JP2005038677A - プラズマディスプレイパネルの製造方法および焼成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セッター27上に載置した基板26と、この基板26上の温度を検知するように配設した基板温度検知手段29と、前記基板26と共に搬送されながら基板温度検知手段29が検知した基板26の温度を記録する基板温度記録手段31とを備える基板温度確認手段32により、焼成炉22内での搬送中の基板26の温度を確認する。
このことにより、焼成炉22内を搬送して焼成中の基板26の温度の状態を、非常に容易に確認することが可能となり、良好な焼成を行うことができるようにするための焼成炉22の条件設定を非常に容易に行うことが可能となる。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、機能膜材料が形成されたプラズマディスプレイパネル(PDP)の基板を焼成する工程を有するPDPの製造方法、およびその際に用いられる焼成装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
金属、無機材料及び有機材料からなる機能膜材料を、ガラスやセラミックスなどの基板上に、塗布、印刷、ダイコート、シート貼り付け、真空蒸着、スパッタ等の様々な方法を用いて全面に形成することや、あるいはそれをフォトリソグラフィやマスキングしてパターニングするということが、工業上、よく行われる。例えば、PDP用の基板では、電極等の金属配線、透明電極膜、また、絶縁を維持するための絶縁体や誘電体、また、複数の蛍光体を区切る隔壁、電子放出膜、といった機能膜材料の形成が行われる。
【0003】
これらの機能膜材料は、材料の熱拡散等により密着性向上、結晶配向の調整、界面での金属の溶融、適切な抵抗値、形状の維持及び強化、不要物質の除去などの目的で焼成が施される。なお、以下においては、焼成とは、被処理材の昇温、恒温、降温、またはこれらの組み合わせの熱処理であって、被処理材の温度を上げる、下げる、または一定に保つこと、あるいはこれらのいずれかの組み合わせによる熱処理も指すものとする。
【0004】
ここで、以上述べたような、機能膜材料の形成のための熱処理は、比較的、時間を要する工程であり、その生産性を上げるために、被処理材を、例えば、ドーム状あるいはトンネル状の焼成炉内をメッシュベルトコンベア、ローラーコンベア等で搬送しながら焼成するという形態の焼成装置が一般的によく用いられる(例えば、非特許文献1参照)。
【0005】
【非特許文献1】
2001 FPDテクノロジー大全、株式会社電子ジャーナル刊、2000年10月25日、p672〜p675 p680〜p682
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、機能膜材料の熱処理を良好に行うためには、機能膜材料を形成した基板の温度状態を管理の上、適正な状態に制御することが重要であるが、そのためには、焼成炉内を搬送されながら焼成される基板の温度状態を検知することが必要となる。しかしながら、従来、焼成炉内の雰囲気温度の制御のために、焼成炉内の雰囲気温度をモニターの上、制御することは可能であったが、基板の温度状態を直接、検知するということは非常に困難なものであった。
【0007】
例えば本発明者らは、以下の様にして焼成炉内での搬送時の基板の温度状態を測定していた。すなわち、焼成炉の外に温度記録計を設置し、この温度記録計に接続した熱電対を温度測定用基板(ダミー基板)に取り付け、そしてこのダミー基板をセッターに載置し、通常の熱処理と同様、焼成炉のローラーコンベアに載せて搬送させ、その際の熱電対からの信号を基板の温度として温度記録計に記録するという方法である。
【0008】
しかしながら、上述したような基板の温度状態の確認方法では、例えば焼成炉の外に設置した温度記録計とダミー基板とをつなぐ熱電対として、焼成炉での搬送の長さに対応した、非常に長いものが必要となり、したがって、その取り扱いが非常に煩雑なものとなっていた。また、そのような長い熱電対を、搬送の進行に応じて繰り出しながら搬送を行うのであるが、場合によっては、焼成炉内で熱電対に曲げの力が作用したり、擦れが生じたりするなど、スムーズな搬送が行われないばかりか、熱電対を破損してしまうようなこともあった。
【0009】
さらに、PDPの生産性向上のために、例えば、基板を所定間隔で複数段、積み上げ、この状態で熱処理するというように、複数枚の基板を一度にまとめて熱処理することで、実質的な熱処理時間を短縮することが行われる場合があるが、このような場合の基板個々の温度状態を上述のような方法で測定することは、熱電対の取り扱い上、非常に困難である。
【0010】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、基板を搬送しながら熱処理する焼成炉内での基板の温度状態の確認を容易化し、よって良好な熱処理を実現するプラズマディスプレイパネルの製造方法、およびその際に用いられる焼成装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を実現するために本発明のPDPの製造方法は、基板を搬送しながら熱処理する焼成工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、セッター上に載置した基板と、この基板上の温度を検知するように配設した基板温度検知手段と、前記基板と共に搬送されながら基板温度検知手段が検知した基板温度を記録する基板温度記録手段とを備える基板温度確認手段により、焼成炉内での搬送中の基板の温度を確認する工程を有することを特徴とするものである。
