを石英基板にオーバーエッチング(overetching)することを容易に防止できる。本発明のこの実施形態によれば、伝達制御副層は好ましくは少なくとも約8nm、最も好ましくは少なくとも約10nmの厚さを有する。厚さが約8nm未満の場合、伝達制御副層のエッチング・ストップ機能は十分でない。
本発明のこの実施形態によれば、好ましくは、伝達制御副層は位相偏移制御副層とは異なるエッチング選択性を有する。位相偏移制御層がフッ素含有成分(component)を使用してエッチングされる場合、伝達制御層は、Cl2、Cl2+O2、CCl4、CH2Cl2などの塩素系ガスを使用するドライ・エッチング方式、あるいは酸、アルカリ、またはその他を使用するウェット・エッチング方式によって、エッチングされることが好ましい。しかし、ドライ・エッチング方式の方が好ましい。フッ素含有成分を使用するエッチング方式としては、CHF3、CF4、SF6、C2F6、およびそれらの混合物などのフッ素ガスを使用する、リアクティブ・イオン・エッチング(RIE)が好ましい。
本発明の第1の態様によれば、位相偏移マスクまたはマスク・ブランクの薄膜システムには、0.5μmまたはそれ以上の粒径を有する欠陥がない。好ましいことには前記薄膜システムは、0.3μmから0.5μmの粒径を有する、多くとも50の欠陥を、さらに好ましくは多くとも20の欠陥を有する。フォトマスク上のフィーチャ・サイズが小さくなるにつれて、500nmまたはそれ以上のサイズの欠陥は問題を発生させることになるため、存在してはならない。多くの応用例では、0.3μmから0.5μmの粒径を有する欠陥に関して、1マスク・ブランクあたり50欠陥までの制限量が許容可能である。
本発明のこの態様によれば、本発明の位相偏移マスク・ブランクは、マスク・ブランクのすべての位置で、位相偏移および伝達性の点から見て高い均一性を有する。具体的に言えば、前記位相偏移マスク・ブランクの位相偏移は、位相偏移平均値からの偏差が多くとも約±5°であり、前記位相偏移マスク・ブランクの伝達性は、平均伝達値からの偏差が多くとも約±5%である。
本発明に従った位相偏移マスク用の基板材料は、好ましくは、高純度の溶融石英(fused silica)、フッ素ドープ溶融石英(fluorine doped fused silica)(F−SiO2)、フッ化カルシウム、およびその他で形成される。
本発明は、基板および前記基板の1表面上にある薄膜システムを有する、リソグラフで使用するための減衰位相偏移マスクにも関するものであって、前記薄膜システムは、
位相偏移制御副層および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、
当該位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移と、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光での少なくとも0.001%の光伝達性とを有する、フォトマスクを生成することが可能であって、
当該位相偏移制御副層は本質的にSiO2からなり、前記伝達制御副層は本質的にTa、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mo、およびWからなるグループから選択された金属からなるものであって、
当該位相偏移制御副層の厚さおよび当該伝達制御副層の厚さは、200nmまたはそれ以下の露光波長で効率的な性能を得るために選択される。金属はTaが好ましい。露光波長は157nmまたは193nmが好ましい。
位相偏移制御副層および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、
当該位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移と、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光での少なくとも0.001%の光伝達性とを有する、フォトマスクを生成することが可能であって、
当該位相偏移制御副層は本質的にSiO2からなり、前記伝達制御副層は本質的にTa、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mo、およびWからなるグループから選択された金属からなるものであって、
当該位相偏移制御副層の厚さおよび当該伝達制御副層の厚さは、200nmまたはそれ以下の露光波長で効率的な性能を得るために選択される。金属はTaが好ましい。露光波長は157nmまたは193nmが好ましい。
さらに、基板および前記基板の1表面上の薄膜システムを有するマスク・ブランクおよび/またはフォトマスクを使用するステップを有する、200nmまたはそれ以下、好ましくは157nmまたは193nmの露光波長を使用するリソグラフィの方法も提供され、前記薄膜システムは、
位相偏移制御副層および伝達性制御副層を有する位相偏移層を有し、
前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移と、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光での少なくとも0.001%の光伝達性とを有する、フォトマスクを生成することが可能であって、
