JP2005056997A - プラズマエッチング方法及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このプラズマエッチング装置において、上部電極18はチャンバ10を介してグランド電位に接続(接地)され、下部電極16にはそれぞれ第1および第2の整合器36,38を介して第1の高周波電源40(たとえば13.56MHz)および第2の高周波電源42(たとえば3.2MHz)が電気的に接続されている。低周波側の第2の整合器38は、最終出力段にコイル62を有するT型回路で構成されており、該コイル62に第1の高周波電源40からの高周波(13.56MHz)を遮断するためのハイカットフィルタを兼用させている。
【選択図】 図1
Description
16 下部電極
18 上部電極
22 処理ガス供給源
34 排気装置
36 第1(ソース用)の整合器
38 第2(バイアス用)の整合器
40 第1(ソース用)の高周波電源
42 第2(バイアス用)の高周波電源
58 可変コンデンサ
60 可変コンデンサ
62 コイル
Claims (17)
- 被処理基板上のアルミニウム、チタンもしくはチタン含有金属の膜をプラズマを用いてエッチングするためのプラズマエッチング方法であって、
真空可能な処理容器内で上部電極と対向して配置される下部電極の上に前記被処理基板を載置し、
前記上部電極と前記下部電極との間に塩素原子を含むガスまたはそれを主成分とするエッチングガスを流し込み、
前記下部電極に10MHz〜30MHzの範囲内に設定された第1の周波数を有する第1の高周波と2MHz〜6MHzの範囲内に設定された第2の周波数を有する第2の高周波とを重畳して印加するプラズマエッチング方法。 - 前記第1の高周波のRFパワーに対する前記第2の高周波のRFパワーの比を1/10以上とする請求項1に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記第1の高周波のRFパワーを1000W以上とし、前記第2の高周波のRFパワーを100W以上とする請求項2に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記処理容器内の圧力を10mTorr以下とする請求項2または3に記載のプラズマエッチング方法。
- 被処理基板上のアルミニウム含有金属もしくはITO(インジウム−スズ-オキサイド)の膜をプラズマを用いてエッチングするためのプラズマエッチング方法であって、
真空可能な処理容器内で上部電極と対向して配置される下部電極の上に前記被処理基板を載置し、
前記上部電極と前記下部電極との間に塩素原子を含むガスまたはそれを主成分とするエッチングガスを流し込み、
前記下部電極に10MHz〜30MHzの範囲内に設定された第1の周波数を有する第1の高周波と2MHz〜6MHzの範囲内に設定された第2の周波数を有する第2の高周波とを重畳して印加するプラズマエッチング方法。 - 前記第1の高周波のRFパワーを2000W以上とし、前記第2の高周波のRFパワーを1000W以上とする請求項5に記載のプラズマエッチング方法。
- 被処理基板上のシリコン酸化膜をプラズマを用いてエッチングするためのプラズマエッチング方法であって、
真空可能な処理容器内で上部電極と対向して配置される下部電極の上に前記被処理基板を載置し、
前記上部電極と前記下部電極との間にCF4,CHF3,CH2F2,C4F8,SF6からなる群より選ばれた少なくとも1種を含むエッチングガスを流し込み、
前記下部電極に10MHz〜30MHzの範囲内に設定された第1の周波数を有する第1の高周波と2MHz〜6MHzの範囲内に設定された第2の周波数を有する第2の高周波とを重畳して印加するプラズマエッチング方法。 - 前記エッチングガスがH2,O2,Ar,Heからなる群より選ばれた少なくとも1種を含む請求項7に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記第1の高周波のRFパワーを2500W以上とし、前記第2の高周波のRFパワーを2000W以上とする請求項8に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記被処理基板がフラットパネルディスプレイ用の基板である請求項1〜9のいずれか一項に記載のプラズマエッチング方法。
- 真空可能な処理容器内で上部電極と対向して配置される下部電極の上に被処理基板を載置し、両電極間に高周波電界を形成するとともに処理ガスを流し込んで前記処理ガスのプラズマを生成し、前記プラズマの下で前記被処理基板に所望のプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、
前記下部電極に第1の周波数を有する第1の高周波を印加するための第1の高周波電源と、
前記第1の高周波電源側のインピーダンスと前記下部電極側の負荷インピーダンスとの整合をとるために前記第1の高周波電源と前記下部電極との間に接続される第1の整合回路と、
前記下部電極に前記第1の周波数よりも低い第2の周波数を有する第2の高周波を印加するための第2の高周波電源と、
前記第2の高周波電源側のインピーダンスと前記下部電極側の負荷インピーダンスとの整合をとるために前記第2の高周波電源と前記下部電極との間に接続される第2の整合回路と
を有し、前記第2の整合回路が出力段にコイルを有するT型回路として構成され、前記出力段のコイルが前記第1の高周波電源からの前記第1の高周波を遮断するためのハイカットフィルタを構成するプラズマ処理装置。 - 前記第2の整合回路が、前記第2の高周波電源の出力端子と前記下部電極との間で前記出力段のコイルと直列に接続される入力段の第1のコンデンサと、前記第1のコンデンサと前記コイルとの接続点とグランド電位との間に接続される第2のコンデンサとを有する請求項11に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1および第2のコンデンサの少なくとも一方がキャパシタンスの可変調整可能な可変コンデンサである請求項12に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の周波数が10MHz〜30MHzの範囲内に設定され、前記第2の周波数が2MHz〜6MHzの範囲内に設定される請求項11〜13のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第2の整合回路における前記出力段のコイルが100オーム以上のインピーダンスを有する請求項11〜14のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記上部電極がグランド電位に接続される請求項11〜15のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理ガスが、Cl2,BCl3,HCl,SF6,CF4,CHF3,CH2,F2,O2,N2,H2,Ar,Heの中の1種を含む単ガスまたは2種以上を含む混合ガスである請求項11〜16のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
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