JP2010032080A - プラズマディスプレイパネル用熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】PDPの前面ガラス基板および背面ガラス基板上にPDPの構成物を形成する際の焼成固化の熱処理工程を良好に行うことができるPDP用熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】プラズマディスプレイパネルのガラス基板22上にプラズマディスプレイパネルの構成物を形成する際の熱処理を行うためのプラズマディスプレイパネル用熱処理装置であって、このプラズマディスプレイパネル用熱処理装置に前記ガラス基板を投入する際に使用する、ガラス基板を載置するガラス基板支持板が、穴32と、この穴32と嵌め合わされる蓋33とを備え、ガラス基板支持板にガラス基板を載せ降ろしする際にのみ、穴32が開いた状態となり、熱処理装置内で熱処理される間は前記蓋33により穴32が塞がれた状態になることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用熱処理装置である。
【選択図】図3
【解決手段】プラズマディスプレイパネルのガラス基板22上にプラズマディスプレイパネルの構成物を形成する際の熱処理を行うためのプラズマディスプレイパネル用熱処理装置であって、このプラズマディスプレイパネル用熱処理装置に前記ガラス基板を投入する際に使用する、ガラス基板を載置するガラス基板支持板が、穴32と、この穴32と嵌め合わされる蓋33とを備え、ガラス基板支持板にガラス基板を載せ降ろしする際にのみ、穴32が開いた状態となり、熱処理装置内で熱処理される間は前記蓋33により穴32が塞がれた状態になることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用熱処理装置である。
【選択図】図3
Description
本発明は、プラズマディスプレイパネル用熱処理装置に関するものである。
プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと記す)は、対向配置した前面パネルと背面パネルの周縁部を封着部材によって封着した構造であって、前面パネルと背面パネルとの間に形成された放電空間には、ネオンおよびキセノンなどの放電ガスが封入されている。
前面パネルは、ガラス基板の片面にストライプ状に形成された走査電極と維持電極とからなる複数の表示電極対と、これらの表示電極対を覆う誘電体層および保護層とを備えている。表示電極対は、それぞれ透明電極とその透明電極上に形成した金属材料からなる補助電極とによって構成されている。
背面パネルは、もう一方のガラス基板の片面に、表示電極対と直交する方向にストライプ状に形成された複数のアドレス電極と、これらのアドレス電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をアドレス電極毎に区画するストライプ状の隔壁と、隔壁間の溝に順次塗布された赤色、緑色、青色の蛍光体層とを備えている。
表示電極対とアドレス電極は交差していて、その交差部が放電セルになる。これらの放電セルはマトリクス状に配列され、表示電極対の方向に並ぶ赤色、緑色、青色の蛍光体層を有する3個の放電セルがカラー表示のための画素になる。PDPは順次、走査電極とアドレス電極間、および走査電極と維持電極間に所定の電圧を印加してガス放電を発生させ、そのガス放電で生じる紫外線で蛍光体層を励起し発光させることによりカラー画像を表示している(特許文献1参照)。
特開2003−131580号公報
上述したように、前面パネルおよび背面パネルは、前面ガラス基板上には、表示電極対、誘電体層などの構成物を、また背面ガラス基板上には、アドレス電極、下地誘電体層、隔壁、蛍光体層などの構成物を、所定の形状、パターンで配置した構造である。これらは、それぞれの材料をガラス基板上に塗布し、必要に応じてフォトリソグラフィ法やサンドブラスト法などにより所定のパターニングした後、焼成することにより形成される。
ここで、ガラス基板上に所定の材料を塗布して材料層を形成した後、焼成固化することによりそれぞれの構成物をガラス基板上に形成する際、焼成固化する工程においては、ガラス基板をガラス基板支持板(いわゆるセッター)上に載せ、ガラス基板支持板とともに熱処理装置に入れて材料層を焼成している。
ここでガラス基板支持板には、切離し装置及びローダ/アンローダーと呼ばれる装置上にて、ガラス基板を、ガラス基板支持板から切り離したりガラス基板支持板に載置したりするための突き上げピンが貫通するための、直径20mm程度の複数の穴が設けられた構造となっている。
しかしながら、ガラス基板支持板が複数の穴を有する構造であると、ガラス基板支持板はガラス基板を載置した状態で熱処理装置内で加熱されるところ、ガラス基板においては、穴に接する部分とそれ以外の部分とが生じ、そのような場合、温度変化率が異なってしまい、その結果、ガラス基板に対する焼成ムラが発生してしまうという課題があった。