当該位相偏移制御副層は本質的にSiO2からなり、前記伝達制御副層は本質的にTa、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mo、およびWからなるグループから選択された金属からなるものである。
当該位相偏移制御副層の厚さおよび当該伝達制御副層の厚さは、200nmまたはそれ以下の露光波長、具体的に言えば193nmまたは157nmの露光波長で、効率的な性能を得るために選択される。金属はTaが好ましい。
位相偏移制御副層および伝達性制御副層を有する位相偏移層を有し、
前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移と、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光での少なくとも0.001%の光伝達性とを有する、フォトマスクを生成することが可能であって、
当該位相偏移制御副層は本質的にSiO2からなり、前記伝達制御副層は本質的にTa、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mo、およびWからなるグループから選択された金属からなるものである。
当該位相偏移制御副層の厚さおよび当該伝達制御副層の厚さは、200nmまたはそれ以下の露光波長、具体的に言えば193nmまたは157nmの露光波長で、効率的な性能を得るために選択される。金属はTaが好ましい。
本発明は、
基板と前記基板の1表面上の薄膜システムとを提供するステップを有する、
リソグラフィで使用するための本発明の位相偏移マスクまたはマスク・ブランクを製造するための方法にも関するものであって、
前記薄膜システムを提供するステップは、
・前記基板上に伝達制御副層を形成するステップと、
・前記基板上に位相偏移制御副層を形成するステップとを有し、
前記マスク・ブランクは、ほぼ180°の位相偏移と、200nmまたはそれ以下の選択された波長での少なくとも0.001%の光伝達性とを有する、フォトマスク・ブランクを生成することが可能である。
基板と前記基板の1表面上の薄膜システムとを提供するステップを有する、
リソグラフィで使用するための本発明の位相偏移マスクまたはマスク・ブランクを製造するための方法にも関するものであって、
前記薄膜システムを提供するステップは、
・前記基板上に伝達制御副層を形成するステップと、
・前記基板上に位相偏移制御副層を形成するステップとを有し、
前記マスク・ブランクは、ほぼ180°の位相偏移と、200nmまたはそれ以下の選択された波長での少なくとも0.001%の光伝達性とを有する、フォトマスク・ブランクを生成することが可能である。
好ましいことに、伝達制御副層および/または位相制御副層、ならびに、あるいは1つまたは複数の他の層は、重イオン・ビーム・スパッタリング、イオン・ビーム補助蒸着、イオン・ビーム・スパッタ蒸着、RFマッチング・ネットワーク、DCマグネトロン、ACマグネトロン、およびRFダイオードからなる、グループから選択された技法を使用して、スパッタ蒸着によって形成される。
好ましい実施形態によれば、位相偏移層およびオプションの他の層のどちらの副層も、超高真空を妨げることなく蒸着装置の単一室内で蒸着される。特に、真空を妨げることなく位相偏移層のどちらの層も蒸着することが好ましい。したがって、表面欠陥を伴うマスク・ブランクの汚染除去が避けられ、ほとんど欠陥のない位相偏移マスク・ブランクを達成することができる。こうしたスパッタリング技法は、たとえばいくつかのターゲットからのスパッタリングを可能にするスパッタリング・ツールを使用することによって実現可能である。したがって、層の厚さに関して低欠陥密度および/または高均一性の層を有する、高品質の位相偏移マスクが達成可能である。
スパッタリング・ターゲットとして、元素を有するターゲットまたは成分を有するターゲットを使用することができる。蒸着された層が金属または半金属の酸化物、窒化物、または酸窒化物を含む場合、こうした金属または半金属の酸化物、窒化物、または酸窒化物をターゲット材料として使用することができる。しかしながら、金属または半金属のターゲットを使用すること、および酸素および/または窒素を活性スパッタリング・ガスとして導入することも可能である。SiO2の蒸着の場合、Siのターゲットを使用すること、および活性ガスとして酸素を導入ことが好ましい。蒸着された層が窒素を有するべきである場合、活性スパッタリング・ガスとして窒素を導入することが好ましい。
スパッタリング・ガスには、ヘリウム、アルゴン、またはキセノンなどの不活性ガスを使用することが好ましい。こうした不活性ガスは、酸素、窒素、一酸化窒素、二酸化窒素、および酸化二窒素、またはそれらの混合物などの、活性がスト組み合わせることができる。活性ガスは、スパッタ・イオンと反応して蒸着層の一部となる可能性のあるガスである。本発明の好ましい実施形態によれば、位相偏移制御層のスパッタリング時に、不活性ガスと酸素の混合物が追加のスパッタリング・ガスとして使用される。層厚さが高均一性であるため位相偏移および/または伝達性が提供される位相偏移マスク・ブランクの場合、不活性スパッタリング・ガスとしてキセノンを使用することが好ましい。スパッタリング・ガスとしてのXeの使用により、結果として高均一性のスパッタ層が生じることになる。