【0012】
また、上記目的を実現するために本発明のPDPの焼成装置は、基板を搬送しながら熱処理する焼成炉を有するプラズマディスプレイパネルの焼成装置において、セッター上に載置した基板と、この基板上の温度を検知するように配設した基板温度検知手段と、前記基板と共に搬送されながら基板温度検知手段が検知した基板温度を記録する基板温度記録手段とを備える基板温度確認手段を焼成炉内に投入するための投入口、および取り出すための取り出し口を備えることを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項1に記載の発明は、基板を搬送しながら熱処理する焼成工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、セッター上に載置した基板と、この基板上の温度を検知するように配設した基板温度検知手段と、前記基板と共に搬送されながら基板温度検知手段が検知した基板温度を記録する基板温度記録手段とを備える基板温度確認手段により、焼成炉内での搬送中の基板の温度を確認する工程を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【0014】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、基板温度記録手段は、基板を載置したセッターとは別に搬送することを特徴とするものである。
【0015】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、基板温度記録手段は、耐熱容器内に格納されていることを特徴とするものである。
【0016】
また、請求項4に記載の発明は、基板を搬送しながら熱処理する焼成炉を有するプラズマディスプレイパネルの焼成装置において、セッター上に載置した基板と、この基板上の温度を検知するように配設した基板温度検知手段と、前記基板と共に搬送されながら基板温度検知手段が検知した基板温度を記録する基板温度記録手段とを備える基板温度確認手段を格納する格納スペースを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成装置である。
【0017】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を用いて説明する。
【0018】
図1は、3電極構造の面放電型のPDPの概略構成を示す断面斜視図である。
【0019】
PDP1の前面板2は、例えばフロートガラスのような、平滑で、透明且つ絶縁性の基板3上に、走査電極4と維持電極5とからなる表示電極6を複数形成し、そしてその表示電極6を覆うように誘電体層7を形成し、さらにその誘電体層7上にMgOからなる保護層8を形成することにより構成している。なお、走査電極4および維持電極5は、それぞれ放電電極となる透明電極4a、5aおよびこの透明電極4a、5aに電気的に接続されたCr/Cu/CrまたはAg等からなるバス電極4b、5bとから構成されている。
【0020】
また、背面板9は、例えばガラスのような絶縁性の基板10上に、アドレス電極11を複数形成し、このアドレス電極11を覆うように誘電体層12を形成している。そしてこの誘電体層12上の、アドレス電極11間に対応する位置には隔壁13を設けており、誘電体層12の表面と隔壁13の側面にかけて赤、緑、青の各色の蛍光体層14R、14G、14Bを設けた構造となっている。
【0021】
そして前面板2と背面板9とは、表示電極6とアドレス電極11とが直交し、且つ、放電空間15を形成するように、隔壁13を挟んで対向して配置されている。
【0022】
そして放電空間15には、放電ガスとして、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうち、少なくとも1種類の希ガスが封入されており、隔壁13によって仕切られ、アドレス電極11と走査電極6および維持電極7との交差部の放電空間15が放電セル16として動作し、アドレス電極11、表示電極6に周期的な電圧を印加することによって放電を発生させ、この放電による紫外線を蛍光体層14R、14G、14Bに照射し可視光に変換させることにより、画像表示を行う。
【0023】
次に、上述した構成のPDP1の製造方法について、図2を用いて説明する。図2は、本発明の一実施の形態による焼成装置を用いて製造するPDPの製造工程を流れを示す図である。
【0024】
まず、前面板2を製造する前面板工程について述べる。基板3を受入れる基板受入れ工程(S11)の後、基板3上に表示電極6を形成する表示電極形成工程(S12)を行う。これは、透明電極4aおよび5aを形成する透明電極形成工程(S12−1)と、その後に行われるバス電極4bおよび5bを形成するバス電極形成工程(S12−2)とを有し、バス電極形成工程(S12−2)は、例えばAgなどの導電性ペーストをスクリーン印刷などで塗布する導電性ペースト塗布工程(S12−2−1)と、その後、塗布した導電性ペーストを焼成する導電性ペースト焼成工程(S12−2−2)とを有する。次に、表示電極形成工程(S12)により形成された表示電極6上を覆うように誘電体層7を形成する誘電体層形成工程(S13)を行う。これは、鉛系のガラス材料(その組成は、例えば、酸化鉛[PbO]70重量%,酸化硼素[B2O3]15重量%,酸化硅素[SiO2]15重量%。)を含むペーストをスクリーン印刷法で塗布するガラスペースト塗布工程(S13−1)と、その後、塗布したガラス材料を焼成するガラスペースト焼成工程(S13−2)とを有するものである。その後、誘電体層7の表面に真空蒸着法などで酸化マグネシウム(MgO)などの保護膜8を形成する保護膜形成工程(S14)を行う。以上により前面板2が製造される。