本発明はこのような現状に鑑みなされたものであり、PDPの前面ガラス基板および背面ガラス基板上にPDPの構成物を形成する際の焼成固化の熱処理工程を良好に行うことができるPDP用熱処理装置を提供することを目的とする。
上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルは、プラズマディスプレイパネルのガラス基板上にプラズマディスプレイパネルの構成物を形成する際の熱処理を行うためのプラズマディスプレイパネル用熱処理装置であって、このプラズマディスプレイパネル用熱処理装置に前記ガラス基板に投入する際に使用する、ガラス基板を載置するガラス基板支持板が、穴と、この穴と嵌め合わされる蓋とを備え、ガラス基板支持板にガラス基板を載せ降ろしする際にのみ、穴が開いた状態となり、熱処理装置内で熱処理される間は前記蓋により穴が塞がれた状態になることを特徴とするものである。
本発明によれば、PDPの前面ガラス基板および背面ガラス基板上にPDPの構成物を形成する際の焼成固化の熱処理工程を良好に行うことができるPDPの熱処理装置を提供することができる。
以下、本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイ装置について、図を用いて説明するが、本発明の実施の態様はこれに限定されるものではない。
まず、PDPの構造について図1を用いて説明する。図1はPDPの構造を概略的に示す断面斜視図である。図1に示すように、PDP1は前面ガラス基板3などよりなる前面パネル2と、背面ガラス基板11などよりなる背面パネル10とが対向して配置され、その外周部をガラスフリットなどからなる封着部材によって気密封着している。封着されたPDP1内部の放電空間16には、ネオン(Ne)およびキセノン(Xe)などの放電ガスが400Torr〜600Torrの圧力で封入されている。
前面パネル2の前面ガラス基板3の一主面上には、PDPの構成物として、走査電極4および維持電極5よりなる一対のストライプ状の表示電極6とブラックストライプ(遮光層)7が互いに平行にそれぞれ複数列配置されている。さらにこれらの表示電極6と遮光層7とを覆うようにPb−B系ガラスなどからなりコンデンサとしての働きをする誘電体層8が形成され、さらにその表面に酸化マグネシウム(MgO)などからなる保護層9が形成されている。
また、背面パネル10の背面ガラス基板11の一主面上には、PDPの構成物として、走査電極4および維持電極5と直交する方向に、複数のストライプ状のアドレス電極12が互いに平行に配置され、これを下地誘電体層13が被覆している。さらに、アドレス電極12間の下地誘電体層13上には放電空間16を区切る所定の高さの隔壁14が形成されている。隔壁14間の溝にアドレス電極12毎に、紫外線によって赤色、緑色、および青色にそれぞれ発光する蛍光体層15が順次塗布されている。
そして、走査電極4および維持電極5とアドレス電極12とが交差する位置に放電セルが形成され、表示電極6方向に並んだ赤色、緑色、および青色の蛍光体層15を有する放電セルがカラー表示のための画素になる。
次にPDPの製造方法について説明する。まず、前面ガラス基板3の一主面上に、走査電極4および維持電極5と遮光層7とを形成する。走査電極4と維持電極5は、インジウムスズ酸化物(ITO)や酸化スズ(SnO2)などからなる透明電極と、その上に形成した銀ペーストなどからなる金属バス電極とによって構成されている。これらの電極は、フォトリソグラフィ法などを用いてパターニングして形成される。これらの電極材料層は所望の温度で焼成固化される。また、遮光層7も同様に、黒色顔料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や黒色顔料をガラス基板の全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングし、焼成固化することにより形成される。
次に、走査電極4、維持電極5および遮光層7を覆うように前面ガラス基板3上に誘電体ペーストをダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層(誘電体材料層)を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することにより塗布された誘電体ペースト表面がレベリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、走査電極4、維持電極5および遮光層7を覆う誘電体層8が形成される。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料、バインダおよび溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層8上に酸化マグネシウム(MgO)からなる保護層9を真空蒸着法により形成する。以上の工程により前面ガラス基板3上に所定の構成物(走査電極4、維持電極5、遮光層7、誘電体層8、保護層9)が形成され、前面パネル2が完成する。