図19は、本発明の好ましい実施形態に従ったイオン・ビーム・スパッタリング(IBS)またはイオン・ビーム蒸着(IBD)によってフォトマスク・ブランクを製造するための、蒸着装置10のセットアップを概略的に示す図である。装置10は、ポンプ・システムによって真空にすることが可能な真空室12を有する。
蒸着粒子ソースまたはより具体的にはイオン蒸着ソース20が、第1の粒子またはイオン・ビーム22を作成する。蒸着イオン・ソースは高周波(HF)イオン・ソースであるが、他の種類のイオン・ソースも使用することができる。スパッタ・ガス24は吸気口26から蒸着イオン・ソース20に導かれ、誘導結合電磁界によって加速される電子との原子衝突によって、蒸着イオン・ソース20内部でイオン化される。湾曲した3つのグリッド・イオン抽出アセンブリ28を使用して、第1のイオン・ビーム22に含まれる主イオンが加速され、それらがターゲット40に向かって集束される。
主イオンは蒸着イオン・ソース20から抽出され、ターゲットまたはスパッタ・ターゲット40にぶつかることによって、原子衝突のカスケードを発生させ、ターゲット原子が破壊(bombed out)される。このターゲットのスパッタリングまたは気化のプロセスが、スパッタ・プロセスと呼ばれる。スパッタ・ターゲット40は、蒸着される層に応じて、たとえば、タンタル、チタン、ケイ素、クロム、または前述のような任意の他の金属を有するか、あるいはそれらからなるターゲットである。好ましくは、蒸着装置には、真空を妨げる必要なしにスパッタリング・プロセスを他のターゲットに変更できる方法において、化学的組成に関して異なる複数の異なるスパッタ・ターゲットが備えられている。好ましくは、スパッタ・プロセスおよび層の蒸着は好適な真空で実行される。
いくつかのパラメータを調整して、主イオンとターゲット原子との間の運動量転移(momentum transfer)機能に影響を与え、レーザ品質を最適化する。これらの方法のパラメータは、以下の通りである。
・主イオンの集まり
・1秒あたりの主イオン数(すなわちイオン電流)
・加速電圧によって定義される、第1のイオン・ビーム22のエネルギー
・ターゲット垂直線44を基準にした第1のイオン・ビームの入射角
・ターゲットの密度および純度
主イオンの集まりがターゲット原子の集まりと等価であるときに、ターゲット原子への運動量転移は最大である。希ガスは処理が容易であるため、好ましくは、スパッタ・ガス24としてヘリウム、アルゴン、またはキセノンが使用される。スパッタリング中にキセノンを使用すると蒸着層の厚さの均一性が増すことから、キセノンはスパッタ・ガスとして好ましい。
・主イオンの集まり
・1秒あたりの主イオン数(すなわちイオン電流)
・加速電圧によって定義される、第1のイオン・ビーム22のエネルギー
・ターゲット垂直線44を基準にした第1のイオン・ビームの入射角
・ターゲットの密度および純度
主イオンの集まりがターゲット原子の集まりと等価であるときに、ターゲット原子への運動量転移は最大である。希ガスは処理が容易であるため、好ましくは、スパッタ・ガス24としてヘリウム、アルゴン、またはキセノンが使用される。スパッタリング中にキセノンを使用すると蒸着層の厚さの均一性が増すことから、キセノンはスパッタ・ガスとして好ましい。
スパッタリング・プロセスにおける運動量転移の結果としてターゲットを離れていく、スパッタされたイオン42の形状およびエネルギーの統計学的分布は、前述の方法パラメータのうちの少なくとも1つによって調整または制御される。
具体的に言えば、スパッタされた原子、この場合はクロム原子の平均エネルギーは、第1のイオン・ビーム22のエネルギーおよび/または入射角によって調整または制御される。ターゲット垂直線44を基準にした第1のイオン・ビーム22の入射角は、ターゲット40を旋回させることによって調整される。
スパッタされたイオン42の少なくとも一部分は、ターゲット40から基板50の方向に出現する。スパッタされたイオン42は、従来の蒸着よりもかなり大きなエネルギーで基板50にぶつかり、安定性および密度の高い層または膜を基板50上に蒸着または成長させる。
基板50は、3軸回転デバイスに回転可能なように取り付けられる。基板50の垂直線54を基準にしたスパッタされたイオンの平均入射角αは、第1の軸を中心に基板50を旋回させることによって調整される。当該入射角を調整することによって、均一性、内部膜構造、および機械的パラメータ、具体的には膜応力を制御し、それによって改善することが可能である。
さらに基板50を、回転の第2の軸を表す垂直線54に対して垂直に回転させ、蒸着の均一性を改善することも可能である。
さらに基板は、第3の軸を中心に回転または旋回可能であり、これによって、基板をビームの外へ移動し、たとえば蒸着の直前に基板50のクリーニングを行うことができる。
さらに、装置10は補助粒子ソースまたは補助イオン・ソース60を有する。動作原理は蒸着ソース20と同じである。第2の粒子またはイオン・ビーム62は、たとえば、基板50および/または基板50上に蒸着される膜を平滑化、調節(conditioning)、ドーピング、および/または他の処理するために、基板50に向かって送られる。さらに、ガス吸気口66を介して、活性および/または不活性ガス64を導入することもできる。