【0025】
次に、背面板9を製造する背面基板工程について述べる。基板10を受入れる受入れ工程(S21)の後、基板10上にアドレス電極11を形成するアドレス電極形成工程(S22)を行う。これは、例えばAgなどの導電性ペーストをスクリーン印刷などで塗布する導電性ペースト塗布工程(S22−1)と、その後、塗布した導電性ペーストを焼成する導電性ペースト焼成工程(S22−2)とを有する。次に、アドレス電極11の上に誘電体層12を形成する誘電体層形成工程(S23)を行う。これは、TiO2粒子と誘電体ガラス粒子とを含む誘電体用ペーストをスクリーン印刷などで塗布する誘電体用ペースト塗布工程(S23−1)と、その後、塗布した誘電体用ペーストを焼成する誘電体用ペースト焼成工程(S23−2)とを有する。次に、誘電体層12上の、アドレス電極11の間に相当する位置に隔壁13を形成する隔壁形成工程(S24)を行う。これは、ガラス粒子を含む隔壁用ペーストを印刷などで塗布する隔壁用ペースト塗布工程(S24−1)と、その後、塗布した隔壁用ペーストを焼成する隔壁用ペースト焼成工程(S24−2)とを有する。そしてその後、隔壁13間に蛍光体層14R、14G、14Bを形成する蛍光体層形成工程(S25)を行う。これは、赤色,緑色,青色の各色蛍光体ペーストを作製し、これを隔壁どうしの間隙に塗布する蛍光体ペースト塗布工程(S25−1)と、その後、塗布した蛍光体ペーストを焼成する蛍光体ペースト焼成工程(S25−2)とを有する。以上により背面板9が製造される。
【0026】
次に、以上により製造した前面板2と背面板9との封着、そしてその後の真空排気、および放電ガス封入について述べる。まず、前面板2および背面板9の少なくとも一方にガラスフリットからなる封着部材を形成する封着部材形成工程(S31)を行う。これは、ガラスフリットをペースト状にした封着用ガラスペーストを塗布する工程(S31−1)と、その後、塗布したガラスペーストの樹脂成分等を除去するために仮焼するガラスペースト仮焼成工程(S31−2)を有する。次に、前面板2の表示電極6と背面板9のアドレス電極11とが直交して対向するように重ね合わせるための重ね合わせ工程(S32)を行い、その後、重ね合わせた両基板2、9を加熱して封着部材を軟化させることによって封着する封着工程(S33)を行う。次に、封着された両基板2、9により形成された微小な放電空間15を真空排気しながら焼成する排気・ベーキング工程(S34)を行い、その後、放電ガスを所定の圧力で封入する放電ガス封入工程(S35)を行うことによりPDP1が完成する(S36)。
【0027】
ここで、以上の製造方法での、パネル構造物であるバス電極4b、5b、誘電体層7、アドレス電極11、誘電体層12、隔壁13、蛍光体層14R、14G、14B、および封着部材(図示せず)の形成工程における、焼成工程に用いられる焼成装置について説明する。
【0028】
図3(a)は、本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法における焼成工程で用いられる焼成装置の概略構成を示す、搬送方向での断面図である。
【0029】
焼成装置21は、焼成炉22と、焼成炉22の出口とリターンコンベア23の入り口とをつなぐ昇降手段24と、リターンコンベア23の出口と焼成炉22の入り口とをつなぐ切り離し手段25とを有する。
【0030】
そして、PDP1の前面板2の基板3、もしくは背面板9の基板10である基板26は、セッター27に載置した状態で、焼成炉22内を搬送手段28であるローラーコンベアにより搬送され、焼成炉22内のヒーター等の加熱手段22aからの加熱により焼成される。
【0031】
ここで、本実施の形態においては、焼成炉22内を搬送中の基板26の温度状態を確認するための方法としては以下の通りである。すなわち、例えば図3(b)に示すように、基板温度検知手段29である熱電対を基板26に取り付け、基板温度検知手段29のもう一方は、例えば図3(c)に示すような、耐熱容器30内に格納可能に構成した基板温度記録手段31である温度記録計に接続し、そして耐熱容器30を基板26上に載置し、さらにそれをセッター27上に載置することで、基板温度確認手段32を構成する。そしてこの基板温度確認手段32を通常の基板26の熱処理と同様に焼成炉22内を搬送させ、その際の基板温度検知手段29である熱電対からの信号を基板26の温度として基板温度記録手段31である温度記録計に記録する。
【0032】
上述したような構成であると、焼成炉22内を搬送して焼成中である基板26の温度の状態を、非常に容易な構成で確認することが可能となり、このことにより、良好な焼成を行うことができるようにするための焼成炉22の条件設定を非常に容易に行うことが可能となる。
【0033】