一方、背面パネル10は以下のようにして形成される。まず、背面ガラス基板11の一主面上に、銀ペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などによりアドレス電極12用の構成物となる材料層を形成し、それを所望の温度で焼成固化することによりアドレス電極12を形成する。次に、アドレス電極12が形成された面の背面ガラス基板11上にダイコート法などによりアドレス電極12を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより下地誘電体層13を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだ塗料である。
次に、下地誘電体層13上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより、隔壁材料層を形成した後、焼成固化することにより隔壁14を形成する。ここで、下地誘電体層13上に塗布した隔壁用ペーストをパターニングする方法としては、フォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いることができる。
次に、隣接する隔壁14間の下地誘電体層13上および隔壁14側面に蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成固化することにより蛍光体層15が形成される。以上の工程により、背面ガラス基板11上に所定の構成物を有する背面パネル10が完成する。
このようにして、それぞれ所定の構成物を備えた前面パネル2と背面パネル10とを走査電極4とアドレス電極12とが直交するように対向配置して、その周囲をガラスフリットで封着し、放電空間16にネオン、キセノンなどを含む放電ガスを封入することによりPDP1が完成する。
以上のようにPDPの製造工程においては、前面ガラス基板3上の金属バス電極(図示せず)、遮光層7、誘電体層8、および背面ガラス基板11上のアドレス電極12、下地誘電体層13、隔壁14、蛍光体層15は、それぞれの構成物用の材料を前面ガラス基板3、背面ガラス基板11の上に塗布し、必要に応じて所定のパターンに形成した後、焼成固化することにより作製される。
この焼成固化の熱処理工程は構成物毎に500℃〜600℃で行われ、少なくとも前面パネル2の場合には2回、背面パネル10の場合には4回の焼成工程が必要となる。
次に、上記焼成固化の熱処理工程で使用するPDP用熱処理装置について説明する。図2は、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置の概略構造を示す側面図である。
PDP用熱処理装置21のローラーコンベア24上をガラス基板支持板23に載せられた、PDPを構成するガラス基板(前面ガラス基板、背面ガラス基板)22が搬送される。
熱処理装置21の熱処理装置本体26の入口とリターンコンベア29の出口はそれぞれ、ローダ/アンローダー25と繋がれている。
ローダ/アンローダー25は、ガラス基板22をガラス基板支持板23上に設置し、それを熱処理装置本体26へ投入する。投入されたガラス基板22及びガラス基板支持板23は、熱処理装置本体26内上部に設けられた加熱ヒーター27で加熱され熱処理が行われる。
ガラス基板22及びガラス基板支持板23は、所定の熱処理後、リフター28で熱処理装置本体26の下部に設置されたリターンコンベア29に投入される。リターンコンベア29に投入されたガラス基板22及びガラス基板支持板23は、リターンコンベア29内を搬送され、この搬送中に、ガラス基板22及びガラス基板支持板23はリターンコンベア29内で冷却装置30を用いて室温状態まで冷却される。
そして、ローダ/アンローダー25はリターンコンベア29の出口から排出されたガラス基板22をガラス基板支持板23から分離して、カセット(図示せず)に投入する。
ここで図3に、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置において用いられるガラス基板支持板23の概略構造を、ガラス基板22を載置した状態で示す。ガラス基板支持板23には、穴32が複数設けられ、この穴32と嵌め合わされるように、蓋33が設けられている。なお、穴32、蓋33の断面形状は、下方の穴径の方が小さいテーパー状で、互いが嵌まり合うようになっている。
図4は、上述したガラス基板支持板23にガラス基板22を載置・切り離し(載せ降ろし)を行う際の状態を説明するための概略図である。ガラス基板支持板23は、複数加工された穴32と、この穴32と嵌め合わされる蓋33と、を備える。
そして、(a)切離し装置(図示せず)上で、ガラス基板支持板23の各穴32の下方側に突き上げピン42が待機している状態から、(b)突き上げピン42が上方に移動し、蓋33をガラス支持板23から持ち上げる。(c)そして、持ち上げられた蓋33上にロボットなどを用いてガラス基板22を静かに設置する。(d)突き上げピン42を下げることで、ガラス基板22をガラス基板支持板23上に蓋33とともに設置する。そしてこの状態で熱処理装置に投入する。
また、上述の(a)〜(d)の逆動作を行うことによりガラス基板22をガラス基板支持板23から切離すことが可能となる。