第2のイオン・ビーム62は、直線状の3つのグリッド抽出システム68によって加速される。
第2のイオン・ビーム62は基板50のほぼ全体を覆っており、基板のすべてにわたって均一なイオン分布または処理が得られる。具体的に言えば、第2のイオン・ビーム62は以下のことに使用される。
・酸素、窒素、炭素、および/または他のイオンを用いた膜のドーピング
・たとえば酸素プラズマを用いた蒸着前の基板のクリーニング
・膜の平滑化による膜の境界面(interface)品質の改善
好ましくは、補助ソース60は、酸素および窒素などの活性ガスをシステムに導入する際に使用される。
・酸素、窒素、炭素、および/または他のイオンを用いた膜のドーピング
・たとえば酸素プラズマを用いた蒸着前の基板のクリーニング
・膜の平滑化による膜の境界面(interface)品質の改善
好ましくは、補助ソース60は、酸素および窒素などの活性ガスをシステムに導入する際に使用される。
特定の処理に応じて、基板50および/または基板50上に蒸着された膜への第2のイオン・ビーム62を用いた照射は、基板50上への膜蒸着の前、同時、および/または後に可能である。図19に示されるように、基板50は、第2のイオン・ビーム62の軸65を基準にして、角度βだけ傾けられている。
前述および後述の例では、すべての温度は修正せずに摂氏で記載されている。
上記および下記に列挙されたすべての明細書、特許、および公告の開示全体が、参照により本明細書に組み込まれている。
実験
下記では、本発明に従ったマスク・ブランクの設計および製造について記載する。
下記では、本発明に従ったマスク・ブランクの設計および製造について記載する。
蒸着ツールおよびパラメータ
すべての層は、図13に概略的に示されるような重イオン・ビーム・スパッタリング・ツールを使用して蒸着された。具体的に言えば、すべての蒸着について、ビーコ(Veeco)・ネクサスLDDイオン・ビーム蒸着ツールが使用された。
すべての層は、図13に概略的に示されるような重イオン・ビーム・スパッタリング・ツールを使用して蒸着された。具体的に言えば、すべての蒸着について、ビーコ(Veeco)・ネクサスLDDイオン・ビーム蒸着ツールが使用された。
エリプソメータ(ellipsometer)発散データ
n値およびk値は、モデルとなるウーラム(Woollam)VASE分光エリプソメータを使用したエリプソメータ測定から、157および193nmで取得されたものである。典型的には、分光スキャンは55および65度で実行された。モデル・フィッティングを改善するために伝達性データを取った。
n値およびk値は、モデルとなるウーラム(Woollam)VASE分光エリプソメータを使用したエリプソメータ測定から、157および193nmで取得されたものである。典型的には、分光スキャンは55および65度で実行された。モデル・フィッティングを改善するために伝達性データを取った。
図4は、Ta、SiO2、およびSiTiOの分散曲線を示す図である。図4の縦の列は、左から右へ、Ta、SiO2、およびSiTiOの測定された単層分散曲線を示している。上の横の列は屈折率nを示し、下の横の列は吸光係数kを示す。
これらの値を使用して、以下の193nmおよび157nmの位相偏移マスク・ブランクの薄膜設計を行った。
薄膜の設計および伝達性の調整
上記表1の分散データを使用して、以下の計算を実行した。すべてのシミュレーションは、1986年、ブリストル、アダム・ヒルガー社からのA.マクラウドによる「薄膜光学式フィルタ」第2版に記載されているような、数値計算用のMatlabを使用した薄膜に関して広く使用されている行列アルゴリズムに基づくものである。これらのシミュレーションの結果が図6に示されている。
上記表1の分散データを使用して、以下の計算を実行した。すべてのシミュレーションは、1986年、ブリストル、アダム・ヒルガー社からのA.マクラウドによる「薄膜光学式フィルタ」第2版に記載されているような、数値計算用のMatlabを使用した薄膜に関して広く使用されている行列アルゴリズムに基づくものである。これらのシミュレーションの結果が図6に示されている。
図6は、減衰された157nm(6%伝達性)および高(20%)伝達性193nmの位相偏移マスク・ブランクに関する設計を示す図である。実線は、波長157nmの位相偏移副層での伝達性と膜厚さとの関係に対応する。破線は、193nm位相偏移マスク・ブランクの波長の位相偏移副層の膜厚さの関数としての伝達性に対応する。膜厚さゼロは、被覆されていない基板に対応する。基板上には、薄いTa層(193nmマスク・ブランクの場合は11nm、157nmマスク・ブランクの場合は20nm)が提供される。グラフは、位相偏移マスク・ブランクの伝達制御副層として機能しているタンタル層の膜厚さが増加するにつれて、伝達率が減少することを示している。Taの薄い層上には、位相偏移制御副層としてSiO2の層が提供される。(193nm位相偏移マスク・ブランクの場合は152nm、157nmマスク・ブランクの場合は106nm)。伝達制御副層と位相偏移制御副層との境界面は、細い縦線で示されている。誘電SiO2層は、干渉によって発生する平均伝達値周辺の典型的な振動(oscillation)を示す。大気との最終接触面で、所望の伝達値が達成される。こうした位相偏移制御副層は、位相偏移マスク・ブランクの伝達性をほとんど変化させないが、結果として生じる伝達値にはわずかに寄与するだけである。膜厚さゼロの場合の伝達値は1であり、解像度をよくするために切り捨てられる。