ここで、基板温度確認手段32は、例えば焼成装置21を構成するリターンコンベア23の途中に設けられた格納スペース23aに格納した構成とする。そして基板26の温度状態を測定する必要が生じた場合に、焼成炉22の操作パネル上で、温度測定モードを選択することで、基板温度確認手段32が、リターンコンベア23のローラーコンベア33上に下ろされ、他のセッター27と同様に搬送される。
【0034】
また、切り離し手段25においては、通常であれば、セッター27から熱処理が終了した基板26を切り離し、そして新しい基板26をセッター27に取り付けるのであるが、基板温度確認手段32を載置したセッター27の場合には、検知センサーで検知され、上述したような通常の動作は行われないようにしている。
【0035】
そして、切り離し手段25から焼成炉22へ投入された基板温度確認手段32は、焼成炉22内を搬送されながら基板26の温度状態を記録し、その後、昇降手段24によりリターンコンベア23に投入され、そしてリターンコンベア23内を搬送された基板温度確認手段32は、格納スペース23a手前の検知センサーにより検知され、基板温度確認手段32が所定に位置に来たところで、格納スペース23aに格納される。そして、格納スペース23aに設けられた投入口、兼、取り出し口を通じて、基板温度確認手段32を取り出し、そして耐熱容器30内の基板温度記録手段31である温度記録計により基板26の温度状態の確認を行う。
【0036】
上述した一連の動作は、温度測定モードを選択することで、通常の熱処理中に割り込んで、すべて自動で行うようにすれば好ましい。
【0037】
図4に、本発明の別の実施の形態を示す。
【0038】
図4(a)に示す構成は、何らかの理由で、基板26上に基板温度記録手段31である温度記録計を内部に有する耐熱容器30を載置できない場合などに対して、図4(b)に示すように、基板26を載置したセッター27とは別の、隣接したセッター27に耐熱容器30を載置して構成した基板温度確認手段32により、基板26の温度状態を測定するというものである。基板温度確認手段32は基板26を介さず直接、セッター27に載置してもかまわない。
【0039】
また、以上の実施の形態においては、基板温度検知手段29である熱電対を取り付ける基板26を、基板26と同等の熱容量を備えるダミー基板としても良い。
【0040】
【発明の効果】
以上述べたように本発明のPDPの製造方法および焼成装置によれば、焼成炉22内を搬送して焼成中の基板26の温度の状態を、ダミー基板30からの温度状態により非常に容易に確認することが可能となり、このことにより、良好な焼成を行うことができるようにするための焼成炉22の条件設定を非常に容易に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態による製造されるプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す断面斜視図
【図2】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの焼成装置による製造工程の概略の流れを示す図
【図3】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの焼成装置の概略構成を示す断面図
【図4】本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの焼成装置の概略構成を示す、加熱域における断面図
【符号の説明】
21 焼成装置
22 焼成炉
23 リターンコンベア
24 昇降手段
25 切り離し手段
26 基板
27 セッター
28 搬送手段(ローラーコンベア)
29 基板温度検知手段(熱電対)
30 耐熱容器
31 基板温度記録手段
32 基板温度確認手段
33 搬送手段(ローラーコンベア)
Claims (4)
- 基板を搬送しながら熱処理する焼成工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、セッター上に載置した基板と、この基板上の温度を検知するように配設した基板温度検知手段と、前記基板と共に搬送されながら基板温度検知手段が検知した基板温度を記録する基板温度記録手段とを備える基板温度確認手段により、焼成炉内での搬送中の基板の温度を確認する工程を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 基板温度記録手段は、基板を載置したセッターとは別に搬送することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 基板温度記録手段は、耐熱容器内に格納されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 基板を搬送しながら熱処理する焼成炉を有するプラズマディスプレイパネルの焼成装置において、セッター上に載置した基板と、この基板上の温度を検知するように配設した基板温度検知手段と、前記基板と共に搬送されながら基板温度検知手段が検知した基板温度を記録する基板温度記録手段とを備える基板温度確認手段を格納する格納スペースを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの焼成装置。
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