ここで穴32および蓋33の形状は、突き上げピン42が当接する側の径より反対側の径の方が大きいテーパー形状とすることで、突き上げピン42が上方に移動する動作時に穴32と蓋33との中心にズレが発生してしまっているような場合であっても、突き上げピン42が下方に移動して穴32に蓋33を嵌め合わせようとする際には、テーパー形状によりそのズレが修正されて、穴32に蓋33が嵌め合わされることとなる。
以上のような構成により、ガラス基板支持板23はガラス基板22を載せ降ろしする際にのみ、穴32が開いた状態となり、熱処理中は穴32が蓋33により塞がれた状態になることから、ガラス基板22はその熱処理時において、ガラス基板支持板23の穴32による温度の不均一の影響、例えば熱処理時のムラの発生などを防ぐことができる。
なお、以上においては、蓋33とガラス基板支持板23とは同じ材質であることが好ましい。
また、突き上げピン42の上昇時に、突き上げピン42の先端に当接する蓋33のズレが、突き上げピンの下降時の、テーパー形状による修正で収まる程度を超えてしまわないように、図5に概略的に断面図で示すように、蓋33の、突き上げピン42と当接する側の面に凹部34を設け、この凹部34の底面に突き上げピン42が当接するように構成し、凹部34の径Dは、突き上げピンの径dに対して、ズレの修正が収まる程度の大きさ分、大きいものとすれば良い。
以上のように本発明は、大画面、高精細のPDPを提供する上で有用な発明である。
1 PDP
2 前面パネル
3 前面ガラス基板
4 走査電極
5 維持電極
6 表示電極
7 ブラックストライプ
8 誘電体層
9 保護層
10 背面パネル
11 背面ガラス基板
12 アドレス電極
13 下地誘電体層
14 隔壁
15 蛍光体層
16 放電空間
21 熱処理装置
22 ガラス基板
23 ガラス基板支持板
24 ローラーコンベア
25 切離し装置及びローダ/アンローダー
26 熱処理装置本体
27 ヒーター
28 リフター
29 リターンコンベア
30 冷却装置
31 切離し装置及びローダ/アンローダー
32 穴
33 蓋
34 凹部
42 突き上げピン
2 前面パネル
3 前面ガラス基板
4 走査電極
5 維持電極
6 表示電極
7 ブラックストライプ
8 誘電体層
9 保護層
10 背面パネル
11 背面ガラス基板
12 アドレス電極
13 下地誘電体層
14 隔壁
15 蛍光体層
16 放電空間
21 熱処理装置
22 ガラス基板
23 ガラス基板支持板
24 ローラーコンベア
25 切離し装置及びローダ/アンローダー
26 熱処理装置本体
27 ヒーター
28 リフター
29 リターンコンベア
30 冷却装置
31 切離し装置及びローダ/アンローダー
32 穴
33 蓋
34 凹部
42 突き上げピン
Claims (1)
- プラズマディスプレイパネルのガラス基板上にプラズマディスプレイパネルの構成物を形成する際の熱処理を行うためのプラズマディスプレイパネル用熱処理装置であって、このプラズマディスプレイパネル用熱処理装置に前記ガラス基板に投入する際に使用する、ガラス基板を載置するガラス基板支持板が、穴と、この穴と嵌め合わされる蓋とを備え、ガラス基板支持板にガラス基板を載せ降ろしする際にのみ、穴が開いた状態となり、熱処理装置内で熱処理される間は前記蓋により穴が塞がれた状態になることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008192973A JP2010032080A (ja) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | プラズマディスプレイパネル用熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008192973A JP2010032080A (ja) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | プラズマディスプレイパネル用熱処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010032080A true JP2010032080A (ja) | 2010-02-12 |
Family
ID=41736766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008192973A Pending JP2010032080A (ja) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | プラズマディスプレイパネル用熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010032080A (ja) |
-
2008
- 2008-07-28 JP JP2008192973A patent/JP2010032080A/ja active Pending
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