図7は、膜厚さの関数としての位相偏移を示す図である。膜厚さゼロは位相偏移ゼロに対応する。タンタル層の位相偏移は最初わずかに負であり、その後わずかに上昇して、境界面で再度ゼロに近くなる。したがって、位相偏移マスク・ブランクの位相偏移全体に対する寄与はごくわずかである。第1の概算では、誘電層は、干渉の影響によって付加される膜厚さの増加に伴って、位相角の線形増加を生み出す。大気との最終境界面で、所望の180°の位相角が達成される。
図6および7は、位相偏移マスク・ブランクが伝達性および位相角度を幅広く独立して制御できることを示す図である。個々の副層の厚さを別々に調整することによって、様々な波長および伝達性の要件に適応することが可能である。
図8および9は、2つの位相偏移システムに関する伝達性の調整可能性を示す図である。x軸上にSiO2の膜厚さが与えられ、y軸上にタンタルの膜厚さが与えられている。ほぼ垂直の実線は、結果として180°の位相偏移を生じるSiO2層とTa層の膜厚さのすべての組み合わせを示す。ほぼ水平のグラフは、異なる副層厚さに対応する異なる伝達値に対応する。線の振動は、干渉の影響によって発生する。こうした振動の影響によって伝達性がかなりの量まで変化する場合があるが、位相偏移制御副層の伝達性を低くすることはほとんどなく、たいていの場合伝達性はかなり高くなる。200nmまたはそれ以下の露光波長ではたいていの材料はかなり伝達性が低いため、高い伝達性につながる可能性のある記載された振動などの影響は、むしろ有利である。
上のグラフは、193nmマスク・ブランク・システムの場合の、異なる膜厚さに対する伝達性および位相偏移のそれぞれの関係を示す図である。タンタル層の厚さは、信頼できるエッチング・ストップとして働くために、最低10nmであると想定される。この条件の下で、伝達性は最高22%まで調整可能である。下のグラフは、157nmマスク・ブランク・システムの場合の、異なる膜厚さに対する伝達性および位相偏移のそれぞれの関係を示す図である。28%の伝達値が達成可能である。どちらの波長の場合も、減衰された、ならびに高伝達性の、位相偏移マスク・ブランクが生成可能である。
実施例および比較例
マスク・ブランクは、露光波長193nmの高伝達性減衰位相偏移マスク・ブランク、および露光波長157nmの減衰位相偏移マスク・ブランクに関する、前述の設計を使用して製造された。表3は、マスク・ブランクの構造および結果を示す表である。
マスク・ブランクは、露光波長193nmの高伝達性減衰位相偏移マスク・ブランク、および露光波長157nmの減衰位相偏移マスク・ブランクに関する、前述の設計を使用して製造された。表3は、マスク・ブランクの構造および結果を示す表である。
レーザ耐久性
157nm応用例について、Novatubeを備えたラムダ・フィジック(Lambda Physik)社のLPX120を使用してレーザ耐久性テストを実行した。テスト中の反復数はパルス当たり約2mj/cm2の流束量で50Hzであった。実験室はステンレス・スチール製であり、99.999Nガスでパージされ、照射中のO2レベルは1.0ppm未満で維持された。伝達性測定方式は、ビーム・スプリッタを使用した重ビーム測定(主ビームおよび基準ビーム)が採用された。レーザ・パルスを監視するためのエネルギー・プローブは、スター・テック・インスツルメンツ社によって作成された(モデルPV16C)。結果は、照射の前後にウーラム・エリプソメータによって実行される伝達性測定の補足であった。
157nm応用例について、Novatubeを備えたラムダ・フィジック(Lambda Physik)社のLPX120を使用してレーザ耐久性テストを実行した。テスト中の反復数はパルス当たり約2mj/cm2の流束量で50Hzであった。実験室はステンレス・スチール製であり、99.999Nガスでパージされ、照射中のO2レベルは1.0ppm未満で維持された。伝達性測定方式は、ビーム・スプリッタを使用した重ビーム測定(主ビームおよび基準ビーム)が採用された。レーザ・パルスを監視するためのエネルギー・プローブは、スター・テック・インスツルメンツ社によって作成された(モデルPV16C)。結果は、照射の前後にウーラム・エリプソメータによって実行される伝達性測定の補足であった。
図5は、F−SiO2基板、TaおよびSiO2の単層、ならびに完全なTa−SiO2位相偏移マスク・ブランクの、現場(in−situ)伝達性測定を示す図である。ほとんどの伝達性変化は、照射開始直後に発生する。これは、表面汚染除去によるものである可能性が高い。現場伝達性測定は、かなりの雑音も示している。したがって、ウーラム・エリプソメータを使用した伝達性測定は、伝達性変化ならびにサンプルのレーザ安定性を決定するために実行された。その結果は表4に示されている。
表4は、照射前および照射後にエリプソメータによって測定された伝達性を示すものである。フッ素ドープ溶融石英基板(F−SiO2)の値を使用して、測定値の妥当性を確認した。ウーラムによる照射前の値は83.8%であり、現場伝達値(84.8%)と十分一致しているが、6kj/cm2線量後のウーラム伝達性は84.4%であり、現場伝達値(86.7%)よりもかなり少ない。しかしながら、レーザによって誘導される伝達性変化のほとんどが表面汚染除去(主に水)によるものである可能性が高いため、サンプルが通常の研究室環境にさらされるとすぐに表面は再汚染され、照射前の伝達性に類似した値となることが妥当と思われる。
TaおよびTa−SiO2膜に関して図5に示された現場伝達値は、かなりの雑音を示している。これは通常、計器のダイナミック・レンジの制限により伝達レンジを小さくセットアップしている場合に観察された。しかしながら、表にみられるようにTa−SiO2のレーザ安定性は非常に良好であり、5.8kj/cm2線量後、伝達性は6.32%から6.51%の範囲で変化している。
薬品耐久性
伝達性および位相偏移に対するクリーニングの影響は、どのような減衰位相偏移マスク・ブランクにとっても重要な特徴である。マスクのクリーニングによって位相偏移または伝達性が大幅に変わるようであってはならない。実施例に従って位相偏移マスク・ブランクに対するクリーニングの影響をテストするために、パターン形成済みのTa−SiO2位相偏移マスク・ブランク(実施例2)およびパターン形成済みのTa−SiTiO位相偏移マスク・ブランク(比較例1)に対して、クリーニング・サイクルを繰り返し行った。それぞれの板は、硫酸過酸化物混合体(sulfuric acid peroxide mixture)を使用して90℃でクリーニングし、希釈アンモニアすすぎ液ですすいだ。次に、MPM193を使用して位相偏移および伝達性を測定した。潜在している固有の酸化物の影響を最小限にするために、次のクリーニング・サイクルまでに少なくとも1日経過させた。各マスクは、この部分の膜特性テストのために4サイクルのクリーニングを行った。図10および11は、これらの実験の結果を示すものである。
伝達性および位相偏移に対するクリーニングの影響は、どのような減衰位相偏移マスク・ブランクにとっても重要な特徴である。マスクのクリーニングによって位相偏移または伝達性が大幅に変わるようであってはならない。実施例に従って位相偏移マスク・ブランクに対するクリーニングの影響をテストするために、パターン形成済みのTa−SiO2位相偏移マスク・ブランク(実施例2)およびパターン形成済みのTa−SiTiO位相偏移マスク・ブランク(比較例1)に対して、クリーニング・サイクルを繰り返し行った。それぞれの板は、硫酸過酸化物混合体(sulfuric acid peroxide mixture)を使用して90℃でクリーニングし、希釈アンモニアすすぎ液ですすいだ。次に、MPM193を使用して位相偏移および伝達性を測定した。潜在している固有の酸化物の影響を最小限にするために、次のクリーニング・サイクルまでに少なくとも1日経過させた。各マスクは、この部分の膜特性テストのために4サイクルのクリーニングを行った。図10および11は、これらの実験の結果を示すものである。
図10および11に示されている反復クリーニング・テストの結果は、複数回のクリーニングが位相偏移に与える影響は微小(1クリーニングあたり〜0.25°の損失)であり、伝達性の上昇はわずかである(1クリーニングあたり〜0.08%ポイントの上昇)ことを示している。どちらの位相偏移マスク・ブランクも、クリーニングの観点からは許容可能である。
位相偏移および伝達性の均一性
2つの異なる方法を使用して実施例を分析した。第1の方法は、N&K写真分光計を使用する厚さ適合(fit)である。分光計は、適合した分散値を使用して、測定された反射および伝達性データから膜厚さを計算する。通常、この方法は金属層よりも誘電体層の方がより精密である。金属層の適合品質を向上させるために、かすめ入射X線反射率計(grazing incidence x−ray reflectometry)により以前に測定した固定膜厚さを使用して分散適合を実行した。図12および13は、実施例2に従ったマスク・ブランクの結果を示すものであり、位相偏移層はスパッタリング・ガスとしてアルゴンを使用して蒸着された。
2つの異なる方法を使用して実施例を分析した。第1の方法は、N&K写真分光計を使用する厚さ適合(fit)である。分光計は、適合した分散値を使用して、測定された反射および伝達性データから膜厚さを計算する。通常、この方法は金属層よりも誘電体層の方がより精密である。金属層の適合品質を向上させるために、かすめ入射X線反射率計(grazing incidence x−ray reflectometry)により以前に測定した固定膜厚さを使用して分散適合を実行した。図12および13は、実施例2に従ったマスク・ブランクの結果を示すものであり、位相偏移層はスパッタリング・ガスとしてアルゴンを使用して蒸着された。
図12は、140mm×140mm領域内で測定したタンタル層厚さの等高線グラフを示すものである。コーナーを含むレンジ/平均均一性値は5.4%である。コーナー・ポイントを除くと、値は2.9%である。
図13は、SiO2層に関する等高線グラフである。ここで、コーナーを含むレンジ/平均均一性値は6.5%である。コーナー・ポイントを除くと、値は3.2%である。
MPM193による測定用にマスク・ブランクを構造化した後、MPM193によって伝達性および位相偏移の均一性を測定した。図14および15はその結果を示すものである。図14は、測定した伝達均一性を示すものである。平均値は4.3%、3シグマは0.6%である。図15は、測定した位相角均一性を示すものである。平均値は137.5°、3シグマは3.6°である。図14および15は、図12および13の等高線グラフと同じ回転対称分布を示す。伝達性および位相偏移の不均一性は、膜厚さの不均一性で説明される。
膜の均一性は、キセノンによるスパッタリングによって改善することができる。図16は、実施例2に従ったこうした改善マスク・ブランクの等高線グラフを示すものである。SiO2層の厚さ不均一性は4倍に改善される。ここではコーナーを含むレンジ/平均値が、わずか1.4%になっている。これですでに±1.3°の位相偏移均一性が生じることになる。
欠陥レベルの測定
高解像度レーザ・スキャナの欠陥検査ツールを使用して、欠陥レベルを測定した。ブランクのどちらの表面も、レーザ・ビームによって1ラインずつスキャンされる。反射および伝達された迷光は、2つの光電子増倍管によって検出される。ソフトウェアが、4つの測定信号から粒子のクラス、位置、およびサイズを計算する。その結果は、位置マップおよびサイズ・ヒストグラムとして表示される。マップでは、粒径は3クラスまで、すなわち約0.2から0.5μmの粒子、0.5μmから1μmの粒子、および1μmを超える粒子まで減じられる。点は、約0.2から0.5μmの粒子を示し、円または四角形はそれよりも粒径の大きい粒子を示す。
高解像度レーザ・スキャナの欠陥検査ツールを使用して、欠陥レベルを測定した。ブランクのどちらの表面も、レーザ・ビームによって1ラインずつスキャンされる。反射および伝達された迷光は、2つの光電子増倍管によって検出される。ソフトウェアが、4つの測定信号から粒子のクラス、位置、およびサイズを計算する。その結果は、位置マップおよびサイズ・ヒストグラムとして表示される。マップでは、粒径は3クラスまで、すなわち約0.2から0.5μmの粒子、0.5μmから1μmの粒子、および1μmを超える粒子まで減じられる。点は、約0.2から0.5μmの粒子を示し、円または四角形はそれよりも粒径の大きい粒子を示す。
図17および18は、実施例2に従った本発明の位相偏移マスク・ブランクの粒子レベルを示すものである。図17は粒子マップを示し、図18はサイズ分布ヒストグラムを示す。0.2から0.5μmの粒径を有する粒子の合計数はわずか14であり、0.5μmを超える粒径を有する粒子は検出されなかった。
比較例に従った位相偏移マスク・ブランクは、0.5μmから1μmまでの粒径を有する粒子を示し、1μmを超える粒子までもが示された。行列内のチタン原子は、粒子に対するシード(seed)として機能していると想定される。
前述の例は、一般的または具体的に記述された本発明の反応物質および/または動作条件を、前述の例で使用されたものの代わりに使用することによっても、同様の成果を繰り返すことができる。
前述の説明から、当業者であれば、本発明の不可欠な特徴を容易に確認することが可能であり、その趣旨および範囲から逸脱することなく本発明の様々な変更および修正を実行し、様々な用途および条件に適合させることが可能である。
1 基板
2 位相偏移層
3 伝達制御副層
4 位相偏移制御副層
2 位相偏移層
3 伝達制御副層
4 位相偏移制御副層
Claims (21)
- 基板と前記基板上の1つの表面上の薄膜システムとを有する、リソグラフィで使用するための減衰位相偏移マスクであって、
前記薄膜システムは、
位相偏移制御副層および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、
前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能であり、
前記薄膜システムは本質的に0.5μm以上の粒径を有する欠陥がないものである、位相偏移マスク。 - 前記薄膜システムが0.3から0.5μmの粒径を有する多くとも50の欠陥を有するものである、請求項1に記載の位相偏移マスク。
- 前記薄膜システムが0.3から0.5μmの粒径を有する多くとも20の欠陥を有するものである、請求項1に記載の位相偏移マスク。
- 前記位相偏移制御副層が前記位相偏移マスクの伝達性をほとんど変化させることのないものである、請求項1に記載の位相偏移マスク。
- 前記位相偏移制御副層がSiの酸化物および酸窒化物からなるグループから選択された材料を有するものである、請求項1に記載の位相偏移マスク。
- 前記位相偏移制御副層が本質的にSiO2からなるものである、請求項1に記載の位相偏移マスク。
- 前記伝達制御副層が前記位相偏移マスクの位相偏移をほとんど変化させることのないものである、請求項1に記載の位相偏移マスク。
- 前記伝達制御副層が、Mg、Si、Y、La、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Ge、Sn、Pb、その窒化物、ならびにこれらの金属または窒化物のうちの2つまたはそれ以上の混合物、からなるグループから選択された金属を有するものである、請求項1に記載の位相偏移マスク。
- 前記伝達制御副層が、本質的にTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、またはそれらの窒化物からなるものである、請求項8に記載の位相偏移マスク。
- リソグラフィで使用するための減衰位相偏移マスクを製造する方法であって、前記位相偏移マスクは基板と前記基板上の1つの表面上の薄膜システムとを有するものであり、前記薄膜システムは位相偏移制御副層および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、前記薄膜システムは本質的に0.5μm以上の粒径を有する欠陥がなく、前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nmまたはそれ以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能であって、
前記方法は、
基板を提供するステップと、
薄膜システムを提供するステップと、
を有し、薄膜システムを提供するステップは、
前記基板上に伝達制御副層を形成するステップと、
前記基板上に位相偏移制御副層を形成するステップと
を有するものである、方法。 - 基板と前記基板上の1つの表面上の薄膜システムとを有する、リソグラフィで使用するための減衰位相偏移マスクであって、前記薄膜システムは、
位相偏移制御副層および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、
前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nm以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能であり、
前記薄膜システムは本質的に0.5μm以上の粒径を有する欠陥がないものであって、
前記位相偏移マスクの位相偏移は平均値からの偏差が多くとも約±5°であり、前記位相偏移マスクの伝達性は平均伝達値からの偏差が多くとも約±5°である、位相偏移マスク。 - 前記位相偏移制御副層が前記位相偏移マスクの伝達性をほとんど変化させることのないものである、請求項11に記載の位相偏移マスク。
- 前記位相偏移制御副層がSiの酸化物および酸窒化物からなるグループから選択された材料を有するものである、請求項11に記載の位相偏移マスク。
- 前記位相偏移制御副層が本質的にSiO2からなるものである、請求項11に記載の位相偏移マスク。
- 前記伝達制御副層が前記位相偏移マスクの位相偏移をほとんど変化させることのないものである、請求項11に記載の位相偏移マスク。
- 前記伝達制御副層が、Mg、Si、Y、La、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Ge、Sn、Pb、その窒化物、ならびにこれらの金属または窒化物のうちの2つまたはそれ以上の混合物、からなるグループから選択された金属を有するものである、請求項11に記載の位相偏移マスク。
- 前記伝達制御副層が、本質的にTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、またはそれらの窒化物からなるものである、請求項16に記載の位相偏移マスク。
- リソグラフィで使用するための減衰位相偏移マスクを製造する方法であって、前記位相偏移マスクは基板と前記基板上の1つの表面上の薄膜システムとを有するものであり、前記薄膜システムは位相偏移制御副層および伝達制御副層を有する位相偏移層を有し、前記位相偏移マスクの位相偏移は平均値からの偏差が多くとも約±5°であり、前記位相偏移マスクの伝達性は平均伝達値からの偏差が多くとも約±5°であって、前記位相偏移マスクは、ほぼ180°の位相偏移を伴うフォトマスクと、200nm以下の波長を有する露光における少なくとも0.001%の光伝達性とを生成することが可能であって、
前記方法は、
基板を提供するステップと、
薄膜システムを提供するステップと、
を有し、薄膜システムを提供するステップは、前記基板上に伝達制御副層を形成するステップと、前記基板上に位相偏移制御副層を形成するステップとを有するものである、方法。 - 前記伝達制御副層が、重イオン・ビーム・スパッタリング、イオン・ビーム支援蒸着、イオン・ビーム・スパッタ蒸着、RFマッチング・ネットワーク、DCマグネトロン、ACマグネトロン、およびRFダイオードからなる、グループから選択された技法を使用して、スパッタ蒸着によって形成されるものである、請求項18に記載の方法。
- 前記位相制御副層が、重イオン・ビーム・スパッタリング、イオン・ビーム支援蒸着、イオン・ビーム・スパッタ蒸着、RFマッチング・ネットワーク、DCマグネトロン、ACマグネトロン、およびRFダイオードからなる、グループから選択された技法を使用して、スパッタ蒸着によって形成されるものである、請求項18に記載の方法。
- スパッタリング・ガスとしてキセノンが使用される、請求項18に記載の方法。
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